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Fターム[2G051AB01]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 調査・分析パラメータ (9,064) | 表面上のゴミ (1,307)

Fターム[2G051AB01]に分類される特許

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【課題】外光の影響を抑えて、雨滴検出の精度を向上させた画像処理システム及びそれを備えた車両を提供する。
【解決手段】フロントガラス105の内壁面105a側からフロントガラス105に向けて光を照射する光源202と、フロントガラス105の外壁面105bに付着した雨滴203などの異物によって反射された光源202からの光、及び、外壁面105b側からフロントガラス105を透過した光を撮像する撮像装置201と、撮像装置201で撮像された撮像画像データを解析する画像解析ユニット102と、を備え、撮像装置201は、有効撮像領域の所定領域に入射した光の分光情報を取得するためのカラーセンサを有し、画像解析ユニット102は、前記分光情報に光源202からの光の波長情報が含まれているか否かを判定することにより、撮像画像データからフロントガラス105に付着した雨滴203などの異物を検出する。 (もっと読む)


【課題】製箔ローラ表面の凹凸を簡易に、かつ高い精度で検出し補修する製箔ローラ検査装置を提供する。
【解決手段】製箔ローラ検査装置は製箔ローラの表面に接触し研磨剤で研磨する研磨ローラと、研磨ローラに研磨材を供給する研磨材供給手段からなる研磨手段と、製箔ローラの表面を洗浄する洗浄手段と、製箔ローラの表面の凹凸を検査する検査手段と、検査結果に従い製箔ローラの表面研磨の要否を判断する制御手段と、研磨手段、洗浄手段、および検査手段を一体化した検査研磨機構を製箔ローラに対して接離方向に移動可能に支持し、製箔ローラに接近し表面の凹凸検査および表面の研磨を行う検査補修位置と、製箔ローラから離れて製箔工程への干渉を避ける退避位置との間を移動させる移動手段と、を有する。 (もっと読む)


【課題】連続的に搬送される電極基材のスリット面において、バリや異物等の欠陥の有無を精度良く検出することができる欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】電極基材1をスリットするときに、電極基材1のスリット面1aにおいて生じるバリ5を検出するための欠陥検出方法であって、画像処理装置22によって、芯材2の基準面α上に存在しない頂点Aを検出するとともに、バリ5の傾斜角度θ1を検出し、バリ5の傾斜角度θ1が、所定の角度以上であるときは、線分ADの長さを、規格長さXと比較し、線分ADの長さが、規格長さX以上であるときは、バリ5を欠陥と判定するとともに、バリ5の傾斜角度θ1が、所定の角度未満であるときは、頂点Aにより距離が近い頂点Bを検出し、頂点Bと該頂点Bの対辺の中点Eとを結ぶ線分BEの長さを、規格長さXと比較し、線分BEの長さが、規格長さX以上であるときは、バリ5を欠陥と判定する。 (もっと読む)


【課題】フィルムの蛇行とカールとを監視し、未塗工不良や塗工不良の発生や、塗工のエッジ部分に発生する塗工抜け不良を検出することを可能とし、更にシワの発生を検出可能としたフィルム検査装置を提供する。
【解決手段】長尺のフィルムに塗液を塗工する工程でフィルムを検査する装置であって、塗工部の直後に設けられ、第一の端辺と第一の塗工エッジを検出するための第一の検出部と、第二の端辺と第二の塗工エッジを検出するための第二の検出部と、第一の端辺と第一の塗工エッジの位置算出部と、第二の端辺と第二の塗工エッジの位置算出部と、フィルムの蛇行またはカールの発生を判別する蛇行・カール判別部と、塗工エッジに発生した塗工抜け不良を判別する塗工抜け不良判別部と、硬化処理される硬化処理部の直後に設けられた第三の検出部と第四の検出部と、第三の端辺位置算出部と第四の端辺位置算出部と、を備えたことを特徴とするフィルム検査装置。 (もっと読む)


【課題】本発明は、振動ノイズによる誤検知を防止できる光学検査システム用振動ノイズ補正装置及び方法を提供することにその目的がある。
【解決手段】本発明の一実施形態による光学検査システム用振動ノイズ補正装置は、被検査物に一定の明度で光を照射する第1の照明部と、被検査物に振動ノイズが発生した場合、被検査物に第1の照明部と同一の明度で光を照射できるよう設置された第2の照明部と、第1の照明部及び第2の照明部を一定速度で交互にオン(ON)/オフ(OFF)させる照明制御部と、第1の照明部及び第2の照明部が照らす被検査物の第1の画像及び第2の画像を取得する撮影部と、被検査物に振動ノイズが発生した場合、第1の画像を第2の画像に差し替える映像処理部とを備えるものである。 (もっと読む)


