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Fターム[2G051AB02]の内容

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【課題】レンチキュラシートの微細な欠陥までを検出する。
【解決手段】光源部15は、レンチキュラシート11に対して、直線偏光された照明光をレンチキュラシートの幅方向と平行な線状にして照射する。撮影装置21,22は、照明光の照射方向に対して所定の角度で傾けられた方向から第2偏光板23を介して照明光の照射領域Rを撮影する。第2偏光板23は、その偏光方向が照明光の偏光方向と直交するものとされている。欠陥は、正常部分よりも輝度が高い部分として検出される。 (もっと読む)


【課題】製造ライン上を搬送される基板の搬送速度の変化に対応してリアルタイムに位置ズレ誤差を補正できるようにする。
【解決手段】インライン基板検査方法は、上流ラインから下流ラインヘ基板を移動させながら、移動中の基板と直交する方向へ投光系及び受光系からなる光学系を移動させて検査光を照射すると共に基板からの反射光又は散乱光又は透過光を受光し、受光した基板からの反射光又は散乱光又は透過光に基づいて基板の欠陥を検出するものであり、この検査時に基板の移動速度を検出し、検出された移動速度に基づいて基板の欠陥検出位置を補正するようにした。 (もっと読む)


【課題】大型ガラス基板に各種画面サイズのカラーフィルタが面付けされ、面付け余白が生じて基板端から表示領域を画定する額縁部近傍までの幅においてフォトレジストが塗布されていない基板に対しても、外観上の広域欠陥の検査を正常に行える機構を有した塗布膜の検査装置を提供する。
【解決手段】被検査体の基板を披検査体テーブルの支持ピン上に保持した状態で、基板流動方向に走査可能に移動する検査位置に対して真下の位置に配置された透過光源部から検査光を当て、被検査体を透過した透過光を、透過光源部と同じ方向に一体的に移動する検査位置に対して真上の位置に配置された撮像カメラで受光してその輝度変化を検出する塗布膜の検査装置において、前記被検査体テーブルの基板流動方向の両端部に外乱光遮断用のシャッターが設けられ、該シャッターが両端部から前記被検査体の基板の内側にむけてその遮光領域を可変に制御する機構を具備している。 (もっと読む)


【課題】 ケーブルの周りを一周にわたって簡単に、かつ短時間で点検できる装置を提供する。
【解決手段】 この装置は、ケーブル21が通される通路を有するフレーム部材11と、フレーム部材11の長手方向の両端に形成され通路に連続する開口10の中心に向けて突出するように設けられ、通路を通されたケーブル21の外表面に当接して、フレーム部材11をケーブル21に支持するとともに、フレーム部材11をケーブル21の長さ方向へ移動させることが可能な走行支持手段12と、フレーム部材11に、ケーブル21と周方向に対向して取り付けられる複数の撮影手段14とを含む。 (もっと読む)


【課題】試料を検査するために使用される検査システムの欠陥検出を強化する。
【解決手段】光電子増倍管(PMT)検出器の測定検出範囲の制限要因として陽極飽和に対処することによって欠陥検出を強化するための検査システム、回路、方法が提供される。検査システムの測定検出範囲の制限要因として増幅器及びアナログ・デジタル回路の飽和レベルに対処することによって欠陥検出を強化するための検査システム、回路及び方法も提供される。加えて、表面検査の走査の間に試料に供給される入射レーザ・ビームパワー・レベルを動的に変更することによって大きな粒子に対する熱破損を削減することにより欠陥検出を強化するための検査システムや回路、方法が提供される。 (もっと読む)


【課題】 錠剤の振動やポケット内の姿勢に影響を受けることなく正確な検査が行えるようにすること
【解決手段】 3Dカメラ装置は、容器フィルムのポケット部内に供給された錠剤を撮像し、三次元計測法により錠剤の表面の各位置の高さ位置を濃淡画像で表したプロファイル画像を求め、処理装置22に送る。処理装置は、プロファイル画像に基づき錠剤の外観検査を行うもので、プロファイル画像中の錠剤を示す画像データを抽出する錠剤検出部31と、抽出した画像データをその錠剤の表面が平坦になるように補正処理をして平坦化画像を生成する平坦化処理部32と、その平坦化画像に基づいて外観異常の判定を行う欠陥解析部34を備える。平坦化処理部32により錠剤の表面の高さ位置が平坦(水平)に正規化されるので、簡単な閾値処理で異常の有無を判定できる。 (もっと読む)


