説明

Fターム[2G051AA61]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 調査・分析対象 (8,670) | 回路部品(デバイス;チップ) (243)

Fターム[2G051AA61]の下位に属するFターム

Fターム[2G051AA61]に分類される特許

1 - 20 / 196


【課題】様々な環境条件、即ち、温度、環境ガス、荷重、接触材料により、はんだボールの形状がどのように変化するかを容易に検査できるはんだボール検査装置を提供する。
【解決手段】本発明のはんだボール検査装置100は、対象に光を照射する光源部110と、前記対象のイメージを検出するイメージ検出部120,130と、検出された前記イメージの情報を処理するイメージプロセッサと、光源部110とイメージ検出部120,130との間に装着され、試料を取り付けながら検査を行う試料室140と、試料室140を駆動させる試料室駆動部150とを含む。 (もっと読む)


【課題】 不良の太陽電池パネルについて低下した出力電力の推定値を算出する太陽電池アレイの検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】 複数の太陽電池パネル10を含む太陽電池アレイの検査方法であって、太陽電池アレイに直流電源6を接続して通電し、太陽電池アレイの太陽電池パネル10の画像を取得し、画像を解析して指標を算出し、指標に対する太陽電池パネル10の出力特性を用いて太陽電池パネル10の出力電力の推定値を算出し、算出した推定値に基づいて太陽電池パネル10を交換すべきか否か判断する。 (もっと読む)


【課題】 透明な物体の表面に付着した微小な異物、及び透明な物体の表面の微小な欠陥を精度良く検出することができる観察装置を提供する。
【解決手段】 表面観察装置は、光源装置、偏光変換装置、ハーフミラー、レンズ、受光モジュール、回路基板、筐体、処理装置などを備えている。受光モジュールは、偏光フィルタ151、マイクロレンズアレイ153、イメージセンサなどを有している。そして、偏光フィルタ151の+Z側の面とマイクロレンズアレイ153との間隙Dintは、マイクロレンズアレイ153におけるレンズピッチPml以下となるように設定されている。 (もっと読む)


【課題】検査走査終了時にレビューを完了した欠陥の数を増加させることを目的とする。
【解決手段】本発明は、被検査物と検査光学系とを第1方向に相対移動させると同時に、前記検査光学系を用いて前記被検査物を撮像して第1欠陥を検出する第1欠陥検出工程と、前記被検査物と前記検査光学系とを前記第1方向と直交する第2方向に相対移動させると同時に、前記被検査物と前記検査光学系とを前記第1方向と反対方向に相対移動させる移動工程と、レビュー光学系を用いて前記第1欠陥を撮像して第2欠陥を検出する第2欠陥検出工程と、を有し、前記第1欠陥検出工程と同時に前記第2欠陥検出工程を実施し、前記移動工程と同時に前記第2欠陥検出工程を実施することを特徴とする欠陥検出方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】パターン検査装置の製造コストを削減しつつコントラストの高い検査画像を取得する。
【解決手段】パターン検査装置の画像取得部13は、光照射部131、ラインセンサ132、角度変更機構、および、検査対象であるウエブ9を搬送する搬送機構を備える。光照射部131からは、ウエブ9の薄膜パターンに対して透過性を有する波長の光が出射される。光照射部131からの光の照射角θ1およびラインセンサ132により撮像が行われる検出角θ2は、常に同じであり、これらの角度は角度変更機構により変更される。パターン検査装置では、予め検査画像のコントラストが高くなる照射角および検出角の設定角度が求められ、照射角および検出角が設定角度とされる。これにより、単一波長の光源を用いてラインセンサ132によりコントラストの高い検査画像を取得することができ、パターン検査装置の製造コストも削減することができる。 (もっと読む)


【課題】配置の制約が少なく、かつ照度不足および照度ムラが生じにくい投影装置を提供する。
【解決手段】撮像部の撮像対象物に対して光を投影する投影装置200であって、放射する光の波長帯が互いに異なる赤色LED240R、緑色LED240Gおよび青色LED240Bと、撮像対象物の特性に基づき、各LEDが放射する光の光量を制御する投影制御部230と、複数のLEDから放射される光を、同一の光軸上に導くことにより、撮像対象物に対して光を投影するリレー部250とを備える。 (もっと読む)


【課題】 微小ワークを検査し易いように所定間隔に揃えながら高速搬送することが可能であるとともに、ワーク吸着ミスが生じ難い構成の外観検査装置を提供する。
【解決手段】 第1のインデクサ4がフィーダ3によって整列搬送されたワーク20に背後上方から接近し当該ワークを追い越す際にエア吸着して掬い上げるようにして吸着固定して搬送して直接受け渡す構成とし、ワーク20をいったん減速あるいは停止させる中継ガイド部材をなくして、ワーク搬送速度を落とさずに、その間隔を狭めることなくワーク20を受渡しながら外観検査する。 (もっと読む)


