説明

Fターム[2G051AA65]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 調査・分析対象 (8,670) | デバイス載置用の回路基板 (750)

Fターム[2G051AA65]の下位に属するFターム

Fターム[2G051AA65]に分類される特許

81 - 100 / 735


【課題】実質的に同程度の時間及び正確さで、異なる画像の欠陥検出を実行する。
【解決手段】本発明に係る欠陥検出方法は、工業用部品に関する入力画像を受け取るステップと、上記入力画像に関するモデルタイプを受け取るステップと、上記モデルタイプに対応するモデル画像を取得するステップと、上記モデル画像と上記入力画像との間の画像間変換を推定するステップと、上記推定された画像間変換に基づいて上記モデル画像及び上記入力画像を共通座標系に変換することによって位置合わせされた入力画像と位置合わせされたモデル画像とを取得するステップと、上記入力画像及び上記モデル画像に関する複数の画像差分ベクトルを形成するステップと、上記入力画像に関するラベルされた分類マップを生成する統計分類モデルを、上記複数の画像差分ベクトルに対して適用するステップと、を含んでいる。 (もっと読む)


【課題】不可視性インクの印刷位置を可視的に検出して印刷精度を検査する、簡便で汎用性のある印刷検査方法および印刷検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る印刷検査方法は、ワークの端領域21bに不可視性インクを用いて印刷パターンを形成した後、当該端領域21bの印刷パターンの周辺のみに着色材料を含む液体を塗布して汚染し、当該印刷パターン22を可視化して、印刷パターン22の印刷位置を検査する。 (もっと読む)


【課題】欠陥の検出、並びに欠陥タイプ及び欠陥原因の分類を行う。
【解決手段】検出された欠陥の画像に関する欠陥マスク画像を受け取るステップと、複数のランドマークマスク画像を受け取るステップ(304)と、第1のランドマークマスク画像を用いて、上記検出された欠陥と上記第1のソースラインとの間のソース欠陥接続性計測を算出するステップ(500)と、第2のランドマークマスク画像を用いて、上記検出された欠陥と上記第1のゲートラインとの間のゲート欠陥接続性計測を算出するステップ(502)と、上記ソース欠陥接続性計測及び上記ゲート欠陥接続性計測が共に0でない場合に、上記ソース欠陥接続性計測及び上記ゲート欠陥接続性計測に基づいて、上記検出された欠陥に関する欠陥タイプを識別するステップと、を含んでいる。 (もっと読む)


【課題】大型の基板に対しても正確な検査を可能にする。
【解決手段】基板検査装置1は、基板Wを支持する基板搬送面を形成する複数の浮上プレート132が短手方向に互いに所定幅の隙間を空けて配列する搬送ステージ131と、基板搬送面より下方に配置され、隣り合う浮上プレート132の間から基板Wを照明する投下照明138と、搬送ステージ131の上方を該搬送ステージ131に対して水平に移動可能な光学ユニット16と、搬送ステージ131上の基板Wを短手方向に所定距離移動させるシフト機構135aおよび135bと、を備える。 (もっと読む)


【課題】リードを鮮明に識別することにより、検査の精度を向上した基板検査装置を提供する。
【解決手段】電子部品の半田付け状態を検査する基板検査装置1において、内面が反射面12とされた反射部材11の基板側周囲部15に複数個設置され、反射面12側に白色光を出射する白色LED13と、基板面71を撮影するCCDカメラ30と、白色LED13を発光させて、CCDカメラ30による基板面71の撮影を行い、CCDカメラ30で撮影された画像中に所定の領域を設定し、設定された所定の領域中に含まれる白色領域を求め、所定の領域中に含まれる白色領域に基づいて、リード72の状態を判定するCPU51と、を有する。 (もっと読む)


