【課題】環境温度の変化に伴う誤検出を防止した対物レンズユニットを提供する。
【解決手段】非晶質の材料を用いたレンズを含む複数のレンズＧ１〜Ｇ１３からなる対物レンズ５１と、対物レンズ５１を保持する鏡筒部材とを備え、鏡筒部材の材料の線膨張係数をα１とし、複数のレンズＧ１〜Ｇ１３のうち非晶質の材料を用いたレンズの材料の線膨張係数をα２とし、非晶質の材料を用いたレンズの外径をＤとし、非晶質の材料を用いたレンズの材料の光弾性定数をβとし、非晶質の材料を用いたレンズ内の開口数が最大となる光路長をＬとしたとき、複数のレンズＧ１〜Ｇ１３における全ての非晶質の材料を用いたレンズが条件式｜（α１−α２）×Ｄ×β×Ｌ｜＜１２０００を満足している。 （もっと読む）

【課題】膜の位置情報を精度よく管理可能な検査方法を提供する。
【解決手段】表面に膜が形成されたウェハの端部近傍を検査するための検査方法であって、ウェハの端部位置を検出する第１のステップ（Ｓ１０１）と、先に検出したウェハの端部位置におけるウェハの端部近傍を撮像し、ウェハの端部近傍の画像から膜の端部位置を検出する第２のステップ（Ｓ１０４）と、先のステップでそれぞれ検出したウェハの端部位置および膜の端部位置から、ウェハの半径方向に沿ったウェハの端部と膜の端部との間の距離を求め、当該距離に基づいてウェハの端部近傍における異常の有無を検査する第３のステップ（Ｓ１０６）とを有している。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板に一列に貼着された複数の異方性導電部材の捲れを迅速の検査する検査装置を提供することにある。
【解決手段】基板に貼着された複数の異方性導電部材４ａ〜４ｎを撮像する撮像カメラ２と、撮像カメラの撮像範囲における基板のリード３の異方性導電部材が貼着されていない部分の輝度を測定するリード明暗測定部６と、リード明暗測定部の測定に基づいて閾値を設定する二値化閾値設定部８と、二値化閾値設定部によって設定された閾値を格納する閾値格納部１０と、閾値格納部に格納された閾値に基づいて撮像カメラが順次撮像する複数の異方性導電部材のそれぞれの部分の撮像画像を二値化処理する二値化画像作成部９と、二値化画像作成部によって得られた二値化画像に基づいてテープ状部材の端部の状態を判定する判定部１３を具備する。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＤ検査装置及びそれを利用するＬＥＤ検査方法が提供される。
【解決手段】前記ＬＥＤ検査装置は、第１光を生成して、前記第１光によって励起されて前記第１光より長波長の光を放出する蛍光体を有する封止材が具備されたＬＥＤに照射する第１照明部と、前記第１光より長波長の第２光を生成して前記ＬＥＤに照射する第２照明部と、前記蛍光体から放出された光と前記ＬＥＤから反射した前記第２光を受信して、前記ＬＥＤの映像を獲得する映像獲得部と、前記映像獲得部から得られた前記ＬＥＤの映像を利用して、前記ＬＥＤの不良有無を判断するＬＥＤ状態判定部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】発光素子の不良の有無を検査し、検査後に不良の発光素子を廃棄することのできる発光素子検査装置及びこれを用いた検査方法を提供する。従って、発光素子の不良検査及び不良廃棄を自動化するとともに一連の過程で迅速に処理することにより、生産性の向上を図ることができる。
【解決手段】本発明の一実施形態による発光素子検査装置は、発光素子のビジョン検査により不良の有無を検査する検査部と、前記検査部から供給された前記発光素子のうち、前記検査部の検査結果に基づいて不良と判定された発光素子を廃棄する不良リジェクト部とを含む。 （もっと読む）

【課題】 外観検査装置を大型化を防止し、かつ検査時間の長くなることを防止することである。
【解決手段】 外観検査装置１は、ベース本体３上に浮上ステージ４と、基板搬送ステージ５とが敷設されており、ガラス基板Ｗをベース本体３の長手方向に沿って一端部から他端部に至るまで搬送可能になっており、マクロ検査部１０と欠陥観察部１１とが搬送方向に沿って配設されており、これら検査部１０，１１間の距離は、ガラス基板Ｗの搬送方向の長さよりも短くなっている。 （もっと読む）

【課題】良否判定の精度を低下させることなく、層間の位置ずれによって生じる無駄はねを防止することができる外観検査システムおよび外観検査方法を提供する。
【解決手段】位置補正手段は、検査画像における第１層１０１の代表点Ｐａ１の位置座標から良品画像に対する第１層１０１の位置ずれ量を求め、第２層１０２の代表点Ｐｂ１の位置座標から良品画像に対する第２層１０２の位置ずれ量を求める。位置補正手段は、求めた第１層１０１と第２層１０２との各位置ずれ量に基づいて、検査画像における検査対象領域１１１およびマスク領域１１２の各位置を、それぞれ基準となる良品画像の検査対象領域１１１およびマスク領域１１２の各位置から平行移動させるように補正する。領域設定手段は、位置補正手段による補正後の検査対象領域１１１から同じく補正後のマスク領域１１２を除いた領域を、検査領域１１０として検査画像上に設定する。 （もっと読む）