【課題】検査に必要な画像データを、撮影条件を変更しながら複数回撮影することにより、適正な画像データを用いた高精度な検査装置を得る。
【解決手段】撮影条件の異なる複数の画像を撮影する撮像手段2と、撮像手段2の撮影画像を複数の領域に分割して符号化する符号化手段3と、符号化手段3の符号化データを複数画像分だけ格納する記憶手段4と、記憶手段4に格納された符号化データを送信する送信手段5と、送信手段5からの符号化データを復号する復号手段9と、復号手段9により復号された画像から被写体の検査を行う検査手段10と、検査手段10からの検査命令および送信命令に応答して記憶手段4内の符号化データを検査手段10へ送信する制御手段6とを備える。検査手段10は、記憶手段4に格納された符号化データのうち、複数の画像データの中から任意の領域を指定して送信させる。 (もっと読む)


【課題】検査装置の検査エリア内に損傷ディスクが持ち込まれないようにすること。
【解決手段】検査対象であるディスク30は搬送カゴ31に収納して搬送される。センシング部11は、事前にディスクのキズや割れ欠けといった損傷の有無を検査する。光学式欠陥検査部10は、ディスク表面の微細な欠陥の有無を検査する。ディスク取出部17は、センシング部11の検査結果に応じて、損傷なしとされたディスクのみを搬送カゴから取り出して光学式欠陥検査部10に供給する。 (もっと読む)


【課題】光透過率の低い容器に液体を充填した場合であっても、容器内の液面又は液面付近の全周の浮遊異物を少ない個数のカメラで検出することができる液面浮遊異物検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】容器1内に充填された液体の液面Le又は液面Le付近に浮遊した異物を検出する検査方法において、容器1の下方に配置された照明2によって容器1内を容器底面1a側から照明することにより容器1内の液面を照明し、容器1内の液面Leの位置を囲むように容器1の外周側に配置されたコーンミラー4の逆円錐面状のミラー面4mにより、容器1内の液面Leからの光を上方に反射させ、コーンミラー4のミラー面4mで反射した反射光を容器1の上方に配置されたカメラ3により撮像する。 (もっと読む)


【課題】枚葉フィルムの外観全面検査をフィルムにシワやたるみが発生せず、低コストで検査を可能とするフィルム搬送装置を提供する。
【解決手段】フィルムを検査する検査装置に用いられるフィルム搬送装置であって、フィルムの対向する2辺を固定してフィルムを巻き出し、巻き取る第一のローラと第二のローラーと、前記2本のローラーの幅方向の両端に設けられ、前記2本のローラーの間隔を変更する第一のローラー間隔変更手段と第二のローラー間隔変更手段と、前記2本のローラーの幅方向の両端に設けられ、前記2本のローラー間で巻き出し、巻き取られるフィルムの幅方向の張力を均一にする第一の張力均一手段と第二の張力均一手段と、を備えたことを特徴とするフィルム搬送装置。 (もっと読む)


【課題】暗視野方式の検査装置などにおいて、信号を実測しながら検査条件を決める方法では時間がかかることと、設定した感度条件が適切か否かの判断が作業者の裁量に左右されることが課題である。
【解決手段】検査装置において、試料を保持するステージと、前記ステージ上に保持された試料の表面に照明光を照射する照明光学系と、前記試料に照射された照射光によって発生した散乱光を検出する暗視野光学系と、前記暗視野光学系にて検出された散乱光を電気信号に変換する光電変換部と、前記光電変換部によって変換された電気信号をデジタル信号に変化するAD変換部と、前記試料表面上の異物からの散乱光の大きさから異物の大きさを判定する判定部と、前記試料面からの散乱光情報を用いて、検査条件を決定する信号処理部とを有する。 (もっと読む)


【課題】 汚れに強く、段取りやメンテナンスを容易化すると共に、コスト低減を図ることができる円筒形状物の外観検査装置を提供する。
【解決手段】 この外観検査装置は、円筒形状物である被検査物の外観を検査するものである。外観検査装置は、回転自在に設置され回転中心軸L1と同心に配置した軸受1の端面を接触させる端面治具5と、端面治具5の軸受1を接触させる側面に回転中心軸L1と同心に設けられた円錐面状の照明反射部6と、外輪3を回転させる駆動装置18と、外輪押えローラー19と、内輪押えローラー20と、照明反射部6に照射する照明装置8と、この照明装置8で照射され照明反射部6および内輪2の内周面2aで順次反射された反射光により内輪2の内周面2aを撮像する撮像装置11とを備えた。 (もっと読む)


