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Fターム[2G051AA73]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 調査・分析対象 (8,670) | その他の電子デバイス(例;カード) (612)

Fターム[2G051AA73]に分類される特許

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【課題】ノズル穴での液滴の吐出異常を簡単かつ迅速に検出することのできるインクジェット印刷装置を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド4 のノズル穴5 にてメニスカスコントロールによるメニスカスの微振動を行う機構を備えたインクジェットヘッドと、前記メニスカスの微振動を観察する光源とカメラ9 を備えた吐出観察装置とを設けたインクジェット印刷装置であって、前記吐出観察装置がメニスカスの微振動を観察して、ノズル穴での液滴の吐出異常を検出する。 (もっと読む)


【課題】自動的に物品の欠陥または特徴を検査できる、検査システムを提供する。
【解決手段】検査システム10は、製品をスキャンして製品のイメージを生成するスキャナ12と、スキャナ12に電気的に接続され、製品のイメージを受信して分析する分析装置16と、を有する。イメージが画素マトリクスを含み、各画素がグレースケール値を有する。分析装置16がマイクロプロセッサ、メモリ及び比較モジュールを有する。マイクロプロセッサがイメージ中の各画素に関する基準グレースケール値の計算に用いられ、当該基準グレースケール値が各画素の隣に位置する画素のグレースケール値の平均値を含む。メモリは各画素に関する基準グレースケール値と基準グレースケール値に関する閾値の保存に用いる。比較モジュールはイメージ中の各画素のグレースケール値と各画素に関する閾値の比較に用いる。 (もっと読む)


【課題】欠陥の種別によらず、確実に欠陥を検出する欠陥検査装置、欠陥検査方法、及びパターン基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる欠陥検査装置は、同一形状のパターンが繰り返し設けられている試料3を検査する欠陥検査装置であって、試料3からの光を受光する光検出器5と、光検出器5の受光量に応じた受光量データを、上限値と下限値で規定される範囲内に含まれているか否かによって2値化処理を行って、2値化画像を生成する2値化処理部12と、同一形状のパターンでの2値化画像の差分を算出して、差分画像を生成する差分処理部15と、差分画像に基づいて、欠陥についての判定を行う欠陥判定部16と、を備えるものである。 (もっと読む)


【課題】本発明は、反りがある基板でも基板の上面に接触せずに搬送でき、基板の高さより上に搬送用の可動部がない基板搬送装置および基板検査システムを提供する。
【解決手段】
基板検査システム100は、基板搬送装置1と、搬送される基板Wの表面を撮像する撮像装置2と、撮像された画像を検査する検査装置3と、検査結果を表示する表示装置4を有する。基板搬送装置1は、基板Wに対して下方からエアを吹き付けて浮上させる浮上ステージ8と、浮上ステージ8に沿って移動可能で基板Wの裏面側の側縁部を吸着する吸着部9を備えた移動機構10を有する。移動機構10の移動台10dは、吸着部9の近傍に、補助吸着部11を有する昇降機構12を備える。反った基板Wに対し補助吸着部11が上昇して側縁を吸着して引き下げて吸着部9が基板Wを吸着し、移動台10dが移動して基板Wを搬送しつつ撮像装置2で撮像して検査する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、カラーLCDパネル等の複数の色の絵素を備える表示パネルに表示された画像をカメラで撮像し、表示パネルの欠陥を検出する技術に関し、欠陥が複数の色の絵素を含む場合においても、含まれる色の割合に応じて適切な基準で判断することができる欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】
表示パネルを撮像し、画像データとして取得する撮像部と、前記画像データから欠陥部位候補を抽出する欠陥部位検出部と、前記欠陥部位候補についての対象物である絵素の色を特定する色特定部と、前記色によって異なる補正係数を前記コントラスト値に乗じて欠陥度を算出し、前記欠陥度が判定値より大きい場合に欠陥と判定する良否判定部とを備える欠陥検出装置において、前記良否判定部は、1つの欠陥部位候補が複数種類の色の絵素を含んでいる場合に、前記色毎のコントラスト値に前記色によって異なる補正係数を乗じた後に合計し欠陥度を算出する。 (もっと読む)