【課題】缶の巻締め部の巻締め厚さを全周にわたって精度よく計測でき、全数の缶の巻締め部の部位毎、巻締機のヘッド毎にT寸法のばらつきや推移を管理することができる缶の管理装置を提供する。
【解決手段】巻締め部を有する缶の管理装置100は、巻締め部20の上方に配設したリング照明装置2と、リング照明装置2からの照明光により巻締め上端両側の反射映像をリング照明装置2の中心と同軸上に配設し撮像するカメラ4と、入力映像をディジタル多階調画像に変換し、巻締め上端両側の二重のリング状画像を得、リング状画像の中心から放射状に二重のリング外側端とリング内側端とのリング幅を、プルトップ方向の基準線から適宜な間隔で全周にわたって計測し、該計測値を記憶部に記憶するT寸法管理装置6とを有する。缶の管理装置100は、缶の全数について巻締機のヘッド毎の各計測値を管理する。 (もっと読む)


【課題】検査プローブと伝熱管との中心軸を合わせること。
【解決手段】伝熱管5が開口する管板4の管板面に固定される検査ロボットに設けられ、伝熱管5に挿入される検査プローブ30を自身の中心軸C1に沿って挿通案内する筒状のガイド部材222と、検査ロボットに設けられ、ガイド部材222の中心軸C1に対して自身の中心軸C3を平行とするとともに、各中心軸C1,C3が伝熱管5の配列間隔を基準とした間隔で配置されており、かつ伝熱管5に対して嵌合可能に設けられた嵌合部2232cと、嵌合部2232cの中心軸C3に沿って当該嵌合部2232cを移動させる移動手段224と、を備える。 (もっと読む)


【課題】多面取り基板のパネル内の欠陥検査において、精度よくパネル領域を検出し、パネル内に発生する欠陥のみと検出する検査方法を提供する。
【解決手段】撮像手段で検査対象画像を取得するステップ1と、該検査対象画像の各画素の離散値をX,Y方向に加算し、X方向離散値加算データと、Y方向離散値加算データとを得るステップ2と、前記X方向離散値加算データから各パネルのY方向の区切り位置を特定し、かつ前記Y方向離散値加算データから前記各パネルのX方向の区切り位置を特定するステップ3と、前記区切り位置を特定された各パネル内の欠陥を検査するステップ4と、をこの順に行う。 (もっと読む)


【課題】レビュー機能を簡単に実現することができる検査装置、及び検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様にかかる検査装置は、EUVマスクに用いられる検査対象を検査する検査装置であって、凸面鏡15bと凹面鏡15aの2枚のミラーを有するシュバルツシルト拡大光学系15と、検査対象の拡大投影像を撮像するTDIカメラ19と、を備え、シュバルツシルト拡大光学系15による検査対象の拡大像が、単一の凹面鏡18によって、TDIカメラ19上に拡大投影されているものである。 (もっと読む)


【課題】光学式検査装置では、光学系のずれ等は、検査結果に影響を与えるため、調整を行うことが必要となる。また、欠陥の位置座標のずれはレビューに影響を与えるため位置座標を補正することが必要となる。この光学系の調整、及び補正値の算出は、従来作業者が行っており、長時間を必要としていた。また、レビュー装置での座標精度までを考慮すると、なお一層調整、補正値の算出に時間がかかる。
【解決手段】レビュー装置による基準試料のレビュー結果、及び光学式検査装置による前記基準試料の検査結果を用いて、検出した欠陥の位置を変える。 (もっと読む)


【課題】欠陥部分への打点の精度を確保でき、シート状製品の歩留まりの向上が図られる欠陥マーキング装置を提供する。
【解決手段】欠陥マーキング装置1では、長さ方向に搬送されるシート状製品Sの欠陥部分がCCDカメラ4によって検出されると、欠陥部分のシート状製品Sにおける幅方向及び長さ方向の位置が画像処理部5によって検出され、ヘッド制御部6がマーキングヘッド7を制御して欠陥部分への打点を行うようになっている。ここで、欠陥マーキング装置1では、マーキングヘッド7の打点動作の駆動源として、回転角度を制御可能な駆動モータ21が設けられている。これにより、マーキングヘッド7による打点の精度を十分に確保できるので、欠陥部分の周囲でシート状製品Sを大きな面積で除去する必要がなくなり、シート状製品Sの歩留まりを向上させることが可能となる。 (もっと読む)


【課題】照明光を短波長化しなくても、確実に繰り返しピッチの微細化に対応できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置10は、被検物体20に形成された繰り返しパターンを直線偏光により照明する照明手段13と、前記直線偏光の入射面の前記表面における方向と前記繰り返しパターンの繰り返し方向とのなす角度を0以外の所定値に設定する設定手段11と、繰り返しパターンからの正反射光のうち、前記直線偏光の振動面に垂直な偏光成分を抽出する抽出手段38と、受光手段39から出力される前記正反射光の光強度に基づいて、前記繰り返しパターンの欠陥を検出する検出手段15とを備え、前記設定手段は、前記直線偏光の入射面の前記表面における方向と前記繰り返しパターンの繰り返し方向とのなす角度を、前記表面の正常部分からの光強度と前記表面の欠陥部分からの光強度との差が最大となるように設定する。 (もっと読む)


