【課題】被検査体の内面の全周を、所定の角度から見た画像を一度に撮像する放射状照明、曲面鏡およびＣＣＤカメラを有する検査装置を提供する。
【解決手段】
保持台に保持された被検査体の内面の全周を、被検査体の内面を放射状に光が照射されるように環状に配置された複数のＬＥＤ（４）、前記ＬＥＤ（４）と同じ中心をもつ曲面鏡及び前記曲面鏡と同じ中心をもち、上方向に光が照射されるように環状に配置された複数のＬＥＤ（７）およびＣＣＤカメラにより曲面鏡に写った像を撮像する。曲面鏡の位置を上下に移動させることにより、被検査体の内面を所定の角度から見た画像として撮像する。 （もっと読む）

【課題】検査走査終了時にレビューを完了した欠陥の数を増加させることを目的とする。
【解決手段】本発明は、被検査物と検査光学系とを第１方向に相対移動させると同時に、前記検査光学系を用いて前記被検査物を撮像して第１欠陥を検出する第１欠陥検出工程と、前記被検査物と前記検査光学系とを前記第１方向と直交する第２方向に相対移動させると同時に、前記被検査物と前記検査光学系とを前記第１方向と反対方向に相対移動させる移動工程と、レビュー光学系を用いて前記第１欠陥を撮像して第２欠陥を検出する第２欠陥検出工程と、を有し、前記第１欠陥検出工程と同時に前記第２欠陥検出工程を実施し、前記移動工程と同時に前記第２欠陥検出工程を実施することを特徴とする欠陥検出方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】２倍強の管径差をもつ広範な管径（３５０mm〜８００mm）を対象に、検査対象となる配管内を円滑にかつ適正な速度で走行して、管内を斑なく的確に観察できる自走式管内検査カメラ装置を提供する。
【解決手段】走行ユニットを構成する管径変換ユニット１と管径変換ユニット１に選択的に結合される管径変換アダプタ用取付アダプタ１３および第１乃至第３の管径変換アダプタ（ＣＡ１）〜（ＣＡ３）とにより複数種の管径に対応した自走式管内検査カメラ装置の管径変換ユニットを構成している。 （もっと読む）

【課題】複数個所の検査と、０．１ｍｍ位の異物とか欠けの検査がより簡単に且つ安価になる画像検査装置を提供する。
【解決手段】ロボット１のハンド部３がワーク４を把持。ハンド部３の構造としては把持した状態の繰り返し位置ずれを少なくする把持子１４を持つ。さらに当該位置ずれを少なくするためにロボット１が把持したワーク４をレーザセンサ１１又はカメラ５にかざしワーク４の位置を、予め当該ワーク４の良品をレーザセンサ１１又はカメラ５にかざしたデータと比較する。このデータを基にワーク４を、ロボット１が座標変換プログラムにより位置修正する。そしてワーク４をカメラ５にかざしトリガ信号をだして撮像する。予め当該ワークの良品を登録した画像と比較して画像検査し良品であれば良品シューター９位置にワーク４を開放し、不良品であれば不良品シューター１０位置に開放する。 （もっと読む）

【課題】ベルトの深さ方向の傷の検出精度を向上させるベルト検査装置を提供する。
【解決手段】所定方向に形成された内側平坦部２０及び外側平坦部２２と、湾曲側部２９ａ、２９ｂとを輪郭とする略矩形断面を呈する薄型金属ベルト１８の表面に存在する傷を検査するベルト検査装置３０であって、内側平坦部２０側から照明光を湾曲側部２９ａ、２９ｂに出力する赤色光源４８、５０と、外側平坦部２２側から、前記湾曲側部によって反射された照明光を撮影するカラーカメラ４０、４２と、カラーカメラ４０、４２が照明光を撮影した画像に基づいて薄型金属ベルト１８の表面状態を判定する表面状態判定部７８とを備え、表面状態判定部７８は、撮影された照明光の幅を計測し、該照明光の幅に基づいて、薄型金属ベルト１８に、所定方向を深さ方向とする傷があるか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】開口部が周期的に形成されている半導体ウェハを検査することができる検査装置、検査方法、及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様にかかる検査装置は、一方の面に開口部１４が周期的に形成された半導体ウェハ１０の検査装置であって、半導体ウェハ１０の一方の面と反対側の他方の面の法線から傾斜した入射方向３１に向けて光を出射し、他方の面を照明可能な照明装置２２と、照明装置２２から入射方向に出射された光の正反射方向の近傍位置に配置され、照明領域の長手方向に沿って配列された受光画素で半導体ウェハ１０からの光を受光する検出器２３と、半導体ウェハ１０と照明領域の位置を相対移動して走査を行うステージ２１と、を備えた検ものである。 （もっと読む）

