【課題】様々な環境条件、即ち、温度、環境ガス、荷重、接触材料により、はんだボールの形状がどのように変化するかを容易に検査できるはんだボール検査装置を提供する。
【解決手段】本発明のはんだボール検査装置１００は、対象に光を照射する光源部１１０と、前記対象のイメージを検出するイメージ検出部１２０，１３０と、検出された前記イメージの情報を処理するイメージプロセッサと、光源部１１０とイメージ検出部１２０，１３０との間に装着され、試料を取り付けながら検査を行う試料室１４０と、試料室１４０を駆動させる試料室駆動部１５０とを含む。 （もっと読む）

【課題】 透明な物体の表面に付着した微小な異物、及び透明な物体の表面の微小な欠陥を精度良く検出することができる観察装置を提供する。
【解決手段】 表面観察装置は、光源装置、偏光変換装置、ハーフミラー、レンズ、受光モジュール、回路基板、筐体、処理装置などを備えている。受光モジュールは、偏光フィルタ１５１、マイクロレンズアレイ１５３、イメージセンサなどを有している。そして、偏光フィルタ１５１の＋Ｚ側の面とマイクロレンズアレイ１５３との間隙Ｄｉｎｔは、マイクロレンズアレイ１５３におけるレンズピッチＰｍｌ以下となるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】 不良の太陽電池パネルについて低下した出力電力の推定値を算出する太陽電池アレイの検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】 複数の太陽電池パネル１０を含む太陽電池アレイの検査方法であって、太陽電池アレイに直流電源６を接続して通電し、太陽電池アレイの太陽電池パネル１０の画像を取得し、画像を解析して指標を算出し、指標に対する太陽電池パネル１０の出力特性を用いて太陽電池パネル１０の出力電力の推定値を算出し、算出した推定値に基づいて太陽電池パネル１０を交換すべきか否か判断する。 （もっと読む）

【課題】検査走査終了時にレビューを完了した欠陥の数を増加させることを目的とする。
【解決手段】本発明は、被検査物と検査光学系とを第１方向に相対移動させると同時に、前記検査光学系を用いて前記被検査物を撮像して第１欠陥を検出する第１欠陥検出工程と、前記被検査物と前記検査光学系とを前記第１方向と直交する第２方向に相対移動させると同時に、前記被検査物と前記検査光学系とを前記第１方向と反対方向に相対移動させる移動工程と、レビュー光学系を用いて前記第１欠陥を撮像して第２欠陥を検出する第２欠陥検出工程と、を有し、前記第１欠陥検出工程と同時に前記第２欠陥検出工程を実施し、前記移動工程と同時に前記第２欠陥検出工程を実施することを特徴とする欠陥検出方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】パターン検査装置の製造コストを削減しつつコントラストの高い検査画像を取得する。
【解決手段】パターン検査装置の画像取得部１３は、光照射部１３１、ラインセンサ１３２、角度変更機構、および、検査対象であるウエブ９を搬送する搬送機構を備える。光照射部１３１からは、ウエブ９の薄膜パターンに対して透過性を有する波長の光が出射される。光照射部１３１からの光の照射角θ１およびラインセンサ１３２により撮像が行われる検出角θ２は、常に同じであり、これらの角度は角度変更機構により変更される。パターン検査装置では、予め検査画像のコントラストが高くなる照射角および検出角の設定角度が求められ、照射角および検出角が設定角度とされる。これにより、単一波長の光源を用いてラインセンサ１３２によりコントラストの高い検査画像を取得することができ、パターン検査装置の製造コストも削減することができる。 （もっと読む）

【課題】配置の制約が少なく、かつ照度不足および照度ムラが生じにくい投影装置を提供する。
【解決手段】撮像部の撮像対象物に対して光を投影する投影装置２００であって、放射する光の波長帯が互いに異なる赤色ＬＥＤ２４０Ｒ、緑色ＬＥＤ２４０Ｇおよび青色ＬＥＤ２４０Ｂと、撮像対象物の特性に基づき、各ＬＥＤが放射する光の光量を制御する投影制御部２３０と、複数のＬＥＤから放射される光を、同一の光軸上に導くことにより、撮像対象物に対して光を投影するリレー部２５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 微小ワークを検査し易いように所定間隔に揃えながら高速搬送することが可能であるとともに、ワーク吸着ミスが生じ難い構成の外観検査装置を提供する。
【解決手段】 第１のインデクサ４がフィーダ３によって整列搬送されたワーク２０に背後上方から接近し当該ワークを追い越す際にエア吸着して掬い上げるようにして吸着固定して搬送して直接受け渡す構成とし、ワーク２０をいったん減速あるいは停止させる中継ガイド部材をなくして、ワーク搬送速度を落とさずに、その間隔を狭めることなくワーク２０を受渡しながら外観検査する。 （もっと読む）