【課題】
検査装置の感度設定にかかる処理時間とユーザ負担を低減すると共に、LSIテスタによる電気的特性検査にかかるコストの増加、及び、電気特性検査が困難な領域の発生に対処する。
【解決手段】
パターンが形成された試料に光源から発射された光を照射し、この光が照射された試料からの反射光を検出器で検出して画像を取得し、この取得した画像を処理して該画像の特徴量を抽出し、この抽出した画像の特徴量を予め設定した基準値と比較して試料上の欠陥を検出する欠陥検査方法において、予め設定した基準値をパターンが形成された試料を別の検査装置で検査して得た試料の検査結果を用いて作成するようにした。 (もっと読む)


【課題】簡便な構造で、材料表面の任意の狙った微小領域の電気化学計測と、電極表面を電気化学計測時にその場観察可能な光学顕微鏡観察機能を備えた電気化学計測用微小電極システムを提供する。
【解決手段】電気化学計測と光学顕微鏡観察を同時に行う計測方法において、電極面積が0.0008cm2以下であり、水浸型の対物レンズを配置する液溜部を有し、電極面外周部の被覆が2種類以上の絶縁物の組み合わせで構成されていて、それらの最大厚さが100μm以下である微小電極システム。被覆が粘着テープと硬化性樹脂で構成されている、被覆用粘着テープが幅200μm以下の間隔で対向しており、その間隙に硬化性樹脂が充填されている、あるいは、電極材料表面に粘着テープ貼り付け後の明度L*が60以下であることが望ましい。 (もっと読む)


【課題】本発明は、線材製造工程のうち圧延、引抜、及び射出工程で線材を生産する過程で線材の表面に発生する表面欠陥を光学センサを用いて非接触式でリアルタイムに検出する装置及び方法に関する。
【解決手段】本発明による円形線材の光学欠陥検出装置は、円形面状の光を照射する照明装置と、移送されている円形線材で反射された前記照明装置の反射光を受光して光信号を生成し、前記生成された光信号を映像信号に変換する光学センサと、前記光学センサから映像信号を受信して前記円形線材の表面情報を取得する信号処理手段とを含む。 (もっと読む)


【課題】透明部材の欠陥を高精度に検出可能な欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】透明部材の欠陥検出装置は、光を投射する投光装置26と、投光装置26から投射された光を反射する反射板3と、反射部3を撮像する撮像装置11と、反射板3と撮像装置11との間に透明ブレードbを配置可能なステージと、を有する。反射板3は、投光装置26から投射された光を第2の方向に反射する反射率の異なる複数の領域が規則的に配置された反射面を備えている。 (もっと読む)


【目的】コヒーレント光の干渉性をより排除することが可能な照明装置を提供する。
【構成】照明装置300は、コヒーレント光を発生する光源103と、ランダムに配置された、波長以下の高さの複数の段差領域が形成され、光源からの光線を通過させて位相を変化させる回転位相板14と、複数のレンズがアレイ状に配列され、回転位相板を通過した光線を通過させるインテグレータ20と、を備え、複数の段差領域の最大サイズと回転位相板から蝿の目レンズの入射面までの光学倍率の積が、複数のレンズの配列ピッチ以下となる箇所と、複数のレンズの配列ピッチより大きくなる箇所とが混在するように構成されたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】薄板化された基板に形成されたチップの検査に要する時間を短縮する。
【解決手段】基板30を、基板30の外縁部32の少なくとも一部を保持しかつ外縁部32に囲まれる領域は非接触状態を保ちつつ所定の位置まで搬送する搬送工程と、搬送工程により生じた振動が収束するまで待機する待機工程と、基板30の少なくとも一方の面に関する何らかの情報を取得する検査工程と、を実施する基板30の検査方法であって、少なくとも待機工程が実施されている間の少なくとも一部の時間中に、基板30の表裏両面から気体42を吹き付けて、振動の収束を促進する送風工程を実施することを特徴とする基板検査方法。 (もっと読む)


【課題】プラスチック積層体の全数外観検査を可能にする装置及び方法を提供する。特に、アイウェアに加工される、枚葉シートの光学用積層体の全数外観検査を可能にする装置及び方法、更に、最終加工工程において有利な積層体を提供する。
【解決手段】装置は、(1)積層体を連続的に運ぶ手段、(2)積層体の欠陥を検査する手段、(3)積層体に保護フィルムを貼り合わせる手段及び(4)積層体の欠陥部分をマーキングする手段から構成される。 (もっと読む)


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