【課題】多結晶シリコン棒のひび割れを簡易的に検知することにより、ひび割れのない多結晶シリコン棒を選別して高品質な多結晶シリコン棒を提供すること。
【解決手段】ハンマー（１２０）で多結晶シリコン棒（１００）の打撃を行い、この打撃音をマイク（１３０）を介して録音器（１４０）に収録する。そして、この打撃音を解析して固有周波数ｆ₀を算出し、さらに、打撃音の音響信号を高速フーリエ変換して周波数分布を表示させる。さらに、高速フーリエ変換後の周波数分布の中で、最も大きな音量を示すピーク周波数ｆを検出し、固有周波数ｆ₀（Ｈｚ）とピーク周波数ｆ（Ｈｚ）を比較する。例えば、周波数比Ｒ（ｆ₀／ｆ）が０．９≦Ｒ≦１．１である場合に、多結晶シリコン棒内外部にひび割れが無いと判断する。 （もっと読む）

【課題】硬い多結晶シリコン棒を簡易的に選別することにより、割れ難い高品質な多結晶シリコン棒を提供すること。
【解決手段】多結晶シリコン棒（１００）の長さを巻尺で測定し、次に、ハンマー（１２０）で多結晶シリコン棒（１００）の打撃を行い、この打撃音をマイク（１３０）を介して録音器（１４０）に収録する。そして、打撃音の音響信号を高速フーリエ変換して周波数分布を表示させる。さらに、高速フーリエ変換後の周波数分布の中で、最も大きな音量を示すピーク周波数ｆを検出する。多結晶シリコン棒の長さ（Ｌ）とピーク周波数ｆの関係を求め、ピーク周波数ｆがｆ≧１４７１／Ｌの領域（Ａ領域）に属するか否かで、多結晶シリコン棒の硬さを判断する。 （もっと読む）

【課題】密度計の測定セルのＵチューブを洗浄する方法を提供する。
【解決手段】測定セルは、内側の部分で、弾力のあるシール（４）によって囲まれたストッパ（２）によって閉じられた測定チャンバ（３）を規定する、等温筺体と、分析される試料が満たされ、測定チャンバ（３）の内部に延在するＵチューブ（１）であって、このＵチューブ（１）は、その底部でストッパに固定され、注入口（６）を介しての分析される試料の注入と排出口（７）を介してその排出とを可能にするように、測定チャンバ（３）から外側へ突出する、その自由端によって形成される、Ｕチューブと、Ｕチューブ（１）を振動させる手段と、を有し、試料の分析の後、すすぎ溶剤がＵチューブ（１）の注入口（６）に注入され、Ｕチューブ（１）の底部に固定されたストッパ（２）は、超音波にさらされる。 （もっと読む）

【課題】 既設の鉄塔等の部材内部のコンクリート等の充填材の充填状態を簡便な方法にて正確に判別できる鋼管等の内部判別方法およびその判別装置を提供する。
【解決手段】 部材表面への打撃により発生させた弾性波を解析することにより部材内における内部を判別する鋼管等の内部判別方法において、鋼管等の部材１の打撃側とその反対側で測定した振動の伝播時間の長短比較により、部材１における内部空洞１ｂの有無を判別することにより、鋼管等部材１の外部での打撃による加振のみの作業だけで、部材１の打撃側とその反対側で例えばＡＥセンサ３、２で測定した振動の伝播時間の長短を比較して、Ｘ線照射資格や内視鏡等の挿入も不要で、簡便に短時間で容易かつ正確な鋼管等の内部の空洞の有無の判別が可能となる。 （もっと読む）

【課題】検査者の技量に関わらず検査対象物の状態を検査可能な打音検査システムを提供する。
【解決手段】ショックレスハンマー２によって検査対象物を打撃した時にショックレスハンマー２が跳ね返ることなく、検査対象物に密着した状態で、ショックレスハンマー２に取り付けられたマイク２０によって検出された打撃音の測定結果を演算して検査対象物の状態を把握することにより、検査者の技量に関わらず検査対象物の状態を検査可能となる。例えば、検査対象物の積層材の剥離が無い部位と、積層材の剥離がある部位とでは、ショックレスハンマー２による打撃時にマイク２０によって測定される打撃音の信号が異なる。この信号の違いによって、検査対象物の状態を容易に把握することができる。 （もっと読む）

