【課題】超音波プローブにおける圧電振動子と、この圧電振動子に電圧を印加するための導体との導通を確実に図ることができる圧電振動子を提供する。
【解決手段】圧電振動子１５は、圧電体２４の表面に設けられた導電層２５で構成される信号電極２６及び接地電極２７を備え、フレキシブル基板１７の第一銅箔層２０が接着層１６を介して圧着される前記接地電極２７の第一の部分２７ａと、第二銅箔層２１が前記接着層１６を介して圧着される前記信号電極２６は、表面に突起部３２を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】超音波映像装置の振動特性を向上させ、フォーカシングを良くして、鮮明な映像を得ることができる超音波探触子、超音波映像装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】超音波探触子は、所定の厚さを有する背面ブロック３１０と、該背面ブロック３１０の上面及び側面を取り囲む形態で積層され、配線パターンが設けられる柔軟性印刷回路基板３２０と、該柔軟性印刷回路基板３６０の上面に積層され、両面に各々上部及び下部電極を有し、複数の第２溝が形成された圧電ウェーハ３５０と、該圧電ウェーハ３５０の上面に積層されて上部電極と接合され、柔軟性印刷回路基板の接地層と連結される接地用電極板３６０と、該接地用電極板の上面に積層される音響整合層３７０、音響整合層３７０の上面に接合される音響レンズとを含み、音響整合層から背面ブロック３１０の上端は、第２溝と直交する複数のスロットが形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】直達応答波信号の影響を回避して測定精度の向上を図ることができる弾性表面波センサ及びそれを備えた被測定物特性測定装置を提供すること。
【解決手段】溶液特性測定装置１００は、弾性表面波を利用したＳＡＷセンサ１０及びリファレンスセンサ２０、信号発振源１０１、アンプ１０２、スイッチ１０３、スイッチオンオフ回路１０４、ログ／リミッタアンプ１０５及び１０８、コンデンサ１０６及び１１１、固定アッテネータ１０７、位相検出器１０９、加算器１１０、アンプ１１２、ＡＭ検波回路１１３、レベル変換回路１１４、サンプルホールド回路１１５及び１１６を備え、ＳＡＷセンサ１０は、直達波信号成分と主応答波信号成分との間の時間間隔よりも短い時間幅のバースト信号を入力して主応答波信号成分と直達波信号成分とを分離する構成を有する。 （もっと読む）

システム（１００）は，サンプル（１１０）を通して送信器（１０５）から受信した超音波エネルギーの量を測定するために，焦電層（１２２）と超音波吸収体（１２３）を使用する。焦電層（１２２）の熱応答は，超音波の時間平均強度に敏感であるが，超音波の位相には反応しない。波形（２００）は，送信器（１０５）の遷移のオン／オフに応答する際の焦電層（１２２）からの応答である，上昇（２１０），ピーク（２２０）及び，減衰部（２３０）を示している。システム（３００）は，送信器（１０５）のオン／オフを自動的に変えるピーク検出器（３３３）を使用している。システム（４００）は不要な加速度計によるノイズや，電気的ノイズを除去するために，バックグラウンド除去回路（４４４）がある。多素子超音波センサー（５２０）は，ダミーセンサー（５２１ｂ）がセンサー素子（５２１ａ）の不要な加速度計の検出感度を補正するために使用できるようなキャビティ（５５５）を有している。センサー（６２０）は，不要な加速度計の検出感度を補正するために，超音波吸収する（もしくは反射する）領域（６６０）を有している。システム（９００）は焦電効果に敏感な低周波のパス（９０９），及び音圧の振幅に敏感な高周波パス（９１９）を有している。センサー（１０２０）は，非分極領域（１０９８）で区切られた分極した領域（１０９９）を有する焦電体（１０２２）を有している。 （もっと読む）