【課題】反射型サンプル基板上の欠陥の特性を、非破壊かつ高精度に評価可能な欠陥特性評価装置を提供する。
【解決手段】本発明は、反射型サンプル基板であるマスク基板１１上の被検欠陥１２に対して、実際の露光で利用する波長のコヒーレント光を、マスク基板１１上の被検欠陥と略同一のサイズに集光する集光光学系１０と、集光光学系１０により集光され、マスク基板１１上にコヒーレント光を照射する照射部１６と、照射部１６により照射された照射パタン領域１３ｂからの回折光を２次元的に受光する二次元検出器１３と、二次元検出器１３による受光結果である画像情報を記録する記録部１７と、記録部１７により記録された画像情報から、被検欠陥１２の反射振幅と位相分布を反復計算により導出する導出部１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】試料に実在する欠陥に起因する輝度変化を、各種ノイズから分離して検出できる検査装置を実現する。
【解決手段】本発明では、試料表面上に主走査方向に整列した複数個の走査スポットを形成し、試料表面の同一の部位を、主走査方向に整列したｎ個の走査スポットにより所定の時間間隔で順次走査する。ｎ個の走査スポットからの反射ビームをそれぞれ光検出素子により受光する。信号処理装置は、ｎ個の光検出素子から出力される輝度信号中に、所定の閾値を超えると共に互いに時間的又は位置的に対応する輝度変化が存在する場合、試料上に欠陥が存在するものと判定する。本発明によれば、試料表面上に形成された欠陥に起因する輝度変化は、光源ノイズや光検出器の熱雑音から分離して検出されるので、疑似欠陥が増大することなく、欠陥の検出感度を高く設定することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】検査対象からの反射光角度の変化に基づいて基板の欠陥を精度よく検査することができる検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る検査装置は、赤外光を出射する光源１１と、光源１１から出射される赤外光を平行光としてウエハ３０に略垂直に入射させ、当該ウエハ３０からの反射光を導く光学系と、光学系により導かれる反射光のうち、正反射光以外の光を検出するＩＲカメラ１９、２０とを備え、光源１１からの赤外光を導光する光ファイバ１３の出射端面面は、光学系の瞳位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】ユーザそれぞれが、自身がその存在を感得しているレシピについて、他のユーザがその存在を含めた設定内容を感得できないように、そのレシピの存在自体も含めてレシピの設定内容を隠蔽しておくことができる検査装置及びその隠蔽方法を提供する。
【解決手段】ユーザそれぞれが、自身の閲覧設定画面５００上でその存在を感得しているレシピについて、他のユーザがその存在を含めた設定内容を感得できないように他のユーザを隠蔽先に含む隠蔽ＩＤ情報を生成するレシピ隠蔽情報作成機能部１１６と、ユーザそれぞれの閲覧設定画面５００を表示する際、隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納されている隠蔽ＩＤ情報に基づいて、ユーザそれぞれの閲覧設定画面５００の生成のためのレシピ表示情報を作成する表示情報作成機能部１２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】欠陥観察時に観察顕微鏡のレンズ部と基板又は基板保持機構との衝突を防止する。欠陥観察に必要な時間を短縮化する。
【解決手段】基板の表面に照射された高さ調整用のレーザビームは、その高さに比例してスポットの直径が変化し、フォーカス面で最小となり、さらに下降移動により拡大する。観察顕微鏡手段を上方から下降させることによって、レーザビームのスポット径の最小位置を検出し、登録した対物レンズの倍率におけるフォーカス時のスポット径と比較することによって、対物レンズがフォーカス位置より下方向に移動し続けて、基板又は基板保持機構と接触するのを防止する。 （もっと読む）

【課題】外観検査装置を用いた繰り返しパターンの検査において、製品パターン以外を基準として検査視野のずれを防止することによって、微小な繰り返しパターンが高密度に規則正しく配置されていても誤報を抑制可能で、かつ製品パターンへの影響のない配線基板及び配線基板の検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】製品領域内に設けられた繰り返しパターンと、前記繰り返しパターンを所定の検査視野毎に外観検査装置で検査する際のアライメント補助パターンとを有する配線基板であって、前記アライメント補助パターンが、前記配線基板の製品領域内に設けられる配線基板である。また、上記配線基板を用いて外観検査装置で検査する配線基板の検査方法である。 （もっと読む）

【課題】簡素化を図りつつ、対象物を短時間で高精度に検査することができる。
【解決手段】撮像手段１１と対象物Ｔとの間に光軸Ｏに交差する方向に向けて光線Ｌを放射する光源１２と、光源１２から放射された光線Ｌを撮像手段１１の光軸Ｏ方向に沿って対象物Ｔ側に向けて反射するハーフミラー１３と、ハーフミラー１３と対象物Ｔとの間に光軸Ｏと同軸に配置され、外周面１４ａにハーフミラー１３により反射された光線Ｌが入射する円錐状または円錐台状の内ミラー部材１４と、内ミラー部材１４よりも大径の円錐台状の孔部１５が光軸Ｏと同軸に貫設され、孔部１５の内周面１５ａに内ミラー部材１４の外周面１４ａにより反射された光線Ｌが入射する外ミラー部材１６とを備え、外ミラー部材１６は、内ミラー部材１４の外周面１４ａから孔部１５の内周面１５ａに入射した光線Ｌを、対象物Ｔの外周面Ｔ１に垂直に入射するように反射する検査装置１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】部品の外観良否判別を行うにあたり、信頼性の高い基準値を得る。
【解決手段】優良サンプルＳ１の格付け評価結果のデータと、優良サンプルＳ１よりも不良部の程度の大きいサンプルＳ２、Ｓ３・・・の格付け評価結果のデータとの間で分散分析を行い、分散分析により優良サンプルＳ１に対して有意差無しとされたサンプルＳ５の不良部の程度（凹部の大きさ）以上、有意差有りとされたサンプルＳ６の不良部の程度以下の範囲内で、良否判別の基準値を設定する。 （もっと読む）

