本発明の方法は、走査データを生成するために、試験対象デバイス（１７０）の抜去後に試験ソケット（１２０）を走査するステップを有する。前記走査データが基準データと比較される。前記比較に基づいて前記試験ソケット（１２０）内にピン（２１０）の少なくとも一部が存在することが検出される。試験システム（１００）は、試験ソケット（１２０）、走査装置（１４０）および制御ユニット（１５０）を有する。前記試験ソケット（１２０）は、試験対象デバイス（１７０）を受容するように動作可能である。前記走査装置（１４０）は、走査データを生成するために、試験対象デバイス（１７０）の抜去後に、前記試験ソケット（１２０）を走査するように動作可能である。前記制御ユニット（１５０）は、前記走査データを基準データと比較し、前記比較に基づいて前記試験ソケット（１２０）内にピン（２１０）の少なくとも一部が存在することを検出するように動作可能である。
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【課題】物品の外観に生じた様々な欠陥を漏れなく、精度良く検査することができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１０には、透過型暗視野照明２６、反射型暗視野照明２７、透過型明視野照明２８、反射型明視野照明２９の４種の照明が、ＣＣＤエリアセンサ２３と検査するレンズ１６との位置関係を変えずに、それぞれ切り替え可能に設けられる。外観検査装置１０は、４種の照明を切り替えてレンズ１６を撮影し、各々画像を用いて、レンズ１６の表面や内部に生じた欠陥を漏れなく検出し、レンズ１６の良，不良，再検査の何れかに分類する。再検査に分類されたレンズ１６の４種類の画像は、容易に精度良く比較され、レンズ１６の欠陥の有無や程度が精度良く検査される。 （もっと読む）

【課題】ワークの電気的特性を精度良く測定することができ、また、プローブの調整を容易に行うことができ、さらに、ワークの外観の検査を行う際にワークに対して投光された照明により電極にハレーションが起きることを抑止することができ、このためワークの外観検査を確実に行うことができるワーク測定検査システムおよびワーク測定検査方法を提供する。
【解決手段】カバー機構６に光透過性部材７が設けられている。ワークＷの電気的特性を測定する際に、プローブ１３ａ、１３ｂを光透過性部材７に向かって移動させてこのプローブ１３ａ、１３ｂに載ったワークＷを光透過性部材７の下面７ａに当接させ、当該プローブ１３ａ、１３ｂを介して測定器２１によって光透過性部材７の下面７ａに当接しているワークＷの電気的特性を測定する。また、光透過性部材７の下面７ａが粗面となっている。 （もっと読む）

【課題】本発明は，照明条件を工夫して１枚のカラー画像を処理することによって撮像時間を短くし，予め正常な部品の画像を登録する必要がなく，部品即ち対象物の表面の欠陥を検出することができ，部品マークの影響を受けずに部品の欠陥を判別できる。
【解決手段】この対象物表面の欠陥検査方法は，カメラとしてカラーカメラを用い，異なる照明手段によって照らした対象物のカラー画像から部品マークとマーク以外の領域，及び欠陥部の領域の濃淡値に関する２次元的分布から，欠陥部のみの領域を判別する。これによって部品マークの字体の変動等に影響されず欠陥部の判定が可能になる。 （もっと読む）

【課題】自動式光学検査（AOI）の為の改良されたシステムおよび方法、更に、２次元センサを採用する改良された画像化技術および装置を提供する。
【解決手段】非連続の照明を提供する光源と、検査すべき対象物の複数の少なくとも部分的に重なり合う二次元画像フレームを、あるフレーム速度で取得するように動作する二次元の光センサアレイと、前記二次元画像フレームを受信し、検査すべき前記対象物の表現を生成するために重なり合った部分を結合するように、前記表現の検査に基づいて検査すべき前記対象物上の欠陥の報告を提供するよう動作する欠陥分析器と、を備える検査システムであって、前記非連続の照明と、前記フレーム速度とが、概ね同期している、検査システム。 （もっと読む）

