【課題】常に一方の面を支持して搬送しながらも、その一方の面（被支持面）の検査作業を能率的に行える板状体検査設備を提供する。
【解決手段】搬送装置10による板状体Ｇａの搬送経路１中で、目視検査部Ｂに対向する部分に、昇降動手段41と反転動手段51を設けた。昇降動手段は、搬送面１Ａの下方に位置する昇降体42と、昇降装置46と、搬送面に対して出退動自在として昇降体に設けた板状体持ち上げ体47とにより構成した。反転動手段は、幅方向１Ｗに移動自在な移動体52と、移動体の下部に連動した横移動装置55と、移動体の上部に、横軸心63Ａの周りに回動自在に設けた回動体61と、回動体の回動装置65と、回動体が水平状姿勢のときに下面61Ａ側に位置する板状体保持装置71とにより構成した。回動装置は、板状体保持装置が搬送経路の搬送面に対向して位置する水平状姿勢と、板状体保持装置が搬送面に対して起立状に位置する傾斜状姿勢との間で回動体を回動すべく構成した。 （もっと読む）

【課題】ライン上を搬送されてくるガラス基板をラインから取り出すことなく、その全面にわたる詳細な外観検査を行うことを可能とし、タクトタイムの短縮、製造設備のコンパクト化を図ること。
【解決手段】基板外観検査装置１は、製造ライン５２上を搬送されてくる基板５０の表面に照射する照明光を発生する照明装置１１と、照明装置１１から発せられ基板５０の表面において反射した反射光を撮影するカメラ１３と、これら照明装置１１およびカメラ１３を、製造ライン５２上の基板５０の搬送方向に交差する方向に一体的に移動させる移動機構とを備え、カメラ１３が、照明装置１１からの照明光の、基板５０の表面における正反射光の光束の範囲外に配置されている。 （もっと読む）

【課題】透明又は半透明の板状体の欠陥を、板状体の裏面の状況を反映することなく高精度で検出できる板状体の欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】互いに直交するＡ面、Ｂ面を有する透明又は半透明の板状体Ｗに、光源１２からの光を照射し、その反射光をＣＣＤカメラ１６によって撮像する。光源１２からの光の入射角度θ１をＢ面に対して全反射となる角度以上とする。また、Ａ面に入射した光が板状体Ｗの裏面Ｗ３によって反射される反射光を含むことになる裏面反射光領域Ｗ２を除く検査領域Ｗ１のみを、ＣＣＤカメラ１６によって撮像することで、映像に裏面Ｗ３の粗さ等が反映されるのを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】基板にかかる応力を抑制しつつ確実に吸着保持できるようにする。
【解決手段】外観検査装置１は、基板吸着装置として板金１５に固定された３つの吸着部群１６Ａ〜１６Ｃを備える。吸着部群１６Ａ〜１６Ｃはガラス基板Ｗの搬送方向に並んで配置されており、各々が３つの吸着部１８Ａ〜１８Ｃを備える。吸着部１８Ａ〜１８Ｃは、ガラス基板Ｗの裏面に吸着可能で、首振り動作が可能な吸着パッド２２が１つずつ設けられている。最も中央にある吸着部群１６Ｂの吸着部１８Ｂは、上方に押し付け部３３が配置されている。押し付け部３３は補助パッド３５を降下させてガラス基板Ｗを吸着部１８Ｂに押し付ける。 （もっと読む）

