【課題】基板検査装置部分での基板への部品の組み付けおよび同部品組み付け時の指図書表示を可能する。
【解決手段】検査位置にセットされた実装基板の所望の検査対象位置における電子部品の実際の装着状態を画像データとしてとらえる撮像手段と、該撮像手段でとらえた実際の電子部品の装着状態を示す画像データと同電子部品に対応して指定される正しい装着状態を示す画像データとを一対の状態で記憶する画像記憶手段と、上記実際の電子部品の装着状態を示す画像と同電子部品の正しい装着状態を示す正画像との一致度を判定する画像処理手段と、画像表示手段とを備えてなる基板検査装置において、予じめティーチングされた指図書データを記憶する記憶手段と、該指図書データ記憶手段に記憶された指図書データを上記画像表示手段に表示する指図書表示制御手段とを設け、上記基板検査位置に電子部品等の未装基板をセットして電子部品の実装を行う場合には、対応する基板への電子部品の実装作業を指示する指図書が上記画像表示手段に表示されるようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、検出感度を向上させることができるパターン検査装置及びパターンを有する構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】被検査体に形成されたパターンの光学画像に基づいて検出データを作成する検出データ作成部と、前記パターンに関する参照データを作成する参照データ作成部と、テンプレートを構成する画素における論理を任意に設定することができる可変テンプレートを有するテンプレートマッチング部と、前記検出データと、前記参照データと、を比較して欠陥部を検出する欠陥検出部と、を備えたことを特徴とするパターン検査装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】判定サイズの再設定作業を行うこと無く、判定サイズの設定を自動的に行うことが可能な欠陥検査装置における判定条件設定方法及び欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】フラットパネル表示装置に用いられるカラーフィルタの欠陥を検出するための判定条件設定方法であって、カラーフィルタ基板に設けられた判定サイズ調整パターンを撮像部で撮像し、撮像された判定サイズ調整パターンを二値化し、判定サイズ調整パターンの実サイズと、二値化された調整パターンの撮像部のピクセル数との間の散布図による近似直線より、判定サイズの設定を行うことを特徴とする判定条件設定方法。 （もっと読む）

【課題】画像ファイルのファイル名から良否の判定結果を知ることを可能にし、さらに良否の判定結果を越える内容もファイル名から知ることを可能にする。
【解決手段】撮像装置１で撮像した検査対象物の画像から抽出した文字について、文字領域抽出部２，特徴量記憶部３、特徴量抽出部４、特徴量照合部５により文字認識を行う。判断部６は、検査対象物を撮像した画像に含まれる文字に対する文字認識の結果について所望の文字と一致するか否かの良否判定を行う。ファイル名生成部７は、判断部６において不一致と判定されたときに少なくとも一致しなかった文字と判定結果とを含むファイル名を生成する。ファイル名生成部７で生成されたファイル名は、当該画像の画像ファイルとともに画像記憶部１０に保存される。 （もっと読む）

【課題】画像と判定結果とを重ね合わせた画像を保存して画面に表示する描画処理の処理負荷を軽減し、結果的に描画時間の遅れによる作業性の低下を抑制する。
【解決手段】良否判定部３は、撮像装置１で撮像した検査対象物の画像データを用いて外観の良否判定を行う。結果画像生成部４は、良否判定の結果を示す画像データである結果画像データを生成する。登録画像生成部５は、結果画像データを検査対象物の画像データと重ね合わせた登録画像データを生成する。画像記憶部６は登録画像データを保存し、表示処理部７は登録画像データをモニタ装置８の画面に表示させる。 （もっと読む）

【課題】対象物を効果的に識別する。
【解決手段】模様領域Ａ２の単位領域Ａ３について複数手法で特徴量を求め、抽出領域Ａ４の各単位領域Ａ５について同様に特徴量を求め、これらについて手法ごとに重み付けをして合成された一致度を求め、合成された一致度の値から抽出領域の各単位領域が識別対象か背景かを判定し、当該判定に従って識別対象と背景の境界線を求め、撮像画像における実際の境界線上の位置と判定により取得された境界線との誤差を求め、当該誤差が十分に小さくなるように重み付けのパターンを逐次変更しつ好適化を図り、好適化された重み付けパターンに従って撮像画像から識別対象を識別する。 （もっと読む）

【課題】帯状ワークを十分に平坦化することができ、上流側の表面処理装置の振動の影響を受けることのない外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置３０において、帯状ワーク１に送出方向と直交する方向へ張力を加える第１張力印加部３２と、帯状ワーク１に送出方向へ張力を加える第２張力印加部３３と、第１張力印加部３２及び第２張力印加部３３により張力が加えられた帯状ワーク１を平坦化する平坦化部３４と、平坦化部３４にて平坦化された帯状ワーク１の所定区間の画像を取得して表面処理状態を検査する表面状態検査部３５と、表面処理装置２０による振動が発生した際に、表面状態検査部３５により画像の取得を禁止する画像取得禁止部とを備える。 （もっと読む）

