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Fターム[2G051AB02]の内容

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【課題】本発明は、光学ガラスを透過した光の反射光等の影響を排除できる光学ガラス検査装置および検査方法を実現する。
【解決手段】ガラス35を保持した治具30を搭載する搭載部21、搭載部21を変位させてガラス35を検査領域に位置づける駆動装置22、搭載部21の一方側に配設された光源15および光学系10、及び搭載部21の他方側に配設され反射面が光学系の光軸に対し傾斜した反射部40を有し、治具30として、表・裏面を連通する治具開口31c、および治具開口31cの隣接領域にガラス35を保持するためのガラス保持手段32を有するものを使用することで、光源15から検査領域に照射された光がガラス35、治具開口31cおよび搭載部開口21cを通過して更に反射部40に入射して反射する反射光の光路が、検査領域と交叉しない構成とした。 (もっと読む)


【課題】光学ガラス検査治具に保持された光学ガラスの透過光の、光学ガラス検査治具の表面からの反射の影響を排除して、光学ガラスの傷等の検査精度向上と迅速化を図る。
【解決手段】光学ガラス検査治具の構成を、一または複数の光学ガラスを載置するためのガラス載置部31nと、載置された光学ガラスを保持するためのガラス保持部32とを有し、さらにガラス載置部31nが光学ガラス検査治具30Aの表面30xと裏面30yの間を連通する治具開口部31cを備え、ガラス保持部32が治具開口部31cの少なくとも2つの領域に配設されて光学ガラスを保持することができるとともに、光学ガラス35を通過した光が更に治具開口部31cを通過する構成とした。 (もっと読む)


【課題】 対象物を検査選別するための効率的な装置および方法を提供すること
【解決手段】 対象物を受け入れるが、対象物が互いに積み重なるのを防止するようになされた略水平な空間と、複数のトンネルと、対象物が前記複数のトンネルに入るようにさせるガス圧力を伝達するように構成された複数のガス開口部とを含む装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】周期性のあるパターン、特に、LCD製造用フォトマスクのような基板において、回折光量差によるコントラストからパターン変動発生箇所を精度良く識別し、かつ、その変動発生周期を簡便に導出することによって、むら検査を実施することができるむら検査装置、むら検査方法およびむら判定方法を提供することを課題とする。
【解決手段】回折光量差によるコントラストからパターン変動発生箇所を精度良く識別し、かつ、その変動発生周期を簡便に導出することによってむら検査を実施することができる検査装置およびむら検査方法。 (もっと読む)


【課題】液晶表示パネルを高速搬送しながら高精度に検査することで良質の液晶表示パネルを高速に連続生産することができる。
【解決手段】製造装置と検査装置とが液晶セルおよび液晶表示パネルを搬送する一連の搬送装置に配置されており、この検査装置は、搬送装置の一方面側であって、搬送装置により搬送される液晶表示パネルに対して、当該搬送装置の幅方向に平行なライン状光を照射する光照射部と、搬送装置の他方面側であって、光照射部によるライン状光の照射方向に対して搬送装置の搬送方向またはその反対方向に所定角度傾斜した位置に配置され、搬送装置により搬送される液晶表示パネルのライン状光が照射された領域を搬送装置の幅方向に平行なライン状にかつ連続的に撮像する撮像部とを有する。 (もっと読む)


【課題】
従来、プリント基板の外観検査装置等で試みられている、位置ずれした被検査基板のずれ補正の前処理を施し、被検査基板画像と基準画像との差分をとって、基板の欠陥検査が行われていた。しかし、その位置ずれ補正の前処理にかなりの時間を要し、検査のタクトタイムを短縮することが困難であった。そのために、位置ずれ補正と画像の差分が迅速に精度よく行われる技術と装置の開発が求められてきた。
【解決手段】
本発明は、画像欠陥の検査のために、基準画像と被検査画像の両者をフーリエ変換して、両者のフーリエ変換強度画像の回転角変化を補正して差分した画像と、前記何れかの画像のフーリエ変換位相画像とで逆フーリエ変換画像を求めて、2画像間の差異を求める方法と装置を提供した。2画像間に位置ずれ、回転ずれがあっても、2画像間の差異が明確に求まり、画像欠陥等の検査を簡単に迅速に行うことができた。 (もっと読む)


