【課題】検出系からの検出画像信号を補正することにより、複数の検査装置（機体）間での検査感度の機体差を低減することにある。
【解決手段】被検査対象００１に光束を照射する光源と、被検査対象から反射する反射散乱光を導く光学系１００と、導かれた反射散乱光を電気の検出信号に換える複数の光電セルが配列されている光電イメージセンサ４００と、前記光電イメージセンサを分割した複数の領域ごとに、それぞれに対応する信号補正部、Ａ／Ｄ変換器および画像生成部から構成される検出信号伝送部と、前記検出信号伝送部が出力する部分的な画像を合成する画像を作成する画像合成部と、合成された画像を処理することで被検査対象表面の欠陥あるいは異物の検査を行なう検査装置において、検出信号伝送部は、光電セルからの検出信号を各チャンネル毎に定めた基準検出信号強度の基準目標値に近づけるように補正できる検出信号補正機能を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】コスト削減を図りつつ、被検査基板を正しい搬送姿勢のもとで汚さずに搬送することができるほか、耐久性にも富む基板外観検査装置における基板幅寄せ搬送機構の提供。
【解決手段】被検査基板５１を搬送する一対の無端搬送ベルト１３，１４と、基板搬送面１９を間に挟んで配置される基準側基板ガイド２３と可動側基板ガイド３３とを備え、基準側基板ガイド２３の内側面２４には、前上がりのガイド斜面２６を設け、可動側基板ガイド３３の前部内側面３４ａには、その面高が後部内側面３４ｂの面高より低い段差面３６を設け、該段差面３６には、前傾させて縦列配置した複数個の薄板ばね材３８からなる弾性当接部３７を配設し、該弾性当接部３７を介して基準側基板ガイド側に幅寄せしながら被検査基板５１の向きと位置とを正して検査カメラ４２方向への送り込みを可能とした。 （もっと読む）

【課題】
従来、プリント基板の外観検査装置等で試みられている、位置ずれした被検査基板のずれ補正の前処理を施し、被検査基板画像と基準画像との差分をとって、基板の欠陥検査が行われていた。しかし、その位置ずれ補正の前処理にかなりの時間を要し、検査のタクトタイムを短縮することが困難であった。そのために、位置ずれ補正と画像の差分が迅速に精度よく行われる技術と装置の開発が求められてきた。
【解決手段】
本発明は、画像欠陥の検査のために、基準画像と被検査画像の両者をフーリエ変換して、両者のフーリエ変換強度画像の回転角変化を補正して差分した画像と、前記何れかの画像のフーリエ変換位相画像とで逆フーリエ変換画像を求めて、２画像間の差異を求める方法と装置を提供した。２画像間に位置ずれ、回転ずれがあっても、2画像間の差異が明確に求まり、画像欠陥等の検査を簡単に迅速に行うことができた。 （もっと読む）

【課題】ドライフィルムが積層された基板の蛍光イメージと散乱光イメージ、そして反射光イメージをさらに検出して、露光工程で発生する様々な欠陥を容易に検出できるようにしたパターン欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】光を生成して出射する光源１１と、光源１１から出射される光を基板２０にスキャンするスキャンミラー１４と、基板２０で蛍光された蛍光イメージを検出する蛍光イメージ検出部１７と、基板２０で散乱された散乱光イメージを検出する散乱光イメージ検出部１９と、を含むものである。 （もっと読む）