【課題】透明基板を検査する方法において、十分なスピードを提供し、高度に仕上げられた表面を必要とせず、薄いガラスシートに限定されず、混入物の場所を特定の位置に識別し、極めて小さい混入物を検出するに十分な感度を示す、ガラス基板基材のバルクまたは内体積の正確な検査を可能にする。
【解決手段】屈折率整合光カプラと透明基板の表面の間に屈折率整合液を与える。透明基板の表面に沿う２つないしさらに多くの位置において、（ｉ）光カプラを通して透明基板にリボン光を導き入れる工程によって透明基板内の検査体積を光照射する工程、および （ii）検査体積と光学的に共役な検出器において検査体積からの散乱光を検出する工程、を反復する。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面に形成されたパターンの境界線の検出精度を向上することができる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】（ａ）被検査物２の表面２ａに斜め方向から光束１５ａを照射し、光束１５ａの照射位置１５ｓを線状に移動させる発光部１４と、（ｂ）照射位置１５ｓで正反射した正反射光１５ｂを検出して信号を出力する受光部と、（ｃ）光束１５ａの断面強度分布の逆フィルタを含み、受光部が出力した信号を逆フィルタに通した後の信号に基づいて、被検査物の表面に形成されたパターンの境界を検出するパターン検出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、透明な被検査物の表面と内部の両方を同時に検査することができる透明物の検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】（ａ）透明な被検査物２の表面２ａに斜め方向から光束１５ａを照射し、照射位置１５ｓを線状に移動させる発光部１４と、（ｂ）被検査物２に関して発光部１４と同じ側において照射位置１５ｓに対向して線状に延在する受光窓１６ｓを有し、受光窓１６ｓを通った光束成分の強度を検出する受光部と、（ｃ）受光部が検出した光束成分の強度に基づいて被検査物の良否判定を行う判定部と、を備える。受光窓１６ｓは、光束成分として、光束１５ａが照射位置１５ｓにおいて被検査物２の表面２ａで正反射された正反射光成分１５ｂと、光束１５ａが照射位置１５ｓで被検査物２の内部に入射し、裏面２ｂで反射した後、表面２ａから出射した内部反射成分１５ｅとの両方が同時に通るように、広げて形成されている。 （もっと読む）

規則ＥＣＥ Ｒ４３に従って実施したフラグメンテーション検査後に、単独の強化ガラスプライのフラグメンテーションパターンを精査する方法を開示する。この方法は、透明な支持手段の第１側面の側に位置する細条状光源を用いて、光透過中の強化ガラスプライの第１部分を照明して透過させるステップを有する。強化ガラスプライの第１部分の画像を、透明な支持手段の第２側面の側に位置し、細条状光源に整列しかつこの細条状光源対する相対的な位置に固定した撮像装置によって取得する。一連の強化ガラスの画像を収集および分析し、フラグメンテーションパターンの画像を生成する。このようなイメージングを行う装置についても開示する。
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【課題】ガラス割れの検出精度を好適に確保することができるガラス割れ検出装置を提供する。
【解決手段】ガラス割れ検出装置は、窓枠１２に設けられると共にウィンドウガラス１３の側縁部へ向けて光を投射する複数の発光素子１７と、窓枠１２に配設されると共にウィンドウガラス１３の内部を伝播してきた光を検出する複数の受光素子２０とを備えてなる。当該装置は、受光素子２０の受光面２０ａを覆うように設けられると共にウィンドウガラス１３が全閉位置にあるときにウィンドウガラス１３の上端縁に密接するウィンドウガラス１３よりも屈折率の大きな保護膜２１を備えてなる。当該装置は、ウィンドウガラス１３の内部を全反射しながら伝播する光が保護膜２１を介して受光素子２０により検出された場合にはウィンドウガラス１３に割れがない旨判断すると共に同じく光が検出されない場合にはウィンドウガラス１３に割れがある旨判断する制御装置を備えてなる。 （もっと読む）

【課題】複数の光源から照射される照明光の明るさを調整して、被検査基板を複数の光源で均一な明るさで照射することが可能なマクロ照明装置及び目視検査装置、ならびに基板の目視検査方法を提供する。
【解決手段】マクロ照明装置は、照明光Ｆを照射する複数の光源ユニット４ａ、４ｂを備えている。光源ユニット４ａ、４ｂは、照明光Ｆを照射する光源８と、調整手段である調光手段９とを備えている。複数の光源ユニット４ａ、４ｂのいずれか一つから照射される照明光Ｆの明るさを基準として、他の光源ユニット４ａ、４ｂで照射される照明光Ｆの明るさを調光手段９で調整して、略等しい明るさにする。 （もっと読む）

