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【課題】特定の織物パターンがタイル状に敷き詰められた構造を有する複雑な地合の織物画像に含まれる微小欠陥を検出する。
【解決手段】検査対象となる織物に含まれる欠陥を検出する方法であって、織物の画像を取得する画像取得工程S10と、画像取得工程S10で取得した取得画像に基づいて比較用正常パターンを含む参照画像を生成する参照画像生成工程S20と、参照画像生成工程S20で生成した参照画像と画像取得工程S10で取得した取得画像との双方にウェーブレット変換を施す画像変換工程S30と、画像変換工程S30によるウェーブレット変換後の参照画像と取得画像とを比較する画像比較工程S40と、を備える。 (もっと読む)


【目的】インテグレータレンズによって形成される複数の集光点に起因した光学素子の劣化を回避可能な検査装置を提供することを目的とする。
【構成】パターン検査装置100は、レーザ光を発生する光源103と、レーザ光を入射し、入射されたレーザ光を分割して光源群を形成するインテグレータレンズ206と、インテグレータレンズの入射面の手前に配置され、インテグレータレンズに入射するレーザ光を散乱させる散乱板204と、インテグレータレンズを通過したレーザ光を照明光として用いて、複数の図形パターンが形成された被検査試料におけるパターンの欠陥を検査する検査部150と、を備えたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】オペレータが表面検査装置を調整する際に、基準板等の特殊な道具を用いることなく、調整を容易に行うことが可能な調整データを出力する。
【解決手段】調整部51の分散値算出部11は、カメラ3のレンズ位置を所定位置に設定するための位置指令をレンズ位置設定部12に出力し、レンズ位置設定部12から所定位置への移動の完了を入力すると、カメラ3から反射光の強度を入力し、反射光の強度の分布に基づいて分散値を算出する。最大位置決定部13は、分散値算出部11からレンズ位置及び分散値を入力し、全てのレンズ位置及びそれに対応する分散値を得た後、全ての分散値のうち分散値が最大となるレンズ位置を最大レンズ位置として決定する。調整データ出力部14は、レンズ位置、反射光の強度の分布、分散値及び最大レンズ位置を調整データとして出力する。 (もっと読む)


【課題】 短絡部を含む配線の赤外線画像を2値化処理して、細線化された2値化画像を生成し、短絡部の位置を正確に特定することを目的とする。
【解決手段】 基板に形成された配線の短絡部の有無を検査する配線検査方法であって、配線に電圧を印加して短絡部を発熱させる発熱工程と、基板の赤外線画像を取得する画像取得工程と、赤外線画像から閾値を用いて2値化画像を生成する2値化工程と、2値化画像から短絡部の位置を特定する位置特定工程とを含み、2値化工程は、閾値を変更して2値化処理を繰返すことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 印刷途上において、簡便に欠陥分類の調整を行うことが可能な画像検査装置を提供する。
【解決手段】 画像像検査装置100は、印刷用紙5の第1面51に形成された印刷画像の検査を行う第1面検査処理部70と、印刷用紙5の第2面52に形成された印刷画像の検査を行う第2面検査処理部80と、印刷結果情報等を保存する記憶手段90と、オペレータによる入力部62からの選択操作を受け付けて、第1面撮影画像、第2面撮影画像、第1面検査処理部70および第2面検査処理部80の検査結果等のうち選択された内容を所定の表示態様で表示部61に表示する表示制御部92を備える。 (もっと読む)


【課題】シート状の基材上に形成された薄膜パターンの画像を取得する際に、検出角を容易に変更する。
【解決手段】画像取得装置1は、中心軸Kを中心とするドラム11を有し、ドラム11の回転により外側面111に沿ってウエブ9が搬送される。画像取得装置1は、中心軸Kに平行な線状の撮像領域90に向けて光を出射する光照射部21と、撮像領域90からの光をラインセンサにて受光する受光部23とをさらに有し、光照射部21および受光部23は移動機構4により中心軸Kに垂直、かつ、互いに交差する2方向に移動する。移動機構4を制御することにより、受光部23の光軸J2とウエブ9の法線Nとのなす検出角θ2が変更されるとともに、光軸J2上においてラインセンサの受光面と共役なフォーカス位置Pが薄膜パターン上に配置される。このように、受光部23を2方向に移動する移動機構4のみにより、検出角θ2を容易に変更することができる。 (もっと読む)