【課題】微小な電子部品であっても、その外形を示すエッジを正確に検出することができる基板の外観検査装置および外観検査方法を提供する。
【解決手段】照明パターン選択手段（照明パターン選択部４７）は、複数の方向からの照明光を同時に照射する照明パターン１と、照明パターン１よりも高い輝度で複数の方向からの照明光を別々に照射する照明パターン２と、から照明光照射手段（照明２０）による照明光の照射パターンを選択し、画像取得手段（カメラ１０）は、照明パターン２が選択された場合には、別々に照射された複数の方向別の照明光毎に画像を取得する。このようにして取得した画像には、電子部品の実装面に略平行な面（上面）および実装面に略垂直な面（側面）により形成されるエッジが、電子部品の側面からの拡散光によって電子部品の外形として表され、エッジ検出手段（エッジ検出部４８）はこれらの画像から電子部品の外形を示すエッジを検出する。 （もっと読む）

【課題】圧着端子をより正確に検査することができ、構成の簡単化または検査時間の短縮を図ることのできる圧着端子の検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置４０は、第１検査ユニット４１、第２検査ユニット４２、および第３検査ユニット４３を備える。第１、第２、第３検査ユニット４１，４２，４３は、それぞれ連続端子３０の移動経路から外れた位置に配置された第１、第２、第３投光装置および第１、第２、第３受光装置６１，６２，６３を備える。第１投光装置は、端子３５の長手方向に延びる帯状の第１の光７１を照射する。第２および第３投光装置は、端子３５の長手方向と直交する方向に延びる帯状の第２の光７２を照射する。コンピュータは、第１、第２、第３受光装置６１，６２，６３の各受光量に基づいて、端子３５の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システムを提供する。
【解決手段】回転盤モジュール１、インレットモジュール２、検出モジュール６及び分類モジュール７を備えるマルチチャンネル検出システムを提供する。回転盤モジュールは中空透明回転盤構造１１を含む。中空透明回転盤構造の上表面は、少なくとも２つの環形案内領域を有する。複数の電子素子は、２つの環形案内領域上に順に配列されている。インレットユニット２０は、複数の電子素子を案内するための少なくとも２つのＶ形インレット溝を備える。２つのＶ形インレット溝の内部にある複数の電子素子は、２つのＶ形無振動案内溝によって２つの環形案内領域に順に案内される。検出モジュールにより、それぞれの電子素子の外観を検出し、分類モジュールにより電子素子の分類を行う。 （もっと読む）

【課題】発光素子検査装置およびその検査方法が開示される。
【解決手段】本発明の実施形態に係る発光素子検査装置は光放出面上に蛍光体物質を含む少なくとも１つ以上の発光素子と、可視光線を発光素子に照射する第１照明ユニットと、紫外線を発光素子に照射する第２照明ユニットと、発光素子から反射された可視光線を撮像して少なくとも１つ以上の第１映像データを生成し、発光素子から反射された紫外線を撮像して少なくとも１つ以上の第２映像データを生成する映像撮像ユニットと、第１映像データおよび第２映像データを用いて発光素子の外観および発光特性に対する不良の有無を判断する判断ユニットとを備える。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の表裏を一台のカメラで一度に検査できるようにすること。
【解決手段】外観検査装置１は、カメラ４と、光学系１５とを具備する。検査対象物２０の正面２０ａがカメラ４の視野４ｂに配置される。光学系１５は、検査対象物２０の正面２０ａ及び背面２０ｂをカメラ４が同時に撮影することが可能なように背面２０ｂからの光線１０２の向きを変更する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、チップ部品を装填するためにチップ部品位置決め用の撮像と、チップ部品の側面の割れなどの検査するためにチップ部品位置決め用の撮像とを同一ステーションで同一の撮像装置を行い、スループットの高いテーピング装置及びテーピング方法を提供することである。
【解決手段】
本発明は、キャリアテープの各収納溝内に吸着装填ノズルによりチップ部品を順次装填し、カバーテープで当該収納溝の開口部を閉塞するテーピング装置またはテーピング方法において、前記吸着装填ノズルにより吸着保持された状態のチップ部品の底面と側面を異なる位置で同一の撮像カメラで撮像し、前記側面の撮像結果に基づいて前記側面を検査し、前記底面の撮像結果に基づいて前記チップ部品を前記収納溝に装填する位置決めすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡便な構造で、材料表面の任意の狙った微小領域の電気化学計測と、電極表面を電気化学計測時にその場観察可能な光学顕微鏡観察機能を備えた電気化学計測用微小電極システムを提供する。
【解決手段】電気化学計測と光学顕微鏡観察を同時に行う計測方法において、電極面積が0.0008cm²以下であり、水浸型の対物レンズを配置する液溜部を有し、電極面外周部の被覆が２種類以上の絶縁物の組み合わせで構成されていて、それらの最大厚さが100μm以下である微小電極システム。被覆が粘着テープと硬化性樹脂で構成されている、被覆用粘着テープが幅200μm以下の間隔で対向しており、その間隙に硬化性樹脂が充填されている、あるいは、電極材料表面に粘着テープ貼り付け後の明度L*が60以下であることが望ましい。 （もっと読む）