【課題】大型の基板に小型の照明光学系で照明光を照射して外観検査を行う。
【解決手段】観察系本体に支持したガラス基板へマクロ照明光を照射する照明系本体１を設置する。照明系本体１は、マクロ照明光源２からの照明光を第１反射ミラー３及び第２反射ミラー４で反射させ、フレネルレンズ５で集光させてガラス基板を照射する。照明系本体１は移動ユニット２１の移動部２４に設けた揺動軸３１に揺動可能に支持させる。揺動ユニット３０によって照明系本体１を揺動軸３１回りに揺動させることで、ガラス基板に照射するマクロ照明光を揺動させる。移動ユニット２１で照明系本体１を揺動軸３１と共にその長手方向に移動させる。これによってガラス基板上の照明光を略直交する二方向に走査できる。 （もっと読む）

【課題】汚れ検出用のセンサの数を制限しながらも、光学窓に付着した微細物まで検出することができる光学窓汚れ検出装置を提供する。
【解決手段】光学窓１０２が設けられたケーシング１０１に、投光部３と、投光部３から出力された測定光を光学窓１０２を通して測定対象空間に偏向走査する走査機構４と、対象物からの反射光を光学窓１０２を通して検出する受光部５が収容されている走査式測距装置の光学窓汚れ検出装置であって、光学窓１０２の外側に光学窓１０２に沿って複数の反射式光電センサ１を設けるとともに、光学窓１０２を通過した反射式光電センサ１からの検出光を反射式光電センサ１に向けて反射する再帰性反射部材２を走査機構４に取付けている。 （もっと読む）

【課題】大型の基板に小型の照明光学系で照明光を照射して外観検査を行う。
【解決手段】観察系本体に支持したガラス基板へマクロ照明光を照射する照明系本体１を設置する。マクロ照明光を照射するマクロ照明光源２と、マクロ照明光源２から第１反射ミラー３にて反射されたマクロ照明光をさらに反射させる第２反射ミラー４と、第２反射ミラー４にて反射されたマクロ照明光を集光するフレネルレンズ５とを第一及び第二フレームユニット６，７に支持して照明系本体１を構成する。照明系本体１は軸受け部３２で移動ユニット２１の移動フレーム２４に設けた揺動軸３１に揺動可能に支持させる。そして、直動アクチュエータ３４によって照明系本体１を揺動軸３１回りに揺動させることで、フレネルレンズ５を通してガラス基板に照射するマクロ照明光を揺動させる。 （もっと読む）

【課題】平坦面を有する板材を対象とし、板材とＣＣＤセンサとを相対移動させ、相対移動方向に距離を隔てた２箇所の参照受光量と検出受光量の変化から異物を検出する場合に、簡易な構成で、板材の始端部および終端部における異物検出を適切かつ確実に行うことが可能な板材の異物検出装置の提供を目的とする。
【解決手段】平坦面を有する板材１と、ＣＣＤセンサ２とを相対移動させ、相対移動方向に沿う板材の始端部１ａよりも前方から終端部１ｂよりも後方にわたってＣＣＤセンサを走査させるようにして、板材の平坦面全体にわたり、相対移動方向に距離を隔てた２箇所の参照受光量と検出受光量との変化から異物を検出するようにした板材の異物検出装置であって、板材の始端部位置および終端部位置それぞれからこれらよりも相対移動方向前方および後方へ向かって、模擬的に板材の平坦面を、上記距離よりも拡張する拡張部材３ａ，３ｂを配設した。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化することなく、ＦＰＤモジュールの画像表示面及び側面の双方から良好な画像を取得することによって外観を検査することができるＦＰＤモジュール用検査装置、及び検査装置用撮像装置を提供する。
【解決手段】本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ａは、液晶表示パネル２０の上面２０ａの上方にある、照明装置１と、第１群ミラー部４と、第２群ミラー部５ａ・５ｂとが、駆動手段によって主走査方向に沿って移動するように構成されており、第１群ミラー部４は一定速度で一方向に移動するのに対して、第２群ミラー部５ａ・５ｂは上記一軸上を双方向に、且つ速度を可変させて移動する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、精度の高い被検査基板の外観検査を実現できる基板検査装置を提供する。
【解決手段】被検査基板１１を保持する基板ホルダ１０を有する装置本体４全体を基台１のガイド１ａに沿って直線移動可能にするとともに、装置本体４を回転部６を介してＺ軸を中心に回転可能とし、さらに、基板ホルダ１０自身もフリクション機構を有する軸部１２を介してＺ軸と直交するＸ軸を中心に回転可能にする。 （もっと読む）