【課題】検査対象物の部分によって色調又は光沢が異なる場合でも検査対象物全体の露光調節を行うことができるとともに、検査対象物の形状が製造時の公差によって異なる場合であっても欠陥の有無を正確に判定することが可能となる、外観検査装置及び外観検査方法を提供する。
【解決手段】撮像手段33は、検査対象物Wにおける撮像エリアの輪郭が撮像可能な第一露光条件と、撮像エリアにおける欠陥Bが撮像可能な、第一露光条件と異なる第二露光条件と、のそれぞれで検査対象物Wを撮像し、画像処理手段11が備える判定手段14は、第一露光条件で撮像した検査対象物における撮像エリアの輪郭の画像である撮像エリア画像SP1と、第二露光条件で撮像した撮像エリアの画像である第二画像P2と、を組み合わせて組み合わせ画像P3を作成することにより、検査対象物Wにおける撮像エリアの輪郭内における欠陥Bの有無を判定する。 (もっと読む)


【課題】光学異方性を有するフィルムについて、その欠陥を抽出するとともに、欠陥の種類を正確に判別するためのフィルム検査システム等を提供する。
【解決手段】フィルム検査システム1では、光学補償フィルム10を、偏光板51aを介した照明光を照射した状態で、ラインセンサ3aで偏光板31aを介して撮像するとともに、偏光板51bを介した照明光を照射した状態で、ラインセンサ3bで偏光板31bを介して撮像する。偏光板31aと偏光板51a、偏光板31bと偏光板51bの偏光方向は略直交し、偏光板31aの偏光方向と光学補償フィルム10の配向方向とは略45°の角度をなし、偏光板31bの偏光方向と光学補償フィルム10の配向方向とのなす角度は、90°から所定角度ずらしたものである。画像処理装置7は、ラインセンサ3a、3bで光学補償フィルム10を撮像した画像データ20a、20bを基に欠陥候補の検出と欠陥種類の判別を行う。 (もっと読む)


【課題】現在の手動検査プロセスを置き換える自動化検査システムおよび方法を提供すること。
【解決手段】自動化欠陥検査システム(10)が発明され、これはパターン化されたウェハ、全ウェハ、破損ウェハ、部分ウェハ、ワッフルパック、MCMなどを検査するために使用される。この検査システムは、特に、スクラッチ、ボイド、腐食およびブリッジング、などの金属化欠陥、ならびに拡散欠陥、被覆保護層欠陥、書きこみ欠陥、ガラス絶縁欠陥、切込みからのチップおよびクラック、半田隆起欠陥、ボンドパッド領域欠陥、などの欠陥のための第二の光学的ウェハ検査のために意図され、そして設計される。 (もっと読む)


【課題】エンボスシートの外観の良・不良の検査を好適に行うことができるエンボスシート検査システム等を提供する。
【解決手段】エンボスシート検査システム1において、エンボス壁紙シート10を搬送しつつ、斜め上方の照明5より照明されたエンボス壁紙シート10の撮像範囲3aをラインセンサ3で撮像し、画像データ20を画像処理装置7に送信する。画像処理装置7は、画像データ20について、所定の閾値により明点および暗点を抽出し、エンボス壁紙シート10の幅方向の両端部の領域で明点および暗点の面積の総和を算出し、明点および暗点の面積の総和が、エンボス壁紙シート10の幅方向の両端部の領域で所定量以上異なる場合、エンボス壁紙シート10を、不良品であると判定する。 (もっと読む)


