【課題】第１表面に対向する第２表面による反射像の影響を受けずに被評価物体の表面形状を精度よく評価することができるようにする。
【解決手段】評価装置は、評価対象である板ガラスなどの被評価物体３の表面３ａに映し出されたストライプパターン１を、ＣＣＤカメラ２によって撮像するように構成されている。ストライプパターン１は、光源の発光面に設けられている。また、被評価物体３の裏面３ｂには、屈折率が被評価物体３の屈折率に近い反射抑制層２０が、裏面３ｂに接するように配置されている。ＣＣＤカメラ２によって撮像された画像は、演算装置としてのコンピュータ４に取り込まれ、コンピュータ４によって画像解析が行われる。 （もっと読む）

【課題】トレイに収容されたガラス基板に割れや欠けが存在するか否かを検知することが可能なガラス基板収納トレイを提供すること。
【解決手段】ガラス基板２０を載置するトレイであって、該トレイの一端に光を発光する発光部２１を設け対抗する一端に発光部に対する受光をする受光部２２を設けたことを特徴とするガラス基板収納トレイであって、前記発光部が光ファイバー光源又は有機エレクトロルミネッセンス素子であり、受光部が光ファイバーセンサーであることを特徴とするガラス基板収納トレイである。 （もっと読む）

【課題】板状透明体の表面に存在している長径１０μｍ程度の微細傷を、顕微鏡精査を行うことなく検出することができる板状透明体の欠陥検査装置及びその方法を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置１０は、ガラス基板Ｇの下面に存在している微細傷に強い受光感度を有する受光角度θ_１（０°＜θ１≦６０°、好ましくは３０°≦θ_１≦４５°）に、受光器２２、２４の受光方向を設定した。また、受光器２２、２４による観察部位に到達する照明光の光量が一定となるように、投光器１８、２０側の出力強度をＣＰＵによって制御することで、受光器２２、２４側のダイナミックレンジ不足を補い、受光器２２、２４側で信号補正を行うことなく、微細傷の検出を可能にした。更に、双方の受光器２２、２４で検出された総受光量（輝度）の積分値に基づいて微細傷の深さを算出した。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で素材、板厚、端面の状態等を含めたガラス基板等の状態の検査を行うことが可能なガラス基板検査装置及びガラス基板製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】画像データを解析する解析手段を有し、前記解析手段は、前記画像データから特定の色の画像データを抽出する色抽出手段と、前記色抽出手段により抽出された前記特定の色の画像データを含む第一の所定領域の画像データの色の変化に基づき前記ガラス基板の端面に対する加工が行われているか否かを検出する端面状態検出手段と、
を有する。 （もっと読む）

【課題】高価な評価機器や顕微鏡を用いることなく、非破壊にて精度高く透明基板の欠陥を検査することができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】オフ角を有する透明基板の欠陥検査装置であって、該欠陥検査装置は、少なくとも、光源と、前記透明基板を透過した透過光を測定する固体撮像素子からなる受光部と、２枚の偏光板と、前記透明基板を載置するためのサンプルステージと、前記サンプルステージおよび前記２枚の偏光板を前記透明基板のオフ角に対応させて前記受光部に対して傾けることができるチルト機構とを備え、前記２枚の偏光板のうち一方は前記光源と前記サンプルステージとの間に、もう一方は前記サンプルステージと前記受光部との間に、少なくとも１枚の偏光板が前記サンプルステージと平行になるように配置され、かつ前記２枚の偏光板は透過軸のズレが３０°以内となるように配置されたものであることを特徴とする透明基板の欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】検査対象の端部を正確に検出することができる撮影検査システムを提供する。
【解決手段】照射部１０が、検査対象の裏面側に設けられ、検査対象の存在位置に向けて光を照射する。照射側偏光部１１が、照射部１０と検査対象の存在位置との間に設けられ、検査対象に向かう照射部１０からの光のうち特定方向に振動する光のみを通過させる。撮影側偏光部１２が、検査対象の表面と撮影部との間に設置され、特定方向と直交する方向に振動する光のみを通過させる。画像処理部１３は、撮影部が撮影した画像にもとづいて、検査対象の端部の位置を検出する。また、照射側偏光部１１は、検査対象の裏面と検査対象の側端部の外側の所定領域とに通過光を出射する。 （もっと読む）

【課題】連続検査が可能で、検査の品質を低下させることがない、検査システムのフレーム機構を提供する。
【解決手段】検査システムのフレーム機構２０は、第１ワークフレーム２５１と、第１フレーム２１と、第２フレーム２２とを含み、第１フレーム２１は第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で第１ワークフレーム２５１の第１の側へ回動し、第２フレーム２２は第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で第１ワークフレーム２５１の第２の側へ回動し、第１スキャン区域において、第１及び第２フレーム２１、２２の一方が折り畳まれた位置にあり、第１及び第２フレーム２１、２２の他方が展開された位置にあるとき、第１及び第２フレーム２１、２２のいずれかを第１スキャナ３８がスキャンする。 （もっと読む）

