【課題】大型基板用の基板検査システムにおいて、生産効率及び検査性能を落とさずに省スペース化を図る。
【解決手段】被検査対象基板（Ｇ）を複数の検査方法で検査する基板検査システム３１において、被検査対象基板（Ｇ）を撮像部で撮像して検査する自動検査装置（５０）と、この自動検査装置（５０）を跨ぐ門型形状の脚部を有する架台と、この架台上に配置され、被検査対象基板（Ｇ）を直視して目視検査するマニュアルマクロ検査装置４０と、自動検査装置（５０）とマニュアルマクロ検査装置４０に被検査対象基板（Ｇ）を搬入出させる基板搬送ロボットとを備え、マニュアルマクロ検査装置４０は、上記架台を介して自動検査装置５０の上方に独立させて配置した。 （もっと読む）

【課題】目視検査の検査者の作業効率を向上させることのできる技術を提供する。
【解決手段】記憶部４１は、自動欠陥検査装置２により欠陥の検出された基板の画像と、欠陥に係わる情報を示す欠陥情報とを、基板を識別する基板ＩＤと対応付けて記憶する。欠陥表示装置４は、目視検査装置３において目視検査を行う基板の基板ＩＤに基づいて自動欠陥検査装置２で取得された画像及び欠陥情報を記憶部４１から読み出して、画像に対して欠陥部分を強調表示する。モニタ１４は、欠陥表示装置４で強調処理された基板の画像を表示する。 （もっと読む）

【課題】燃焼タービンエンジンの燃焼器において材料欠陥を検出する方法、システム及び装置を提供する。
【解決手段】燃焼タービンエンジンの運転中に該燃焼タービンエンジンの燃焼システムの燃焼ダクト１４８における欠陥１７３を検出するシステムであって、燃焼ダクト１４８は、燃焼ガスに曝される高温側と、該高温側の反対側にある低温側とを有する。本システムは、燃焼ダクト１４８の外側表面上に配置され且つ検出可能物質を含むインジケータ皮膜１６３と、燃焼器の下流側に位置付けられ且つ燃焼タービンエンジンの燃焼生成物内の検出可能物質の量の測定値を取得するよう構成されたガスセンサとを含むことができる。 （もっと読む）

【課題】燃焼タービンエンジンの燃焼器において材料欠陥を検出する方法、システム及び装置を提供する。
【解決手段】燃焼タービンエンジンの運転中に該燃焼タービンエンジンの燃焼システムの燃焼ダクト１４８における欠陥１７３を検出するシステムであって、燃焼ダクト１４８は、燃焼ガスに曝される高温側と、該高温側の反対側にある低温側とを有する。一実施形態では、システムは、燃焼ダクト１４８の低温側に向けられ、燃焼ダクト１４８の低温側に対する可視的変化を検出するよう構成された光検出器１６５を備える。 （もっと読む）

