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Fターム[2G051AA84]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 調査・分析対象 (8,670) | 型板ガラス (173)

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【課題】セラミック板及び/またはラインセンサーカメラを移動させながら検査することが可能であって、セラミック板のエッジを適切な光源によって効果的に照らし、エッジの複数の面を同時に1台のラインセンサーカメラで効果的に撮像し、微細なカケをも効果的に発見し得る検査方法と検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】セラミック板のエッジの端面の法線方向にラインセンサーカメラと光源を配置し、ラインセンサーカメラの視野内に複数のミラーを配置し、光源でセラミック板のエッジを照らし、その反射光を視野内ミラーで反射させて、その反射光をライン センサーカメラに入射させ、セラミック板のエッジを複数の角度から撮像し、該撮像した画像を処理して、セラミック板のエッジを研磨する際に発生するエッジ欠陥を検出する。 (もっと読む)


板ガラス(例えば、LCDガラス基板)上又は板ガラス内の欠陥(例えば、内包物、表面付着物、傷、染み、気泡、すじ、又は表面の不連続性や材料の複数の均一性に関連する他の不完全性)を特定するために用いられる、傾斜照明検査システム及び方法を説明する。
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【課題】特定の製造条件に対して柔軟に適応できる簡単な方法を用いて、製造後のガラス板の光学特性及び品質の全体的評価を行うことが可能な、ガラス板光学検査システム及び方法を提供する。
【解決手段】ガラス板(2)の光学検査システムは、ガラス板(2)を移動する搬送装置(3)と、ガラス板(2)を照光し、撮像する照明装置及びカメラを有する第1検査モジュール(5、6、7)と、ガラス板(2)の画像を評価する第1評価モジュール(8、9、10、11)とを備える。さらに、ガラス板(2)の画像を照光する照明装置又はカメラを有する第2検査モジュール(5、6、7)が設けられる。第2検査モジュール(5、6、7)は、ガラス板の画像を評価する第2評価モジュール(8、9、10、11)に接続される。第1検査モジュール(5、6、7)と第2検査モジュール(5、6、7)の照明装置及び/又はカメラは異なる設計であり、及び/又は、ガラス板(2)に対して異なる場所に配置され、ガラス板(2)は、搬送装置によって、検査モジュール(5、6、7)を通過する。本発明は、また、該システム(1)を用いて行われる方法に関する。 (もっと読む)


【課題】 揺動機構に回動可能に保持された被検査基板を落射照明によって外観検査することが可能であるとともに、効果的に背面透過照明による外観検査を行うことが可能な基板検査装置を提供する。
【解決手段】 基板検査装置1は、被検査基板Wを保持し回動する揺動機構3と、被検査基板Wの正面W1とは反対側の背面W2を照射するバックライト5と、バックライト5の移動手段6とを備える。移動手段6である回転アーム17は、2本のリンクレバー19、20と、固定部材である固定板21とで構成されている。2本のリンクレバー19、20は、各々一端19a、20aにおいて、所定の間隔を設けて別々に支持部材16に回転可能に軸支されている。また、他端19b、20bにおいて、所定の間隔を設けて別々に固定板21に回転可能に軸支されている。バックライト5は固定板21に固定されている。 (もっと読む)


【課題】 衛星搭載用の太陽電池では内在する太陽電池パネルのカバーガラスのクラックと結晶層の微細な内部の欠陥検査が求められている。
【解決手段】 太陽電池パネルのカバーガラスのクラックと結晶層の微細な内部欠陥を検出する太陽電池パネル検査装置において、複数の照明素子が2次元配列されたアレイ型照明装置と、上記アレイ型照明装置から照射された太陽電池の披検査箇所を撮像するために、赤外域に感度を有する撮像素子から成るCCDカメラにより可能にしたものである。 (もっと読む)


【課題】 板状体の検査面の傾き角度の大きさにかかわらず正確な外観検査を行うことを可能にする欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】 板状体12の検査面12aを撮像する撮像装置13およびレンズ14と、検査面12aに照明光を照射する投光装置15とを、投光装置15から検査面12aに入射される照明光の光軸と、検査面12aで反射してレンズ14および撮像装置13に入射する反射光の光軸とを含む平面が、検査面12aの法線方向に対して所定の角度αを成すように位置決め配置する。 (もっと読む)


