【課題】基板の不良率を低減すること。
【解決手段】搬送されてきた基板のエッジに接触して基板を位置決めする複数のクランプ機構を備える複数の処理装置が配置された製造ライン上に設けられ、基板に対するクランプ機構ごとの接触位置を記憶する記憶部３３と、基板のエッジに生じた欠陥を検出してその位置を測定する欠陥位置測定部３７と、欠陥位置測定部３７によって測定された基板の欠陥位置と、記憶部３３に記憶されている基板に対する各クランプ機構の接触位置とを比較して、基板の欠陥位置に接触位置が対応するいずれかのクランプ機構を特定する制御部３９とを備えるエッジ検査装置１１を提供する。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置及び基板検査方法において、基板のライン検査の精度を向上させる。
【解決手段】フラットパネルディスプレイ用の基板（１０）が載置されるステージ部（２）と、このステージ部（２）上の基板（１０）をライン状に検査する検査部と、この検査部により検査される基板（１０）のライン状検査領域Ｒの長手方向に亘って基板（１０）の高さ位置を計測する計測部３と、この計測部３により計測された高さ位置に基づいて基板（１０）の高さ位置を制御する制御部と、を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】被検査対象である半導体基板上の欠陥を高速かつ容易に検出し、適切に分類する手法を提供すること、すなわち、同一原因に起因することが多い１つの欠陥を複数報告する煩雑さを無くし、一欠陥に対して一報告するべきという課題を解決し、かつその演算時間をより短くして出力することが可能な検査装置および検査方法を提供すること。
【解決手段】検査対象物を撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって撮像した検査対象物の画像データを複数の領域に分割する領域分割手段と、前記撮像手段によって撮像した検査対象物の画像データから欠陥部分を検出する欠陥検出手段と、前記欠陥検出手段によって検出された欠陥部分が存在する前記領域を算出する欠陥領域算出手段と、前記欠陥領域算出手段によって算出された欠陥領域を出力する欠陥領域出力手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置及び基板検査方法において、省スペース且つ短時間で、基板搬送方向を横断する基板幅方向へライン状に被検査基板を検査する。
【解決手段】被検査基板（２）を搬送しながらライン状に検査する基板検査装置１において、被検査基板（２）の基板搬送方向（矢印Ｄ１）に延びるライン状に被検査基板（２）に照明光Ｌ１を照射するライン状照明部４ａ、及び、このライン状照明部４ａにより被検査基板（２）に照射された照明光Ｌ２を検出する検出部４ｂ、を有する第１の検査部４と、被検査基板（２）に追従して、基板搬送方向（矢印Ｄ１）で且つこの基板搬送方向を横断する基板幅方向（矢印Ｄ２）に第１の検査部４を移動させる駆動手段（８）と、を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】光源から出射された照明光の拡散光を低減することで、欠陥部分の発見がし易い照明光を出射することができる照明装置を提供する。
【解決手段】検査対象物に対し検査用の照明光を照射する照明装置１において、光源から出射された照明光の拡散を低減する拡散低減手段を備えることとする。拡散低減手段としては、遮光部材および集光レンズを使用することができる、また、遮光部材としては、筒体３、遮光板を使用することができる。 （もっと読む）

【課題】手間と検査時間が掛からず、コストを節約し作業効率をアップでき、検査の正確度を上げて、ベアチップを損壊させない、ベアチップ用両面検査設備を提供する。
【解決手段】搬入装置１、正面画像キャプチャ装置３、透明ガラス４、背面画像キャプチャ装置５、ピックアップ装置６、及びコントローラー７を包含する。正面画像キャプチャ装置３がトレイ１３上の複数のベアチップ２の正面画像１４１を撮影並びに検出し、続いてピックアップ装置６がトレイ１３上の被検査ベアチップ２を取り出し並びに透明ガラス４の上に置き、更に背面画像キャプチャ装置５が下から上に被検査ベアチップ３の背面画像１５１を撮影並びに検査し、最後に検査結果によりピックアップ装置６がベアチップ２を搬出する時に分類する。 （もっと読む）

【課題】塗布装置の稼働率を向上させることにより、塗布基板の低コスト化を図ることができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】基板を載置するステージと、前記ステージに載置された基板に塗布液を塗布する塗布ユニットと、基板に付着した異物の存在を検知する検知ユニットと、前記検知ユニットからの異物情報に応じて前記塗布ユニットを制御する制御装置とを備え、前記制御装置は、前記検知ユニットからの異物情報から基板上における異物位置情報を得、その異物位置情報に基づいて基板に付着した異物を回避するように前記塗布ユニットを駆動制御するように構成する。 （もっと読む）

