説明

Fターム[2G051AA84]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 調査・分析対象 (8,670) | 型板ガラス (173)

Fターム[2G051AA84]の下位に属するFターム

Fターム[2G051AA84]に分類される特許

61 - 80 / 143


【課題】本発明は、湾曲した板状体の検査装置及び検査方法に関し、湾曲した板状体の全面を略均一に検査して、その欠陥検出を正確に行うことにある。
【解決手段】複数の曲率を有する湾曲した板状体へ向けて光を照射する光源と、光源と板状体との間に配設され、該光源から板状体へ向けて照射された光を透過・遮断するための所定の明暗パターンが形成されたパターン形成部材と、板状体を反射した光源からの光を受光する受光センサと、を設け、受光センサに受光された光の受光パターンに基づいて板状体を検査する装置において、パターン形成部材に形成された所定の明暗パターンを、受光センサでの受光パターンの間隔周期が該受光センサの分解能に対して所定の下限複数倍から所定の上限複数倍までの範囲内になるように、板状体の曲率に合わせて粗密にする。 (もっと読む)


【課題】ミクロ検査装置及びミクロ検査方法において、浮上プレート上の被検査体のミクロ検査を有効に行う。
【解決手段】被検査体を浮上させる浮上プレート2と、この浮上プレート2を移動させるアクチュエータ(2b,10b)と、を備える構成とする。 (もっと読む)


【課題】基板浮上機構の組み付け工数を減らし、精密な加工を含めた装置全体の価格を削減することができる基板浮上機構の取り付けおよび高さ調整機構を提供すること。
【解決手段】空気の吹き出し及び吸引によって基板2を一定の高さに浮上維持する基盤浮上機構3と、前記基板浮上機構3の高さを個別に調整する高さ位置調整機構4と、前記基板浮上機構4の一側面からはみ出した前記基板5の片端部を固定する基板把持機構5と前記基板浮上機構3の一側面と隣接して設けられ、前記基板把持機構5を介して前記基板2を搬送方向Xに沿った方向に搬送する基板搬送機構6と、前記基板浮上機構3へ空気の供給および前記基板浮上機構3からの空気の吸引を行う浮上制御部Aと、前記基板2の表面検査を行う検査部Bを備える。 (もっと読む)


【課題】キズ等の欠陥が強調された欠陥抽出画像を生成することができる。
【解決手段】被検査物の欠陥を抽出する欠陥抽出装置であって、被検査物を撮像した対象画像からマスク画像を生成するマスク画像生成部と、マスク画像により対象画像をマスクして、対象画像に撮像された被検査物の欠陥を抽出する抽出部とを備え、マスク画像生成部は、対象画像における、輝度がより高い部分を膨張させ、輝度がより低い部分を収縮させる高輝度強調部と、対象画像における、輝度がより高い部分を収縮させ、輝度がより低い部分を膨張させる低輝度強調部と、高輝度強調部および低輝度強調部が出力した画像の差分をとってマスク画像を生成する差分処理部と、を有する欠陥抽出装置が提供される。 (もっと読む)


【課題】被測定物の表面に長い溝等の凹凸部がある場合の表面検査精度を向上させる。
【解決手段】被測定物Wの凹凸部Weに直交するようにラインファイバ照明10を配置し、被測定物Wからの反射光をラインセンサカメラ11に入射させて画像信号を得る。凹凸部Weの斜面ではラインファイバ照明10からの光の正反射光が少なくなるため、ラインファイバ照明10の両側に複数の小型のファイバ照明14、15を設けて斜め方向から光を照射し、均一な照明による表面検査を行う。 (もっと読む)


【課題】基板検査に対する基板検査装置の稼働率向上のために、スループットを向上させることが可能な基板検査方法および基板検査システムを提供することを目的とする。
【解決手段】レシピサーバが、レシピの初期設定として被検査体の検査領域を設定する検査領域設定工程を実行し、レシピサーバが、撮像のための光学条件を設定する光学条件設定工程を実行し、基板検査装置が、レシピサーバによって設定された検査領域および光学条件を含む暫定レシピを用いて被検査体を撮像して画像データを取得する画像取得工程を実行し、レシピサーバが、基板検査装置によって取得した画像データを用いて暫定レシピをチューニングして調整レシピを作成するレシピチューニング工程を実行し、基板検査装置が、レシピサーバによってレシピチューニングした調整レシピに基づいて、被検査体を検査する検査工程を実行することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】欠陥検出の感度を高めると同時に、誤検出を低減して欠陥検出の精度を高める。
【解決手段】暗視野光学系2は、被検査物である透明基板1の暗視野像を得る。処理部5は、暗視野光学系2により得られた暗視野像に基づいて、透明基板1の表面における欠陥の候補を検出する。微分干渉光学系3は、処理部5により検出された欠陥の候補を含む透明基板1の微分干渉像を得る。処理部5は、微分干渉光学系3により得られた微分干渉像に基づいて、前記欠陥の候補がその周囲に対して凹をなすか凸をなすかを判定し、当該候補が凹をなすと判定すると当該候補を欠陥であるとし、当該候補が凹をなさないと判定すると当該候補は欠陥ではないとする。 (もっと読む)


