【課題】 基板上に形成された膜厚が巨視的に見てなだらかに傾斜している場合でも、光の波長帯に依存せず、検出感度の良いムラ検査装置、およびムラ検査方法、およびプログラムを提供する。
【解決手段】 基板９の上面に形成された膜９２に対して異なる波長帯の光を照射し、それぞれの波長帯の光により膜９２の膜厚の変動を示すムラ画像を取得する。ムラ画像からムラを含む領域を選択し、それぞれの領域を合成することにより、基板全面において膜厚ムラが高感度に検出されたムラ画像を得ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】光の波長が３５０ｎｍ以下であってもクロスニコル光学系を構成できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】所定パターンが形成されたウェハ２０に偏光照明光を照射して照明するための光源１０と、偏光照明光の照明を受けてウェハ２０から反射されて出射される回折光または正反射光を受光し、偏光照明光の偏光方向と略直交する偏光成分のみを通過させる検光子３と、検光子３を通過した光を受光し受光した光から特定波長帯域の光のみを透過させるバンドパスフィルタ３０と、バンドパスフィルタ３０を透過した光からウェハ２０の像の信号強度分布を検出し、信号強度分布によりパターンの形状誤差を検出する信号処理ユニット８とを備えた表面検査装置において、検光子３及びバンドパスフィルタ３０は、被検査基板から反射されて出射される回折光または正反射光の光路に対して挿脱可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】半田付けを行う前に、半田フラックスの塗布状態の良否を検出することできる太陽電池用タブリード半田付け装置を提供する。
【解決手段】太陽電池セルバスバーに半田フラックスを塗布する半田フラックス塗布手段６と、半田フラックス塗布手段６が塗布した塗布対象領域に光を照射する投光系５１と、塗布対象領域から反射した前記光を受光する受光系５２と、半田フラックスが正常に塗布された場合の塗布対象領域からの反射光の強度の値を保持し、前記値と前記受光系５２が受光した塗布対象領域からの反射光の強度を比較し、半田フラックスの塗布状態を判定する判定手段５３と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】生産性を低下させることなく、精度の向上した電子写真感光体の検査方法を提供する。
【解決手段】光学検査第一工程で、電子写真感光体に白色の光を照射し、その反射光を測定し測定された電流値に基づいて、感光体の被疑欠陥の有無を判定し、電気検査第一工程で、感光体表面に導電性ローラを圧接して感光体を回転させながら直流電圧を印加し、導電性ローラから感光体へ流れる電流を測定し、測定された電流値に基づいて、感光体の欠陥の有無を判定する。検査した感光体のうち、光学検査第一工程で被疑欠陥が検出され電気検査第一工程で欠陥が検出されなかった感光体のみに対して、レーザー光を照射し、その光の反射光を測定し、測定された電流値に基づいて、感光体の被疑欠陥の有無を判定する光学検査第二工程を実施する。 （もっと読む）

【課題】外観検査装置によって検出された汚れ欠陥から、作業員の選別によらず、その汚れ欠陥が良品であるか否を選別するカラーフィルタ汚れ欠陥の選別方法を提供する。
【解決手段】１）全画素領域を濃度差画像とする工程、２）濃度差画像を区分濃度差画像とする工程、３）各区分濃度差画像の濃度差積算判定Ｘ、濃度差積算判定Ｙ、濃度差密度判定Ｚを行う工程、４）判定Ｘ、判定Ｙ、判定Ｚの不良個数の合計から区分判定を行う工程、５）上記３）、４）を全区分濃度差画像に行う工程、６）区分判定による不良又は良の結果を配列する工程、７）上記配列で、判定ＳＸ、判定ＳＹ、判定ＳＺを行う工程、８）上記判定の合計からシート（カラーフィルタ）を不良（汚れ欠陥）又は良品と判定を行う工程を具備する。 （もっと読む）