【課題】従来よりも接地電極の長さを短くして超音波プローブの厚み方向の寸法を小さくすることができる超音波プローブの圧電振動子を提供する。
【解決手段】圧電振動子１５を構成する圧電体２６における同一の面に形成された信号電極２８と接地電極２９とを有し、前記接地電極２９は、表面に突起部３３を有する。前記圧電体２６は、間隙３０に充填材が充填されて形成された充填部３１と、圧電材からなる圧電材部３２とで構成され、前記充填部３１は、前記圧電体２６の表面を研削した時に、前記圧電材部３２よりも研削されずに前記圧電体２６の表面において突出することになる材質の充填材によって形成されていて、前記圧電体２６の表面から突出する突部３１ａを有しており、前記接地電極２９の部分の導電層２７が、前記突部３１ａの上において突出して前記突起部３３を形成している。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を採用した積層圧電素子２Ｄアレイが生成する超音波信号の強度を高くするには、超音波の受信方向に対して垂直方向に、各々の圧電素子を精度よく位置決めする必要がある。そこで、各々の圧電素子を精度よく位置決めすることで、高い強度の超音波信号を生成する超音波探触子及びその作製方法を提供する。
【解決手段】所定形状を有する少なくとも一つの表面電極と、所定形状を有する裏面電極とを有する有機圧電膜を平行に複数備える超音波探触子であって、前記複数の有機圧電膜を所定の入射光が透過する率を５％以上とする。 （もっと読む）

【課題】圧電特性、受信感度に優れかつ耐熱性に優れた有機圧電体材料を与える有機圧電体、それを用いた有機圧電材料および超音波振動子ならびに測定の安定性に優れる超音波探触子を提供する。
【解決手段】超音波振動子１０は、圧電材料１の両側に電極２が配置されている。電極２は、必要に応じ、圧電材料１の全面にわたり配置されてもよいし、有機圧電材料１の一部分に配置されてもよい。有機圧電材料１は、主鎖に、π共役系ラジカルカチオン構造を有する高分子化合物であり、鎖状に繰り返し構造単位を有する重合体であって、繰り返し構造単位として、２つ以上の二重結合が単結合を介してつながったπ共役系骨格からなるπ共役系ラジカルカチオン構造を有する。この骨格を形成する１つ以上の原子の非共有電子対から電子を各１つ除去することにより不対電子、つまりラジカルカチオンができる。 （もっと読む）

【課題】超音波プローブを安全に且つ簡易な構成を用いて被験者に押し当てられるようにする。
【解決手段】作動装置１は、枠部材２の中央に円柱状の超音波プローブ１０を配置し、超音波プローブ１０の上端部１０ｂ側の外表面１０ａにおける第一周囲部１１aと枠部材２を、計３本の傾斜アクチュエータ２１〜２３で連結すると共に、下端部１０ｃ側の外表面１０ａにおける第二周囲部１１ｂと枠部材２を、計３本の水平アクチュエータ３１〜３３で連結する。作動装置１は、各アクチュエータ２１〜２３、３１〜３３を適宜駆動することで、超音波プローブ１０の姿勢を傾けること、超音波プローブ１０を被験者に押し当てることができる。各アクチュエータ２１等は、物理的な作動限界があるため、超音波プローブ１０を過度に移動させることがなく、被験者に対して十分な安全性を確保できる。 （もっと読む）

流体の少なくとも１つの物質を検出するための装置であって、該装置は圧電音響薄膜共振器を有し、該圧電音響薄膜共振器は、少なくとも１つの圧電層と、該圧電層に配置された１つの電極層と、前記圧電層に配置された少なくとも１つの別の電極層と、流体の物質を吸着するための少なくとも１つの吸着面とを備えており、前記圧電層と電極層と吸着面は、前記電極層を電気制御することによって励振交流電場が圧電層に結合されるように互いに構成および配置されており、前記薄膜共振器は、前記圧電層に結合された励振交流電場に基づき、共振周波数ｆ_Ｒを有する共振振動に対して励振可能であり、前記共振周波数ｆ_Ｒは、前記吸着面にて吸着される物質の量に依存している、装置において、少なくとも１つの前記電極層の、前記圧電層がある側とは反対の側に直接、電極層を電気絶縁するための少なくとも１つの電気的な絶縁層が配置されていることを特徴とする。
（もっと読む）