【課題】簡易な構成でガラス基板の表面の画像を高精度かつ迅速に取得する。
【解決手段】表面検査装置10は、被検査対象物(ガラス基板14)の移動方向に沿う複数の異なる位置にそれぞれ照明光を照射可能な複数の光源(3つの線光源11,12,13)を有する照明手段と、被検査対象物(14)を照明手段に対して相対移動させる駆動手段(駆動ローラ4)と、複数の光源(11,12,13)によってそれぞれ照明された被検査対象物(14)を所定のタイミングで撮像し、複数の異なる画像を取得する撮像手段(ラインセンサカメラ15)と、照明手段と駆動手段(4)とを制御し、被検査対象物(14)を相対移動させた状態で被検査対象物(14)の異なる位置に照明光を所定のタイミングで照射するとともに所定のタイミングで複数の異なる画像を取得するよう撮像手段(15)を制御する制御手段5と、を備える。 (もっと読む)


【課題】枚葉シートに切り取られたフィルムをシワの無い一様な被検査面に形成して外観検査を容易にし、検査精度を向上することが可能で、しかも設備費用が抑制された自動検査装置を提供する。
【解決手段】被検査対象の枚葉フィルムが巻き取られた段取り用ローラーと、枚葉フィルムの巻き出し方向に対向する2辺をそれぞれ挟み、枚葉フィルムを引っ張りながら巻き出し巻取りを行って搬送する2本のフィルム挟み込みローラーと、前記2本のフィルム挟み込みローラーを駆動する手段と、2本のフィルムサポートローラーと、枚葉フィルムの検査面を照明する手段と、照明された枚葉フィルムを撮像する手段と、照明する手段を移動する手段と、撮像する手段を移動する手段と、撮像された画像を処理し不良欠陥を検出する画像処理手段と、前記2本のフィルム挟み込みローラーと2本のフィルムサポートローラーを移動する手段と、を有する枚葉フィルム検査装置。 (もっと読む)


【課題】多層構造の検査対象物の内部の層の画像を良好な画質で取得し、その結果、内部の層の検査精度を向上させる。
【解決手段】波長選択フィルタ113は、検査対象物に照射する照明光の波長を変更する。照明波長設定部173は、検査対象物の第1の層を通して第2の層の検査を行う場合に、第1の層の透光特性に基づいて、波長選択フィルタ113を用いて照明光の波長を設定する。撮影制御部175は、検査用撮像素子120を制御して、照明光が照射された検査対象物を撮影させる。検査部172は、撮影の結果得られた検査画像に基づいて、第2の層の検査を行う。本発明は、例えば、TFTアレイ基板の検査装置に適用できる。 (もっと読む)


【課題】 基板の保持部が撮像部の撮像領域に写り込まず、基板にキズや汚れを生じさせず、基板の位置ずれを起こすことなく、基板の検査を行うことができる装置及び方法を提供する。
【解決手段】 検査対象となる基板を保持して、一方向に移動させながら検査を行う基板検査装置及び方法であって、
基板移動部は、基板が光源と撮像部の撮像領域を通過するように、基板を保持して移動させる第1の基板移動部と、基板の光源と撮像部との間を通過した部分を保持して移動させる第2の基板移動部とを含んで構成され、
基板又は基板移動部の移動中の位置を検出する基板位置検出部を備え、
検出位置情報に基づいて、基板を第1の基板移動部と第2の基板移動部とで共に保持して移動させながら検査を行うこと特徴とする基板検査装置及び方法 (もっと読む)