【課題】欠陥観察装置、欠陥観察方法、及び半導体装置の製造方法において、欠陥観察装置と基板との位置合わせ精度を向上させること。
【解決手段】基板Wの表面の欠陥D_iのそれぞれの欠陥座標を取得するステップＳ１と、欠陥D_iのそれぞれに所定領域Rを設定し、その中に含まれる欠陥の総個数N_iを計数するステップと、ステージ座標を一番目の欠陥D₁の欠陥座標に合わせることにより、顕微鏡の視野２２ｆ内に第１の欠陥D₁を導入するステップと、視野中心２２ｃと第１の欠陥D₁とのズレ量を取得するステップと、上記ズレ量に基づいて、第１の欠陥D₁よりも上記総個数が多い第２の欠陥D₂の欠陥座標を補正するステップと、補正後の第２の欠陥D₂の欠陥座標にステージ座標を合わせることにより、顕微鏡の視野２２ｆ内に第２の欠陥D₂を導入するステップとを有する欠陥観察方法による。 （もっと読む）

【課題】設置面積を小さくすることができるとともに検査対象物を落下させて回収する場合であっても、すでに積層されている検査対象物に傷をつけないようにする。
【解決手段】プリント基板５を検査し、検査の終了したプリント基板５を落下させて回収する回収部４を備えた自動検査装置１において、平面状のプリント基板５を保持させた状態で第一の傾斜角度αで搬送させる搬送機構２と、検査部３で検査が終了したプリント基板５に対して、前記プリント基板５の保持状態を解除し、プリント基板５を傾斜させた状態で落下させる解除機構と、当該落下させたプリント基板５の下端部５１を当接させる当接部材４１と、当該下端部５１の当接したプリント基板５を第二の傾斜角度βで傾斜させて積層する積層部材４２を備える。 （もっと読む）

【課題】外観検査に要する手間やコストを低減する上で有利な外観検査装置を提供する。
【解決手段】デジタルカメラ１８の撮像光学系の色収差が補正されたプリント配線基板４の色収差補正カラー画像データＤｃ２を生成する。この色収差補正カラー画像データＤｃ２と座標位置が一致するように生成した検査用データＤＢを色収差補正カラー画像データＤｃ２と照合してプリント配線基板４の外観検査を行う。プリント配線基板４の外観検査は、例えば、電子部品２の位置ずれの大きさを検出することで、あるいは、電子部品２の欠品を検出することでなされる。 （もっと読む）

【課題】検査時における照明光の光量を安定させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、照明部が、ランプハウス６１からの光のうち所定の波長領域の光を透過させるバンドパスフィルターが設けられた波長選択機構７０，７５を有し、当該バンドパスフィルターを透過して得られた所定の波長領域の光を照明光として被検基板１０の表面に照射するように構成されており、紫外光を遮断するＵＶカットフィルター６５がランプハウス６１と波長選択機構７０，７５との間の光路上に挿抜可能に設けられ、非検査時にＵＶカットフィルターが光路上に挿入され、また前記ＵＶカットフィルターの保持基板に「(1)熱線吸収膜(2)熱線反射膜及び熱線吸収膜の積層膜(3)熱線吸収膜及び熱伝導性膜の積層膜(4)熱線反射膜及び熱伝導性膜の積層膜(5)熱線反射膜、熱線吸収膜及び熱伝導性膜の積層膜の」うちのいずれかが設けられている。 （もっと読む）

【課題】検査性能が安定したパターン欠陥検査装置を実現すること。
【解決手段】複数の構成ユニットを有し試料面上の欠陥を検査する欠陥検査装置において、一部または全部の構成ユニットの経時変化や故障をモニタリングするモニタリングする手段とモニタリングした結果をユーザに通知する手段を備える。また、補正が可能であるユニットに関しては、補正を行う手段を備える。また、故障した部品を、装置内に用意しておいた予備部品と交換する手段を備える。 （もっと読む）

【課題】問題が発生した場合にその原因を把握して、検査装置の復旧を迅速に行う。
【解決手段】被検査物を搬送する搬送装置と、前記被検査物を検査する検査装置とを備えた検査システムである。前記検査装置は、全体的な動作状況、検査の進行状況等が表示される操作状況等表示部と、前記検査装置の制御部及び前記搬送装置の制御部で同期させて進行されるタイミングチャートの処理状況をリアルタイムの映像として表示するハンドシェイク図表示部と、現在の動作状況及び問題発生時の状況を文章で表示する動作コメント表示部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】パネル基板の周縁部に実装された電子部品の実装状態の良否を、迅速かつ正確に判定することができ、パネルの大型化にも容易に適応することができる基板検査装置を提供する。
【解決手段】電子部品が異方導電膜を介して実装された透明なパネル基板１０（ワークＷ）を所定の検査位置まで移動させて位置決めする移動ステージ１と、電子部品が実装された面の裏面側から検査対象部位を上記基板１０を透して撮像する撮像手段２と、この撮像手段２を各検査対象部位に沿ってスライドさせるリニア駆動手段３と、上記撮像された検査対象部位の実装状態の良否を判定する情報処理手段とを備え、上記移動ステージ１の上面１ａに、少なくとも一方の基板端部が側方に突出した状態で基板１０を載置する基板検査装置において、上記撮像手段２の近傍に、上記移動ステージ１から突出する基板１０の端部を下側から支承する固定ステージ４を配設する。 （もっと読む）