【課題】 基板に形成された微小な線状のキズを確実に検出することのできる基板検査装置。
【解決手段】 基板(30)の異物を検査する基板検査装置は、基板を照明する照明系(1;1a,1b)と、照明系により照明された基板上の領域を暗視野観察する撮像系(2)と、撮像系の透過視野背景および反射視野背景に配置された低反射遮光部材(3,4)とを備えている。基板は光透過性を有し、低反射遮光部材は透過視野背景の全体および反射視野背景の全体を覆うように配置されている。 (もっと読む)


【課題】被検査物の欠陥を精度よく検査することが可能となるホルダ及び検査装置を提供する。
【解決手段】ホルダ3は、ガラス基板Sの欠陥を検査する際に用いられるものであって、ガラス基板Sを支持する本体10を備え、本体10が紫外光を吸収する材料で形成されて紫外光を透過しないようになっており、本体10の反射型暗視野照明装置側の表面10aには、ARコート14が設けられている。つまり、ホルダ3は、紫外光の反射を防止するための反射防止部、及び紫外光の透過を防止するための透過防止部を有している。よって、ガラス基板Sの欠陥を検査する際、反射型暗視野照明装置から照射された紫外光が表面10aにて反射散乱したり、透過型暗視野照明装置から照射された紫外光がホルダ3を透過したりするのを防止でき、ガラス基板Sを撮像時においてノイズが検出されるのを抑制できる。 (もっと読む)


【課題】 簡素な構成にしたがって、あらゆる方向に沿って延びる微小な線状のキズを確実に検出することのできる基板検査装置。
【解決手段】 基板(30)の異物を検査する基板検査装置は、輪帯形状の光源(14)と、光源からの光束に基づいて基板の所定領域を重畳的に照明する照明光学系(15)と、所定領域を暗視野観察する撮像系(2)とを備えている。光源は、中央に形成された中空部(14a)を有する。照明光学系は、中央に形成された貫通部(15a)を有する。撮像系の撮像範囲(2a)は、照明光学系の貫通部および光源の中空部を貫通している。 (もっと読む)


【課題】表示パネルに光を照射して異物検査を行なうための表示パネル検査治具において、表示パネルの載せ替え作業がしやすく、なおかつ、光漏れを抑えることができるようにする。
【解決手段】表示パネル検査治具103は、表示パネル1に下方から光を照射するための開口部2と、表示パネル1を載せるための平坦な上面5において開口部2の外周を取り囲むように延在し、表示パネル1の下面のうち外周縁部に沿った枠状の領域に前記上面を当接させて下方から支えるための支持領域11と、開口部2の外周に近接した位置で支持領域11に隣接するように上面5に設けられた曲面状に凹んだ取出し用凹部9とを有する。取出し用凹部9は、表示パネル1が載置されたときに表示パネル1が覆う領域に対して支持領域11を分断しない程度に開口部2寄りに部分的に入り込んで配置されている。 (もっと読む)


【課題】カラーフィルタの欠陥検査では、不良欠陥の検出に、ガラス内気泡欠陥を検出しても、検査作業負荷が増加しない、その確認、修正の時間が増加しないカラーフィルタ欠陥検査方法を提供し、欠陥部位の確認、修正時間の増加、その信頼性が低下を防止する。
【解決手段】コート前、後、現像後の検査装置を工程内に付設し、各々欠陥を検査後、検出欠陥データA、検出欠陥データB、検出欠陥データCを演算システムに出力し、検出欠陥データAと検出欠陥データBの欠陥位置と照合し分析欠陥データBを算出し、検出欠陥データAと分析欠陥データBの欠陥位置と照合し分析欠陥データAを算出し、分析欠陥データAと検出欠陥データCの欠陥位置と照合し分析欠陥データCを算出し、算出した分析欠陥データCがガラス内気泡欠陥を除去した検出欠陥データCに従って、カラーフィルタ欠陥部位を確認、修正するガラス内気泡欠陥除去によるカラーフィルタ欠陥検査方法。 (もっと読む)


本発明は、例えば、半導体産業用のウェーハ、太陽電池、ガラス、FPD基板またはバイオセンサー用の生物活性基板のような、接触に対して敏感な平面状の材料もしくは加工品の検査装置に関し、さらに、接触に対して敏感な曲面表面の材料の検査装置にも関する。この場合、この検査装置は、材料(3)をその上面上に担持する支持体(1)と、その支持体(1)に接続される少なくとも1つの振動発生器であって、その振動発生器の振動の周波数および振幅は、材料(3)を支持体(1)の上で浮揚させ続けうるように選択される少なくとも1つの振動発生器と、少なくとも1つの光学センサー(4)とを含み、さらに、支持体は透明な材料から構成され、かつ、光学センサー(4)は支持体(1)の下部に配置される。 (もっと読む)


