【課題】 フラットパネルディスプレイ用のガラス基板のパターンと周辺部の欠陥を画像処理で検出する際、ガラス基板の自重による撓みにより撮像画像に焦点ズレと照明透過光のゆがみによる階調乱れが生じ、検出精度が低下、不安定化している。
【解決手段】 ガラス基板５を載置架台４の載置板３上に載置する。画像処理手段１２はラインセンサカメラ１と照明発光部８とをガラス基板５の検査対象エリアに移動させる。高さ検出センサ２はガラス基板５の撓みをラインセンサカメラ１の高さとして測定する。高さ制御機構１１はこの測定結果を撓みの無い高さと比較し、給気量を制御して載置架台４の密閉空間６の内部圧力を制御し、載置板３を変形させてガラス基板５の撓みを物理的に補正する。その後、画像処理手段１２は、ラインセンサカメラ１で照明発光部８からの透過光を撮像し、撮像した画像を処理して当該検査エリアのパターンと周辺部の欠陥の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】 被検査体について装置を大型化することなく精度の良い欠陥検査を行うことができるようにする。
【解決手段】 撮像光学系により被検査体の二次元画像を取り込んで結像した被検査体像を装置筐体内に支持されている撮像素子５により電気信号に変換し、この電気信号から被検査体の画像データを得る画像入力装置であって、画像データから被検査体像に対する撮像素子５の回転ずれを検出する回転角検出手段と、回転角検出手段により検出された回転ずれに基づいて撮像素子５を光軸周りに回転させる回転手段１１，１２を備える構成とする。例えば、一実施の形態として、回転角検出手段により検出された回転ずれの情報を表示する表示部と、上記回転手段として、撮像素子５を回転可能に支持する回転部材１１と、この回転部材１１と一体に取り付けられ回転部材１１を回転させる回転操作部１２を設ける。 （もっと読む）

【課題】短時間でかつ確実に蛍光体層の形状不良を検出し良否判定ができるプラズマディスプレイパネル検査方法と検査装置を提供する。
【解決手段】背面基板１０１上の隔壁によって区画された領域に塗布された蛍光体の形状を検査するプラズマディスプレイパネル検査装置であって、背面基板１０１の上方に配置され背面基板１０１の蛍光体層に紫外線を照射する紫外線光源１０５と、背面基板１０１の上方に配置され蛍光体層からの励起発光を撮像するエリアセンサーカメラ１０３と、エリアセンサーカメラ１０３により得られた画像データを計算処理する画像処理手段１０６と、蛍光体層の形成状態の良否を判定する良否判定手段１０７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】繰り返しピッチが場所によって連続的に変化する場合でも、その連続変化に対して欠陥の誤検出をなくし、欠陥の検出精度を向上させることができる検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】ＰＤＰなどの繰り返しパターンを有する検査対象物１１を撮像するＣＣＤカメラなどの撮像手段１２と、繰り返しピッチ離れた画素とその隣の画素の輝度値を重み付けを行って比較画素の輝度値を補間しその補間輝度値と注目画素との差分をとることで、繰り返しパターンを除去して欠陥検査を行う画像処理手段１３と、検出した欠陥を表示する検査結果表示手段１４とを有する。 （もっと読む）

【課題】各種のフラットパネルディスプレイ装置に用いられる板ガラスとして実使用上充分な機能と性能を有し、かつ、歩留まりの良いフラットパネルディスプレイ用板ガラスを提供する。
【解決手段】内部欠陥の最大寸法が３０μｍ以上であり、かつ、内部欠陥の位置に対応する透光面一部領域の透光面に対する最大深さ又は最大高さが０.１μｍを超える板ガラスを不良品とし、それ以外の板ガラスを良品として選別する。 （もっと読む）

【課題】 ディスプレーベアガラス検査装置および方法を提供すること。
【解決手段】 本発明は、大形ベアガラスに形成されて欠陥を高速で検査することができるディスプレーベアガラスの欠陥検査装置および方法に関するものである。本発明のディスプレーベアガラスの欠陥検査装置は、スキャン領域を有し、ベアガラスが置かれるステージと、前記ベアガラスを前記ステージ上で前後移動させる移動部材と、前記ステージの前記スキャン領域に光を照射して前記ベアガラスを撮像する撮影部とを含む。前記撮影部は前記ベアガラスの表面をライン単位で撮影する少なくとも一つのカメラと、前記少なくとも一つのカメラで前記ベアガラスの多様な欠陥パターンが撮影されるように、前記ベアガラスに光を照射し、互いに異なる照射角を有する第１光源と第２光源とを有する照明部を含む。 （もっと読む）