【課題】観察者の検査にかかる自由度を向上させることができる外観検査装置を提供すること。
【解決手段】観察対象の基板Wを保持する基板ホルダ21を有する基板保持装置2と、基板ホルダ21の移動方向および移動量を操作するコントローラ3とを備えた外観検査装置1であって、コントローラ3は、互いに直交する3つの軸からなり、コントローラに固定された第1座標系に対する並進または回転に基づいて定められ、基板ホルダ21が並進または回転を行なう移動方向と、基板ホルダ21の移動方向における移動量とを含む信号を基板保持装置2に送信する信号送信部34を備え、基板保持装置2は、信号送信部34によって送信された信号を受信する第1信号受信24部と、第1信号受信部24が受信した信号をもとに、互いに直交する3つの軸からなる第2座標系を基準として基板ホルダ21を駆動制御する制御部と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】リードと半田付けされた部位を鮮明に識別することにより、検査の精度を向上した基板検査装置を提供する。
【解決手段】電子部品の半田付け状態を検査する基板検査装置1において、内面が反射面12とされた反射部材11の基板側周囲部15に複数個設置され、反射面12側に白色光を出射する白色LED13と、反射部材11の基板側周囲部15に複数個設置され、基板面71に対して略平行な方向に向けて着色光を出射する赤色LED21と、基板面71を撮影するCCDカメラ30と、白色LED13と赤色LED21を同時に発光させて、CCDカメラ30による基板面71の撮影を行い、CCDカメラ30で撮影された画像中に所定の領域を設定し、設定された所定の領域中に含まれる着色領域を求め、所定の領域中に含まれる着色領域に基づいて、リード72の半田付けが良好であるか否かを判定するCPU51と、を有する。 (もっと読む)


【課題】 表面実装部品がはんだ付けされた基板上をレーザ変位計で走査することによりはんだ付けされた表面実装部品の高さを効率良く高精度で測定し、虚報率を抑えながら表面実装部品の電極のはんだ付けを精度良く良否判定する。
【解決手段】 レーザ計測手段で計測された基板表面にはんだ付けされた個々の表面実装部品の変位量の最小高さと最大高さと、あらかじめ指定してデータベースに格納した前記表面実装部品の高さ範囲とはんだ材の厚み範囲とを照合し、前記表面実装部品のはんだ付け状態を論理判定する。 (もっと読む)


【課題】処理装置によって基板上に成膜する処理を含む製造プロセスによって製造される又は製造された製造品について、上記基板上に異常が生じたか否かを検査するマクロ検査方法であって、マクロレベルの異常を客観的に検出することができるものを提供すること。
【解決手段】或る処理装置による処理を受けた後の製造品を撮像して検査対象マクロ画像を取得する一方、その製造品がその処理装置による処理を受ける以前に、その処理装置による処理を受けた同種の製造品を撮像して得られたマクロ画像の中から、比較の基準となる比較基準マクロ画像を用意する(S101,S102)。検査対象マクロ画像と比較基準マクロ画像との間で、互いに類似している程度を定量的に表す類似度を算出する(S103)。類似度が予め決められた管理範囲から外れたかどうかを判断する(S104)。 (もっと読む)


【課題】ユーザが多大な労力・時間を要さずに、挿入実装部品に対応した検査データを生成することができる検査データ生成方法を提供する。
【解決手段】検査データ生成方法では、データベースに登録されているプリント基板の設計データに基づいて、プリント基板に実装される部品を順番に選択し(S101)、当該部品に設けられているピンを順番に選択し(S102、S103)、当該ピンが配置されるランドの位置・形状を特定し(S104)、プリント基板に形成される貫通穴を順番に選択し(S105)、当該貫通穴の位置・形状を特定し(S106)、当該ランドの位置・形状と当該貫通穴の位置・形状とに基づいて、当該ランド内に当該貫通穴が存在するか否かを判定し(S107)、当該ランド内に当該貫通穴が存在する場合には(S107:YES)、当該ランドと当該貫通穴とを関連付ける検査タイプデータを有する検査データを生成する(S108−S111)。 (もっと読む)