【課題】撮像画像を処理する画像処理装置において、画像検査に不慣れなユーザでも容易に迅速に検査設定できるようにする。
【解決手段】画像処理装置は、複数の検査プログラムが格納された記憶部と、ユーザ操作で所望の検査設定を行う検査設定部と、装置全体を制御する制御部とを備え、検査設定部は予め複数の設定項目を含むデータテーブルが設けられている。検査設定において、ユーザは検査目的の項目を選択する第１の決定ステップ（Ｓ２１１）と、対象物の画像の特徴を選択する第２の決定ステップ（Ｓ２１２）と、検査基準の項目を選択する第３の決定ステップ（Ｓ２１３、Ｓ２１５）とにより、各設定項目を決定すると、制御部はユーザの最終設定項目の検査基準に適合する検査プログラムを自動的に設定する（Ｓ２１４、Ｓ２１６）。これにより、検査プログラムの選定を直接行わなくてよいので、不慣れなユーザでも容易に迅速に検査設定することができる。 （もっと読む）

【課題】略直方体形状の検査対象物の側面のみならず稜部についても精度よく外観を検査する。
【解決手段】外観検査装置１０は、略直方体形状の素体１の外観検査を行う。外観検査装置１０は、第２回転テーブルＢ１０と、側面撮像用第１カメラＢ１１と、稜部撮像用カメラＢ１２とを備える。第２回転テーブルＢ１０は、素体１の側面を吸着して素体１を保持する吸着ノズルＢ１０ｅを有する。側面撮像用第１カメラＢ１１は、吸着ノズルＢ１０ｅによって保持されていない素体１の側面を撮像する。稜部撮像用カメラＢ１２は、吸着ノズルＢ１０ｅによって保持されていない側面をその側面と隣り合うと共に互いに対向する一対の側面とそれぞれ連結させる一対の稜部を撮像する。第２回転テーブルＢ１０は、素体１の姿勢を維持したまま、側面撮像用第１カメラＢ１１から稜部撮像用カメラＢ１２へと素体１を搬送する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の注目点の数が多くても、それより遥かに少ない合理的な数のランダムな注目点を選定して、測定画像とそのレファレンス画像とを位置合せする。
【解決手段】レファレンス画像におけるＭ個の注目体の分布範囲における第１の重心位置から最も遠距離にある１番目の注目体の位置をＰ１として、１番目から「ｋ−１」番目の各位置より最も遠距離の位置をＰｋとして、位置Ｐｋをｋ＝１からＮ（整数、Ｎ≪Ｍ）まで求められた各位置Ｐ１，・・・ＰＮ及び前記第１の重心位置を記憶する記憶手段４と、測定画像における第２の重心を求める重心位置算出手段５ａと、第１の重心位置と第２の重心位置を同じ位置にして双方の画像を重ねる合成手段５ｂと、重ねられたレファレンス画像の各位置Ｐ１、Ｐ２、・・ＰＮとそれらの各位置に対応する測定画像の各位置Ｑ１、Ｑ２、・・・ＱＮが重なるように回転させる回転角算出手段５ｃと、を備えた。 （もっと読む）

【課題】塗布検査条件を容易に設定することができる塗布検査装置及び塗布検査条件の設定方法の提供。
【解決手段】塗布検査装置にハードウェア又はソフトウェアとして、ある特定の塗布条件と設計情報において実際に塗布を行ったときの塗布形状を認識し特徴を計測し、塗布状態及びそのばらつき、塗布条件を１つ変化させたときの塗布状態の変化についての相関データを作成する相関データ作成手段１ａと、塗布条件と設計情報とを取得し、相関データに基づいて、目標とする塗布形状が得られる塗布条件を関数近似により推定し、推定した塗布条件における特徴のばらつきなどから検査項目ごとの標準的な計測値と合否判定値を求める検査パラメータ生成手段１ｂとを設ける。 （もっと読む）