【課題】検査時間および労力を低減できるマスク検査方法およびその装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、マスク検査方法は、半導体露光用マスクに任意波長の光を入射させ撮像部にて像を取得する光学系を用いて、前記マスクの欠陥の有無を検査する方法であって、予め前記光学系による点像を、前記撮像部の読み出し方向に伸長される制御条件を取得する第1ステップ(S203)と、前記制御条件により、マスクの所望の領域の像を取得する第2ステップ(S205)と、取得した前記所望の領域の像において、信号強度が予め定めておいた第1閾値以上であり、前記信号強度の前記読み出し方向における差分が予め定めておいた第2閾値以下であるピーク信号が存在する場合、前記ピーク信号の座標を欠陥として判定する第3ステップ(S206)とを具備する。 (もっと読む)


【課題】
高速で走行しているガラス繊維物品において、被覆層の付着不良欠陥を検出する。
【解決手段】
連続的に走行しながら同時に表面処理される複数本のガラス繊維物品の表面欠陥を、ガラス繊維物品に照射した光の反射光の輝度情報からラインセンサーを用いて判定する欠陥検出方法において、ガラス繊維物品の走行方向に対し直交方向にラインセンサーを配置し、それぞれのガラス繊維物品に対してラインセンサーの検知子に連続的に入力される輝度情報の内、連続した3個以上の輝度異常情報か又は連続的に検知子に入力された5個以上の輝度情報中、輝度異常情報である割合が、予め定められた値以上である場合に第1ステップでの輝度異常情報として処理することを特徴とするガラス繊維物品の表面欠陥検出方法。 (もっと読む)


【課題】検査費用のコストダウンを可能とする自走コンベア搬送方式の搬送装置を用いた自動欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】カラーフィルタ基板やタッチパネル基板の欠陥を検査する自動欠陥検査装置であって、基板を搬送する自走コンベアと、搬送された基板表面を照明する照明手段と、照明された基板表面を撮像する撮像手段と、基板上に設けられた特徴点を撮像する特徴点撮像手段と、基板上に設けられた特徴点の設計上の座標値と、特徴点撮像手段によって撮像された特徴点の座標値を比較して、特徴点撮像手段によって得られた座標値を補正する座標補正手段と、撮像手段によって撮像された検査画像を座標補正手段によって得られた座標補正に基づいて画像処理して検査する画像処理手段と、を備えたことを特徴とする自動欠陥検査装置。 (もっと読む)


【課題】不良品を的確に排出可能な極めて実用性に秀れた光学検査装置の提供。
【解決手段】搬送機構により搬送される被検査物を照明する照明部と、被検査物を撮像する撮像部と、被検査物の撮像データをもとに画像処理を行う画像処理部と、画像処理の結果をもとに良否判定を行う良否判定部と、被検査物の通過を検知可能な通過検知部と、良否判定部により不良と判定された被検査物を排出する不良品排出部とを備え、不良品排出部は照明部及び撮像部の搬送下流側で所定時間の間作動させることで不良と判定された被検査物を排出するように構成した光学検査装置であって、被検査物の搬送方向長さを検出する長さ検出部を設けると共に、この長さ検出部により検出される被検査物の搬送方向長さが所定長さより長い場合に不良品排出部の作動時間を長くする排出制御部を設ける。 (もっと読む)


【課題】船舶、橋梁、配管などに用いられている様々な溶接形状を計測し、実際の溶接形状に即した溶接の形状パラメータを算出し、自動的に溶接部の疲労強度を算出する溶接形状評価装置及び方法を提供する。
【解決手段】溶接形状評価装置1が照射部13からレーザーを照射し、溶接部を複数の2次元座標(直交座標又は極座標)を持った計測点で計測する計測装置10と、前記計測点を用いて疲労強度を算出する演算装置20とからなり、溶接形状評価方法が座標から計算式により溶接の形状パラメータを算出して簡易式により応力集中係数を算出する簡易式工程と、有限要素法(FEM)を用いて溶接部を解析して応力集中係数を算出する有限要素法(FEM)工程とを備えた応力集中係数算出工程と、複数の提案式と方法を備えて疲労強度を算出する疲労強度算出工程とを備える。 (もっと読む)