【課題】 板状体側面の切断角度、切断面の平面度に関わらず、正確な外観検査が可能となる板状体の欠陥検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】1つの投光装置15については、XY軸を含む平面内における、電子写真用ブレード12の測定点を含む側面部(観察面12a)に対して投光装置15の投光軸15aのなす角度θ1が25度を超え45度以下に、他の1つの投光装置15については、前期観察面に対して投光装置15の投光軸15aのなす角θ2が80度を超え110度以下に設定されている。また、1つの投光装置15については、電子写真用ブレード12の測定点を含む水平面に対して投光装置15の投光軸15aがZ軸上方向へ傾斜する角度θ3が1度を超え10度未満に、他の1つの投光装置15については、前記水平面に対して投光装置15の投光軸15aがZ軸下方向へ傾斜する角度θ4が1度を超え10度未満に設定されている。 (もっと読む)


【課題】 基板の外観検査を行う際に、種々の形態を有する欠陥を観察できる外観検査装置を提供する。
【解決手段】 外観検査装置は、被検査基板Wを支持するステージ4を有し、被検査基板Wと平行に移動し拡大画像を取得するミクロ画像取得ユニット12を備えている。ミクロ画像取得ユニット12は、顕微鏡15と、固定ユニット16を介して着脱されるデジタルカメラ17とを有し、デジタルカメラ17を固定ユニット16から取り外したときには、任意の位置から被検査基板Wの画像を取得することが可能になる。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、予備圧着処理を経た合わせガラス半製品に圧着不良があるか否かを効率的に検出することに寄与することができる検査装置の提供を目的とする。
【解決手段】 複数枚のガラス板間に不透明な中間膜を介在させた合わせガラス半製品を検査する検査装置において、本圧着処理前の予備圧着処理を経た合わせガラス半製品の全体領域を含む画像を用いて、予備圧着処理後の合わせガラス半製品の曇度を検査することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 液晶表示装置(LCD)のバックライト照明の導光板の画像処理検査装置において、検査時間内でワークである導光板の交換するステージを2つ持ち、交互に検査とワーク交換する構造とし、ワーク往復移動の撮像を最良にするためにカメラとワークとの角度を自動で変更する構造とする。
【解決手段】 2つの、ワークである導光板の積載ステージは、高さの変更できるZ軸モータとボールネジをX軸リニアモータ上の片側に持ち、ステージ下にカムフロアを持ち、撮像位置に2本のレールを持ち、ワーク交換位置では交換後に上位置から下位置に下降し、撮像手前位置に移動して上昇しレールに乗り、往復移動しながら撮像後、ワーク交換位置にそのまま移動し、2つのステージは干渉しないで、検査処理数を増大させる。2種のカメラがその構造体ごと一部域旋回移動し、ワークとの撮像角度を変更し最適な撮像データを撮り込み画像処理で良否判定の外観検査をする。 (もっと読む)


ガラスシートなどの透明な基板における欠陥の検出のための方法、装置およびシステムが開示される。この方法、装置およびシステムは、100nmより小さい透明な基板における光路長の変動を検出することができる。
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【課題】 従来検出が困難であった欠陥部について、その形状や方向性に関係なく検出可能な欠陥検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】 縞状のパターン190にてなる照射光111を被検査物50へ照射し、被検査物の通過した縞状パターンから、被検査物の欠陥部に応じて現れた欠陥パターン195を検出する。このとき、被検査物に照射する縞状パターンの位置を変更することから、欠陥部の形状や方向性に関係なく欠陥部を検出することができる。 (もっと読む)


【課題】 浮上させたガラス基板の移動を規制して、所定の位置に確実に保持できるようにすることである。
【解決手段】 ガラス基板Wを吸着して保持しつつ搬送する吸着搬送ユニット17のユニット本体20には貫通孔26が設けられており、この貫通孔26に吸着保持機構25が設けられている。吸着保持機構25は、圧搾エアー供給部30に接続された筒状の弾性部材31を有し、弾性部材31の上端部32には、吸着パッド33が装着されている。吸着パッド33には弾性部材31に連通する吸引孔36が形成されている。 (もっと読む)