【課題】微小な電子部品であっても、その外形を示すエッジを正確に検出することができる基板の外観検査装置および外観検査方法を提供する。
【解決手段】照明パターン選択手段(照明パターン選択部47)は、複数の方向からの照明光を同時に照射する照明パターン1と、照明パターン1よりも高い輝度で複数の方向からの照明光を別々に照射する照明パターン2と、から照明光照射手段(照明20)による照明光の照射パターンを選択し、画像取得手段(カメラ10)は、照明パターン2が選択された場合には、別々に照射された複数の方向別の照明光毎に画像を取得する。このようにして取得した画像には、電子部品の実装面に略平行な面(上面)および実装面に略垂直な面(側面)により形成されるエッジが、電子部品の側面からの拡散光によって電子部品の外形として表され、エッジ検出手段(エッジ検出部48)はこれらの画像から電子部品の外形を示すエッジを検出する。 (もっと読む)


【課題】圧着端子をより正確に検査することができ、構成の簡単化または検査時間の短縮を図ることのできる圧着端子の検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置40は、第1検査ユニット41、第2検査ユニット42、および第3検査ユニット43を備える。第1、第2、第3検査ユニット41,42,43は、それぞれ連続端子30の移動経路から外れた位置に配置された第1、第2、第3投光装置および第1、第2、第3受光装置61,62,63を備える。第1投光装置は、端子35の長手方向に延びる帯状の第1の光71を照射する。第2および第3投光装置は、端子35の長手方向と直交する方向に延びる帯状の第2の光72を照射する。コンピュータは、第1、第2、第3受光装置61,62,63の各受光量に基づいて、端子35の良否を判定する。 (もっと読む)


【課題】複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システムを提供する。
【解決手段】回転盤モジュール1、インレットモジュール2、検出モジュール6及び分類モジュール7を備えるマルチチャンネル検出システムを提供する。回転盤モジュールは中空透明回転盤構造11を含む。中空透明回転盤構造の上表面は、少なくとも2つの環形案内領域を有する。複数の電子素子は、2つの環形案内領域上に順に配列されている。インレットユニット20は、複数の電子素子を案内するための少なくとも2つのV形インレット溝を備える。2つのV形インレット溝の内部にある複数の電子素子は、2つのV形無振動案内溝によって2つの環形案内領域に順に案内される。検出モジュールにより、それぞれの電子素子の外観を検出し、分類モジュールにより電子素子の分類を行う。 (もっと読む)


【課題】発光素子検査装置およびその検査方法が開示される。
【解決手段】本発明の実施形態に係る発光素子検査装置は光放出面上に蛍光体物質を含む少なくとも1つ以上の発光素子と、可視光線を発光素子に照射する第1照明ユニットと、紫外線を発光素子に照射する第2照明ユニットと、発光素子から反射された可視光線を撮像して少なくとも1つ以上の第1映像データを生成し、発光素子から反射された紫外線を撮像して少なくとも1つ以上の第2映像データを生成する映像撮像ユニットと、第1映像データおよび第2映像データを用いて発光素子の外観および発光特性に対する不良の有無を判断する判断ユニットとを備える。 (もっと読む)


【課題】検査対象物の表裏を一台のカメラで一度に検査できるようにすること。
【解決手段】外観検査装置1は、カメラ4と、光学系15とを具備する。検査対象物20の正面20aがカメラ4の視野4bに配置される。光学系15は、検査対象物20の正面20a及び背面20bをカメラ4が同時に撮影することが可能なように背面20bからの光線102の向きを変更する。 (もっと読む)


【課題】
本発明は、チップ部品を装填するためにチップ部品位置決め用の撮像と、チップ部品の側面の割れなどの検査するためにチップ部品位置決め用の撮像とを同一ステーションで同一の撮像装置を行い、スループットの高いテーピング装置及びテーピング方法を提供することである。
【解決手段】
本発明は、キャリアテープの各収納溝内に吸着装填ノズルによりチップ部品を順次装填し、カバーテープで当該収納溝の開口部を閉塞するテーピング装置またはテーピング方法において、前記吸着装填ノズルにより吸着保持された状態のチップ部品の底面と側面を異なる位置で同一の撮像カメラで撮像し、前記側面の撮像結果に基づいて前記側面を検査し、前記底面の撮像結果に基づいて前記チップ部品を前記収納溝に装填する位置決めすることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】簡便な構造で、材料表面の任意の狙った微小領域の電気化学計測と、電極表面を電気化学計測時にその場観察可能な光学顕微鏡観察機能を備えた電気化学計測用微小電極システムを提供する。
【解決手段】電気化学計測と光学顕微鏡観察を同時に行う計測方法において、電極面積が0.0008cm2以下であり、水浸型の対物レンズを配置する液溜部を有し、電極面外周部の被覆が2種類以上の絶縁物の組み合わせで構成されていて、それらの最大厚さが100μm以下である微小電極システム。被覆が粘着テープと硬化性樹脂で構成されている、被覆用粘着テープが幅200μm以下の間隔で対向しており、その間隙に硬化性樹脂が充填されている、あるいは、電極材料表面に粘着テープ貼り付け後の明度L*が60以下であることが望ましい。 (もっと読む)