【課題】安価な多重ツイスト音響アレイおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】多重ツイストアレイ（１２）または回転アレイが提供される。例えば形状記憶合金（８６）により、エレメント（２４）の多重列を平坦なサブストレート上に作製することができる。合金（８６）の記憶は、異なる列を異なるやり方でツイストするためにアクティベートされる。ここでは２つの隣接する平行なアレイ（１２）が反対方向に回転される。所定のツイストに沿って異なるアパーチャを選択することにより、アパーチャのエレメント（２４）の方向が異なるので異なる平面が走査される。異なる回転アレイ（１２）上で異なるアパーチャを選択することにより、大容積（４４，４８）を走査することができる。 （もっと読む）

【課題】所望の箇所に、特性を劣化させることなく反応物質を形成することができる弾性波センサの製造方法を提供する。
【解決手段】（ａ）表面２１に電極部２２，２４が形成された圧電基板２０の表面全体にブロッキング層３１を形成するブロッキング層形成工程と、（ｂ）圧電基板２０の所望の個所に形成されたブロッキング層３１のみを物理的方法で取り除くブロッキング層除去工程と、（ｃ）所望の個所に反応物質２４を形成する反応物質形成工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の外形に沿って変形可能な、アレイ圧電振動素子を用いた超音波プローブ素子を提供する。
【解決手段】本発明の超音波プローブ素子１は、超音波を発振する高分子圧電材料からなる第１のフィルム１５と、第１のフィルム１５に共振する第２のフィルム１９と、第１のフィルム１５にアレイ状に配置され、超音波を発振させ、検査対象物２から反射された超音波を受信するための複数のシグナル電極１３と、第１のフィルム１５と第２のフィルム１９に挟まれたグランド電極１６，１８と、これらを搭載し、弾性的に屈曲可能な基板１１とを備え、各シグナル電極１３で画成された領域の第１のフィルム１５、第２のフィルム１９、グランド電極１６，１８及び当該シグナル電極１３により圧電振動素子１２が構成され、基板１１に圧電振動素子１２がアレイ状に搭載されている。 （もっと読む）

【課題】容量検出型超音波トランスデューサ（ＣＭＵＴ）において、高送信音圧と高受信感度とを実現することのできる技術を提供する。
【解決手段】上部電極７の中央部分に、例えば直径が１０μｍ程度の開口部７ａを形成する。超音波トランスデューサの駆動時に、上面から見て、上部電極７の下面を覆う第２絶縁膜の下面と、下部電極３の上面を覆う第１絶縁膜の上面とが接触する接触領域１４を内包するように開口部７ａを設けることにより、接触領域１４において、第１および第２絶縁膜が上部電極７と下部電極３とによって挟まれない構造とする。 （もっと読む）

圧電音響共振器は少なくとも１つの圧電層と第１の電極と少なくとも１つの第２の電極とを有しており、各電極は電気的な駆動により圧電音響共振器が所定の共振周波数で共振するように配置されており、基板表面は基板と圧電音響共振器とを音響的に分離するために基板に組み込まれた音響鏡から形成されている。本発明によれば、評価装置と電極のうち少なくとも１つとが電気導体路を介して電気的に接続されており、電気導体路は音響鏡の開口部を通っている。音響鏡は音響インピーダンスのそれぞれ異なるλ／４厚さの層を備えたブラッグリフレクタを含む。最上部の層は二酸化ケイ素から成り、導通路と導体層とを電気的に絶縁する開口部内の絶縁層として機能する。なお、本発明の装置は液体中の物質を検出する検出装置の物理的トランスデューサ（バイオセンサ）として用いられる。
（もっと読む）