【課題】ランプ交換に伴う集光型放電ランプの光軸ずれを防止できる光源装置を提供すること。
【解決手段】集光型放電ランプ４４を交換自在に内蔵する装置本体４を備え、当該装置本体４に設けた口金６から光を出力するする光源装置１において、前記集光型放電ランプ４４を着脱自在に保持するランプ取付台５０を備え、前記ランプ取付台５０には、前記集光型放電ランプ４４のネック部６１Ａを受けるＵ字状の切欠が形成された台座５２と、光軸Ｋと垂直な面を成し前記集光型放電ランプ４４の集光型反射鏡６２のフランジ部分６２Ａが当接する板状のフロント板５４とを設け、前記台座５２で受けたネック部６１Ａを押さえる押さえ部５７と、前記集光型放電ランプ４４を前記フロント板５４に向けて付勢しフランジ部分６２Ａを密着させる押さえバネ５６とを備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】ＦＤＰ基板に実装されるＰＣＢ基板上へのテープ部材の貼着の有無を認識率の向上を図るテープ部材の貼着検査方法と装置を提供する。
【解決手段】テープ状の部材を貼着した後のＰＣＢ基板２１に対して照明光を照射するリング状照明装置５０と、照明光によって照明されたＰＣＢ基板の表面上の電極２２と、その表面に貼着されたＡＣＦ１００の画像を結像するレンズ７０や、画像を撮像するカメラ８０とを備えており、更に、リング状照明装置とＰＣＢ基板の表面との間には、互いに対向する一辺を、電極が延長する方向、及び、電極が延長する方向に直交する方向に沿って配置された４枚の板６１、６２が配置され、当該方向からの光を遮光する。 （もっと読む）

【目的】検査処理の運用をできるだけ妨げないでレーザ光源の保守を行う検査システムを提供する。
【構成】パターン検査システム１００は、レーザ光源装置１０３と、前記レーザ光を照明して、被検査試料のパターンの光学画像を取得する光学画像取得装置１５０と、前記光学画像を入力し、前記光学画像を比較対象画像と比較する比較装置１４０と、前記レーザ光源装置と前記光学画像取得装置とを制御する制御装置１６０と、を備え、制御装置１６０は、定期的に前記レーザ光源装置からレーザ光源装置１０３の保守動作の必要性の程度を示す識別子と前回保守動作を行なってからの経過時間とを入力し、前記識別子と前記経過時間との少なくとも１つに基づいて保守動作実行コマンドを前記レーザ光源装置に出力し、前記レーザ光源装置１０３は、前記保守動作実行コマンドに基づいて、前記レーザ光源装置１０３の保守動作を実行することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、多重回折格子記録媒体のそれぞれの模様を検出することが可能な品質検査装置及び品質検査方法に関する。
【解決手段】多重回折格子記録媒体の裏面側から透過光を照射する透過光照射部と、多重回折格子記録媒体を保持する保持部と、多重回折格子記録媒体の透過光軸方向に設けられ、多重回折格子記録媒体の透過光を偏光する偏光素子と、偏光素子を前記多重回折格子記録媒体の透過光の光軸を中心に所定の角度に回転する偏光素子回転部と、所定の角度に応じて多重回折格子記録媒体の透過光による各模様の読取を行う画像読取部を有する画像撮影部と、画像撮影部により読取られた各模様を演算処理し、あらかじめ記録した基準模様と比較して良否判定を行う画像処理部と、画像処理部により演算処理された模様と、良否判定の結果を表示する出力部を有する。 （もっと読む）

【課題】電子部品の高いスループットの自動的検査を可能にする、高速オートフォーカスの方法を提供することである。
【解決手段】強い光、弱い光、及び蛍光の光の用途における、要素の光学検査中の検査速度を最適化する方法。自動収束メカニズムと、高速度ＣＣＤカメラと高開口数（ＮＡ）光学部品とを組み合わせたときに、優れた信号対ノイズ比、解像度、及び検査の速度性能を達成する、蛍光及び非蛍光用途に対して最適化された方法が記載される。 （もっと読む）

【課題】
検査レンズの波面収差は欠陥検出感度を低下させる傾向があり、波面収差の装置間差が、検査感度一致度を下げる原因の一つとなっていた。特に検査レンズの外側は波面収差が大きくなる傾向があるため、(a)像高が高い場合、(b)光が低仰角方向へ強く散乱される欠陥を検出する場合、収差の影響を受けやすくなる。
【解決手段】
本発明では上記課題を達成するために、以下の手段を備えたシステムとして構成されるようにした。
(1)：レーザ等の光源、及び照明光学系、
(2)：検出光学系レンズの波面収差を測定可能な瞳面観測系、もしくは波面収差測定方式、
(3)：収差の大きい瞳面上の領域を遮光可能な2次元空間フィルタ、
(4)：(2)及び(3)を持つ散乱光を検出するための１つまたは複数の欠陥検出光学系及び光検出器、
(5)：波面収差測定に用いる点光源。 （もっと読む）