【課題】レーザ超音波検出において、内部欠陥の大きさや形状を定量的に計測することを目的とする。
【解決手段】レーザ発振器（１）から被検体（４）へレーザ光を照射し、被検体（４）を伝搬してきた超音波（１１３）を超音波検出部（５）で検出する。演算部（８）は超音波検出部（５）から発生する信号から欠陥部（１５）の位置が輝度変化した画像の認識を行って、被検体（４）内部に存在する欠陥部（１５）を検出する。レーザ発振器（１）の発振タイミングと、演算部（８）が超音波検出部（５）から発生する信号を取り込むタイミングは、トリガー発生器（９）から発生するトリガー信号によって同期している。 （もっと読む）

【課題】柱状構造物のばらつきに依存することなく、短時間、低コストで柱状構造物の損傷の有無、損傷程度および損傷方向を検知できる柱状構造物の損傷検知方法を提供する。
【解決手段】コンクリート柱１の地際から末口の間に設定した振動発生装置によりコンクリート柱全体を揺らす振動を水平多方向に発生させ、前記コンクリート柱全体を揺らす振動を、地際から末口の間に設置された受信センサ３により受信する。損傷検知装置１０にて、受信センサ３で受信した円周方向別における時系列波形を時間毎の周波数分布に置き換え、置き換えられた周波数分布から加振方向振動が支配的となる時間領域を抽出し、加振方向振動が支配的となる時間領域において卓越振動数の差を円周方向別に求める。求めた円周方向別の卓越振動数の差のグラフを表示し、円周方向別の卓越振動数の差を解析して損傷の有無、損傷程度および損傷方向を判定する。 （もっと読む）

【課題】小孔径のボーリング孔内で、限りなく点に近い狭い場所での時間遅れのない起振を可能とし、それによって位置及び時刻精度を向上させ、数ｍ程度の狭い範囲での弾性波トモグラフィ調査を実施できるようにする。
【解決手段】圧縮空気によってピストンを孔軸方向に押し出す打撃エネルギー発生部１０と、該ピストンの孔軸方向の突出動作を利用して孔壁に打撃力を付与する打撃ハンマー部１２とを備えている。打撃ハンマー部は、ピストン２２による孔軸方向の打撃力を孔軸に直交する方向に変換する回転リンク機構４０と、外向きにバネで付勢された状態で保持され回転リンク機構を介して加振される加振ハンマー４２とを具備し、それら回転リンク機構と加振ハンマーとの組み合わせを、複数、円周上で均等に配置し、打撃エネルギー発生部の単一のピストンにより各加振ハンマーを加振して孔軸に直交方向の孔壁面を円周方向の複数箇所で同時に直接打撃する。 （もっと読む）

【課題】時間差式の超音波流量計の原理を利用して、温度センサを用いることなく、流体の濃度を精度良く測定可能な超音波式濃度計を得る。
【解決手段】所定の温度、濃度の水溶液に対する受信波形Ｗの自由振動部分Ｗｂのゼロクロス点から振動の平均周期を求めると、平均周期は温度のみに依存する。流体である水溶液に対し上流と下流から超音波ビームを発し、水溶液中を伝播する伝播時間から水溶液の音速を求める。音速は濃度と比例関係にあり、音速は水溶液の温度によって変化するので、得られた音速と温度によって、温度補正がされた濃度を算出できる。 （もっと読む）