【課題】擬似欠陥の発生を抑えて、高精度な欠陥検出を行う。
【解決手段】本発明の欠陥検出装置１は、比較対象画素群に含まれる各比較対象画素の輝度値（Ｐ１〜Ｐ８）と、被検査画素の輝度値（Ｐ０）との差分を算出する第１差分演算回路２３ａと、比較対象画素群に含まれる各比較対象画素の輝度値（Ｐ１’〜Ｐ８’）と、被検査画素の輝度値（Ｐ０）との差分を算出する第２差分演算回路２３ｂと、上記算出された差分のうち、絶対値が最も小さい差分を欠陥検出用指標として選択する比較／選択回路２４と、該比較／選択回路２４が選択した欠陥検出用指標と、予め定めた閾値との大小関係から、上記検査対象物の上記被検査画素に対応する位置における欠陥の有無を判定する欠陥判定部１３とを備えているので、擬似欠陥の発生を抑えて高精度に欠陥検出を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】検査対象について所定の画像生成手段により生成された検査画像を検査することにより検査対象の表面に存在する欠陥を検出する画像検査において、撮像画像に現れる明度ムラに起因するノイズの影響を低減する。
【解決手段】画像検査装置１は、検査対象２に関する所定の画像５１中の欠陥有無の判定の対象となる検査画素６０と、その周囲にある複数の画素６１〜６８のうち検査画素６０と最もグレイレベル値が近い画素との間のグレイレベル差である最小グレイレベル差を検出する最小グレイレベル差検出部（２１、２２、２５、２６）と、最小グレイレベル差が所定の検出閾値を超えるとき画素６０の位置に欠陥が存在すると判定する欠陥検出部２４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
ダイ比較方式を用いた光学式半導体欠陥検査方法及び検査装置に関して、より微細な欠陥や回路パターンにおけるショート欠陥を、より高い感度で検出する検査方法及び検査装置を提供する必要があった。
【解決手段】
基板表面を検査する検査装置であって、前記基板表面に対して斜め方向から直線偏光した光を線状に照射する照明光学系と、前記照射された光による前記基板表面からの散乱光による像を撮像する検出光学系と、前記検出光学系により撮像された前記基板の複数の表面画像の中から選択された検査画像と前記検査画像とは異なる前記複数の表面画像の中から選択された参照画像とを比較して欠陥を検出する欠陥検出手段と、を有し、前記照明光学系は、前記基板の走査方向又は走査方向に直交する方向に合わせて前記光の偏光方向を制御する偏光制御手段を有することを特徴とする検査装置を提供する （もっと読む）

【課題】 ＦＰＤの滅点と塵埃を識別することができるディスプレイ検査装置を提供する。
【解決手段】 複数の異なる原色を発色する素子が画素ごとに配列され、素子が発色する輝度に基づきカラー表示するディスプレイを検査するディスプレイ検査装置であって、ディスプレイ２とＣＣＤ３１とを搭載し、ディスプレイ２とＣＣＤ３１との位置関係を維持しつつ素子の配列の並び方向に移動可能な移動部３２と、ディスプレイ２上に表示された像を折り返してＣＣＤ３１に伝送する伝送部（ミラー３４、等倍結像用レンズ３５）と、移動部３２の移動前に、ＣＣＤ３１が伝送部によって伝送された像を撮像した画像と、移動部３２の移動後に、ＣＣＤ３１が伝送部によって伝送された像を撮像した画像とで、ディスプレイにおける素子の点欠位置に差がある場合、点欠を異物による点欠とする制御部３３と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】点灯検査において、欠陥が検出可能な検査条件を選出できるカラー表示デバイスの検査条件選出装置を提供する。
【解決手段】本発明のカラー表示デバイスの検査条件選出装置であるコンピュータ２は、表示デバイスの各色の分光透過特性と、表示用照明の分光放射特性と、人間の明所比視感度特性との積の波長積分値をＱ(Ｃ)とし、上記各色の分光透過特性と、検査用照明の分光放射特性と、撮像センサの分光感度特性と、光学フィルタの分光透過特性との積の波長積分値をＰ（Ｃ）とし、Ｃ種類の表示色から選ばれる、第１の表示色Ｃ１と第２の表示色Ｃ２との全ての組合わせに対し、Ｐ(Ｃ１) / (Ｑ(Ｃ１)×Ｐ(Ｃ２)) の値を算出することによって得られた複数の最小値に対応する光学フィルタの分光透過特性および検査用照明の分光放射特性を算出する。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルにあるドット落ちを自動的且つ確実に見つけることができる液晶パネルの欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】押圧手段２を検査しようとする駆動中の液晶パネル１０の表面にある予定箇所に移動してから、該予定箇所の周辺にあるドット落ちを発現させ得る所定圧力で押圧し、前記所定圧力で押圧している箇所周辺の映像を撮って電子信号として出力することができるように構成されたイメージキャプチャー４を備えている。該電子信号の分析や処理で、ドット落ちの場所や度合い、数量を自動的に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】液晶表示パネルの表面の押圧を一定にすることが可能な異物検出方法を提供すること。
【解決手段】一対の可撓性の基板間に液晶が介在された液晶表示パネルの該基板間に混入した異物の有無を検出する異物検出方法であって、液晶表示パネルの表面をエア圧により押圧するためのエアが噴出されるエア噴出口が長手方向に複数配置されたエア噴出バーを、液晶表示パネルの表面に対して平行に移動させることにより、基板間に混入した異物による表示欠陥を顕在化させる。 （もっと読む）