【課題】透過率が高い導電性透明電極パターンや微細な金属配線のパターンを、インライン検査で行うための検査システムを提供する。
【解決手段】検査ワーク11を第1の方向Xに搬送するワーク搬送装置20と、検査ワーク上に形成されたパターンの光学情報を取得する撮像装置30と、第1の方向と直交する第2の方向Yに撮像装置を移動させる移動装置40と、ワーク搬送装置、撮像装置及び移動装置を制御するとともに、光学情報に基づいてパターンを検査する制御部50と、を有する。 (もっと読む)


【課題】成形素材の検査方法及び光学素子の製造方法において、光学素子の製造不良の発生を抑える。
【解決手段】成形素材の検査方法は、光学素子の材料である成形素材1について上記光学素子の光学機能面へと変形する領域である対応領域1a,1bを確認する対応領域確認工程と、成形素材1を対応領域1a,1b以外の部分である保持領域において保持する保持工程と、保持された成形素材1の少なくとも対応領域1a,1bを検査する検査工程と、を有する。 (もっと読む)


【課題】波長が13.5nm付近の極端紫外(Extreme Ultra Violet:EUV)光を露光光源とする反射型マスクの欠陥修正技術を利用した半導体集積回路装置の製造技術を提供する。
【解決手段】位相欠陥211が生じている開口パターン204の近傍の吸収層203に、開口パターン204よりも微細な開口径を有する補助パターン301を形成する。この補助パターン301は、ウエハ上のフォトレジスト膜に開口パターン204を転写する際の露光光量を調整するためのパターンである。 (もっと読む)


【課題】目視検査の作業効率を向上させる。
【解決手段】検査対象物に対する目視検査を支援する目視検査支援装置であって、前記検査対象物の撮影画像を目視する検査者の視線を検出することにより、前記検査者の前記撮影画像上における注視点の位置を算出する注視点算出部と、前記撮影画像上における前記注視点の分布に基づいて、前記検査者が目視検査を行った領域を目視領域として特定する目視領域特定部と、前記目視領域を示す画像を生成する目視領域画像生成部と、前記目視領域を示す画像と、前記検査対象物の前記撮影画像と、を重ね合わせて表示する画像表示部と、を備えることを特徴とする目視検査支援装置。 (もっと読む)


【課題】従来の標高計算は局所領域のミスマッチングによる誤差が生じ、精度の高い標高情報が得られず、多大な処理時間がかかるという問題点がある。
【解決手段】カラーフィルタ基板上の局所領域の標高をステレオ方式で算出し欠陥判定をする欠陥検査方法において、ステレオ画像の一方の撮像画像である基本画像から局所領域を検出する工程、ステレオ画像の他方の撮像画像であって局所領域を含む参照画像を取得する工程、局所領域を含むマッチング領域をステレオ画像から選定する工程、マッチング領域から基準マークとなる部位を選定する工程、局所領域を鮮明化する工程、鮮明化された局所領域の中心座標を求め、基準マークからの距離を算出する工程、基本画像と参照画像における局所領域間の視差を求める工程、局所領域の標高を算出する工程、とを含むことを特徴とするカラーフィルタ基板の欠陥検査方法。 (もっと読む)


【課題】反射防止フィルム製造工程の各層を形成する工程で、前工程の欠陥情報を利用して最新工程により検出した欠陥を選別し、最新工程における発生欠陥の監視精度の向上を行い、品質異常の検知速度を向上させ、早期に不良の発生を知ることが可能な品質監視システムを提供する。
【解決手段】製造工程内の各工程に備えられた検査機と、検査機から得られた検査情報を格納し管理する検査情報管理データベースと、製品ロールの各工程における品質情報や実績情報を管理する生産情報管理データベースと、検査情報管理データベースと生産情報管理データベースに基づいて、最新工程と前工程での欠陥検出位置の座標を補正することによって最新工程で発生した欠陥を選別する欠陥選別手段と、欠陥選別手段によって選別された欠陥を異常判定条件に基づいて異常と判断し、異常を通知する欠陥監視手段と、を備えたことを特徴とする品質監視システム。 (もっと読む)


【課題】目視による外観検査を不要としながら、高精度に効率よく半導体ウエハの外観異常を検出する。
【解決手段】検査装置により、欠陥の検出感度を標準感度にして半導体ウエハの欠陥箇所を検出する。これにより、欠陥箇所F1,F2が検出される。続いて、検出感度を標準感度よりも検出感度が高い高感度に設定して、半導体ウエハの欠陥箇所を検出する。これにより、欠陥箇所F3〜F6(図中、点線で示す)が得られる。そして、標準感度にて検出された欠陥箇所と高感度にて検出された欠陥箇所とが重複している欠陥箇所において、高感度にて検出された欠陥箇所(欠陥箇所F6,F3)を欠陥箇所エリアと決定し、該欠陥箇所エリアに該当する半導体チップを不良チップとする処理を行う。 (もっと読む)


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