【課題】ワークピース表面から反射される光を使用してワークピースの表面を検査するのに使用される方法及び装置を提供する。
【解決手段】光学的テストヘッドは、光ビームを光源からワークピースへ通信する１つ以上の入力光学路と、ワークピースから反射された光を検出器へ通信する１つ以上の出力光学路とを備えている。これら入力光学路及び出力光学路は、１つ以上のミラー及び１つ以上のレンズを含むことができる。光学路の少なくとも１つは、漂遊光を捕獲し及び／又は吸収するための層を含む。１つ以上のレンズは、レンズからの望ましからぬ光の反射により生じるノイズを減少するための反射防止コーティングを含む。光学路は、漂遊光を減少するための１つ以上のマスクを含む。１つ以上のマスクは、調整可能なアパーチャー（例えば、虹彩）を有することができる。 （もっと読む）

【課題】大データ容量の近接場光記録用機器及び方法の提供。
【解決手段】この機器は、空気軸受け表面を有するスライダと、空気軸受け表面に隣接する焦点に電磁放射を方向づける第１導波路と、空気軸受け表面に隣接して位置決めされた記憶媒体と、記憶媒体から反射された電磁放射を検出する検出器と、反射された電磁放射を収集し、反射された電磁放射を検出器に向かって送るために、焦点に隣接して位置決めされた構造体とを備える。 （もっと読む）

【課題】 光ディスクのカバーシートの貼りずれを精度良く検出する。
【解決手段】 光ディスク１を回転し、回転する光ディスク１の外周面を撮像し、次いで、撮像した光ディスク１の画像データの色濃度変化に基づき、この光ディスクの位置補正用基準端面２２を検出し、次いで、位置補正用基準端面２２の外側に矩形のはみ出し検出ウィンドウ２３の一辺を一致させて配し、はみ出し検出ウィンドウ２３に、光ディスク１の一部が含まれているとき、カバーシート４ｂがディスク基板２に対してずれていると判断する。 （もっと読む）

【課題】 ガラス素材のような透明なディスク基板において、両面に加工された微小な凹
凸であるテクスチャの有無、均一性の判断を検査する装置を提供する。
【解決手段】 ガラス素材のディスク基板の両面に形成された、円周方向のテクスチャに
対し、レーザ光を照射して、該ディスク基板の表面粗さを測定する方法・装置において、
上記レーザ光を集束し、ディスク基板の表面に入射するレーザ光の光軸と、テクスチャの
角度を直角とし、ディスク基板表面からの散乱光とディスク基板裏面からの散乱光をセン
サ上に受光し、受光信号から散乱光強度出力を算出し、散乱光強度出力を表示するように
した。 （もっと読む）

【課題】 量産にも対応した高速、高精度にディスクを検査する光ディスク検査方法および装置を提供する。
【解決手段】 照射のステップと受光のステップと判定のステップで構成し、照射
のステップで、検査対象となるディスク１に検査照明光３を光源２から照射し、受光のステップで、検査照明光３の入射角度と検査対象となるディスク１の溝ピッチとから決まる１次回折光６が出射する角度に対し、この１次回折光６の出射する角度とは異なる角度に出射するムラ欠陥７に起因する１次回折光と乱反射光と散乱光８を受光レンズ９およびＣＣＤセンサ１０で検出し、判定のステップで、ＣＣＤセンサ１０で得られるグレースケール画像の各領域の明るさを上限の閾値および下限の閾値と比較し、上限の閾値以上の明るさの領域と下限の閾値以下の明るさの領域とを欠陥として判定し検出する。 （もっと読む）

光源５８は、レンズ５９によりライン状の平行光に変換され、ビーム・スプリッタ６０に入射される。ビーム・スプリッタ６０は、入射光の半分を反射して光ディスク６５の表面のライン状領域に垂直に入射させ、残りの半分を透過させて光ディスク６５の表面のライン状領域に斜めに入射させる。光ディスク６５の表面に垂直に入射された光の反射光の光量は第１カメラ６２で検出される。この入射光、反射光はともに光ディスク６５の表面に対して垂直であるため、表面に大きな欠陥が生じても第１カメラ６２の撮影において虚像が発生せず、正確な欠陥サイズの検知が可能となる。 （もっと読む）