【課題】被検査物が複雑な形状である場合でも、精度よく欠陥を検出することができる欠陥検出方法及び欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】欠陥検出方法は、撮像工程により被検査物を撮像し、エッジ検出工程により得られた画像データに基づいて、構造パターンの外周形状であるエッジを検出し、ライン検出工程により、エッジの最外周画素の集合であるラインを検出し、構造ライン取得工程によりエッジが境界となる複数の構造パターンに対してそれぞれに接するラインである構造ラインを取得し、エッジ幅取得工程により２つの異なる構造ライン間の距離をエッジ幅として取得し、平均エッジ幅算出工程により同じ構造ライン上の任意の２点を始点及び終点として設定し、始点から終点までの平均エッジ幅を取得する。そして、欠陥検出工程により、平均エッジ幅とエッジ幅とを比較し欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】。
【解決手段】照明装置１００を構成する一対の照明装置１００Ａ、１００Ｂの複数のＬＥＤ１０１が収納溝４Ｂ内のチップ部品Ａに光を拡散板１０２を介して均一に照射して、しかもチップ部品Ａに付された丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢを形成する刻印の深さに応じて、確実に照射光によって前記刻印の端部により影ができるような傾斜した照射光となるように照射して、印字検査カメラ８５が撮像した画像において、丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢとそれ以外の表面部分ＡＣとのコトラストが大きくなって、丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢが黒色に、それ以外の表面部分ＡＣは白色に撮像でき、チップ部品Ａの有無、前記チップ部品の表裏、チップ部品Ａの向きを検査することができる。 （もっと読む）

【課題】口金近くに設置された基板上の異物を検知する異物検知装置が気流等の外乱で検知精度が低下することを防止する。
【解決手段】シート状基板と相対的に移動することにより基板を走査し、基板表面に塗布液を吐出する塗布装置において、塗布液の吐出装置の走査方向上流側に配置され、基板上の異物を検知する検知装置を少なくとも有し、前記検知装置はレーザー光を基板表面と平行に照射する投光装置と、前記投光されたレーザー光を受光する受光装置と、少なくとも前記投光領域直下の空気流れを遮蔽する装置を設ける。 （もっと読む）

【課題】複数の装置から得たデータの管理を効率的に行うことができる検査システムを提供することである。
【解決手段】検査システム１０は、工場で生産される製品を検査する検査装置１１ａ，１１ｂ，１１ｃと、検査装置１１ａ，１１ｂ，１１ｃに通信回線を介して接続される管理サーバ３０とを備える。検査装置１１ａは、装置側検査結果ＤＢ（Ｄａｔａｂａｓｅ：データベース）１４ａを備える。装置側検査結果ＤＢ１４ａは、検査装置１１ａが基板を検査した結果を示すデータである検査結果データを格納する。装置側検査結果ＤＢ１４ａは、キー（Ｋｅｙ）とバリュー（Ｖａｌｕｅ）とによって構成されるキーバリュー（Ｋｅｙ−Ｖａｌｕｅ）型のデータベースである。 （もっと読む）

【課題】半田の撮像画像の欠落を無くすことが可能な印刷半田検査装置を提供することにある。
【解決手段】印刷半田検査装置の撮像素子７０は、走査方向の垂線に対してなす角θが０度を超え９０度未満となるように傾けられ、その撮像領域の長手方向とスリット照明の長手方向が平行となるように照射し走査したとき、そのときの角度を存在率の低いもしくは存在しない長方形や楕円形等の前記半田の回転角度に設定されている。これにより、照射光の長手方向中心軸と、半田の短手方向中心軸を平行にならないようにし、明るさが落ち込む場所が非常に長くなる現象の発生を防ぎ、また、サチュレーション部の欠落画像の補間を可能となる。 （もっと読む）

【課題】照明光を短波長化しなくても、確実に繰り返しピッチの微細化に対応できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１０は、被検物体２０に形成された繰り返しパターンを直線偏光により照明する照明手段１３と、前記直線偏光の入射面の前記表面における方向と前記繰り返しパターンの繰り返し方向とのなす角度を０以外の所定値に設定する設定手段１１と、繰り返しパターンからの正反射光のうち、前記直線偏光の振動面に垂直な偏光成分を抽出する抽出手段３８と、受光手段３９から出力される前記正反射光の光強度に基づいて、前記繰り返しパターンの欠陥を検出する検出手段１５とを備え、前記設定手段は、前記直線偏光の入射面の前記表面における方向と前記繰り返しパターンの繰り返し方向とのなす角度を、前記表面の正常部分からの光強度と前記表面の欠陥部分からの光強度との差が最大となるように設定する。 （もっと読む）