【課題】 スペース上における基板の平面状態を保持しながら、その基板を容易に搬送することができ、迅速かつ正確な検査を行うことができる基板検査装置を提供すること。
【解決手段】 所定のスペース15をおいて配列された第1のステージおよび第2のステージと、基板13を浮上させる浮上手段20と、基板13を支持する支持部と、この支持部を移動させて前記基板13を搬送する基板搬送機構と、前記スペース15に沿って移動可能に設けられ、基盤13を観察するための観察手段と、この観察手段に対向して配置され、前記スペース内を移動する照明部と、前記スペース15を埋めるスペーサ40と、このスペーサ40を、前記スペース15内において前記スペース15の少なくとも一部を埋める閉鎖位置Lと、前記スペース15から退避して前記スペース15を開放する開放位置との間で移動させるスペーサ移動機構と、を備えていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 大型の基板に対しても、均一に照明でき、外観検査を効率良く行えるような基板検査装置を安価に提供することである。
【解決手段】 基板検査装置1は、基板Wを保持しつつ回動する基板ホルダ6を備えている。さらに、基板ホルダ6を起き上がらせた状態で、基板ホルダ6のホルダ本体7の背面7c側には、バックライト投光装置20が設けられている。バックライト投光装置20は、基板ホルダ6の近傍に平行に配置される散乱板21と、散乱板21から離間して検査装置本体2の背面側に支持された投光機22とから構成されている。 (もっと読む)


【課題】 低コストで、検査効率がよく、大型のプラズマディスプレイパネルにも対応可能なプラズマディスプレイパネルの検査装置を提供する。
【解決手段】 PDPの製造ラインの搬送路11に沿って、検査装置5を設ける。検査装置5においては、搬送路11の上方及び下方に、夫々照明装置2a及び2bを設ける。また、搬送路11の上方及び下方に、夫々カメラ3a及び3bを設ける。カメラ3a及び3bは、パネル1が搬送路11の検査位置12にあるときに、パネル1を撮像して画像データを得るものである。更に、カメラ3a及び3bからパネル1の画像データが入力され、この画像データを画像処理してパネル1の欠陥を検出する画像処理装置4を設ける。 (もっと読む)


【課題】 基板の検査などを行う際に、基板の搬送する際に基板に作用する応力を低減させる。
【解決手段】 ガラス基板Wを浮上させる基板浮上ステージ3を有し、ガラス基板Wの非素子形成面W2の側縁部に下側から当接する吸着部16と、ガラス基板Wの素子形成部W1の側縁部に上側から当接する吸着補助部30とを備え、吸着補助部30は、エアシリンダ31の下端に補助パッド部33が取り付けられている。補助パッド部33は、ガラス基板Wを搬送する前に、ガラス基板Wを押圧して吸着パッド部18に押し付ける。 (もっと読む)


照明系(例えば光源(ストロボ)及び光鮮明化要素)及び撮像系(例えばデジタルカメラ及びコンピュータ/ソフトウェア)を用いて、板ガラス(例えば液晶ディスプレイ(LCD)ガラス基板)の表面及び内部の欠陥を検査して識別する検査装置及び方法が記載される。
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【課題】印刷により透明板状体の周辺部の表面に塗膜が形成される印刷部と、塗膜が形成されていない非印刷部とを、検査の対象にして、印刷部のピンホールやかすれなどの印刷欠陥と、非印刷部分の印刷汚れを検出する方法を提供する
【解決手段】散乱光を用いて印刷物を照明し、印刷物の複数の画像を散乱光が透過する側からCCDカメラで撮像し、該画像を合成して検査用画像とし、該検査用画像を暗部と明部とに2値化処理し、明部を面積の大きい順に順序づけし、面積の大きさが(m+1)番目以下(mは非印刷部の個数)となる明部を印刷欠陥とする。また、暗部を面積の大きい順に順序づけし、面積の大きさが(n+1)番目以下(nは印刷部の個数)となる暗部を印刷汚れとする。 (もっと読む)


本発明は1枚のガラスなど、透明な媒質内の欠陥を検出する方法およびシステムに関する。その方法は、光源から透明な媒質に向かって光を送出するステップと、次いで光が透明な媒質で反射されまたは透明な媒質を透過するとき、光を走査することによって透明な媒質内の欠陥を検出するステップとを含む。その方法およびシステムは、暗視野モード、走査向け明視野モード、または検査向け明視野モードのいずれか1つで動作してもよい。
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