【課題】ティーチングを行わなくとも、個々の基板に適した検査用ウィンドウを設定し、標準検査データを用いた検査を行えるようにする。
【解決手段】はんだ付け検査機２には、各種部品について、ランドの数および相対位置関係を示す情報を含む標準検査データが登録される。また前工程の部品実装機１から検査対象基板の部品実装データ（各部品の位置および部品種を示すもの）と検査対象基板のはんだ付け前の画像の提供を受ける。つぎに、自装置での撮像により生成したはんだ付け後の基板の画像とはんだ付け前の基板の画像との差画像を生成し、この差画像と部品実装データおよび標準検査データを用いて、各部品に適合するはんだ付け部位を抽出する。さらにこの抽出結果に基づき、はんだ付け後の基板の画像の各はんだ付け部位に検査用ウィンドウを設定し、対応する部品種の標準検査データを用いた検査を実行する。 （もっと読む）

【課題】ダイシング後の半導体チップの検査及び選別を効率よく行う。
【解決手段】エリアカメラ２５は、ダイシング後の半導体チップ１の表面の画像を取得し、画像信号を画像処理／制御装置１００へ出力する。画像処理／制御装置１００は、入力した画像信号から半導体チップ１の表面の欠陥を検出し、検出結果に基づいて半導体チップの合否を判断する。ピックアップユニット１４は、半導体チップ１を取り上げ、トレー搬送ユニット１５に保持された良品用トレー３ａ又は不良品用トレー３ｂに収納する。画像処理／制御装置１００は、半導体チップの合否判断で合格した半導体チップは良品用トレー３ａに収納され、不合格となった半導体チップは不良品用トレー３ｂに収納されるように、ピックアップユニット駆動回路４０の制御を行う。 （もっと読む）

【課題】 ワークを搬送する各種の回転ディスとその駆動手段の安定姿勢が確保され、しかも、ワークの移送路に搬送異常が生じても素早く対応可能なように、ワークの全搬送状態を観察しながら検査することができるようにする。
【解決手段】 上記搬送ライン６に、搬送用回転ディスクＤ１，Ｄ２，Ｄ３が水平に配され、上記ワーク検査部２１に検査用回転ディスク２２が水平に配され、これらの回転ディスクＤ１，Ｄ２，Ｄ３，２２は、駆動軸Ｊ１，Ｊ２，Ｊ３，Ｊ２２が上方に向けられた駆動手段Ｍｄ１，Ｍｄ２，ＭＤ３，Ｍ４と連結されている。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の形成状態を検査する際に、方向性のある不良箇所が存在しても正確にその不良状態を検出することができ、しかも、画像を取得する領域内において均一な光の照射を行うことのできる外観検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象物の平面に斜めから光を照射する照明装置２と、検査対象物の平面からの反射光を受光する受光装置６とを備え、照明装置２から照射された光のうち検査対象物の平面で反射された反射光を受光することによって検査対象物の外観を検査する外観検査装置１において、前記照明装置２に、平面状にＬＥＤ２１を取り付けた発光部２ａと、検査対象物の平面の全部または一部として定義される被検査領域の内側の任意の一点から垂直に伸びる直線を軸として前記発光部２ａもしくは当該検査対象物を回転させる回転機構３とを備える。 （もっと読む）

【課題】外観検査装置のＸＹステージ上に水平にセットした外観検査トレーの上面に設けた各収容凹所内に収容された検査対象物の側面の外観状況を、上方に配置された撮像装置等によって精度よく撮像、観察して検査精度を高めることができるようにした。
【解決手段】少なくとも対向する上面及び下面と、該上面及び下面の各外周縁間を結ぶ側面と、を有した検査対象物５０を収容する第１の収容凹所３を観察面に備えた側面外観検査トレー１であって、第１の収容凹所の内壁には、検査対象物を水平横臥姿勢に対して３０〜９０度の範囲で傾斜、或いは起立させた姿勢にて保持する姿勢制御部１０が配置されている。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成された形状の欠陥を良好な効率で検出する欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】基板上に形成された形状の欠陥を検査する欠陥検査方法であって、前記基板上の分割された複数の領域にそれぞれ形成される所定のパターンに対して、光学式方法で順次１次検査を行って当該複数の領域から２次検査を行う該領域を選択する第１の工程と、前記第１の工程で選択された前記領域に対して、電子線を用いた前記２次検査を行って前記欠陥を検出する第２の工程と、を有することを特徴とする欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】実際のフィレットの形状に適した検査基準データを、自動的に設定する。
【解決手段】部品種毎に、その部品種の部品に発生するフィレット形状を複数のタイプに分類し、タイプ毎にしきい値導出ルールなどの検査基準データが登録された検査基準データベースを作成する。このデータベースの各フィレットタイプには、それぞれフィレット形成前のクリームはんだの高さ範囲が対応づけられる。ティーチングの際には、教示対象の部品に対応するランド毎に、ランドウィンドウを設定するとともに、ＣＡＤデータや部品形状データを用いてランドに塗布されるクリームはんだの高さを算出する。さらに、算出されたはんだ高さに対応するフィレットタイプの検査基準データを検査基準データベースから読み出し、ランドウィンドウの設定情報に対応づけて、検査装置のメモリに登録する。 （もっと読む）