【課題】プラズマディスプレイパネルにおいて発生する放電セル単位の輝度むらについての適切な評価、検査を可能とする。
【解決手段】一対の基板間に複数の放電セルを有し、各放電セルにおいて放電を発生させることにより画像表示を行うプラズマディスプレイパネルの画像評価方法において、撮像手段によりプラズマディスプレイパネルの画像を撮像し、この撮像した画像を複数の領域に分割し、分割したそれぞれの領域における画像データのばらつき度合を求め、このばらつき度合を用いて画像を評価する。 （もっと読む）

【課題】 厚さムラに起因する欠陥の検査を的確に行うことができる光学フィルムの検査方法を提供すること。
【解決手段】 本発明は、液晶をハイブリッドネマチック配向させた液晶フィルム２を含む光学フィルム１の検査方法であって、光学フィルム１に対し、光源２０から偏光板１８ａを通して光を照射し、液晶をハイブリッドネマチック配向させた液晶フィルム３１と偏光板１８ｂを積層した素子２９を、液晶フィルム３１を光学フィルム１側に向け且つ液晶フィルム３１の配向軸４３を液晶フィルム２の配向軸４２と非平行となるように配置して光学フィルム１を検査する方法である。この場合、光源２０からの光が偏光板１８ａ、光学フィルム１を透過すると、無欠陥部分と欠陥部分とで位相差に差をつけることができ、無欠陥部分と欠陥部分との間にコントラストを生じさせることができる。 （もっと読む）

本発明は、ウェハと前記ウェハから作られた太陽電池セルとの間の対応を確立するための方法とシステムに関する。この方法は、それぞれのウェハとそれぞれの太陽電池セルに対して、ウェハのイメージを提供する段階と、セルのイメージを提供する段階と、ウェハイメージをセルイメージと比較する段階と、セルイメージとウェハイメージとの間の一致に基づいて現在のセルを現在のウェハに割り当てる段階とを有する。このシステムは、ウェハのイメージとセルのイメージを提供するための少なくとも１つの撮像デバイスと、ウェハイメージをセルイメージと比較し、そしてセルイメージとウェハイメージの間の一致に基づいて現在のセルを現在のウェハに割り当てる処理ユニットと、メモリユニットとを有する。
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【課題】 自動外観検査装置にて欠陥位置と検出した検出位置付近について、人がカラーフィルタの拡大された撮影画像を観察して最終的なＯＫ／ＮＧの判定を出すカラーフィルタのシミ検査方法で、局部的なシミの検査を、簡単に、手間がかからずにできる検査方法を提供する。
【解決手段】 カラーカメラ１１で、拡大した状態でカラーフィルタ１６の検出位置付近を撮影してモニタ１４ａに表示する。さらに、得られた撮影画像データを、画像処理装置１５でＲ、Ｇ、Ｂの３原色に分解し、Ｒ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データを得た後、観察対象となるカラーフィルタの絵素部に対して、Ｒ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データの中から、吸収の多い色成分の画素データを選択し、選択された色成分の画像データを、選択的に濃淡強調した状態でモニタ１４ｂに表示し、モニタ表示された画像を観察してＯＫ／ＮＧの判定を出す。 （もっと読む）

【課題】 撮像時における検査対象とカメラ撮像素子面とのアライメント調整を不要とし、正常な長方形画像を作成可能にし、またエッジ付近の低コントラストな線欠陥までも検出可能とする。
【解決手段】 検査対象１０の画面全体を撮像する撮像手段２０、撮像による取込画像のノイズを除去するノイズ除去部３２、取込画像の中から検査対象画面に対応する被検査部画像を抽出する被検査部抽出部３４、被検査部画像を幾何学的変形により長方形画像として再構成する被検査部再構成部３５、長方形画像のシェーディング補正を行う画像データ補正部３６、補正後の画像の輝度値を水平・垂直方向にそれぞれ積算する欠陥抽出部３７、及び水平・垂直方向の各積算値をしきい値と比較することにより線欠陥を検出する欠陥判定部３８を有する構成。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハや液晶パネル等に発生する色むらや傷等の欠陥を、高速かつ高精度で検査することができ、しかも被検査ワークの大型化への対応を、検査精度及び検査スループットを維持したままで容易に達成できる外観検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】被検査ワークＷの撮像及び検査画像の処理を行う撮像処理ユニット１を複数配置し、これら複数の撮像処理ユニット１を用いて被検査ワークＷの全面または一部を分割撮像するとともに、その各撮像処理ユニット１独立に撮像画像の検査処理を行い、それら検査処理結果に基づいて統合判定部３にて被検査ワークＷの良否を判定する。 （もっと読む）