【課題】静電容量型トランスデューサの製造における接合界面での接合不良を低減することができる静電容量型トランスデューサの製造方法、及び静電容量型トランスデューサを提供する。
【解決手段】静電容量型トランスデューサの製造方法は、基板101と、薄膜状のメンブレン部を備えるメンブレン部材108とを接合し、基板とメンブレン部との間に封止されたキャビティ104を形成する。基板とメンブレン部材との接合界面から外部へ貫通するガス放出通路105を設けた状態で、基板とメンブレン部材とを接合してキャビティ104を形成する。接合部から外部に通じる通路を設けた状態で、基板とメンブレン部材とを接合するので、製造時に発生するガスが良好に外部に放出される。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ安価な構成で実現でき、高調波成分に係る信号を効率よく抽出することができ、微視欠陥を高精度に計測できる超音波探触子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】超音波探触子１０は、両面に電極形成用金属膜１４，１５を有する超音波発振子１１と、音響レンズ１２と、超音波発振子と音響レンズの間に設けられる金属箔１３とからなり、超音波発振子と音響レンズは金属箔を介して相互に圧接されて接合されている。電極形成用金属膜１４，１５は銀（Ａｕ）／クロム（Ｃｒ）膜であり、金属箔１３の材質は白金（Ｐｔ）またはタングステン（Ｗ）である。 （もっと読む）

【課題】圧電素子と導電性ケースとが流動性材料を用いて装着され、冷却あるいは加熱時でも、非常に低いノイズ特性を有するアコースティック・エミッション・センサ、冷却装置およびアコースティック・エミッション・センサの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電体を一対の電極で挟んで形成された圧電素子を備え、出力端子を有する導電性ケースと、前記圧電素子とが流動性材料を用いて装着されている。 （もっと読む）

【課題】圧電体から引き出される個別配線が千鳥配置となる超音波探触子において、個別配線を接着する際に導電性接着剤がはみ出して積層型圧電素子の側面電極との間に生じる短絡を防止する。
【解決手段】各々の積層型圧電素子が、複数の圧電体層と内部電極とが積層された積層構造体と、積層構造体の両端に形成された第１及び第２の平面電極と、積層構造体の第１及び第２の側面上に形成された第１及び第２の側面電極と、積層構造体の第２の側面側に形成された絶縁膜と、積層構造体の一方の端において、導電性接着材料を用いて第１の平面電極に接着された配線部材とを含み、第１の積層型圧電素子において、配線部材が積層構造体の第２の側面側に設けられ、絶縁膜が第２の側面電極と導電性接着材料とを電気的に分離し、第２の積層型圧電素子において、配線部材が積層構造体の第１の側面側に設けられている。 （もっと読む）

【課題】圧電性単結晶の基材を使用しても基材の円環状表面領域を周回する弾性表面波を指数関数的に減衰出来て周回速度も一定に保て、従来に比べ球状弾性表面波素子を利用した装置の動作精度をさらに向上出来る球状弾性表面波素子を提供することである。
【解決手段】球状弾性表面波素子１１は、圧電性単結晶基材１３の球面の一部で形成され最大径の外周線を含み円環状に延出している表面領域に弾性表面波を励起し上記表面領域の延出方向に周回させる電気音響変換素子１５の中心が、上記基材の上記表面領域において上記基材のＺ軸と直交する平面と上記球面との交線と異なる位置に配置されるか、又は上記交線上にあって弾性表面波の音速が最も高い位置に配置されることで、上記表面領域を多重周回する弾性表面波の強度の減衰が指数関数的な減衰と一致することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】超音波受信センサとしてダイヤフラムを利用していながら、コンパクトかつ高解像度の超音波センサを提供すること。
【解決手段】１個の圧電素子からなる超音波送信センサと光ダイヤフラム構造を持つＮ（Ｎ＞１の整数）個の、測定対象物からの反射波受信センサから成る超音波センサ要素であって、反射波によるダイヤフラムの振動を、それぞれのダイヤフラムに対応して設けられた光ファイバを介して伝送されたレーザ光によって検知するように構成された超音波センサ要素を、同一平面上にマトリクス状に配置して構成された超音波センサ。 （もっと読む）