【課題】判定サイズの再設定作業を行うこと無く、判定サイズの設定を自動的に行うことが可能な欠陥検査装置における判定条件設定方法及び欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】フラットパネル表示装置に用いられるカラーフィルタの欠陥を検出するための判定条件設定方法であって、カラーフィルタ基板に設けられた判定サイズ調整パターンを撮像部で撮像し、撮像された判定サイズ調整パターンを二値化し、判定サイズ調整パターンの実サイズと、二値化された調整パターンの撮像部のピクセル数との間の散布図による近似直線より、判定サイズの設定を行うことを特徴とする判定条件設定方法。 （もっと読む）

【課題】検査効率を向上させる光学検査装置を提供する。
【解決手段】支持ユニット１００には検査対象物１０が載置される。第１照明ユニット４００は、短波長を有する第１光を生成して検査対象物１０に向けて照射する。撮像ユニット２００は、第１光が照射される検査対象物１０を撮像する。これと共に、光学検査装置１０００は、短波長の光を照射して検査対象物１０を撮像するので、検査対象物１０に形成された透明パターンの不良検査が可能である。 （もっと読む）

【課題】処理結果に重複や漏れが発生することを防止すること。
【解決手段】検出装置は、画像表示装置の撮像画像を取得する。また、検出装置は、取得した撮像画像から、該撮像画像から検出する点欠陥又は線欠陥の種別ごとに異なる検出条件を用いて種別ごとに欠陥画素候補を検出する。そして、検出装置は、種別ごとに検出された欠陥画素候補間で、所定の閾値よりも小さい点欠陥候補や所定の閾値よりも小さい線欠陥候補を、前記種別ごとの候補間で移動する。そして、検出装置は、移動後の前記種別ごとの欠陥画素候補から、点欠陥又は線欠陥を決定する。 （もっと読む）

【課題】光学的検査と電気的検査とを行う基板アレイ検査装置において、装置構成を小型化し、検査のスループットを向上させる。
【解決手段】ＴＦＴアレイ検査装置１は、電子線走査によって得られる二次電子を検出するメインチャンバー２０と、メインチャンバーとの間で基板２を搬出入するロードロックチャンバー１０と、基板の搬送方向と直交する方向の幅のライン状画像を撮像するライン撮像手段４０と、電気的検査画像を形成する検査画像形成手段５２と、光学画像を形成する光学画像形成手段４１と、検査画像および光学画像を用いて基板検出を行う基板検査手段６０とを備え、ライン撮像手段を、基板の搬送路上で、ロードロックチャンバーとメインチャンバーの境界近傍に配置する。メインチャンバーへの基板の搬入時に基板の光学画像を取得することで、光学画像を取得するスペースを不要として小型化し、検査のスループットを向上させる。 （もっと読む）

【課題】画像と判定結果とを重ね合わせた画像を保存して画面に表示する描画処理の処理負荷を軽減し、結果的に描画時間の遅れによる作業性の低下を抑制する。
【解決手段】良否判定部３は、撮像装置１で撮像した検査対象物の画像データを用いて外観の良否判定を行う。結果画像生成部４は、良否判定の結果を示す画像データである結果画像データを生成する。登録画像生成部５は、結果画像データを検査対象物の画像データと重ね合わせた登録画像データを生成する。画像記憶部６は登録画像データを保存し、表示処理部７は登録画像データをモニタ装置８の画面に表示させる。 （もっと読む）

【課題】パネル基板の周縁部に実装された電子部品の実装状態の良否を、迅速かつ正確に判定することができ、パネルの大型化にも容易に適応することができる基板検査装置を提供する。
【解決手段】電子部品が異方導電膜を介して実装された透明なパネル基板１０（ワークＷ）を所定の検査位置まで移動させて位置決めする移動ステージ１と、電子部品が実装された面の裏面側から検査対象部位を上記基板１０を透して撮像する撮像手段２と、この撮像手段２を各検査対象部位に沿ってスライドさせるリニア駆動手段３と、上記撮像された検査対象部位の実装状態の良否を判定する情報処理手段とを備え、上記移動ステージ１の上面１ａに、少なくとも一方の基板端部が側方に突出した状態で基板１０を載置する基板検査装置において、上記撮像手段２の近傍に、上記移動ステージ１から突出する基板１０の端部を下側から支承する固定ステージ４を配設する。 （もっと読む）

【課題】検査対象パターン画像と基準パターンとの比較検査を実時間で行うこと等である。
【解決手段】検査対象パターン画像と前記検査対象パターンを製造するために使用するデータを用いて検査対象パターンを検査するパターン検査装置であって、前記データから線分もしくは曲線で表現された基準パターンを生成する基準パターン生成手段と、前記検査対象パターン画像を生成する検査対象パターン画像生成手段と、前記検査対象パターン画像のエッジを検出するエッジ検出手段と、前記検査対象パターン画像のエッジと前記基準パターンの前記線分もしくは曲線とを比較することにより、前記検査対象パターンを検査する検査手段を備えた。 （もっと読む）