【課題】不良を示す実際の計測値が少ない場合でも、中間検査の判定基準値の適否の判定や判定基準値の適正値を特定する処理を精度良く実施する。
【解決手段】中間検査の対象とした計測値Ｘと最終検査の対象とした計測値Ｙとの相関関係を導出した後に、その相関関係に基づき、Ｘ軸に設定された複数の演算対象点毎に、その点が示す計測値Ｘｎに対する計測値Ｙの分布パターンを特定し、その分布のうち最終検査の判定基準値Ｙｓにより良と判定される範囲Ｗ_ＯＫおよび不良と判定される範囲Ｗ_ＮＧの確率を算出する。さらに、中間検査の判定基準値Ｘｓにより計測値Ｘの不良と判定される範囲および良と判定される範囲のそれぞれについて、その範囲に含まれる演算対象点につき求めた確率を用いて、各検査結果が整合する度合いおよび整合しない度合いとを求め、双方の度合いに基づいて判定基準値Ｘｓの適否を判定する。 （もっと読む）

【課題】部品およびはんだに対する３次元計測結果に基づく検査の結果や検査対象部位の状態を、ユーザが容易に確認できるような表示を行い、検査結果の確認作業を支援する。
【解決手段】基板上の部品およびはんだに、それぞれ異なる手法の３次元計測を実施し、それぞれの計測により得た３次元情報をはんだ付け部毎および種別毎に読出可能に蓄積する。そして、これらの蓄積情報に基づき、はんだ付け部位毎に部品とはんだとの関係を表す画像を生成し、この画像を含む画面を検査結果の確認用の画面として表示する。好ましい確認用画面では、はんだの３次元情報が表す立体形状を部品のはんだへの接合面の近傍位置で切断した場合に得られるはんだの断面を正面として、このはんだの断面と部品との関係を示す画像（ＹＺ図またはＸＺ図）が表示される。 （もっと読む）

【目的】コヒーレント光の干渉性をより排除することが可能な照明装置を提供する。
【構成】照明装置３００は、コヒーレント光を発生する光源１０３と、ランダムに配置された、波長以下の高さの複数の段差領域が形成され、光源からの光線を通過させて位相を変化させる回転位相板１４と、複数のレンズがアレイ状に配列され、回転位相板を通過した光線を通過させるインテグレータ２０と、を備え、複数の段差領域の最大サイズと回転位相板から蝿の目レンズの入射面までの光学倍率の積が、複数のレンズの配列ピッチ以下となる箇所と、複数のレンズの配列ピッチより大きくなる箇所とが混在するように構成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】リフロー工程を実施する前の検査対象部位の状態の違いによって異なる検査基準を適用することにより、はんだ付け状態の適否を精度良く見分ける。
【解決手段】はんだ印刷検査機１０は基板上のランドのクリームはんだの体積を検査し、はんだ付け検査機３０はリフロー後はんだのぬれ上がり高さを検査する。またはんだ付け検査機３０には、ぬれ上がり高さの計測値を判定するための複数とおりの判定基準値を含む検査プログラムと、これらの判定基準値を選択するための選択ルールとが登録される。この選択ルールには、検査対象のはんだ付け部位をはんだ印刷検査機１０が計測したときに求めたクリームはんだの体積によっていずれの判定基準値を選択するかが定義されている。はんだ印刷検査機１０は、検査データ管理装置１０２から検査対象のはんだ付け部位に対応するクリームはんだの体積を読み込み、これに基づき判定基準値を決定する。 （もっと読む）

【課題】はんだ印刷検査の際の画像では状態を判別しにくい箇所の特徴を精度良く推定し、この推定結果を反映した判定処理により、はんだ付け状態の検査精度を高める。
【解決手段】はんだ印刷検査機１０は基板上のランドのクリームはんだの体積を計測して検査を行い、計測値を含む検査結果情報を検査データ管理装置１０２に送信する。はんだ付け検査機３０は、リフロー後基板の画像から検査対象のはんだ付け部位の特徴データを検出すると共に、管理データ管理装置１０２との通信により、検査対象のはんだ付け部位に対応する箇所に対してはんだ印刷検査機１０で計測されたクリームはんだの体積を取得する。そしてこの体積を用いて、部品の近傍であって特徴データを計測しにくい箇所の特徴を推定し、その推定結果を特徴データに補完してリフロー後はんだのぬれ上がり高さを算出し、高さの良・不良を判定する。 （もっと読む）