【課題】加工孔又は凹部が施された検査対象物の良否を、高感度で、誤検出を抑制して、判定することができない。
【解決手段】撮像手段で撮像した画像をデジタル化した画像データから得られる画像データを構成する輝度配列の座標系を、rθ極座標変換の基準点を孔又は凹部中心付近として極座標系輝度配列に変換する画像処理をし、極座標系輝度配列の中で、基準点から半径rにおける輝度配列を抽出し、複数箇所の輝度値から輝度配列の位相を特定し、半径rの値を変更して位相特定より特定される位相を複数取得し、平均化し、平均化された位相と各半径rにおける輝度配列の少なくとも2箇所の輝度値とにより、周期性のある輝度値配列を各半径r毎に新たに生成し、判定基準輝度値配列とし、極座標系輝度配列の各半径rにおける輝度配列の値と各半径rに対応する判定基準輝度値配列とを照合して良否を判定する。 (もっと読む)


【課題】ガラス板の割れの有無を検査する。
【解決手段】切り折り対象のガラス板の一端面に接触し、当該一端面からその反対側の他端面に向かって移動しながらガラス板の表面に切り折りの起点となる傷を入れ、前記他端面に到達した場合に前記表面及び他端面に対する接触が解除されるカッタを備えた切機を用いて、ガラス基板の割れを検査する検査方法において、前記カッタがガラス基板の一端面に接触したか否かを検出するステップと、前記カッタがガラス基板の一端面に接触した時点の当該カッタの位置を、ガラス基板の一端面の位置として検出するステップと、前記検出したガラス基板の一端面の位置と予め定められた設定範囲とを比較するステップと、前記比較の結果に基づいて、前記検出したガラス基板の一端面に割れが存在するか否かを判定するステップと、を備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】偏光板を貼合した液晶パネルの欠陥を、液晶パネルを駆動させない状態で、漏れなく検出できる方法を提供する。
【解決手段】偏光板を貼合した液晶パネルに、液晶パネルを駆動させない状態で、一方の面から光を照射し、他方の面からの透過光を検出し、信号処理して偏光板を貼合した液晶パネルの欠陥を検査する方法において、(1)可視光を照射して検査すると共に(2)近赤外線を照射して検査することを特徴とし、この方法によって漏れなく欠陥を検出することができる。 (もっと読む)


【課題】異物の付着した面が被検物の2面のうちのいずれの面であるかを検出することが可能な異物検査装置を提供する。
【解決手段】異物検査装置は、被検物に検査光を投光する投光部と、検査光が投光されることによって被検物から生じる散乱光の強度を検出する検出器を含む受光部と、制御部とを備える。検出器は、偏光方向が第1の方向である検査光が投光されることによって被検物から生じる第1の散乱光の強度と、偏光方向が第2の方向である検査光が投光されることによって被検物から生じる第2の散乱光の強度とを検出する。制御部は、検出器により検出された第1の散乱光の強度および第2の散乱光の強度の比が基準値より大きいか小さいかによって異物が付着した面が第1面および第2面のいずれであるかを判定する。 (もっと読む)


【課題】検査対象に異物がある場合でも光源装置の光源設定値を適切に調整可能な光源設定値調整方法、検査方法および検査装置を提供すること。
【解決手段】検査対象は複数の検査領域を有し、各検査領域は複数の輝度検出領域を有する。検査領域に対して光源設定値の異なる複数の光を順次照射する光照射工程と、当該検査領域の1つの輝度検出領域を撮像する撮像工程と、撮像された画像データに基づいて異物の有無を判定する異物判定工程と、異物がないと判定された場合は当該輝度検出領域の輝度を測定し、異物があると判定された場合は他の輝度検出領域に対して光照射工程、撮像工程、および異物判定工程を、異物がないと判定されるまで繰り返し実施する輝度測定工程と、各光源設定値と各光源設定値における輝度との関係式を演算する関係式演算工程と、関係式に基づいて光源設定値を設定する光源設定値設定工程と、を備えている。 (もっと読む)