【課題】従来よりもガラス基板の欠陥の検査感度を向上可能であり、かつ、欠陥を検査する時間を短縮できるガラス基板の欠陥検査方法及び欠陥検査装置、並びに、前記欠陥検査方法又は前記欠陥検査装置を用いたガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本ガラス基板の欠陥検査方法の一形態は、第１主平面及びその対向面である第２主平面を有するガラス基板に、複数方向から光を順次照射し、前記ガラス基板の画像を順次撮像する順次撮像工程と、前記順次撮像工程で順次撮像した各ガラス基板の画像に基づいて、前記ガラス基板の前記第１主平面及び前記第２主平面の欠陥の有無を検査する欠陥検査工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】被検査面における欠陥の位置に依存せずに欠陥の有無を判断できる検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】本明細書に開示する欠陥の検査方法は、明部１１ｂ及び暗部１１ｃを有する照明パターンを、被検査面２１に照射し、被検査面２１の同じ領域が、明部１１ｂで照らされる第１画像３０ａ及び暗部１１ｃで照らされる第２画像３０ｂを取得し、被検査面２１の所定領域に対応する第１画像３０ａ内の領域の輝度と、基準被検査面が明部１１ｂで照らされて取得された第１基準画像内の被検査面の上記所定領域に対応する領域の輝度と、被検査面２１の被検査面２１の所定領域に対応する前記第２画像３０ｂ内の領域の輝度と、基準被検査面が暗部１１ｃで照らされて取得された第２基準画像内の被検査面の上記所定領域に対応する領域の輝度とに基づいて、被検査面２１の所定領域の欠陥の有無を判断する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物について検査装置を用いて得た検査計量値を基に検査対象物の良否を判定する検査装置において、検査対象物が良品であるか不良品であるかを判定する良品判定基準を設定する良品判定基準設定方法。
【解決手段】複数の良品について検査装置を用いて得た良品計量値の分布と、複数の不良品について検査装置を用いて得た不良品計量値の分布とを求め、前記良品計量値の分布と、前記不良品計量値の分布とを、横軸を検出画素数、縦軸をサンプル数として同一の画面上に表示し、当該同一の画面上において両者を比較して、上限の良品判定基準を、前記良品計量値の分布において上限側における不良品計量値の分布の下限より小さなものに設定し、下限の良品判定基準を、下限側における不良品計量値の分布の上限より大きなものに設定する。 （もっと読む）

【課題】構造の簡素化を図ることができる円筒体の検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の検査装置は、取込位置Ａにおいて円筒体Ｗをチャックするチャック手段が、メインローラ２０と、メインローラに接離する方向に移動可能なサブローラ３０とをそれぞれ有する一対の挿入支持部１２を備える。円筒体Ｗをチャック際に、一対の挿入支持部１２を、そのサブローラ３０をメインローラ２０に対し上側に配置したサブローラ上向き姿勢として円筒体の両側部内側に挿入し、その挿入状態で、サブローラ３０を上側に移動させて円筒体Ｗの内周面上側に接触させそのサブローラ３０によって円筒体Ｗを搬入側載置具から持ち上げるとともに、メインローラ２０を円筒体Ｗの内周面下側に接触させる。 （もっと読む）

【課題】物体の表面欠陥を容易に検知することができる表面欠陥検知方法を提供する。
【解決手段】表面欠陥検知装置１を用いて物体１０の表面欠陥を検知する場合、まず、撮像部２により、物体１０の表面１０ａの画像を取得する。続いて、画像解析部３により、当該画像の明度のヒストグラムを生成し、このヒストグラムにおける第１及び第２階調の間の中央値を二値化レベルに設定する。そして、画像解析部３により、設定した二値化レベルで画像１１に二値化処理を施す。これにより、表面欠陥を目視でも判別可能な物体１０の表面１０ａの画像が取得されることとなる。 （もっと読む）

【課題】レンズシート表面の局所的な歪み等の欠陥を精度良く検出する。
【解決手段】レンチキュラーレンズが複数配列されたレンズシート１２に照明光を照射する光源装置２１と、エリア３１について、レンズシート１２を透過した照明光のエッジ３２を撮像して第１画像を取得する第１撮像装置２２と、第１画像に基づいて、レンズシート１２とエッジ３２の相対的な角度に対応するデータとしてシャープネスを算出するシャープネス算出部１７と、算出されたシャープネスに応じて、レンズシート１２とエッジ３２の相対的な角度を調節する検査位置制御部１８と、レンズシート１２上から合焦点がずらされたデフォーカス状態で前記レンズシートの全幅にわたってエッジ３２を撮像して第２画像を取得する第２撮像装置２３と、第２画像に基づいて、レンズシート１２の欠陥を検出する欠陥検出部１９と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 コーティングを光学表面に施す前に、該光学表面の洗浄度を測定する方法を提供する。
【解決手段】 （ａ）予め洗浄された光学系１０を提供する。選択されたコーティングで被覆すべき、光学系１０の表面を洗浄する。（ｂ）ＵＶＯ洗浄された光学系１２を提供するために、洗浄が１〜３分間の範囲の時間に亘りＵＶＯ洗浄を使用して行われる。（ｃ）蛍光分光計を使用して、光学系１２の蛍光スペクトルを測定し、測定された蛍光スペクトルを、許容される蛍光スペクトルを有する標準光学系１６のスペクトルと比較する。（ｄ）光学系１２の測定されたスペクトルが許容される場合、洗浄された表面を選択されたコーティングで被覆すべき洗浄された光学系１２を送る。または、光学系１２の測定されたスペクトルが許容されない場合、測定されたスペクトルが、光学系１２の表面にコーティングを施すのに許容されるまで、工程（ｂ）および（ｃ）を繰り返す。 （もっと読む）