【課題】様々な態様のＰＣ構造物であっても、シース内のグラウト充填の有無を正確に探査することのできる超音波探査装置及び超音波探査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】１対の探触子１１０を備えた超音波探査装置を用い、探触子間隔ａで配置した探触子１１０を、計測対象シース２１０の直上のコンクリート面２０１において、シース長手方向Ｌへ移動させ、受信探触子１１２で収録する受信波を時系列領域で加算平均して加算平均波Ｇ（ｔ）を算出し、加算平均波Ｇ（ｔ）にＴＧＣ（ｔ）関数を乗算して切り出した切り出し波をフーリエ変換して対応するスペクトルＦＡ（ｆ）を算出する。そして、スペクトルＦＡ（ｆ）の最大表示スペクトルにおいて、所定振動数ｆ付近におけるスペクトルの生じかたによって計測対象シース２１０が完全充填シースか不完全充填シースか判断する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物を浮上させながら、非接触で測定対象物の表面だけでなく内部のクラックを検出するクラック検知装置及びクラック検知方法を提供する。
【解決手段】測定対象物５０を空中に浮上させる浮上手段１と、浮上した測定対象物５０を上下方向に加振する加振手段２と、加振手段の測定対象物への加振入力に対する応答出力を検出する動作検出装置３と、動作検出装置３の出力に基づき測定対象物５０のクラックの有無を検知するクラック検知手段４とを備える。 （もっと読む）

【課題】ウェーハのクラックを確実に検出できるクラック検出装置を提供する。
【解決手段】ウェーハ１３を、弾性素材を介在させて支柱部材１１と音響センサ１５とで挟み込んで位置決め保持し、この挟持状態において、弾性素材２２を被着した加振部１９を、ウェーハ１３に衝突させて加振し、その際にウェーハ１３に伝わる振動波形を音響センサ１５で検出し、この振動波形の共振周波数よりも高い周波数成分に基づいてクラック検出を行うように構成した。 （もっと読む）

【課題】低コスト且つ簡易な方法で、水中にある構造物の亀裂や劣化等を検査することができる水中検査システムを提供する。また、既存の多くの水道管等の埋設管に対して、適用可能な水中管検査システムを提供する。
【解決手段】水中ロボット１と、前記水中ロボット１と複合ケーブル７を介して接続した制御装置５を有する水中の構造体を検査する検査システムであって、前記水中ロボット１が、検査対象物である前記構造体を打撃する打撃装置３と、前記打撃装置３の振動を受信する受信装置４を有しており、前記受信装置４で受信した少なくとも２回の前記打撃振動を、制御装置５で相互比較する。 （もっと読む）

【課題】広帯域ラム波を送受信し、得られた波形と理論分散曲線とからラム波分散性を評価し、存在するモードの特定を行う。損傷の発生・進展と、特定したモード分散性との相関を利用して剥離長さを定量評価し、高精度で高信頼性の損傷探知、診断を可能にする。
【解決手段】加振装置（ＭＦＣ）２１による加振時に得られる振動検知センサ（ＦＢＧ）３０の出力値を変換して周波数及び伝播時間の２次元に展開した伝播強度分布データを得、ラム波の基本波モードと高次モードの中から選ばれる１又は２以上の特定のモードについて、前記データから所定の特徴値、例えば、Ａ_１モードのモード分散性の傾き（周波数対伝播時間の変化率）、Ａ_１モードの伝播時間の減少量、Ｓ_０,Ｓ_１モードの伝播時間の増加量の三つの指標を得て計測結果として出力する損傷探知システムを用いる。表示装置５６にこの計測結果を表示させる。 （もっと読む）

【課題】 図面がなくとも調査でき、劣化損傷の判定を調査員が行い、その位置情報を機械的に入力することで、精度良く調査できる構造物調査システムおよび位置情報を取り扱いが容易で作業負担を軽減できる構造物調査システムに用いる位置測定装置を提供すること。
【解決手段】 構造物１の調査対象となる外壁２の外形をトータルステーション６で測定して外形情報をコンピュータ３に記憶させた後、調査員５が劣化損傷部位を点検してその種別を判定し、判定した部位に自動追尾機能を備えたトータルステーション６の反射部７を位置させて長さ情報または面積情報を得てコンピュータ３に劣化損傷の位置（位置情報とは、構造物における劣化損傷部位の位置をいう）とともに記憶する。
これにより、外壁２の外形情報は測定で求められ、劣化損傷部位の点検とその種別の判定を調査員５が行って短時間に確実に判定し、劣化損傷部位の位置情報をトータルステーション６の反射部７を位置させて求め、調査精度を向上し、ひび割れ長さや劣化面積を精度良く集計する。 （もっと読む）