【課題】本発明はプラズマディスプレイ等のガラス基板に塗布された蛍光体に紫外線を照射し、蛍光体から発光させた光をカメラ等により撮像することで蛍光体の塗布品質を検査する装置において、ラインセンサカメラを用い、カメラと紫外線照明を移動させながら撮像する蛍光体検査装置にて、プラズマディスプレイのＲ、Ｇ、Ｂ塗布領域間の隔壁に乗上げた蛍光体を容易に検出することを目的とした蛍光体検査装置で有る。
【解決手段】本発明は上記の目的を達成するために、蛍光体塗布領域のエッジ部を検出することにより、隔壁位置を抽出し、隔壁頂部の輝度を積算することで、隔壁上部に乗り上げた微量の蛍光体発光剖分を強調し、隔壁の乗り上げ輝度画像を作成し、隔壁上部に乗り上げた蛍光体塗布欠陥の検出を容易にすることである。 （もっと読む）

【課題】液晶表示パネルの表面の押圧を一定にすることが可能な異物検出方法を提供すること。
【解決手段】一対の可撓性の基板間に液晶が介在された液晶表示パネルの該基板間に混入した異物の有無を検出する異物検出方法であって、複数の押圧突起が外周面に設けられた押圧ローラと、押圧ローラを回転させるローラ回転手段と、ローラ回転手段を液晶表示パネルの表面に対して平行に移動させるローラ移動手段とを備え、液晶表示パネルの表面をローラ回転手段により回転される押圧ローラの押圧突起によって押圧することにより、基板間に混入した異物による表示欠陥を顕在化させる。 （もっと読む）

【課題】線幅５μｍ〜１０μｍのＶＡの、部分ＶＡ欠損を検出することで、ＶＡパターン形成不良基板を早期に発見し、ラインの生産効率を向上させることが可能な欠陥検査方法、および、この欠陥検査方法を適応した欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】透明基板１０上に、少なくともブラックマトリクス（ＢＭ）、着色層、透明導電膜、フォトスペーサ及びＶＡパターンが形成されたカラーＬＣＤ用カラーフィルタの特定箇所のＶＡパターン欠損を検出するＶＡパターン欠損検査方法において、白色光源３０から特定箇所に白色光を照射し、その同軸反射照明光を、白色干渉法または、白色共焦点法を用いて、モノクロＣＣＤセンサ２０を搭載した顕微鏡ユニット２５からなる撮像手段にて撮像を行う。ＶＡ欠損検出には特定のアルゴリズムロジックを適用する。 （もっと読む）

【課題】表示パネルの検査において、表示パネルの表面に付着した異物と滅点とを区別して検出すること。
【解決手段】液晶表示パネル１００の表面を異なる２つの視角からカメラ１１を用いて撮像する。視角の切り替えは、反射鏡１ａ〜２ｂを備えた光学系１８の遮光板３ａ、３ｂを用いて行う。得られた画素画像から、輝度が低下した欠陥部位を検出し、この欠陥部位の周辺画素の色配列が異なる視角で撮像した画素画像間で一致するか否か比較する。欠陥部位が表面に付着した異物の場合には、視角によって背景に写り込む画素の色配列が変わるため、滅点と異物とを区別することができる （もっと読む）

【課題】検査対象の搬送速度に変動が生じても、欠陥を確実に検出する。
【解決手段】搬送中のフイルムを受光器により撮像する。撮像により得られるフレーム画像６０にハフ変換を施し、直線６２を検出する。直線６２のうち、フレーム画像の中心Ｃ１に最も近い中心直線６２ａを特定する。中心直線６２ａと交差する直線の交点６７を求める。求めた交点６７の座標を用いて、Ｘ軸方向の隣接交点間距離Ｐ１〜Ｐ１５及びＹ軸方向の隣接交点間距離Ｑ１〜Ｑ１５を求める。隣接交点間距離Ｐ１〜Ｐ１５及びＱ１〜Ｑ１５に基づいて、比較ピッチＸｐ，Ｙｐを求める。フレーム画像６０上の指定画素とその指定画素から比較ピッチ分Ｘｐ，Ｙｐだけ離れた比較画素を特定する。指定画素及び比較画素の濃度値に基づき、指定画素について差分処理を行う。フレーム画像６０の画素の全てに対して差分処理を行うことにより、フレーム画像６０からメッシュ部６３が除去される。 （もっと読む）

【課題】、基板を照射する照明光の光量を高い精度で検出して、基板表面の検査精度を向上させることができる、表面検査装置および照明光の光量制御方法を提供する。
【解決手段】 ウェハ１０を載置保持するホルダ２０と、ホルダ２０により載置保持されたウェハ１０の表面に照明光を照射する照明光学系３０と、照明光が照射されたウェハ１０の表面からの光を検出する撮像光学系４０と、撮像光学系４０で検出された光に基づいて、ウェハ１０の表面における欠陥の有無を検査する画像処理装置５０とを有する表面検査装置１において、ホルダ２０の照明光を受ける位置に設けられた反射部６１と、照明光が照射された反射部６１からの正反射光の光量を検出する光量検出部６２と、光量検出部６２により検出された光量に基づいて照明光の光量制御を行う制御装置５５とを有する。 （もっと読む）