【課題】検出感度の校正を容易に行うことができる表面検査装置及びその校正方法を提供する。
【解決手段】照明光学系２により標準異物ウエハ１１０の表面に照明光を照射しつつ、その照射光により標準異物ウエハ１１０の表面を走査し、検出光学系３の検出器３１〜３４により標準異物ウエハ１１０の表面からの散乱光を検出し、その散乱光の検出結果と予め定めた基準値とを用いて検出器３１〜３４の光電子増倍管３３１〜３３４の検出感度を補正するための補正パラメータＣｏｍｐを算出し、その補正パラメータＣｏｍｐを経時劣化パラメータＰ、光学的特性パラメータＯｐｔ、及びセンサ特性パラメータＬｒに分離して管理する。 （もっと読む）

【課題】液晶ディスプレーに用いられる検査回路と検査方法を開示する。
【解決手段】検査回路は、検査対象CELLに行走査信号を提供するゲート駆動器と、前記ソース駆動器に、連続するハイレベル信号と連続するローレベル信号を含む極性反転信号を提供する信号源と、予め設置された参考電圧と前記極性反転信号に基づいて、受信された表示データ信号に対してデジタル-アナログ変換を行って、画素電圧信号を生成して前記検査対象CELLに出力するソース駆動器と、を備え、前記画素電圧信号が形成した極性反転モデルは列反転モデルである。本発明に係る技術提案において、画素電圧信号が形成した列反転である極性反転モデルは、検査過程においての配向膜破損領域における白い点をさらに突出させることにより、操作者に白い点をさらに容易に識別させ、見落とす問題が避けられる。 （もっと読む）

【課題】基板をエア浮上搬送する際に基板浮上機構間の乗り移りで発生する基板のばたつきを抑え、超高分解能カメラの被写体深度から外れない基板浮上機構を備えた基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板を搬送する基板搬送部と搬送された基板の欠陥を検査する欠陥検査部とを具備する基板検査装置において、基板搬送部に設置された基板を浮上させる複数の基板浮上機構を有し、基板浮上機構が欠陥検査部において搬送方向に対して互い違いに配置されており、互い違いに配置された基板浮上機構間で基板の表面を撮像して欠陥を検出する欠陥検査装置を具備することを特徴とする基板検査装置。 （もっと読む）

【課題】内部に存在する微小な異物を容易に検出することができる電気光学装置の検査方法および電気光学装置の製造方法ならびに電気光学装置の製造装置を提供する。
【解決手段】電気光学装置の検査方法は、第１の基板と第２の基板とが電気光学物質を介して貼り合わされてなり、第１および第２の基板の一方の基板の貼り合わせ面と反対側の面に第３の基板が接着された電気光学装置２の検査方法であって、電気光学装置２に駆動信号を印加しない状態で、電気光学装置２に光源２２から光を入射させる工程と、電気光学装置２の一方の面に対向配置され、電気光学装置２から出射される出射光を、出射光の偏光軸と交差する偏光軸２６ａを有する偏光板２６を介して観察する観察工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】より正確かつより高速に欠陥検出が可能な学習型の欠陥検出装置、欠陥検出方法および欠陥検出プログラムを提供する。
【解決手段】学習画像ＬＮＩＭＧのＡ−Ａ線に沿って複数の部分領域ＢＬＫ^ＬＮが設定された場合において、判断部は、このような部分領域ＢＬＫに対応する距離のうち、下限しきい値ＴｈＬと上限しきい値ＴｈＨとの間にあるもの（候補画像ベクトル）を学習対象と判断する。一方、距離が下限しきい値ＴｈＬ以下のもの、および距離が上限しきい値ＴｈＨ以上のものは、学習対象から除外される。 （もっと読む）

