【課題】比較的簡単な検査装置を用いて、ガラスパネルのフェース部の内部欠陥の有無及び大きさと深さ方向位置とを容易に視認検出することを可能にする。
【解決手段】フェース部２の側方からフェース部２の内部に入射した第２検査光７ａ（８ａ）は、フェース部２の内部に欠陥Ｐ２があると、この内部欠陥Ｐ２の箇所で乱反射を起こして散乱光Ｐ２ａとなる。一方、外表面２ｂの側からフェース部の内部に入射した補助光１０ａは、粗面に形成された内表面２ａで反射されて反射光１０ａ１となる。そして、反射光１０ａ１により内表面２ａの位置を認識した状態で、内部欠陥Ｐ２の箇所での検査光７ａ（８ａ）の散乱光Ｐ２ａを視認する。 （もっと読む）

【課題】例えば、球面形状のフロントガラス又はその他の物質表面上の傷の信頼できる検出を実現すること
【解決手段】本発明は、物質、特にガラスの表面（２）上の傷を検出するための装置、及びそれに対応する方法に関する。該装置は、照明ユニット（３）と記録ユニット（４）を有する。前記照明ユニット（３）と前記記録ユニット（４）は、物質表面（２）上の走査線（６）を記録し、前記表面（２）に対して変位可能である。より正確に傷を特定するために、照明装置（３）は、少なくとも１つのライトストリップ（９）と好ましくは少なくとも１つの光源（１６）を有する。前記ライトストリップ（９）は、前記走査線（６）を横切る平行光プールを生成する。前記プールは前記走査線（６）に沿って拡散又は疑似拡散となる。前記光源（１６）は、前記走査線（６）を横切る拡散光又は疑似拡散光を生成する。 （もっと読む）

【課題】 受光素子の画素サイズと電極パターンの繰り返しピッチとの関係が整数倍でなく、位相ずれを有する場合でも、この位相ずれによる各画素データの信号品質の低下を抑制し、画素サイズに対して微小な異物を高精度に検出できるようにする。
【解決手段】 パターンピッチが３００［μｍ］で画素サイズが１４［μｍ］の場合には、パターンのピッチを画素サイズで除することによって得られるパターン相当の画素数は約２１．４である。この画素数に第１の整数として５を乗じると、その値は１０７となるので、５個のパターンで疑似パターンを形成することによって、疑似パターンと画素との間の相対的な位置関係がほぼ同位相となる。差分データ作成手段３０はこの疑似パターンの隣接するもの同士の画素を用いて、差分データＶを作成する。しきい値作成手段５０は、差分データＶから欠陥検出時のしきい値Ｔを作成する。欠陥検出手段８０，９０は差分データＶとしきい値Ｔとを比較して欠陥の検出を行う。 （もっと読む）