【課題】解析対象試料を破壊又は切断することなく、また、解析対象試料に非接触で、解析対象試料の内部構造を精度良く解析する解析装置を提供する。
【解決手段】半導体装置の解析装置は、解析対象試料となる半導体基板を水平に保持するステージ2と、解析対象試料に対して出射超音波の周波数を可変に発振する電磁超音波送信部4と、電磁超音波送信部4から発振されて解析対象試料から反射されてきた反射超音波を受信する電磁超音波受信部4と、ステージ2及び電磁超音波送受信部4のうちの少なくとも一方を水平方向に移動可能に制御すると共に該少なくとも一方の水平方向の位置情報を取得する位置制御部1bとを備える。そして、出射超音波と解析対象試料の非解析物質との共鳴により振幅が大きくなった反射超音波の周波数と位置情報から得られる解析位置情報とに基づいて解析対象試料を解析する。 （もっと読む）