【課題】フラットパネルディスプレイなどに使われる基板の欠陥検査装置などで、上下変動無く安定して搬送を行うための搬送機構における基板把持機構に関するものである。
【解決手段】基板搬送部に設置され基板を浮上させる基板浮上機構と、基板を把持する把持手段と、把持手段を移動させる把持搬送手段を備えた基板搬送装置において、把持手段は、基板端部を基板挟み部により挟み込む上ブロックおよび下ブロックと、上ブロックおよび下ブロックを支えかつ移動軸をそろえるための支柱と、上ブロックと下ブロックの基板挟み部の外側に配置されるチャック開閉チューブと、チャック開閉チューブ内部に流体を給排する流体給排手段と、上ブロックと下ブロックの間に配置される反発ばねと、上ブロックおよび下ブロックを支える支え梁および支えばねとを備え、少なくとも1以上の把持手段を往復運動させる把持搬送手段を備えた基板搬送装置用把持機構。 (もっと読む)


【課題】表面及び裏面の検査を効率良く行える基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置1は、ガラス基板Wをエアー浮上させる浮上ステージを挟んで表面検査部5と裏面検査部が配置されている。両検査部は、検査用顕微鏡ユニット55をガラス基板Wの搬送方向と直交する幅方向に移動自在に構成されている。各検査用顕微鏡ユニット55が落射照明で検査をするときは、各々の対物レンズを光軸が一致するように配置すれば、同一箇所の表面と裏面の検査を同時に行える。さらに、各検査用顕微鏡ユニット55が透過照明で検査を行うための照明ユニットも設けられている。 (もっと読む)


【課題】確実に欠陥を検出する。
【解決手段】固体撮像装置のカバーガラスの表面にピントを合わせて撮像し、表面画像を得る。同様に、カバーガラスの裏面にピントを合わせて撮像し、裏面画像を得る。表面画像と裏面画像を合成して合成画像60を作成する。動的閾値法を用いて、合成画像60の各画素ごとに第1閾値Th1を設定する。輝度値が第1閾値Th1を超える画像を欠陥候補画像61,62,63として特定する。欠陥候補画像61,62,63の最高輝度値ML1,ML2,ML3に所定の比率を掛け合わせて、第2閾値Th21,Th22,Th23を設定する。輝度値が第2閾値Th21,Th22,Th23未満の画像をボケ画像43,51,52として欠陥候補画像61,62,63から除去する。これにより、合成画像60には、ブツ欠陥画像41、許容欠陥画像42、ヨゴレ欠陥画像53のみが残り、欠陥を確実に検出することができる。 (もっと読む)


【課題】従来の検査装置では、光透過性の基板の表裏面の区別と、付着物と傷との区別が困難であるという課題がある。
【解決手段】照明装置13からの光を第2屈折部材16および第1屈折部材15で屈折させて照明装置13の法線方向の光量を激減させた光を作成し、この光を基板12に照射および透過させた後に撮像装置14で撮像することで、光透過性の基板12の表裏面の区別と、付着物と傷との区別を行うことが可能な検査を行うことが可能となる。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、照射光量が次第に減衰していく状態をセンサで確実に検出することができ、また導光ロッドから光ファイバーへ可視光を効率よく導くことができる光量モニタとそれを用いた光源装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 光源から照射される光を光ファイバー30により被照射物へ照射される光の照射光量を検出する光源装置に使用する光量モニタであって、光を導く導光ロッド20は蛍光ガラスで構成し、また同導光ロッドの光出射端面に紫外線不透過物を配置し、さらに導光ロッドの中間一部で且つ導光ロッドの外周面に対応して、バンドパスフィルタ41を配置し、同バンドパスフィルタを通過した蛍光光をセンサ40が受光し、可視光として検出するように構成してある。また紫外線不透過物は、紫外線を反射若しくは吸収する特性を有して構成してある。
(もっと読む)


【課題】製造した透明基板の板厚のむらを容易に確認できるようにする透明基板の検査方法を提供する。
【解決手段】板厚分布の状況が既知である第一の透明基板と、検査対象となる第二の透明基板とを準備し、第一の透明基板と第二の透明基板の平均板厚の差を50μm以内とする。第一の基板と第二の基板の基板間隙を0.1mm以上とする。ピーク輝度に対する半値幅が5nm以上である光を照射する。第一の透明基板および第二の透明基板を通過する光の干渉強度分布によって、第二の透明基板の板厚分布の程度を判断する。 (もっと読む)


【課題】透明板内部の異物の簡便な検査方法を提供する。
【解決手段】
透明板表面に対して平行な光を透明板の少なくとも1側端面から、該側端面を長辺方向に10等分した時の各1個分の面積の総光量が100×(10個の中の最小総光量)/(10個の中の最大総光量)≧60%となるように入射させ、前記透明板内部の異物により散乱し前記透明板表面から輝点として出射させ、前記透明板表面を前記透明板表面の垂直上方向から撮像し、画像処理装置により前記透明板表面の各位置における光量を示す画像データとし、別途、目視によって識別した前記透明板内部の異物による輝点の光量と、前記透明板表面の異物や傷による輝点の光量とから決定した閾値を用いて、前記画像データにおける各輝点の光量を閾値で二分して閾値以上の光量の輝点のみを検出し、該輝点を透明板内部の異物による輝点とする透明板内部の異物検査方法。 (もっと読む)


61 - 80 / 143