本発明は、ISTSを利用して、ミクロンまたはサブミクロンの幅の溝を評価する方法に関する。溝は、シリコン基板またはシリコン基板上の薄膜内にエッチング加工される。本方法のあるステップでは、空間周期的レーザー強度パターンを用いて構造部を照射することにより、構造部を励起し、表面弾性波を発生させる。別のステップは、熱回折格子でプローブレーザービームを回折させて信号ビームを発生させるステップ；時間の関数として、信号ビームを検出し、信号波形を発生させるステップ；前記波形から表面弾性波位相速度を定めるステップ；構造部パラメータが表面弾性波位相速度に及ぼす影響に基づいて、溝構造部の少なくとも一つの特性を定めるステップである。
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この発明は、複数の位置からサンプリングされた空気中の粒子を検出する際の検知装置(10)の分野に関する。この発明の一つの態様は、送信機(42,44)および受信機(44,42)間で送信された信号の飛行時間の決定を提供し、少なくとも一つの特有の波形信号を備える第１の信号を送信し、少なくとも一つの特有の波形特性および、本信号の期間内の時間における所定のポイントで導入された波形の変更を備える第２の信号を送信し、送信された第１および第２の信号を受信し、前記変化のポイントが、受信機での導入された波形の性質の到来時間に対応するように、前記第１および第２の受信信号をベストに位置決めすることを備える、第１および第２の受信信号の対応する特有の波形性質間の変化ポイントを決定することを備える。好ましい実施例では、この発明は煙検出システム(10)用に採用されるフローセンサ(24)での超音波信号の飛行時間の正確な決定を与える。

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