【課題】離型紙を用いてプリプレグを製造するに際し、プリプレグの離型紙が付着している側の欠点の位置や種類を特定し、検査時間の短縮や検査精度の向上を図ることができるプリプレグ欠点検査方法を提供すること。
【解決手段】離型紙に樹脂をコーティングした樹脂フィルムを、シート状に配列された炭素繊維束、または布状の炭素繊維の少なくとも片面に配置した後、該炭素繊維束中に樹脂を含浸させ、その後連続的に巻き上げてプリプレグを製造する工程に用いられる、プリプレグの離型紙側の欠点を検査する方法において、該少なくとも片面に配置される樹脂フィルムの繰出し部から樹脂含浸までの間に、該樹脂フィルム面に照射手段によって光を照射し、該樹脂フィルムからの反射光を受光手段により検出し、該受光手段により検出された反射光の信号と予め設定した閾値との比較によって樹脂フィルム面の欠点を検出、判定し、欠点をスジ欠点、異物欠点ならびに樹脂欠陥欠点に分類することを特徴とする、プリプレグ欠点検査方法。 (もっと読む)


【課題】LED配線基板の幅をコンパクト化可能にするとともに、組み立て部品の削減及び組み立て工数を削減する。
【解決手段】各LED配線基板3が、長手方向に沿って列状に設けられた複数のLED31と、当該複数のLED31に平行に設けられた給電ライン部材32a、32bとを備え、給電ライン部材32a、32bが、LED配線基板3のLED搭載面3bから上部に設けられており、隣接するLED配線基板3において、一方のLED配線基板3に設けられた給電ライン部材32a、32bが、長手方向外側に延出して設けられて他方のLED配線基板3の給電ライン部材32a、32bに接触する接触端子32a、32bを有する。 (もっと読む)


【課題】被検査対象物であるワークに対して加工したり、他の部位を装着したりすることなく、ワーク全周の疵を安定して検出することが可能な検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】ワークWの円筒面である外径面の疵を疵検出手段100を用いて検出するための検査装置及び検査方法である。回転軸心が相互に平行に配設されている一対の回転軸1,2にてワークWを支持させた状態で、回転体1,2をワークWに接触させ、一対の回転軸1,2を回転駆動させる。これによって、回転体1,2をワークWとともに回転させる。回転軸1,2とワークWとの間に滑りが生じることなくワークWがその軸心廻りに1回転する基準時間での回転体の回転状態を検出する。回転状態に基づいてワークWと回転軸1,2との間に滑りがあるか否かを判断する。 (もっと読む)


【課題】検査対象物の表裏を一台のカメラで一度に検査できるようにすること。
【解決手段】外観検査装置1は、カメラ4と、光学系15とを具備する。検査対象物20の正面20aがカメラ4の視野4bに配置される。光学系15は、検査対象物20の正面20a及び背面20bをカメラ4が同時に撮影することが可能なように背面20bからの光線102の向きを変更する。 (もっと読む)


【課題】基板装置表面のパターン欠陥の致命度をより信頼度高く判定する。
【解決手段】データ処理部10は、欠陥レビュー部12を介して基板装置のパターン欠陥を含んだレビュー画像を取得し(レビュー画像取得部104)、そのレビュー画像と欠陥のない参照画像とを比較することにより欠陥画像を抽出するとともに、前記レビュー画像とそのレビュー画像に対応する領域の同じレイヤの設計データから生成した自レイヤ設計パターン画像との位置合わせを行う(画像位置合わせ部105)。そして、その位置合わせの結果に基づき、前記レビュー画像に対応する領域の他のレイヤの設計データから他レイヤ設計パターン画像を生成し、前記欠陥画像と他レイヤ設計パターン画像との合成画像に基づき、前記欠陥と他レイヤのパターンとの相対位置関係を求め、その相対位置関係に基づき致命度を判定する(致命度判定部106)。 (もっと読む)


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