【課題】従来方法では検出できない偏光板を貼合した液晶パネルの欠陥を、液晶パネルを駆動させない状態で、検出できる方法を提供する。
【解決手段】偏光板を貼合した液晶パネルに、液晶パネルを駆動させない状態で、一方の面から光を照射し、他方の面からの透過光を検出し、信号処理して偏光板を貼合した液晶パネルの欠陥を検査する方法において、近赤外線を照射して検査することを特徴とし、従来の可視光を照射して検査する方法では検出できない欠陥を検出することができる。 (もっと読む)


【課題】微細な欠陥の検査を精度よく且つ短時間に行うことができる欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】第1の光源2から出射された第1の波長を有する光を載置部12に載置された被検査体へ導くとともに、被検査体からの第1の反射光を第1の検出部10へ導く第1の光学系3と、第2の光源6から出射された第2の波長を有する光を載置部に載置された被検査体へ導くとともに、被検査体からの第2の反射光を第2の検出部11へ導く第2の光学系9と、第1の光源と、第2の光源と、を制御する制御部13と、を備え、前記制御部は、前記被検査体の検査対象部分の材質に応じて、第1の光源と、第2の光源と、を制御して、前記第1の波長を有する光と、前記第2の波長を有する光と、の切り替えを行うことを特徴とする欠陥検査装置1が提供される。 (もっと読む)


【課題】空間フィルタ設定の効率を向上可能であり、かつ空間フィルタ設定の自動化が可能な欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】可変視野絞り81を絞り、観察カメラ88を用いて空間フィルタ面の画像を取得し、回折光の輝点の輝度レベルによって複数のグループに分類する。輝度レベルの最も高いグループを遮光するように空間フィルタを設定し、観察画像を取得する。取得した画像に繰り返しパターンが残っているかを判定し、残っていると判定した場合には、空間フィルタ45の設定を変更する。先に遮光したグループに加え、次に輝度レベルの高いグループも遮光できるように空間フィルタを設定し、繰り返しパターンが残っていないと判断されるまで同じ手順を繰り返し、空間フィルタ45の設定を終了する。 (もっと読む)


【課題】少ない学習用のサンプルで最適な良否判定基準を定めることを可能とした官能検査装置及び方法を提供することを目的とする。
【解決手段】特徴量空間の原点からマハラノビス距離に分布する初期サンプルを用いて、良否判定基準となる良否判定の境界線を学習することにより、境界付近の初期サンプルのみを用いて学習することができるため、少ない学習用のサンプルで最適な良否判定基準を定めることができる。また、擬似サンプルを用いて学習する際に、誤判定をした擬似サンプルに重み付けを付加することにより、新たに擬似サンプルを追加することなく、機械的な判定工程において、誤判定をした擬似サンプルの判定を再度行うことができるため、少ない学習用のサンプルで最適な良否判定基準を定めることができる。 (もっと読む)


【課題】基板の欠陥検査をより少ないスペースで行うことを可能とする検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置1は、回転自在なチャック13を備え、チャック13の上方に、載置されたウエハWの回転中心から外縁部に延在する直線領域と平行に配置された照明装置21を設置し、この照明装置21の真下にウエハWの反射光を反射させるハーフミラー22が固定され、さらにハーフミラー22の対向側にハーフミラー22からの反射光を取り込む撮像装置20が設置され、ウエハWの回転と共にウエハ表面を撮像する。 (もっと読む)