【課題】シート材に形成されたレンチキュラレンズの傾き方向と角度とを検出する。
【課題を解決するための手段】多数のレンズ１４が表面に形成されたウエブ１１に対して、その垂直方向から幅広にしたスポット光ＳＰを照射する。ウエブ１１から下方に離れ、またスポット光ＳＰの光軸ＳＰＬから搬送幅方向に離してラインセンサ２２を配置してある。このラインセンサ２２により、搬送幅方向に対する屈折光ＴＰのずれを直線方向のずれとして検出する。この検出結果に基づいて、スポット光ＳＰの光軸回りに回転した屈折光ＴＰの傾き方向，角度θを判定部２３によって特定し、その特定した傾き方向，角度θをレンズの傾き方向，角度θとする。 （もっと読む）

【課題】露光ユニット全体を小型化することができ、また、タクトタイムの短縮を図ることができ、且つ、適切に基板の温調を行うことができる異物検出装置及び異物検出異物検出方法を提供する。
【解決手段】異物検出装置２０は、精密温調プレート２２に載置された基板Ｗを温調する基板温調機構、精密温調プレート２２の上方に配置され、所定の方向に直線状に配置される複数のカメラ３０と、該カメラ３０が撮像する基板の位置に光を照射する光源３１と、を有し、精密温調プレート２２に載置された基板Ｗの異物を検出する異物検出機構３４とを有することで、異物検出機構と基板温調機構３４とが単一の装置に設けられため、露光ユニット全体を小型化でき、また、温調が行われている基板Ｗの異物の検出を行う場合には、タクトタイム短縮ができ、さらに、異物を検出する際に、基板Ｗにはレーザー以外の光源３１を照射するため、活性化による基板Ｗの温度上昇を防止できる。 （もっと読む）

【課題】タイヤの内周面に生じた線状の凹凸を容易に検出することができる照明装置及びタイヤの検査装置を提供する。
【解決手段】光源ユニット３６から照射された光によってタイヤＴの内周面８を照明する照明装置１６と、タイヤＴの内周面８を撮影する撮影部１８，１９と、タイヤＴと照明装置１６及び撮影部１８，１９とをタイヤＴの回転軸Ｌ２の回りに相対的に回転させるテーブル駆動部１４とを備え、タイヤＴの内周面８に沿わせて配置した光源ユニット３６からタイヤＴの周方向Ｃに向けて光を照射した状態で、テーブル駆動部１４がタイヤＴと照明装置１６及び撮影部１８，１９とをタイヤＴの回転軸Ｌ２の回りに相対的に回転させながら、撮影部１８，１９がタイヤＴの内周面８を撮影する。 （もっと読む）

【課題】従来の検査装置では、検査を効率化することが困難である。
【解決手段】ノズルプレート１１のノズル面側とは反対側からノズル孔を撮像する第１撮像装置２１ａと、第１撮像装置２１ａの光軸に対して同軸であり、第１の波長成分の光でノズルプレート１１を照明する第１照明２３ａと、ノズル面側から、ノズル面を撮像する第２撮像装置２１ｂと、第２撮像装置２１ｂの光軸に対して同軸であり、第２の波長成分の光でノズル面を照明する第２照明２３ｂと、第３の波長成分の光で、第２撮像装置２１ｂの光軸に対して傾斜した方向からノズル面を照明する第３照明と、第１撮像装置２１ａでの第１の波長成分の画像と第２の波長成分の画像とを合成して第１検査画像を生成し、第２撮像装置２１ｂでの第２の波長成分の画像と第３の波長成分の画像とを合成して第２検査画像を生成する画像処理装置２６と、を有する、ことを特徴とする検査装置。 （もっと読む）