【課題】基板検査工程の生産性を向上させる基板収納容器と、これを具備した基板検査装置を提供する。
【解決手段】本発明による基板収納容器Ｍと、これを具備した基板検査装置は、上下方向に積層された複数の基板Ｓが収納されるカセットがハウジングに対して垂直に積載され、検査対象基板の大きさに適合したカセットを個別に備える。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置及び検査方法を提供すること。
【解決手段】検査方法は、測定対象物を撮影して測定対象物のピクセル別にイメージデータを取得し、測定対象物のピクセル別に高さデータを取得し、測定対象物のピクセル別にビジビリティデータを取得し、取得されたイメージデータと、ピクセル別の高さデータ、及びビジビリティデータのうちの少なくとも１つとを乗算して結果値を算出し、算出された結果値を利用してターミナル領域を設定すること、を含む。よって、より正確にターミナル領域を判別することができる。 （もっと読む）

【課題】スジ状欠陥を精度よく検出する欠陥検出方法、欠陥検出装置、および欠陥検出プログラムを提供する。
【解決手段】欠陥検出方法は、被検査物の撮像画像に対して検査対象画素を順次選定する検査対象画素選定工程、比較対象画素群を設定する比較対象画素群設定工程、最小輝度差を求める最小輝度差算出工程、および欠陥強調値を求める欠陥強調値算出工程、を有する欠陥強調処理工程と、欠陥強調値から欠陥候補画素を抽出する欠陥候補抽出工程ＳＴ３１、欠陥候補画素群に外接する検査外接四角形を検出する外接四角形設定工程ＳＴ３３、検査外接四角形の長辺に対する短辺の寸法比を算出する寸法比算出工程ＳＴ３４、検査外接四角形に対する欠陥候補画素群の面積比を算出する面積比算出工程ＳＴ３５、および寸法比および面積比に基づいてスジ状欠陥を特定する欠陥特定工程ＳＴ３６を有する欠陥検出工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高多層プリント配線基板の配線パターンを検査する際に誤報告の少ないキャリブレーション位置を決定すると共に、その検査性を評価しベリファイ作業時間を予測することができる検査システムを提供する。
【解決手段】検査システムにおいて、検査対象のプリント配線基板を構成する各層のＣＡＤデータとその層構成情報を元に検査面より透視した輝度成分マップを生成する。そして検査面を構成する輝度成分の組を求め、全組を網羅する１つ以上の輝度評価領域を決定した後、検査装置にて領域を撮像、各輝度成分に対応する統計輝度値を求め輝度成分マップに代入し、検査閾値を決定するための最適キャリブレーション位置を求め検査を行う。 （もっと読む）

【課題】シート材を貼付した箇所と貼付していない箇所の光のコントラストの差を大きくし、シート材の貼付状態の検出精度を向上させることができるようにする。
【解決手段】貼付箇所に対して光を照射する光源２と、貼付箇所から反射された光を撮影する撮像装置３と、光源２と貼付箇所との間、または貼付箇所と撮像装置３との間の少なくとも一方に設けられた偏光フィルタ１５，１６と、を備えた。これにより、偏光フィルタによって、撮像装置で受光される光のうち特定の光を軽減することができ、そのため、シート材を貼付した箇所と、貼付していない箇所との輝度差を大きくすることがでる。 （もっと読む）

【課題】基板の設計データ、または同一設計で製造の複数基板の画像を得ることで、検出された欠陥データから擬似欠陥データを除去して、本来の欠陥のみを効率よく検査する。
【解決手段】欠陥データＰｎの座標を取得する（ステップＳ３０１）。擬似欠陥データＱｍの座標を取得する（ステップＳ３０２）。欠陥データＰｎと擬似欠陥データＱｍの間の距離Ｄを取得する（ステップＳ３０３）。距離Ｄが擬似欠陥判定距離しきい値ｄ以下のとき、欠陥Ｐｎは擬似欠陥と判定（ステップＳ３０４）。擬似欠陥であると判定された欠陥データＰｎを欠陥データＰｎから除外する（ステップＳ３０５）。擬似欠陥であると判定された欠陥データを除外する処理を、欠陥データの全て、および擬似欠陥データの全てについて総当りで実施し、擬似欠陥データの除外を行う。 （もっと読む）