【課題】溶接ビード欠陥の検出精度を向上できる溶接ビード欠陥検出装置及び溶接ビード欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】溶接ビードの欠陥を検出する溶接ビード欠陥検出装置10であって、溶接モデルBLと平滑モデルSLとの比較、あるいは、平滑モデルSLと折線モデルVLとの比較、に基づいて、溶接モデルBLを、異常点と正常点とに分別する点群データ分別手段200と、異常点と、隣接する正常点間の距離と、に基づいて、溶接モデルBLを、欠落領域GGと非欠落領域GNとに分別する欠落領域分別手段300と、欠落領域GGまたは非欠落領域GNを順次併合して併合欠落領域GGGとする欠落領域併合手段400と、を具備する。 (もっと読む)


【課題】SN比の高い欠陥検出を行うことができる欠陥検査装置を提供することである。
【解決手段】実施形態に係る欠陥検査装置は、被検査体上の画像を検出する検出部と、前記検出部からの出力に基づいて、欠陥部分の断面プロファイルを演算する特徴量演算部と、前記演算された断面プロファイルを再サンプリングして再構成する再サンプリング部と、前記再構成された断面プロファイルと、テンプレート画像とのパターンマッチングを行う積和演算部と、前記パターンマッチングの結果を閾値を用いて判定する判定部と、を備えている。そして、前記再サンプリング部は、前記演算された断面プロファイルにおける重心を求め、求められた重心を中心画素として前記断面プロファイルを再サンプリングして再構成する。 (もっと読む)


【課題】製造ラインを連続して搬送される開口を塞ぐシール部を有する被検査物に対して、特殊領域特定のために準備工程を必要とせず、検査時間の大幅な短縮が可能な、効率の良い検査性能に優れた検査装置を提供する。
【解決手段】容器を搬送する手段と、第一の光学手段と、第一の光学手段の容器搬送方向の下流に設けられた第二光学手段と、第一の特殊領域特定手段と、第一の特殊領域に基づいてシール部の液漏れ欠陥を検出する第一の検査手段と、前記エッジ座標と、第一の撮像手段と第二の撮像手段の取り付け角度の角度差と、第一の撮像手段と第二の撮像手段から得られた撮像画像における検査領域の中心座標から、第二の撮像手段によって得られた画像の第二の特殊領域を特定する第二の特殊領域特定手段と、第二の撮像手段によって撮像した画像の第二の特殊領域に基づいて容器の異物欠陥を検出する第二の検査手段と、を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 (もっと読む)


【課題】パターンの重要度を考慮しつつ効率的な欠陥検査を可能にする欠陥検査方法およびプログラムを提供する。
【解決手段】欠陥検査方法は、走査対象領域を特定する手順と、走査効率を算出する手順と、走査対象領域を優先順位付けする手順と、走査線の走査経路を決定する手順と、決定された前記走査経路に従って前記走査線を走査させる手順と、を持つ。走査対象領域は、検査対象領域を走査するための複数の走査線からなる予備的走査経路を設定し、設定された前記予備的走査経路を用いて特定される。走査効率は、特定された前記走査対象領域のそれぞれについて算出される。前記走査対象領域の優先順位付けは、得られた前記走査効率から行われる。走査線の走査経路は、得られた前記優先順位から前記複数の走査線の一部を間引いて決定される。 (もっと読む)


【課題】加工面の鋳巣の寸法計測に役立つ鋳巣の範囲を精度よく判定できる加工面欠陥判定方法及び信頼性の高い加工面品質検査方法を提供する。
【解決手段】2値化、輝度傾き抽出の処理ステップ102,103で加工面の原画像の2値化画像、輝度傾き抽出画像を得る。両画像を重ね合わせ処理ステップ105で重ね合わせて作成した欠陥検出用画像から鋳巣判定処理ステップで加工面の鋳巣の範囲を判定する。鋳巣判定処理ステップ106では、2値化画像中の鋳巣部分が拡大処理された2値化画像と輝度傾き抽出画像との論理積をとり、得られた鋳巣〔輝度傾き抽出画像における鋳巣(エッジの範囲)〕の範囲を判定結果として、2値化処理の閾値の高低に拘わらず精度のよい鋳巣範囲の判定を可能とした。同欠陥判定方法を品質検査方法に適用した。 (もっと読む)