【目的】 透光性物品における光学的な不均一性の有無を正確に検査できる透光性物品の
検査方法を提供する。
【構成】 透光性物品に２００ｎｍ以下の波長を有する検査光を導入した場合に、該透光
性物品内部で前記検査光が伝播する光路に前記局所又は局部的に光学特性が変化する部位
がある場合にこの部位から発せられる光であって前記検査光の波長よりも長い光を感知す
ることにより、前記透光性物品における光学的な不均一性の有無を検査する。 （もっと読む）

【課題】
光学素子の欠陥を精度よく確認することができる外観検査装置を提供すること
【解決手段】
本発明の外観検査装置は、基板７の欠陥を検出する外観検査装置であって、前記基板７の平面に対してそれぞれ斜めに光を照射するとともに前記基板７を挟んで配置された複数の低倍率カメラ用光源３と、これらの低倍率カメラ用光源３の光軸と交差する方向に光軸を有するとともに、前記低倍率カメラ用光源３から照射されて前記基板７から反射または透過する光を撮像する低倍率カメラ４と、前記基板７の平面に対して垂直に光を照射する高倍率カメラ用光源５と、この高倍率カメラ用光源５の光軸と同一の光軸を有するとともに前記高倍率カメラ用光源５から照射されて前記基板７で反射された光を撮像する高倍率カメラ６と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、反りがある基板でも基板の上面に接触せずに搬送でき、基板の高さより上に搬送用の可動部がない基板搬送装置および基板検査システムを提供する。
【解決手段】
基板検査システム１００は、基板搬送装置１と、搬送される基板Ｗの表面を撮像する撮像装置２と、撮像された画像を検査する検査装置３と、検査結果を表示する表示装置４を有する。基板搬送装置１は、基板Ｗに対して下方からエアを吹き付けて浮上させる浮上ステージ８と、浮上ステージ８に沿って移動可能で基板Ｗの裏面側の側縁部を吸着する吸着部９を備えた移動機構１０を有する。移動機構１０の移動台１０ｄは、吸着部９の近傍に、補助吸着部１１を有する昇降機構１２を備える。反った基板Ｗに対し補助吸着部１１が上昇して側縁を吸着して引き下げて吸着部９が基板Ｗを吸着し、移動台１０ｄが移動して基板Ｗを搬送しつつ撮像装置２で撮像して検査する。 （もっと読む）

【課題】ガラス板の割れの有無を検査する。
【解決手段】切り折り対象のガラス板の一端面に接触し、当該一端面からその反対側の他端面に向かって移動しながらガラス板の表面に切り折りの起点となる傷を入れ、前記他端面に到達した場合に前記表面及び他端面に対する接触が解除されるカッタを備えた切機を用いて、ガラス基板の割れを検査する検査方法において、前記カッタがガラス基板の一端面に接触したか否かを検出するステップと、前記カッタがガラス基板の一端面に接触した時点の当該カッタの位置を、ガラス基板の一端面の位置として検出するステップと、前記検出したガラス基板の一端面の位置と予め定められた設定範囲とを比較するステップと、前記比較の結果に基づいて、前記検出したガラス基板の一端面に割れが存在するか否かを判定するステップと、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】異物の付着した面が被検物の２面のうちのいずれの面であるかを検出することが可能な異物検査装置を提供する。
【解決手段】異物検査装置は、被検物に検査光を投光する投光部と、検査光が投光されることによって被検物から生じる散乱光の強度を検出する検出器を含む受光部と、制御部とを備える。検出器は、偏光方向が第１の方向である検査光が投光されることによって被検物から生じる第１の散乱光の強度と、偏光方向が第２の方向である検査光が投光されることによって被検物から生じる第２の散乱光の強度とを検出する。制御部は、検出器により検出された第１の散乱光の強度および第２の散乱光の強度の比が基準値より大きいか小さいかによって異物が付着した面が第１面および第２面のいずれであるかを判定する。 （もっと読む）