【課題】検査表面を多方向から撮影して欠陥を判定する装置および方法において、ワークの姿勢と撮影手段の受光部の向きを変化させると、機構が複雑となる。
【解決手段】検査対象物（Ｗ）の表面に生じた欠陥を検出して判定する欠陥検出装置であって、受光部（１３ａ）に侵入した光を受光して、前記表面の検査区域（Ｔ）の画像を撮影する撮影手段（１３）と、表面が鏡面であって、光を撮影手段（１３）の受光部（１３ａ）に導くための第１ミラー手段（１４）と、検査対象物の表面に対して４５度の角度で傾いて配置される第１ハーフミラー（１１）と、内面が鏡面であって前記鏡面の少なくとも一部が前記第１ハーフミラーを向いて第１ハーフミラー（１１）を覆うように配置される内部ミラー部材（１２）と、第１ハーフミラー（１１）に向かって光を照射する発光手段（１５）と、を具備する欠陥検出装置により解決する。 （もっと読む）

【課題】多段積みされた裁断対象を精度良く検査できる裁断対象検査装置等を提供する。
【解決手段】多段積みされた裁断対象Ｂｋを検査する裁断対象検査装置において、所定形状のレーザ光Ｌ１、Ｌ２が投影された裁断対象の画像データを取得し（Ｓ７）、画像データからレーザ光が投影された部分の画像を抽出し、抽出されたレーザ光の画像からレーザ光の投影形状の情報を算出し（Ｓ８）、所定形状の情報と投影形状の情報とに基づき、多段積みされた裁断対象の良否を判定する（Ｓ１１）。 （もっと読む）

【課題】 簡易な装置で容易に制御でき、高い検査精度を維持することが可能な欠陥検査装置に好適な画像生成装置およびこれを用いた欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】 画像入力部５１が、被写体であるシート状成型体を撮像して２次元画像データを取得すると、画像処理部５２が、２次元画像データに対して予め定める画像処理を施して解析用画像データを生成する。画像出力部５３は、生成された解析用画像データを解析装置に対して出力する。 （もっと読む）

【課題】 圧着ハガキの角折れに対し、浮き上がり量の小さいものや内側に折れ込んだものでも検出可能とする圧着ハガキ検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 圧着ハガキ検査装置３０は、検査対象である圧着ハガキ１０に記録された識別コード１４を読み取るコード読取器３１、圧着ハガキ１０の角部の所定の検査領域を撮像する画像取込カメラ３２、同装置全体を制御し圧着ハガキ１０の良否を判定する検査制御部３３を持ち、検査制御部３３は、画像取込カメラ３２から取り込まれた検査画像から角部に印された検査用パターンを判読することにより、角折れの有無を判別する。 （もっと読む）

【課題】外部制御装置と搬送ロボットとの間のハンドシェイクの回数を削減し、外部制御装置が複雑な処理を行わなくても済むようにし、搬送の全体の処理時間も短縮する。
【解決手段】搬送ロボットシステムは、外部制御装置から現時点の装置の状態、つまりカセットのランクの割付やランク情報、未検査品の有り無しといった情報を受け取り、そのデータに基づいて自身が次に実行すべき動作を判断し動作する。これによって、外部制御装置が逐一与えていたコマンドや動作のスケジューリングの演算を搬送ロボット自体に行わせ、自分自身で判断し動作を実行することができるので、外部の制御装置から一つ一つ動作の指令を受けなくとも、特定の情報を取得するだけで、自動で動作を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面の凹凸パターンのサイズ変動を検査するマクロ検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物２の表面の凹凸パターンのサイズ変動を検査するマクロ検査装置１００である。マクロ検査装置１００は、被検査物２を乗せるためのステージ１と、被検査物２の表面に対して所定の角度方向から被検査物２側に光を照射する拡散光源５と、被検査物２の表面からの反射光を受光可能なラインセンサ９と、被検査物２とラインセンサ９との間に設けられ、反射光のうち拡散光源５のエッジ部からの光束に起因する反射光束が、ラインセンサ９の両端の少なくとも一方に設けられた所定領域でのみ受光されるように、反射光をラインセンサ９に導くための光学系と、を備える。 （もっと読む）