【課題】研磨部及び再研磨部の仕上がり具合を簡単な手法で定量的に評価できる金属板の外観評価方法を提供する。
【解決手段】この金属板の外観評価方法では、金属板1の表面のデジタル画像10をスキャナ4によって取得し、デジタル画像10の一部画像11に含まれる各ピクセルのRGB値をグレースケール変換して得られるAc値の波形パターンに基づいて研磨部2及び再研磨部3の外観の可否を判断する。波形パターンを用いることで、研磨部2及び再研磨部3の外観を容易かつ定量的に判断できる。また、この方法では、波形パターンに基づいて、研磨部2及び再研磨部3の研磨方向がスキャナ4の走査方向と一致しているデジタル画像10を判断対象として選別する。この前処理により、外観判断工程で用いる波形パターンのS/N比が向上し、判断精度が高められる。 (もっと読む)


【課題】微細な欠陥の検出を容易に行うことができるパターン検査装置、およびパターン検査方法を提供することである。
【解決手段】実施形態に係るパターン検査装置は、被検査体に向けて光を出射する光源と、前記被検査体からの光を検出する検出部と、前記検出部からの出力に基づいてパターン検査を行う検査部と、を備えている。そして、前記光源は、前記光の波長を変化させる。また、前記検査部は、前記検出部からの出力に基づいて回折像を作成し、最も鮮明な回折像に関する光の波長と、対比する回折像に関する光の波長と、を比較することで、前記パターン検査を行う。 (もっと読む)


【課題】高アスペクトの深溝パターンに存在する欠陥を高い精度で検出できる欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】実施形態の欠陥検査装置は、照射手段と、加震手段と、検出手段と、判定手段とを持つ。前記照射手段は、複数のパターンが形成された基体に光を照射する。前記加振手段は、欠陥が存在しない場合の前記パターンの固有振動数で前記基体を振動させる。前記検出手段は、振動させられている前記基体から発生する光を検出する。前記判定手段は、前記検出手段からの信号を処理して前記散乱光による前記基体の画像を生成し、前記複数のパターンのそれぞれの間で揺れ方の相違があるかどうかを検査し、検査結果から欠陥の有無を判定する。 (もっと読む)


【課題】異常パターンの弁別性を向上した欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】光源と、干渉制御部と、検査装置本体と、を備えた欠陥検査装置が提供される。前記光源は、可干渉光を放射する。前記干渉制御部は、分散部と、選択部とを有し、前記光源から放射された光の可干渉性を制御して、照明光として出力する。前記検査装置本体は、前記照明光を被検査体に形成されたパターンに照射して、前記被検査体の欠陥を検査する。前記光源から放射された光の進行方向を第1の方向とし、前記第1の方向に垂直な方向を第2の方向としたとき、前記分散部は、前記光源から放射された光を波長に応じて前記第2の方向に拡張して波長分散させる。前記選択部は、前記分散部により波長分散された光を選択的に透過させる。 (もっと読む)


【課題】配線パターンの欠陥部の修正を行うにあたり、操作者の負担を小さくすることができるともに人為的な位置決めミス等のトラブルが発生することを抑制することができるスクリーン印刷装置および印刷方法を提供する。
【解決手段】スクリーン印刷装置に設けられた修正用スクリーン印刷部20は、貫通穴22aが設けられたスクリーン版22を介して修正用スキージ24により修正用ペースト28を印刷定盤30上の基材10に転移させる。制御部50は、撮像部40により撮像された基材10の画像に基づいて当該基材10における配線パターン12の欠けた箇所12aを検出し、当該基材10における配線パターン12の欠けた箇所12aに修正用ペースト28を付着させるよう修正用スクリーン印刷部20を制御する。 (もっと読む)


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