【課題】高い精度で且つ高速に半田の状態の検査を行う。
【解決手段】
基板20のリード穴21に挿通された電子部品22のリード23と該基板20とを接合する半田24の状態を検査する半田検査方法であって、半田24の上方に位置するカメラ1に対して基板20の表面に平行な半田24の平坦部分からの反射光が該半田24の傾斜部分からの反射光に比べて強く入射するように該半田24の上方から光を照射し、カメラ1によって半田24を撮像し、カメラ1の撮像画像内の所定の検査ウィンドウ32の輝度に基づいて半田24の状態を検査する。検査ウィンドウ32は、撮像画像におけるリード23の外周より外側の領域の少なくとも一部分である。 (もっと読む)


【課題】検査対象の外観を正確に検査可能であるとともに、製造コストの低廉化が可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の外観検査装置は、複数種類の構成物からなる実装基板7に光を照射可能な液晶カラーモニタ15と、実装基板7を撮影して撮影情報を得るデジタルカメラ17とを備えている。また、この外観検査装置では、液晶カラーモニタ15と実装基板7との間にハーフミラー19が設けられており、ハーフミラー19とデジタルカメラ17との間にはフルミラー18が設けられている。この外観検査装置では、液晶カラーモニタ15はハーフミラー19を透過する光により実装基板7を照射可能な位置に設けられており、デジタルカメラ17は、フルミラー18の反射を介し、ハーフミラー19に反射した実装基板7の画像を撮影可能な位置に設けられている。 (もっと読む)


【課題】電極パターンまたは配線パターンに安定的に焦点を合わせることができる画像取得装置、欠陥修正装置および画像取得方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、欠陥が生じている基板111の一部を拡大した画像を取得する欠陥修正装置100であって、基板111の一部を撮像する撮像部121と、基板111を載置したステージを移動するステージ移動部113と、対物レンズ129の基板111に対する焦点合わせを行う合焦検出部123と、ステージ移動部113を制御して、合焦検出部123が焦点合わせを行う場合に合焦検出領域から基板111の画像取得対象領域内に含まれる欠陥を退避させるステージ制御部156と、合焦検出部123による焦点合わせ後の焦点条件を固定する合焦制御部155と、合焦制御部155による焦点条件の固定後に撮像部121に基板の一部を撮像させる撮像制御部153とを備える。 (もっと読む)


【課題】ガラス板上に形成された電極パターンの形状欠陥部を少ない測定回数で精度よく検出できる検査装置、検査方法およびこれらを用いた画像表示用パネルの製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】電極パターンを有するガラス板(被検査物106)の裏面に光を照射する第1投光装置101と、ガラス板の表面に斜め方向から光を照射する第2投光装置109と、ガラス板の表面を撮像する撮像装置102と、ガラス板の表面を撮像装置102に結像させるレンズ系103と、撮像装置102で撮像したガラス板の表面の画像を画像処理して、電極パターンの形状欠陥部を検出する処理装置とを備え、第1、第2投光装置101、109による照明条件が、ガラス板の内部に形成された内部気泡の画像、ガラス板の画像、電極パターンの画像の順に輝度が高くなるように設定されている。 (もっと読む)


【課題】オフセット量を正確かつ容易に取得する。
【解決手段】第1の位置情報に基づいて特定される位置Ob上にビーム照射部が位置するように移動させた後に、照射部をX方向(矢印A1,A2の向き)に移動させながらレーザービームを照射させたときのレーザービームの反射光量の変化、およびY方向(矢印B1,B2の向き)に移動させながら照射させたときの反射光量の変化に基づいてマーク21の位置Mx1,Mx2,My1,My2を取得すると共に、位置Mx1,Mx2,My1,My2と、第2の位置情報とに基づいて基板保持機構によって保持されているオフセット量取得用基板におけるマーク21の位置Mbを特定し、位置Mb,ObのX方向に沿った位置ずれ量Xb、およびY方向に沿った位置ずれ量Ybを、照射部のX方向に沿った移動量、およびY方向に沿った移動量をそれぞれ補正するためのオフセット量として特定する。 (もっと読む)