【課題】透明平板の検出を簡易かつ高精度に行う。
【解決手段】透明平板１１４を含む領域を、該透明平板１１４の平面部法線方向に対して所定の角度から撮像して、垂直偏光画像および水平偏光画像を撮像するカメラ１２と、載置台１１３と、載置台１３の下側に設置された反射面１１１と、透明平板１１４の平面部法線に対して、カメラ１２と対向するように配置され、透明平板１１４の平面部からの正反射光がカメラ１２に入射しないように遮光する遮光板１０２と、垂直偏光画像および水平偏光画像に基づく縦横偏光度画像の縦横偏光度の分布に基づいて透明平板１１４を検出する画像処理装置１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】第５世代のマザーガラスの大きさ以上の大きさを有するガラス基板を容易に検査することのできるガラス基板の検査用保持冶具を提供する。
【解決手段】柱状部材４３，４４が柱状部材４１の右端近傍部分４１ａ及び柱状部材４２の右端近傍部分４２ａと共に形成する長方形によって、検査用保持冶具１０の柱状部材４１，４２及び柱状部材４３，４４の位置関係が強固に固定される。また、柱状部材４５，４６が柱状部材４１の左端近傍部分４１ｂ及び柱状部材４２の左端近傍部分４２ｂと共に形成する長方形によって、検査用保持冶具１０の柱状部材４１，４２及び柱状部材４５，４６の位置関係が強固に固定される。 （もっと読む）

【課題】 多数枚の透光性基板ＯＢの検査を短時間でできるようにする。
【解決手段】 複数のガラス基板ＯＢの一部に対してライン状の光を照射し、このライン状の光が照射される設定枚数のガラス基板ＯＢを検査対象ブロックとする。検査対象ブロック内のガラス基板ＯＢがカメラ２１の被写界深度内に入るように、治具１１の位置を調整して撮影する。撮影画面における輝度データに基づいて、検査対象ブロック内に欠陥が存在するガラス基板ＯＢがあるか否かを判定し、欠陥が存在するガラス基板ＯＢがある場合には、カメラ位置をガラス基板ＯＢの法線方向に細かく切り替えて撮影し、カメラ位置に対する輝度値と関連する値の変化曲線から欠陥が存在するガラス基板ＯＢを判別する。 （もっと読む）

【課題】検査者に無理な姿勢を強いることなく、正面視により目視しやすい条件を簡単に作り出すことができ、大型のＦＰＤ用ガラス板の欠陥部分を無理なく確実に安全に検出することのできる、ガラス板の欠陥部分の目視検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】固定フレーム１０と、前面に、検査対象のガラス板を、垂直に対し５°〜１５°の角度で後傾した斜め立て姿勢で載置することができると共に、そのガラス板を斜め立て姿勢に保持したまま固定フレームに上下方向移動可能及び上下方向回動可能に支持されたステージ５０と、ステージに載置されたガラス板の左右両端面からガラス板の内部に向けて検査光を照射する照明装置７０とを具備する。ステージには、ガラス板の背面を間隔をおいて支持する多数の支持ピン５２が設けられており、各支持ピンの先端にガラス板を左右方向に移動させるのを容易にするためのボールが回転可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】被検査基板における欠陥発生状況の把握を妨げることなく、管理すべき欠陥データ量を抑制できる欠陥検査装置の提供。
【解決手段】欠陥検査装置は、撮像装置が生成した被検査基板面の被検査画像データを取得する手段と、被検査画像データと基準画像データとを比較して欠陥部を検出する手段と、検出された欠陥部の位置座標を少なくとも含む欠陥データを生成する手段と、区画基準領域データ及び前記位置座標に基づいてそれの各領域に存在する欠陥部の個数を算出する手段と、各領域の欠陥部の個数と各領域の許容値とを比較して欠陥部密集領域を検出する手段と、欠陥部密集領域における各欠陥部の欠陥データを、その領域に対して予め定められた領域位置データに置換する手段と、領域位置データと置換されなかった欠陥部の欠陥データとを管理サーバへ送信する手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板全面の検査はもとより基板内の局所的な検査を生産ライン上の流動的なガラスに対して遅延することなく表示する。
【解決手段】各測定モードでは、上流ラインから下流ラインヘ基板を順番に移動させる流動的な生産ライン上で１枚１枚のガラス基板に対し、走査領域分の測定を行なう。表示画面はスキャン毎並びに基板１枚分毎の２系統の検査結果を表示する。表示画面の例えば右側の領域には光学系を通過した基板の１スキャン分の検査結果、すなわち局所的な検査結果を生産ライン上の流動的なガラスに対して遅延することなく表示する。画面左側の領域には基板１枚分に相当する検査結果を並べて表示する。基板１枚分に相当する検査結果は、画面右側に表示された１枚１枚の基板検査結果の結合に相当し、基板における異物／欠陥の位置における座標をマップとして表示される。 （もっと読む）

【課題】 前面ガラスの裏面に配置された異種の物質の影響を受けずに、前面ガラスの損傷を低コストで検知すること。
【解決手段】 薄型表示装置は、表示部の前面ガラスの損傷を光学的に検出する機能をもつ。光源１１乃至１７は前面ガラス３０に対して光を発し、光は前面ガラス３０の端面３１から入射して内部を進行し、前面ガラス３０の端面３２から出射して受光素子２１乃至２９に到達する。前面ガラス３０にヒビ８が生じた場合、受光素子２１乃至２９が検出する受光量が変化し、損傷の発生が検出される。 （もっと読む）