【解決手段】 素材ガラス２が割断されたか否かを検査する検査装置１５は、素材ガラス２に検査光Ｌ１を照射する検査光照射手段３２と、素材ガラス２からの反射光Ｌ２を受光する受光手段３３とを備えている。
素材ガラス２が割断されると割断面２Ｃ、２Ｄが生じ、検査光Ｌ１は素材ガラス２内に進入してから内部の裏面２Ｂと表面２Ａとによって交互に反射されてから割断面２Ｃによって反射されてから外部へ出て受光手段３３によって受光される。この受光手段３３によって反射光Ｌ２が受光されない場合には、素材ガラス２が完全に割断されていないと判定する。
【効果】 検査光照射手段３２と受光手段３３を近接させて素材ガラス２の表面側に配置できるので、検査装置１５の構成を小型化できる。 （もっと読む）

本発明は、ガラス基板の品質検査装置に関する。本発明は、波形の発生有無を検査するための照明部の照明がガラス基板だけに透過されるようにし、カメラにガラス基板表面の影映像をより鮮明に撮影されるようにするとともに、前記影映像による波形が種類別発生有無を微分アルゴリズムでより精密に検査できるようにしたものである。これによって、移送ユニットを介して連続的に移送されるガラス基板の品質状態をリアルタイムで検査し、製品に対する品質満足度を向上させるとともに、ガラス基板の品質検査に必要とされる時間を節約することで、連続する蒸着やエッチング、スパッタリングなどのプラズマを用いる工程が迅速に行われるようにする。
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【課題】装置の小型化を図れるのは勿論、それに加えて、検査に要する走査距離を短くするにより、検査時間を短縮する。
【解決手段】被検査対象である基板Ａを支持するステージ１と、ステージ上に支持された基板を跨ぐように基板の搬送方向に互いに間隔をあけて設けられた複数の門型アーム３Ａ、３Ｂと、複数の門型アームにそれぞれ設けられて基板を検査する検査部５とを備える。基板Ａは、離間して配置された門型アームに対して相対移動される。このとき、装置の全長は基板Ａの長さの１．５倍でよい。また、走査距離は、基板Ａの全長の約１／２で足り、検査時間を短縮できる。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の基板が大型化しても照明のための安定した透過範囲を広くとることができ、かつ均一でかつ照度の高い透過照明が行える透過照明ステージおよび基板検査装置を提供する
【解決手段】基板Ａを支持するよう互いに間隔をあけて並べられた複数の桟２と、桟２に支持される基板を跨ぐように設けられて、顕微鏡９を基板の上面に沿って互いに直交するＸ・Ｙ方向へ移動させる門型アーム６と、複数の桟の間に配置されて基板を下側から照明する照明ユニット１５と、照明ユニットを搭載した状態で桟の延在する方向へ移動させる移動台１２とを備え、照明ユニットには、桟に直交する方向にライン状に配置された複数のＬＥＤ１７からなる照明部１６が設けられている。 （もっと読む）