【課題】積層圧電素子を有するチャンネルを微細ピッチで精度良く配列し、優れた超音波指向特性を有する２次元アレイ超音波プローブを提供する。
【解決手段】スペースをあけて２次元方向に配列され、圧電体に複数の第１、第２の電極をその圧電体の厚さ方向に交互にかつ各第１電極、各第２電極が前記圧電体の一方の配列方向に沿う対向する２つの側面にそれぞれ露出するように配置して構成した積層圧電素子と、この積層圧電素子上に形成した音響整合層とを有する複数のチャンネル；各チャンネルの積層圧電素子が設置されたバッキング部材；各チャンネルの積層圧電素子における圧電体の両面からバッキング部材まで延出して形成された信号側電極、アース側電極；信号側電極、アース側電極に前記バッキング部材に位置する部分でそれぞれ接続された信号側印刷配線板、アース側印刷配線板；前記各チャンネル間のスペースにそれぞれ埋め込まれた充填部材を具備する。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換による圧電素子の熱を十分に伝熱して放熱し、圧電素子の温度上昇を抑制した超音波探触子を提供する。
【解決手段】駆動電極３（ａｂ）が両主面に形成された超音波発生用の圧電素子１と、前記圧電素子１の一主面側に形成された音響整合層６と、前記圧電素子１の他主面側に取着されたバッキング材２と、前記バッキング材２の下面に設けられた放熱用基台８と、前記圧電素子１の少なくともいずれかの主面と前記放熱用基台８とを熱的に結合する伝熱用の金属薄板とを備えた超音波探触子において、前記伝熱用の金属薄板は前記圧電素子１の一端側から中央を越えた他端側にまたがって面接合した構成とする。 （もっと読む）

【課題】超音波顕微鏡に使用される超音波トランスデューサの品質を確実に検査することができる超音波顕微鏡用超音波トランスデューサの検査方法を提供すること。
【解決手段】本発明の検査装置１は、顕微鏡本体３、対物レボルバ４、Ｘ−Ｙステージ５、パソコン６を備える。対物レボルバ４には、対物レンズ１２及び超音波プローブ１３が螺着される。対物レンズ１２を用いて参照板７の光学像データが取得され、超音波プローブ１３の超音波トランスデューサ１４を用いて参照板７の超音波像データが取得される。光学像データと超音波像データとに基づいて、超音波トランスデューサ１４から照射された超音波Ｓ_ｏの焦点域におけるビームスポット形状が求められ、ビームスポット形状の歪曲度に基づいて、超音波トランスデューサ１４の先端部形状の良否が判定される。 （もっと読む）

【課題】超音波送受信面の面積が異なる複数種類の超音波トランスデューサが配置されている超音波トランスデューサアレイにおいて、それらの超音波トランスデューサの間における電気インピーダンスを揃える。
【解決手段】超音波送受信面の面積が互いに異なっていると共に、全体の厚さが互いに実質的に等しい少なくとも２種類の複数の超音波トランスデューサが配置されている超音波トランスデューサアレイであって、第１の超音波トランスデューサと、層数が上記第１の超音波トランスデューサの層数よりも多く、且つ、超音波送受信面の面積が第１の超音波トランスデューサの超音波送受信面の面積よりも小さい第２の超音波トランスデューサとを含む。 （もっと読む）

【課題】複数の配線パターンを有するフレキシブルプリント基板をカットすることにより、複数の配線パターンの間隔が所望の間隔となるフレキシブルプリント基板を提供する。
【解決手段】電気絶縁性のベースフィルム２０の表面に複数の配線パターン３０が延在するように形成されており、複数の配線パターン３０それぞれは、互いの間隔がベースフィルム２０の延在する方向に沿って狭まるように形成されている部分を含むように形成されている。 （もっと読む）

【課題】音響整合性能に優れるとともに音響ロスが小さく、かつ製造上の歩留りにも優れる音響整合層およびその製造方法を提供する。
【解決手段】第１の材料からなり複数の３次元凸パターンを有する第１の層と、第１の材料より音響インピーダンスが小さい第２の材料からなる第２の層とを少なくとも有する音響整合層であって、第１の層の表面に、該表面を底面として該３次元凸パターンが設けられていることにより、３次元凸パターンと、表面のうち３次元凸パターンが形成されない部位とから接触面が形成され、３次元凸パターンの底面に平行な断面における断面積が、底面からの距離が大きくなるに従い連続的または段階的に小さくされており、第１の層は接触面において第２の層と接し、かつ、第１の層および第２の層は、互いに他の層を貫通しないように形成されてなる音響整合層に関する。 （もっと読む）