レーザと共振光キャビティとを用いて、気体または液体の媒体中に低濃度で存在する1つまたは複数の分析対象種を光音響によって識別および定量化するための方法および装置であり、該共振光キャビティが、該媒体を収容し、かつ少なくとも2つの部分的に透明なミラーを該キャビティの内部に有し、該ミラーのうちの1つがキャビティ結合ミラーであり、かつ、該ミラーのうちの1つが入力信号に応答するアセンブリに移動可能に取り付けられている。

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【課題】室温時だけでなく高温時においても被計測板の結晶粒径を高精度に計測できるようにする。
【解決手段】被計測板２の板厚方向に伝播した共振周波数を含む所定の周波数領域の各周波数における超音波の波形を波形検出手段３０で検出し、検出した超音波の波形に基づいて、エネルギー値算出手段４０で所定の周波数領域の各周波数における超音波のエネルギー値を算出する。そして、共振周波数における超音波のエネルギー値である最大のエネルギー値を検出し、この最大のエネルギー値と、前記最大のエネルギー値以外の他のエネルギー値とを補正手段６０で室温時換算した上で比算出手段８０でこれらエネルギー値の比を算出し、結晶粒径算出手段１００において、比算出手段８０で算出したエネルギー値の比に基づいて、被計測板２における結晶粒径を算出するようにする。 （もっと読む）

【課題】簡便に且つ精度良く、鉄筋コンクリート構造物中の鉄筋の腐食を診断する非破壊診断方法を提供する。
【解決手段】鉄筋を含んだ鉄筋コンクリート構造物表面からパルス磁場を照射してその鉄筋を励振し、その鉄筋を音源とする音響を鉄筋コンクリート構造物表面で受信し、受信波形を解析する。受信波形をフーリエ変換してスペクトラムを求め、このスペクトラムのうち低周波側の領域のスペクトル強度を所定の範囲で加算しその加算値の減少率から鉄筋の腐食を診断する。 （もっと読む）

【課題】 作業が容易であり、かつ、より高精度な診断が可能な、路盤下の空洞診断方法等を提供する。
【解決手段】 起振器９が駆動され、振動が発振される。次に、加速度計７により、被検査体である路盤１の振動データ（受振振動情報）を検出する。処理装置１５によって処理された測定データは、解析装置１３に送信される。次に、解析装置１５によって処理された測定データおよび起振器９により発振された発振データが、解析装置１３の振動情報取得手段により取得される。さらに、得られた振動情報から、クロススペクトル算定手段によりクロススペクトルが算定される。得られたクロススペクトルより、位相特性算出手段により位相特性が算出され、固有振動特定手段により固有振動数が特定される。 （もっと読む）

【課題】 傾斜面に対しても確実に振動を付与することができ、また、測定条件等の影響を受けにくくより正確な判断情報を取得可能なのり面保護工の診断方法等を提供する。
【解決手段】 起振器９が駆動され、振動が発振される。次に、加速度計７により、被検査体であるのり面保護工１の振動データ（受振振動情報）を検出する。処理装置１５によって処理された測定データは、解析装置１３に送信される。次に、解析装置１５によって処理された測定データおよび起振器９により発振された発振データが、解析装置１３の振動情報取得手段により取得される。さらに、得られた振動情報から、クロススペクトル算定手段によりクロススペクトルが算定される。得られたクロススペクトルより、位相特性算出手段により位相特性が算出され、固有振動特定手段により固有振動数が特定される。 （もっと読む）