【課題】異なる言語圏に属する複数のユーザーが、それぞれ自分の指定した言語により情報の入力や表示を行えるようにして、検査装置の使い勝手を向上する。
【解決手段】言語指定受付部１０２は、日本語、英語、中国語のいずれかの指定を受け付け、文字入力受付部１０１は、指定言語による文字情報の入力を受け付ける。入力された文字情報は、表示画面作成部１０５の作成したＧＵＩ上に表示されるとともに、翻訳処理部１０８により翻訳される。入力された文字情報や翻訳後の文字情報は、文字情報記憶部１０４の対応する言語用の情報記憶部に格納される。既に入力された文字情報を含むＧＵＩを表示する際には、検索処理部１０７によりその時点での指定言語に対応する情報記憶部から表示対象の情報に対応する文字情報が抽出される。表示画面作成部１０５は、抽出された文字情報を元の文字情報に差し替えたＧＵＩを作成する。 （もっと読む）

【課題】基板上に付着した異物をより確実に除去し、基板の欠陥を正確かつ迅速に特定することができる検査装置を提供する。
【解決手段】本発明にかかる検査装置は、検査対象となる被検査基板１を載置する基板ステージ２と、基板ステージ２と所定間隔を隔てて配置され被検査基板１の欠陥を検出する検出部３と、被検査基板１上にエアーを噴出するエアー噴出手段６と、エアー噴出手段６から噴出されたエアーの拡散を防止する整流板７とを有する。 （もっと読む）

【課題】 カメラをコンピュータ制御して実装部品の検査の簡略化を可能として作業者の負担を軽減するとともに、欠陥を見つけ出す作業精度を向上させることができる実装部品検査装置を提供する。
【解決手段】 カメラを制御して実装基板の個々の部品を撮像するようにパーソナルコンピュータをプログラムし、良品基板の実装部品を撮像して録画メモリに保存させ、検査基板の実装部品をカメラで撮像してモニタに出画（ライブ画像Ｐ２）した際に、保存した良品基板の同一部品の撮像画像を隣接して表示（サンプル画像Ｐ１）させた。同時に撮像している部品情報リストＰ３を表示すると共に、ＯＫ／ＮＧの判定ボタンをモニタ上に設け、個々の部品の判定結果をパーソナルコンピュータに記憶させた。 （もっと読む）

【課題】パーツフィーダ等における搬送中の振動によって、鏡面状の表面を有するワークが搬送路面に対して傾く場合にも、画像の明度変動が少なく安定した判別が行えるワーク姿勢判別装置を提供する。
【解決手段】光源５をハロゲンランプ１０と光拡散板１１により面状の発光部とする。そして、面状発光部（光拡散板１１）の中心部からの光束と、撮像装置４の受光光束の方向が、静止状態のワーク２の表面に対して正反射の関係となるように配置する。そして、搬送中の振動によりワーク２の搬送路面に対する傾きが所定の最大値（角度θ）に達した場合でも、光源５の面状発光部（光拡散板１１）の周辺部からの光束と、撮像装置４の受光光束の方向がワーク２の表面に対して正反射の関係に保てるように、面状発光部（光拡散板１１）の大さを設定する。 （もっと読む）