【課題】分解性及び組立性に優れた外観検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物Ｋを一列に整列して供給する整列供給装置と、供給された被検査物Ｋを搬送する搬送装置２０と、その搬送路上に設定された撮像領域内に達した被検査物Ｋの画像を撮像する第１撮像ユニット４０と、撮像領域と第１撮像ユニットとの間の光学路をつなぐ第１光学ユニット６０と、被検査物Ｋの画像を解析してその良否を判別する画像処理装置と、判別結果にしたがい、被検査物Ｋを良品と不良品とに選別する選別装置とを備える。第１撮像ユニット４０と第１光学ユニット６０とが、底部プレート７を挟んで対峙するようにそれぞれ底部プレート７に着脱自在に接続されている。 （もっと読む）

【課題】物体の表面を撮像して生成される画像に基づいてその表面におけるクラックの有無を判定する表面検査装置を提供すること。
【解決手段】匣鉢の表面を検査する表面検査装置１００は、その匣鉢の表面を撮像して処理対象画像を生成する処理対象画像生成部１０と、その処理対象画像に対して画像処理を施し、その処理対象画像において所定方向に延びる線状オブジェクトを顕在化させた顕在化画像を生成する顕在化画像生成部１１と、その顕在化画像における線状オブジェクトによって形成されるクラック候補の端部位置に基づいてその匣鉢の表面におけるクラックの有無を判定するクラック有無判定部１２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】位相シフト法を用いて３次元計測結果の表示が可能で、また２次元計測が可能な外観検査装置及び印刷半田検査装置を提供することにある。
【解決手段】印刷半田検査装置１は、検査対象物１００に対し斜め上方であって対向する２方向から位相変化光を照射可能な一対の第１照明装置２と、前記検査対象物に対し上方からＲＧＢ光を照射可能な第２照明装置３と、前記検査対象物を白黒画像で撮像可能な撮像装置４と、を備えている。そして、前記検査対象物の同一撮像面に対し前記２方向の位相変化光を照射して撮像し、該撮像の前又は後にて前記検査対象物の同一撮像面に対し前記ＲＧＢ光を順次照射して撮像し、各画像を合算した画像により前記検査対象物の外観を検査する。 （もっと読む）

【課題】 高価な位置検出器を取り付けることなく、シート材端部の観察画像が常に最適状態にある観察装置及び方法、並びに、観察画像を用いた評価結果にばらつきが生じることを防ぐことができる観察評価装置及び方法を提供する。
【解決手段】 連続搬送されるシート材端部を第１及び第２の観察手段を用いて観察評価する装置及び方法において、
第１の観察手段は、シート材の幅方向端部を視野に含み、厚み方向にシート材端部との距離が変更可能な第１の観察手段位置変更機構に取り付けられ、
第２の観察手段は、シート材の厚み方向端部を視野に含み、幅方向にシート材端部との距離が変更可能な第２の観察手段位置変更機構に取り付けられており、
第１及び第２の観察手段での観察情報に基づき、シート材の幅及び厚み方向端部の位置を検出し、第１及び第２の観察手段位置変更機構を制御することを特徴とするシート材端部の観察評価装置及び方法である。 （もっと読む）

【課題】本発明は検査方法に関し、より詳細には基板の検査方法を提供する。
【解決手段】基板を検査するために、まず、基板上に測定領域を設定し、続いて、測定領域に対する基準データ及び測定データを取得する。次に、測定領域内の所定の形状を含むようにブロック単位の複数の特徴ブロックを設定し、特徴ブロックのうちオーバーラップされる特徴ブロックをマージして統合ブロックを設定する。続いて、統合ブロック以外の特徴ブロック及び/または統合ブロックに対応する基準データと測定データとを比較して歪曲量を取得し、歪曲量を補償してターゲット測定領域内の検査領域を設定する。これにより、歪曲を補償した正確な検査領域を設定することができる （もっと読む）

【課題】透明な保護膜で被覆され、回路基板に付着した異物の検出能力を向上することができる異物検出装置を提供すること。
【解決手段】防滴膜２３が塗布された回路基板２０における異物検出装置１００であって、回路基板２０における防滴膜２３で被覆された部位に対して赤色光を照射する赤色ＬＥＤ１２，１３ａ〜１３ｄと、回路基板２０における赤色光が照射された領域を撮像するカメラ１１ａ〜１１ｅと、カメラ１１ａ〜１１ｅから出力された画像データに基づいて回路基板２０からの反射光輝度を測定し、この反射光輝度が所定の値を超えているか否かによって回路基板２０における異物を検出するものであり、反射光輝度が閾値を超えている場合に異物が有ると判定する処理部１０とを備える。 （もっと読む）