【課題】検査時間の短縮しつつ、タイヤの内周面を広範囲にわたって検査することができるタイヤの検査装置を提供する。
【解決手段】タイヤＴの内周面８を照明する照明部１６と、タイヤＴの内周面８を撮影する第１撮影部１８と、タイヤＴの内周面８の周方向Ｃに沿って湾曲しタイヤＴの内周面８を照らした光を第１撮影部１８へ反射させる鏡３６とを有する検査部２０と、タイヤＴと検査部２０とをタイヤＴの軸回りに相対的に回転させる駆動部とを備え、照明部１６がタイヤＴの内周面８を照明した状態で、駆動部がタイヤＴと検査部２０とをタイヤＴの軸回りに相対的に回転させながら、タイヤＴの内周面８に沿わせて配置した鏡３６で反射したタイヤＴの内周面８からの光を第１撮影部１８が撮影することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小サイズの円筒体でもチャック用挿入支持部を不具合なく挿入できる円筒体の検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の検査装置は、メインローラ２０およびサブローラ３０を有する一対の挿入支持部１２を備え、ローラ２０，３０を近接させた挿入支持部縮径状態で、円筒体Ｗの両端部内側に挿入し、その後、ローラ２０，３０を離間させて円筒体内周面に接触させて、各ローラにより円筒体Ｗを回転自在に支持する。そして本装置は、挿入支持部縮径状態で、メインローラ２０の後方に配置されたサブローラ３０，３０の全域が、メインローラ２０に対し軸心方向に重なって配置されるようにしている。 （もっと読む）

【課題】設置スペースを抑制した検査ステージを備えたマクロ検査装置を提供する。
【解決手段】基板を目視によって検査する場合に用いられるマクロ検査装置であって、基板を搬送する搬送ラインの横に配置し、少なくとも、基板の１つの基板端を吸着及び吸着解除する基板端吸着及び吸着解除手段と、前記基板端吸着及び吸着解除手段をスライドする手段と、前記基板端が吸着された基板をスライドする際には浮上させ、スライドした後には浮上を解除し吸着する浮上吸着手段と、を有する検査ステージを備えたことを特徴とする基板マクロ検査装置。 （もっと読む）

【課題】高温状態にある鋳造品の検査を行うことができる鋳造品の検査方法を提供する。
【解決手段】鋳造品の検査方法であって、鋳造品表面において熱放射赤外線比率が基準値よりも高い高放射領域（擬似黒体部）の赤外線強度を検出するとともに、鋳造品表面において検査対象として定められた検査領域の赤外線強度を検出するステップ（Ｓ２、Ｓ４）と、検査領域の赤外線強度と高放射領域の赤外線強度との比率（熱放射赤外線比率）を算出するステップ（Ｓ６）を有している。 （もっと読む）

【課題】検査対象が偏光などの光学的性質を持たない場合であっても、その検査対象について厚みムラ、歪み、うねりなどに起因する光学ムラを高感度で検出できる装置の提供
【解決手段】この発明は、検査対象３の透過光に応じた画像を撮像し、その画像の輝度変化に基づいて検査対象３の光学ムラを検出する光学ムラ検査装置である。そして、検査対象３の一方の面側に配置され検査対象３に光を照射する光源５と、検査対象３の他方の面側に配置され検査対象３を透過した光に応じた画像を撮像する撮像手段１と、を備えている。さらに、光源５と撮像手段１とはそれぞれの光軸７、８が交差角度θ１（θ１≠０）で交差するように配置し、かつ、撮像手段１は光源１の光軸８の回りの異なる複数の位置から撮像するようにした。 （もっと読む）