【課題】非破壊の計測を行って絶縁膜の寿命を予測することが可能な絶縁膜内イオン挙動解析システムを提供する。
【解決手段】パルス電圧発生器と圧延素子と演算装置と表示装置を備え、パルス電圧発生器が印加したパルス電圧により絶縁膜内に発生した超音波を圧延素子で検出することにより、絶縁膜内のイオン密度分布を求める絶縁膜内イオン挙動解析システムである。演算装置は、少なくとも異なる２つの時刻における絶縁膜内のイオン密度分布を超音波の検出結果から求め、少なくとも異なる２つの時刻におけるイオン密度分布を基に移流拡散計算を行って、任意の時刻における絶縁膜内のイオン密度分布を求める。表示装置は、任意の時刻における絶縁膜内のイオン密度分布を表示する。 （もっと読む）

本発明は、外部磁気擾乱を最小化した△Ｅ測定装置に関し、より詳細には、地球磁場と磁性体機構物及び機器によるバイアス効果を除去し、磁気音響共鳴法を利用して磁場下でのヤング率の変化（△Ｅ）を測定する△Ｅ測定装置に関する。本発明によると、３軸ヘルムホルツコイルを用いて外部磁気擾乱を最小化する空間を提供し、これに複数のコイル構造を有する△Ｅ測定装置を挿入することにより、外部磁気擾乱を最小化することができる。 （もっと読む）

【課題】 半導体チップ１１と基板１２との間のはんだ１４の接合状態を低コストで実施するはんだ接合の検査装置の提供。
【解決手段】 検査対象物１０の表面近傍に設けられたワイヤボンディング装置のボンディングヘッド１中に含まれる超音波発振器と、この検査対象物１０の裏面に設けられ、超音波発振装置から検査対象物１０を通して伝達した超音波を受振する超音波受振子６と、超音波受振子６で受振した超音波の波形により検査対象物１０のはんだ接合状態を判断する判断装置８とを備える。 （もっと読む）

【課題】分光特性と構造特性を高精度かつ高解像度で関連付けることが可能な測定装置を提供する。
【解決手段】光源部１と光検出装置５を有して被検体Ｅの分光特性をＡＯＴを利用して測定する分光特性測定装置１０１と、超音波検出器６を有して被検体Ｅの構造特性を超音波エコー信号を利用して測定する超音波エコー測定装置１０２と、を有する測定装置であって、分光特性測定装置１０１及び超音波エコー測定装置１０２は、それらに共通に設けられ、被検体Ｅに超音波パルスを送信する超音波発生器３と、それらに共通に設けられ、超音波発生器３が送信した超音波パルスを被検体Ｅの被検部位Ｘに集束する集束装置４とを有し、被検体Ｅの被検部位Ｘにおいて、音響光学効果による光源部１からの光の変調と超音波エコー信号の発生が同時に行われ、光検出装置５は同時に発生した変調光Ｉａｃを検出し、超音波検出器６は同時に発生した超音波エコー信号を検出する。 （もっと読む）

【課題】センサ・アレイの高信頼性動作のために短絡されたセンサ・セルを隔離する。
【解決手段】センサのアレイと多数の母線線路を有するデバイスを提供する。各々のセンサはそれぞれの母線線路に電気接続され、且つそれぞれの多数群（５８）の微細機械加工したセンサ・セルを含む。特定のセンサのセンサ・セル群は、そのセンサが接続される母線線路を介して互いに電気結合されており、各々のセンサ・セル群は、互いに電気的に相互接続され且つ互いから切換え可能に切断することができないそれぞれの多数の微細機械加工したセンサ・セル（２）を含む。更に、いずれか１つのセンサ・セル群の多数の微細機械加工したセンサ・セルの内のいずれか１つがアースに短絡されたことに応答して、該センサ・セル群をその関連した母線線路から隔離する手段（例えば、ヒューズ、又は電流センサ回路と電気隔離スイッチとを含む短絡保護モジュール）が設けられる。 （もっと読む）

顕微鏡対物レンズ視野内の振動対象物表面部分上へ目的波面を指向し、視野内表面部分から反射された変調目的波面を光屈折性材料中へ指向するようにそれぞれ配置された目的波面供給源及び光学顕微鏡対物レンズと、基準波面を位相変調器中へ指向し、及び位相変調器からの変調基準波面を光屈折性材料中へ指向して変調目的波面との干渉を起こすようにそれぞれ配置された基準波面供給源及び少なくとも１台の位相変調器とを備える撮像システム。光屈折性材料は、変調目的波面と変調基準波面との干渉が光屈折性材料中で起こり、顕微鏡対物レンズ視野内表面部分の全視野リアルタイム画像信号を生成するような組成を有し且つ位置にある。
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