【課題】回折次数の重なりを防止しつつ基板の特性を精度良く求める技術を提供する。
【解決手段】角度分解分光法に対しては、４つのクアドラントを有する照明プロファイルを有する放射ビームが使用される。第１および第３クアドラントが照明される一方、第２および第４クアドラントは照明されない。したがって、結果として生じる瞳面は４つのクアドラントに分けられ、ゼロ次回折パターンのみが第１および第３クアドラントに現れて一次回折パターンのみが第２および第３クアドラントに現れる。 （もっと読む）

【課題】 検査対象のスクリーン製版におけるピンホールなどの欠陥を容易に検出することができるスクリーン製版の検査装置の提供。
【解決手段】 スクリーン製版の検査装置は、被着パターンを形成する樹脂層が網状基材に設けられたスクリーン製版の検査装置であって、検査対象スクリーン製版が垂直面内において移動自在に移動する移動機構と、検査対象スクリーン製版が前記移動機構により移動するよう、垂立状態で保持する可動保持機構と、この可動保持機構に保持された検査対象スクリーン製版に光源よりの光を集光して照射する光照射機構と、検査対象スクリーン製版の少なくとも一部の領域を透過した光による像を拡大して投影する拡大投影機構とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】煩雑なしきい値設定を行うことなく、ノイズや検出する必要のない欠陥に埋没した、ユーザが所望する欠陥を高感度、かつ高速に検出することができる欠陥検査装置及びその方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、被検査対象物を所定の光学条件で照射する照明光学系と、被検査対象物からの散乱光を所定の検出条件で検出して画像データを取得する検出光学系とを備えた欠陥検査装置であって、さらに、入力される被検査対象物の設計データから特徴を算出し、前記検出光学系で取得される光学条件若しくは画像データ取得条件が異なる複数の画像データから特徴量を算出する特徴算出部と、該算出された設計データからの特徴と複数の画像データからの特徴量とを統合処理して欠陥候補を検出する欠陥候補検出部と、該検出された欠陥候補から前記特徴算出部で算出される設計データの特徴を基に致命性の高い欠陥を抽出する欠陥抽出部とを有する画像処理部を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】少ない学習用のサンプルで人の判断に近い判定基準を定めることを可能とした官能検査装置及び方法を提供すること。
【解決手段】擬似サンプル特徴量生成部１０と、擬似サンプル表示部８と、判定入力部９を備え、良品と不良品の境界付近の擬似サンプル重点的に発生させ、それを検査員が判定し、その結果をパターン認識で学習することにより、パターン認識で有効なサンプルを効率よく取得することができるので、少ないサンプルで人に近い判定が可能な官能検査となる。 （もっと読む）