【課題】 マルチフォーカス検査装置及びマルチフォーカス検査方法に関し、1回のスキャンで高速且つ高精度の全面外観検査を可能にする。
【解決手段】 測定対象物を撮像する測定ヘッドと、前記測定対象物と前記測定ヘッドを平面内において互いに相対的に移動させる移動機構と、前記測定対象物に光を照射する光源とを備え、前記測定ヘッドは、前記測定対象物に対向して配置された撮像レンズと、前記撮像レンズの合焦面が、前記測定対象物の移動方向に対して直交する平面内或いは前記直交する平面から±45°の範囲内で前記測定対象物の移動方向に傾斜させた平面内に存在するように調整する光学部材と、前記光学部材からの光の結像位置に焦点面が位置するよう配置したイメージセンサとを少なくとも有する。 (もっと読む)


【課題】被検査対象に合わせて照明光量を調節する場合に、レーザ光量を調整する特別な機構を別に持たずとも照明光量を調節でき、光量を調整した状態で異物の検査を行うことができるようにする。
【解決手段】検査光の照射領域が低反射率部から高反射率部に移行して照射する時に、その直前で検査光をオフ制御とし光量が少なくなるようにし、逆に高反射率部から低反射率部に移行して照射する時に、その直前で検査光をオン制御とし光量が多くなり標準時の光量に戻るようにしている。検査光となるレーザ光は、オン状態からオフ状態に移行したときは、光量は徐々に減少し、逆にオフ状態からオン状態に移行したときに、光量は徐々に増加するので、このレーザ光の特性を利用して、オン/オフ制御を行なうことによって、レーザ光量を調整する特別な機構を別に持たずとも照明光量を調節することができ、光量を調整した状態で異物の検査を行うことができる。 (もっと読む)


【課題】最上層のパターン、特にホールパターンの検査を、高いS/N比で行うことができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】照明光L1によって照明されたウエハ2からは回折光L2が生じ、受光光学系4に導かれて集光され、回折光L2によるウエハ2の像を本発明の撮像手段としての撮像素子5上に結像する。画像処理装置6は、撮像素子5で取り込んだ画像の画像処理を行って、欠陥を検出する。偏光板7は、照明光L1がS偏光でウエハ2を照明するし、かつその振動面とウエハ2のとの交線がウエハ2に形成された配線パターンと平行、又は直交するようにされ、偏光板8はウエハ2からの回折光のうちP偏光の直線偏光を取り出すように調整されている。こうすることでホールパターンの検査を、その下に存在する配線パターンと区別して検査することが可能になり、表層の欠陥をS/N比の良い状態で検査することができる。 (もっと読む)


【課題】検査者に無理な姿勢を強いることなく、正面視により目視しやすい条件を簡単に作り出すことができ、大型のFPD用ガラス板の欠陥部分を無理なく確実に安全に検出することのできる、ガラス板の欠陥部分の目視検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】固定フレーム10と、前面に、検査対象のガラス板を、垂直に対し5°〜15°の角度で後傾した斜め立て姿勢で載置することができると共に、そのガラス板を斜め立て姿勢に保持したまま固定フレームに上下方向移動可能及び上下方向回動可能に支持されたステージ50と、ステージに載置されたガラス板の左右両端面からガラス板の内部に向けて検査光を照射する照明装置70とを具備する。ステージには、ガラス板の背面を間隔をおいて支持する多数の支持ピン52が設けられており、各支持ピンの先端にガラス板を左右方向に移動させるのを容易にするためのボールが回転可能に設けられている。 (もっと読む)


【課題】基板のずれ及び/又は破損を検出するのに必要なセンサの数を少なくし、比較的低コストで実施する。
【解決手段】移動中の基板106の少なくとも2つの平行な端部の長さに沿った、破損やずれ等の基板の欠陥の存在を検出する少なくとも2つのセンサ140A、140Bを組み込んだ装置及び方法を提供する。一実施形態において、装置は、基板の欠陥を検出するための、少なくとも2つの平行な端部近傍で、基板をセンシングするセンサ構成を含む。他の実施形態において、装置は、基板サポート表面を有するロボット114又は130と、基板の欠陥を検出するための、少なくとも2つの平行な端部近傍で、基板をセンシングするセンサ構成とを含む。 (もっと読む)


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