【課題】検査精度を保ちつつスループットを向上させることができる検査装置、検査方法および検査プログラムを提供すること。
【解決手段】高倍率で基板の検査測定を行うミクロ検査部と、基板の全体画像をもとに各画素の輝度を算出して全体画像内のムラを検査するマクロ検査部と、全体画像に対して測定を行う測定点を、仮測定点として割り付ける設定部と、各画素の輝度をもとに全体画像を構成する画素をグループ化する分類部と、分類部がグループ化した領域において存在する仮測定点から少なくとも１つの仮測定点を選択して、選択された仮測定点を実測定点として決定する決定部と、実測定点の測定乃至検査をミクロ検査部に行わせるとともに、各実測定点における検査結果を同一の領域における仮測定点にそれぞれ割り付けて検査結果の出力制御を行う制御部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】基板搬送時のエア浮上を安定化させることによって検査精度を向上させる。
【解決手段】検査光を通過させる複数の開口部を備えたエア噴出シフト板手段をエア浮上ステージ手段の途中の検査エリアに、基板の移動方向に対して垂直方向にシフト移動可能に設け、エア噴出シフト板手段をシフト移動させると共に光学系手段を開口部に対応付けて移動させることによって基板の所定の領域の欠陥を検査するようにした。エア浮上ステージを分割された長尺状の複数のエア噴出板で構成し、エア噴出孔から噴出されたエアを各エア噴出板の間から効率的に排出させるようにした。エア噴出シフト板手段が１回シフト移動することによって基板の全走査領域の検査に対応することができる数の開口部を設けた。エア浮上ステージ手段は基板の片辺又は両辺を保持した状態で基板を移動させる。 （もっと読む）

【課題】測定対象物に対して、可視観察のみならず、近赤外観察や蛍光観察といった特殊観察を行うことを可能とした光学式測定装置を提供する。
【解決手段】白色光を出射する白色光源と、白色光源と測定対象物との間に配され、白色光源から出射された白色光と、測定対象物からの戻り光と、を通過させる第１対物レンズと、第１対物レンズを通過した戻り光を所定の倍率に変倍する複数のチューブレンズと、複数のチューブレンズのうち戻り光上に配置させる一のチューブレンズを選択的に切り替え可能なレンズ切替機構と、を備える可視観察部と、特殊光を出射する特殊光源と、特殊光源と測定対象物との間に配され、特殊光源から出射された特殊光と、測定対象物からの戻り光と、を通過させる第２対物レンズと、を備える特殊観察部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】物体と結像レンズとの間にビームスプリッターを配置したことに起因する非点収差あるいは球面収差を小さくすることのできる同軸落射照明方法及び同軸落射照明装置を提供する。
【解決手段】同軸落射照明装置１０は、光源１２から発せられた光を、検査対象物Ｗと結像レンズ１８との間に配置されたハーフミラー１６を介して検査対象物Ｗに対して結像レンズ１８の光軸２０と同軸に照射するための装置である。ハーフミラー１６の反射面は、結像レンズ１８の光軸２０に対して４５度よりも大きい角度をなしている。 （もっと読む）

【課題】カラーカメラを用いることなく低コストでスクリーン印刷後の半田検査を行うことができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機における半田検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】モノクロカメラであるカメラ部７ａ、検査対象領域Ｒｇを垂直上方から照明する第１照明４１、検査対象領域Ｒｇをカメラ部７ａの撮像光軸７Ｊを取り囲む方向から照明する第２照明４２を備え、検査対象領域Ｒｇを第１照明４１により照明しながらカメラ部７ａにより撮像して検査対象領域Ｒｇ内のランド２ａが映し出された第１の画像を得るとともに、検査対象領域Ｒｇを第２照明４２により照明しながらカメラ部７ａにより撮像して検査対象領域Ｒｇ内のランド２ａ及び半田Ｓｄが映し出された第２の画像を得た後、第２の画像のランド２ａ及び半田Ｓｄの部分から第１の画像のランド２ａの部分を差し引いて半田Ｓｄのみが映し出された画像を得る。 （もっと読む）