【課題】分解性及び組立性に優れた外観検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物Kを一列に整列して供給する整列供給装置と、供給された被検査物Kを搬送する搬送装置20と、その搬送路上に設定された撮像領域内に達した被検査物Kの画像を撮像する第1撮像ユニット40と、撮像領域と第1撮像ユニットとの間の光学路をつなぐ第1光学ユニット60と、被検査物Kの画像を解析してその良否を判別する画像処理装置と、判別結果にしたがい、被検査物Kを良品と不良品とに選別する選別装置とを備える。第1撮像ユニット40と第1光学ユニット60とが、底部プレート7を挟んで対峙するようにそれぞれ底部プレート7に着脱自在に接続されている。 (もっと読む)


【課題】物体の表面を撮像して生成される画像に基づいてその表面におけるクラックの有無を判定する表面検査装置を提供すること。
【解決手段】匣鉢の表面を検査する表面検査装置100は、その匣鉢の表面を撮像して処理対象画像を生成する処理対象画像生成部10と、その処理対象画像に対して画像処理を施し、その処理対象画像において所定方向に延びる線状オブジェクトを顕在化させた顕在化画像を生成する顕在化画像生成部11と、その顕在化画像における線状オブジェクトによって形成されるクラック候補の端部位置に基づいてその匣鉢の表面におけるクラックの有無を判定するクラック有無判定部12と、を備える。 (もっと読む)


【課題】 高価な位置検出器を取り付けることなく、シート材端部の観察画像が常に最適状態にある観察装置及び方法、並びに、観察画像を用いた評価結果にばらつきが生じることを防ぐことができる観察評価装置及び方法を提供する。
【解決手段】 連続搬送されるシート材端部を第1及び第2の観察手段を用いて観察評価する装置及び方法において、
第1の観察手段は、シート材の幅方向端部を視野に含み、厚み方向にシート材端部との距離が変更可能な第1の観察手段位置変更機構に取り付けられ、
第2の観察手段は、シート材の厚み方向端部を視野に含み、幅方向にシート材端部との距離が変更可能な第2の観察手段位置変更機構に取り付けられており、
第1及び第2の観察手段での観察情報に基づき、シート材の幅及び厚み方向端部の位置を検出し、第1及び第2の観察手段位置変更機構を制御することを特徴とするシート材端部の観察評価装置及び方法である。 (もっと読む)


【課題】位相シフト法を用いて3次元計測結果の表示が可能で、また2次元計測が可能な外観検査装置及び印刷半田検査装置を提供することにある。
【解決手段】印刷半田検査装置1は、検査対象物100に対し斜め上方であって対向する2方向から位相変化光を照射可能な一対の第1照明装置2と、前記検査対象物に対し上方からRGB光を照射可能な第2照明装置3と、前記検査対象物を白黒画像で撮像可能な撮像装置4と、を備えている。そして、前記検査対象物の同一撮像面に対し前記2方向の位相変化光を照射して撮像し、該撮像の前又は後にて前記検査対象物の同一撮像面に対し前記RGB光を順次照射して撮像し、各画像を合算した画像により前記検査対象物の外観を検査する。 (もっと読む)


【課題】本発明は検査方法に関し、より詳細には基板の検査方法を提供する。
【解決手段】基板を検査するために、まず、基板上に測定領域を設定し、続いて、測定領域に対する基準データ及び測定データを取得する。次に、測定領域内の所定の形状を含むようにブロック単位の複数の特徴ブロックを設定し、特徴ブロックのうちオーバーラップされる特徴ブロックをマージして統合ブロックを設定する。続いて、統合ブロック以外の特徴ブロック及び/または統合ブロックに対応する基準データと測定データとを比較して歪曲量を取得し、歪曲量を補償してターゲット測定領域内の検査領域を設定する。これにより、歪曲を補償した正確な検査領域を設定することができる (もっと読む)


【課題】透明な保護膜で被覆され、回路基板に付着した異物の検出能力を向上することができる異物検出装置を提供すること。
【解決手段】防滴膜23が塗布された回路基板20における異物検出装置100であって、回路基板20における防滴膜23で被覆された部位に対して赤色光を照射する赤色LED12,13a〜13dと、回路基板20における赤色光が照射された領域を撮像するカメラ11a〜11eと、カメラ11a〜11eから出力された画像データに基づいて回路基板20からの反射光輝度を測定し、この反射光輝度が所定の値を超えているか否かによって回路基板20における異物を検出するものであり、反射光輝度が閾値を超えている場合に異物が有ると判定する処理部10とを備える。 (もっと読む)


1 - 20 / 196