【課題】異方性を示す方向を精度良く決定することができ、特定の好適な位置に薄膜構造を形成して高精度な球状弾性表面波素子を作成することができる異方性球状材料の方向測定方法、異方性球状材料の方向測定装置および球状弾性表面波素子の製造方法を提供する。
【解決手段】弾性表面波制御手段１２が、マニピュレータ１１ｂに保持された球状材料１の表面の所定の位置で、軸に垂直な平面上の大円に沿って伝搬する弾性表面波を発生可能である。弾性表面波制御手段１２は、所定の位置における大円に沿って周回した弾性表面波の所定の物理量を測定可能である。マニピュレータ１１ｂにより、保持した球状材料１に対し、その周囲で大円に沿って弾性表面波制御手段１２を相対的に回転させ、互いに異なる複数の回転角ごとに弾性表面波の発生および物理量の測定を繰り返し、各回転角ごとに測定された物理量に基づいて、異方性を示す方向を決定する。 （もっと読む）

【課題】位置ズレを防止することができる曲面貼着方法、および、超音波画像の画質劣化を防止することができる超音波プローブを提供することを目的とする。
【解決手段】超音波プローブの先端は、曲面形状を有する台座１１の曲面上に、複数の超音波振動子１２を保持した可撓性シート２３が貼着されてなる。台座１１の曲面および前記可撓性シートの貼着面に相対応する凹凸形状（凹凸面１１ａ，２３ａ）を設け、可撓性シート２３を台座１１に貼着させる際に、凹凸面１１ａ，２３ａを互いに嵌合させることで、可撓性シート２３と台座１１との位置決めを行う。また、凹凸面２３ａの溝２３ｂは、可撓性シート２３の湾曲方向に沿って配設された超音波振動子１２の真下ではなく、それらの間に位置するように形成されている。超音波振動子１２は、可撓性シート２３と台座１１との貼着の際に位置ズレが生じるおそれがなく、超音波画像の画質劣化を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】振動膜の振動により隣接する振動子相互間に生じる干渉を抑制する。
【解決手段】超音波探触子２を、超音波と電気信号を相互に変換する振動子１２を複数配列して形成し、振動子１２は、基板１５と、基板１５上に設けられた複数の振動要素１６で構成する。そして、振動要素１６は、基板１５上に設けられた振動膜２０と、振動膜２０と基板１５との間に空間２１を形成して振動膜２０を支持する支持部２２で構成し、支持部２２の内部に、振動膜２０と基板１５との間で伝播する超音波を抑制する低音響インピダンス部２５を設ける。 （もっと読む）

【課題】シリコン試料の表面に、適正化を図った薄膜振動子を形成することにより、シリコンウェーハ中の原子空孔濃度を、その濃度を高める等の加速処理を行うことなく、定量的に評価することができる、ウェーハ中に存在する原子空孔の定量評価装置等を提供する。
【解決手段】シリコンウェーハから所定の部位を切り出したシリコン試料５に対し外部磁場を印加する磁力発生手段２と、シリコン試料５を50Ｋ以下の温度域に冷却・制御可能な温度制御手段３と、シリコン試料５の表面に対し超音波パルスを発振し、発振させた超音波パルスをシリコン試料５中を伝播させ、伝播した超音波パルスの音速変化を検出する超音波発振・検出手段４とを有し、シリコン試料５の表面に、前記温度域でシリコン試料５の膨張に追随できる物性をもち、かつＣ軸が所定の方向に揃った薄膜振動子８を直接形成してなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被検査物の音響インピーダンスを迅速に測定することができる音響インピーダンス測定装置を提供すること。
【解決手段】音響インピーダンス測定装置１において、超音波振動子１３は超音波伝達体１２を介して被検査物１６と対向配置されており、超音波振動子１３の振動面１４での反射作用により被検査物１６の表面にて超音波が多次的に反射される。それらの反射波のうちの一次反射波及び二次反射波の信号強度が検出される。各反射波の信号強度、超音波伝達体１２の固有音響インピーダンス及び超音波振動子１３の固有音響インピーダンスに基づいて、被検査物１６の音響インピーダンスが算出される。 （もっと読む）

【課題】送受信時の反射波によるノイズを低減しつつ、温度変化によるシリコン基板の損傷を防止することができ、送受信性能及び構造信頼性に優れた超音波探触子を提供すること。
【解決手段】超音波探触子２は、シリコン基板２１及び超音波送受信素子３を有する第１基板２０と、第１基板２０の上面に設置された音響レンズ１１と、第１基板２０の下方に設置されたダンピング層４１とを備え、さらに、第１基板２０の下面とダンピング層４１の上面との間に第２基板３１が設置されている。この第２基板３１を、第１基板２０のシリコン基板２１とほぼ同じ線膨張係数及び音響インピーダンスを有する材料で形成する。 （もっと読む）

【課題】圧電体をプリント基板に実装することなく、圧電体からの電極リードの引き出しが容易な超音波トランスデューサを提供すること。
【解決手段】音響整合層１２、圧電体１６、並びに、バッキング材２０が順に積層されてなる板状体（直方体部材）１０により構成され、圧電体は積層方向の表裏の一方に第１の電極及び他方に第２の電極を有し、板状体の積層方向に平行な面に、第１の電極と接続され第１の電極からバッキング材に亘り形成された金属薄膜による第１の電極リード１７と、第２の電極と接続され第２の電極からバッキング材に亘り形成された金属薄膜による第２の電極リードとを有すること。 （もっと読む）