【課題】ムラ評価装置、ムラ評価方法、ディスプレイ検査装置、およびプログラムを提供すること。
【解決手段】ムラ評価装置１００は、ディスプレイ装置の表示領域から設定された半径の球面を走査して前記表示領域に存在する表示ムラについて複数の画像を取得するムラ検出部１１０と、ムラ検出部の取得した複数の画像から、当該画像におけるムラの特徴値と、当該画像を取得した位置とを対応付けてムラ立体を生成し、指定された観視角度から仮想平面を見た場合のムラ立体を重畳したムラ重畳イメージを生成する情報処理装置１５０とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】明欠陥と暗欠陥とが混在する場合にも被検査物の欠陥検出の感度を向上することができる欠陥検出方法及び欠陥検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】欠陥検出方法は、撮像画像に対して欠陥強調処理を行う欠陥強調処理工程と、欠陥を検出する欠陥検出工程とを有している。欠陥強調処理工程ＳＴ２は、明欠陥と暗欠陥の一方の欠陥成分にマスク処理を行う欠陥マスク処理工程ＳＴ２１と検査対象画素を選定する検査対象画素選定工程ＳＴ２２と、検査対象画素の周囲に比較対象画素を設定する比較対象画素群設定工程ＳＴ２３と、検査対象画素と比較対象画素との輝度差データを求め、最小輝度差を求める最小輝度差算出工程と、各比較対象画素群に対して算出された最小輝度差の値が最大値を欠陥強調値とする欠陥強調値算出工程ＳＴ３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】被検査対象基板上に繰り返して形成される様々な回路パターン上に生じる欠陥または異物を、光学条件に依存せず、正常な回路パターンと弁別して欠陥を検出する欠陥検査方法及びその装置を提供することにある。
【解決手段】被検査対象基板から取得した画像信号に対して、着目画素を含むその周囲に切り出す着目局所領域と、前記着目画素に対応する複数の対応画素の各々を含むその周囲に切り出す複数の対応局所領域の各々を設定し、該設定された着目局所領域の画像信号と前記局所領域設定ステップで設定された複数の対応局所領域の画像信号との類似度を探索し、該探索される類似度情報を用いて、前記着目局所領域の画像信号に類似する前記対応局所領域の画像信号を複数決定し、該決定した前記複数の対応局所領域の画像信号と前記着目局所領域の画像信号とを比較して総合的に欠陥を判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板上の微小な直線状微小明部を感度良く検査できる。
【解決手段】ラインカメラにより取得した画像データをストライプ方向と平行なｘ方向とは垂直なｙ方向にＲＧＢ各色ごとに加算してＲＧＢ各色別に輝度投影データを得、輝度投影データ中の着目データＤ（ｘ）とその近傍データＤ（ｘ−ｍ）、Ｄ（ｘ＋ｍ）を用いて、Ｈ（ｘ）＝（（Ｄ（ｘ）−Ｄ（ｘ−ｍ））＊（Ｄ（ｘ）−Ｄ（ｘ＋ｍ））（Ｄ（ｘ）＞Ｄ（ｘ−ｍ）かつＤ（ｘ）＞Ｄ（ｘ＋ｍ）の場合）、Ｈ＝０（前記に該当しない場合）という評価値Ｈ（ｘ）を得て、あらかじめ設定した閾値Ｈｔｈに対してＨ（ｘ）＞Ｈｔｈが成立したときにこの座標ｘを輝度異常と判定する。 （もっと読む）

【課題】電子回路の外観検査前の設定作業を効率化する。
【解決手段】検査条件設定装置（検査装置１）は、半導体、液晶回路、またはプリント基板などの電子回路を複数搭載する被検査物の外観検査をＣＡＤデータ（４１）と被検査物画像（４３）との対比によって行う前に、当該外観検査の条件を予め設定する。当該装置は、粗画像生成手段（ＳＴ２１）と、輪郭抽出手段（ＳＴ２２）と、認識手段（ＳＴ２３）と、を備える。粗画像生成手段は、上記対比を行うために上記ＣＡＤデータから生成する模範画像よりも、粗い画素密度の粗画像（４５）を、上記ＣＡＤデータから生成する。輪郭抽出手段は、上記粗画像から、ひとまとまりの個片（６１、６２等）の輪郭を各々抽出する。認識手段は、上記輪郭から、上記個片のパターンの一致を判定し、１または複数のパターンの個片を認識し、同一パターンのグループごとに上記個片を分類する。 （もっと読む）

【課題】めっき層表面に生じるめっき未着等の欠陥を安定的に検出することが可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置２０は、パッド部１１ａ、１１ｂと、パッド部１１ａ、１１ｂと異なる色彩をもつめっき層１２とを有する被検査基材１０の外観を検査するものである。外観検査装置２０は、被検査基材１０に対してパッド部１１ａ、１１ｂからの反射率と、めっき層１２からの反射率との差が大きくなる特定波長成分を含む光を照射する照明装置２３ａ−２３ｃと、被検査基材１０を撮像してグレー画像を取得するモノクロカメラ２２と、モノクロカメラ２２に接続された画像処理装置３０とを備えている。画像処理装置３０は、モノクロカメラ２２からのグレー画像に基づいて白黒画像を生成する二値化処理部３３と、白黒画像に基づいてめっき層１２の未着を判定する判定部３４とを有している。 （もっと読む）