【課題】ガラス板上に形成された電極パターンの形状欠陥部を少ない測定回数で精度よく検出できる検査装置、検査方法およびこれらを用いた画像表示用パネルの製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】電極パターンを有するガラス板(被検査物106)の表面に光を照射する投光装置101と、この電極パターンを撮像する撮像装置102と、電極パターンを撮像装置102に結像させるレンズ系103と、撮像装置102で撮像した電極パターンの画像と予め登録した電極パターンの原画像とを比較して電極パターンの形状欠陥部を検出する処理装置とを備え、電極パターンで反射した反射光の輝度と、ガラス板で反射した反射光の輝度との差が所定以上になるように投光装置の光量が設定されている。 (もっと読む)


【課題】プリント基板の検査の開始に先立って、良品のプリント基板の撮像や基準データの登録を不要とし、1枚目から検査することができるプリント基板の検査装置
【解決手段】この発明は、検査対象であるプリント基板を撮像したプリント基板のカラー画像を取得する画像取得手段と、当該取得したプリント基板のカラー画像を色の差異に応じて複数の領域に分割する領域分割手段と、当該分割された各領域内の色の特異な部分を特定する色検査手段と、その分割された各領域の輪郭を抽出する輪郭抽出手段と、当該抽出された各輪郭に基づいて各領域の形状の異常の有無を検査する形状検査手段と、を備えている。 (もっと読む)


【課題】位相シフト法で立体形状を測定して行う被検査物の検査が低ノイズで効率良く行えるようにする。
【解決手段】通常状態で撮影を行う(ステップS11)と共に、位相シフト法で立体形状を測定するために、格子縞を投光させた状態で撮影を行う(ステップS12)。撮影して得た二次元画像から、被測定物の検査領域を特定する(ステップS14)。そして、格子縞が投光された二次元画像から、特定した検査領域について立体形状を測定して、立体形状検査を行う(ステップS15)。 (もっと読む)


【課題】カラー画像上における色の違いがグレーの濃淡に適切に反映されかつ色の欠落がないグレースケール画像を生成することができる画像処理装置および方法を実現する。
【解決手段】カラー画像をグレースケール画像に変換する画像処理装置1は、カラー画像についての、RGB色空間におけるR(赤)、G(緑)およびB(青)の各要素の明度の値を取得する取得手段11と、RGBの各要素別にグレー濃淡の階調の範囲が画定されたグレースケール上において、取得手段11によって取得したRGBの各要素の明度に、当該要素に割り当てられたグレー濃淡の階調の範囲内のグレー濃淡の階調を対応付けることで、グレースケール画像に関するデータを生成する生成手段12と、を備える。 (もっと読む)


【課題】低い検査頻度で高精度のパターン検査を実現する。
【解決手段】実施形態によれば、経時的に変化するパターンを検査する方法が提供される。該方法は、同一の検査対象パターンについて任意の時期における輪郭形状を予測する工程と、上記検査対象パターンの要求仕様に応じた閾値を設定する工程と、上記予測された輪郭形状と上記閾値とから上記検査対象パターンが上記要求仕様を満たさなくなる時期を予測する工程と、を備える。上記検査方法は、上記同一の検査対象パターンについて異なる時期に撮像して画像を得る工程と、得られた複数の画像の輪郭をそれぞれ検出する工程と、検出された、異なる撮像時期の輪郭同士でマッチングを実行する工程と、該マッチング後に、対応する輪郭同士の差を求めて差分ベクトルを生成する工程とをさらに備え、上記輪郭形状は、生成された該差分ベクトルと上記撮像時期の間隔とに基づいて予測される。 (もっと読む)


81 - 100 / 735