【課題】複雑な曲面形状を有する検査対象物の内部検査を効率よく、非破壊で正確に行なうことができる３次元超音波検査装置を提供する。
【解決手段】マトリクス状またはリニア状一列に配設したアレイ圧電振動子２１を有する超音波トランスジューサ１１と、圧電振動子２１ｉから発振される超音波を遅延材２２を介して検査対象物１４に入射させ、その反射エコーの電気信号を検出する信号検出回路１５と、検査対象物１４の内部を予め区画された３次元画像化領域内のメッシュに対応させて３次元画像化データＩを生成する信号処理部１６と、この３次元画像データＩを、メッシュ化された検査対象物１４の３次元座標に応じて表示する表示処理装置１８とを備え、前記超音波トランスジューサ１１は、検査対象物１４の表面形状に沿うように変形可能な柔軟性を有する。 （もっと読む）

【課題】相互接続の複雑さ及び製作コストを低減させたトランスジューサアセンブリを提供する。
【解決手段】相互接続アセンブリを提示する。本アセンブリは、間隔をとった関係で配置した、その各々が複数の導電性トレース（６２）をその上に配置させて備える複数の相互接続層（６０）を含んだ相互接続構造（７０）を含む。さらに本アセンブリは、相互接続構造（７０）の近傍に配置させた再分布層（７６）を含んでおり、この再分布層（７６）はトランスジューサアレイ上の１つまたは複数のトランスジューサ素子に対する相互接続構造（７０）の結合を容易にするように構成させている。 （もっと読む）

【課題】圧電性基板上に抗体（又は抗原）溶液を導入する際に、非電極部に不安定な層が形成されるのが抑止され、基本的に電極部だけに抗体（又は抗原）層が形成された弾性波センサ及びその製造方法を実現する。
【解決手段】まず、圧電性基板１１の表面上に金属電極１２ａ，１２ｂを形成する。次に、圧電性基板１１の表面上に抗体溶液を導入する前処理として、圧電性基板１１上において金属電極１２ａ，１２ｂが形成されていない非電極部の表面上の全体又は一部に、抗体（又は抗原）溶液に対してブロッキング作用を有するブロック層１４を形成する。そして、圧電性基板１１の表面上に抗体（又は抗原）溶液を導入して抗体層１３ａ，１３ｂを形成する。このとき、ブロック層１４のブロッキング作用によって、金属電極の表面上にだけ抗体層１４が形成される。 （もっと読む）

【課題】球状弾性表面波素子の表面に形成する感応膜形成プロセスにおいて、複数の周回経路の表面に選択的に感応膜を形成することで、独立して働く多機能素子を製造する方法を提供する。
【解決手段】弾性表面波が周回可能な円環状経路を複数有し、各経路に独自に受信電極を有する球形状表面を有する３次元基材の表面に、前記弾性表面波を励起検出する電気音響変換素子を有し、環境変化に従って伝搬状態が変化する感応膜を有する球状弾性表面波素子であって、経路毎に感応膜のパターンが異なっていることを特徴とする球状弾性表面波素子を提供するものである。 （もっと読む）

【課題】 クロストークや超音波ビームの乱れがない超音波振動子を提供する。
【解決手段】 超音波を送受する超音波振動子エレメント２７が複数配列され、音響整合層２４が積層している超音波振動子において、隣接する超音波振動子エレメント２７間の溝２６の長手方向両側であって振動素子２３と接触しない位置に接着剤（２８）を充填し、溝２６に充填された接着剤（２８）と振動素子２３との間に振動減衰材を充填することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】外的作用による被処理物の粘弾性特性の変化に応じて最適な処理を実行するプロセス装置を提供する。
【解決手段】センサ部３０は、遅延部材３２と密着して配置され、測定制御部１からの放射指令に応じて、遅延部材３２を介して、混練容器４０の内部へ入射音波を放射する。そして、センサ部３０は、入射音波が被処理物４８と遅延部材３２との境界において反射されて生じる反射音波を受信し、その時間波形を測定制御部１へ出力する。測定制御部１は、センサ部３０において受信される反射音波の時間波形に基づいて、被処理物４８の粘弾性特性を測定する。さらに、測定制御部１は、その測定した被処理物４８の粘弾性特性に基づいて、モータ４４へ与える運転指令を制御する。 （もっと読む）

【課題】構造体の強度を低下させることがなく、かつ、非破壊検査を効率よく行える圧電ファイバおよびそれを用いた非破壊検査方法を提供する。
【解決手段】導電性があり線状の金属コア１を芯材とし、その周囲にセラミックス圧電材料２を被覆して外層材とした棒状の圧電ファイバＡを、構造体Ｓに取付け、圧電ファイバＡから、超音波振動を面状で発生させる。２本の圧電ファイバＡ，Ａ´を、超音波の発振用および受振用として用いると、四角形の領域で探傷できる。また、金属コア１が強度部材として機能するので、構造体Ｓに埋め込んでも構造体Ｓの強度を低下させない。 （もっと読む）