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Fターム[2G051AB12]の内容

Fターム[2G051AB12]に分類される特許

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【課題】基板上に成膜された透明膜の外縁を明確に特定することで、精度の高い成膜パターンの検査を行うことができる。
【解決手段】透明膜検査装置1は、透明膜Mの外縁Meを含む被検査範囲の観察像を形成する観察光学系10と、被検査範囲を含む基板S上に照明光を照射する照明光源20と、観察光学系10の光路内に配置されて当該光路の一部を遮光する遮光部材30とを備える。遮光部材30は、観察像内に全遮光部分から徐々に明度が高くなる半遮光部分を含む遮光部分を形成し、この遮光部分が透明膜Mの外縁Meの像に被さるように配置される。観察光学系10は、透明膜Mの外縁Meの側面で反射した光を観察像内に結像させることで、遮光部分にコントラストの高い透明膜Mの外縁Meの線像を形成する。 (もっと読む)


【課題】 表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査装置に関し、欠陥検査の検知精度の向上を図るために位相シフトを用いつつ検査時間を低減する。
【解決手段】 互いに異なった複数の波長をそれぞれ独立に変調した明暗パターンをパターン平面上で互いに変調させて合成照明パターンを合成し、前記合成した合成照明パターンを検査対象物に照射し、前記検査対象物からの前記合成照明パターンの反射パターンを撮像して波長毎の画像を一括して取得し、前記撮像した画像を波長毎に分解して前記検査対象物の表面の凹凸欠陥を判別する。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、表面欠陥を検出する技術に関し、主として塗装表面のブツ欠陥やキズ欠陥の検出を確実に検出する表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法に関するものである。
【解決手段】 発明の表面欠陥検査装置は、色相が平面において少なくとも2方向に周期的に変化した照明パターンを、基準面と検査面とに照射する照明部と、前記照明パターンが照射された前記基準面と前記検査面とを撮像する撮像部と、前記撮像部で撮像された両画像の色相の差に基づいて、前記検査面の欠陥の有無を検出する欠陥検出部と、を有するよう構成する。 (もっと読む)


【課題】 発光ダイオードを多数配列した面照明を使用した場合であっても、LEDの全点灯までの時間遅れの影響を受けることなく、検査時の照明光量を一定に保ちつつ、短時間で検査を行うことができる、膜厚むらの検出装置並びに当該装置を具備した塗布装置を提供する。
【解決手段】 基板上に形成された皮膜の膜厚むらを検出する装置で、
基板保持部と、光源部と、撮像部と、制御部と、検査部とを備え、
光源部は複数の発光ダイオードを配置して構成された面照明であり、
制御部は、発光指令信号を出力してから複数の発光ダイオードが全点灯状態になるまでの点灯遅れ時間を登録する点灯遅れ時間登録部と、発光指令信号を入力してから登録された点灯遅れ時間経過後に、撮像部に対して撮像指令信号の出力を行う撮像ディレイタイマ部とを備えたことを特徴とする、膜厚むら検出装置。 (もっと読む)


【課題】フィルムの蛇行とカールとを監視し、未塗工不良や塗工不良の発生や、塗工のエッジ部分に発生する塗工抜け不良を検出することを可能とし、更にシワの発生を検出可能としたフィルム検査装置を提供する。
【解決手段】長尺のフィルムに塗液を塗工する工程でフィルムを検査する装置であって、塗工部の直後に設けられ、第一の端辺と第一の塗工エッジを検出するための第一の検出部と、第二の端辺と第二の塗工エッジを検出するための第二の検出部と、第一の端辺と第一の塗工エッジの位置算出部と、第二の端辺と第二の塗工エッジの位置算出部と、フィルムの蛇行またはカールの発生を判別する蛇行・カール判別部と、塗工エッジに発生した塗工抜け不良を判別する塗工抜け不良判別部と、硬化処理される硬化処理部の直後に設けられた第三の検出部と第四の検出部と、第三の端辺位置算出部と第四の端辺位置算出部と、を備えたことを特徴とするフィルム検査装置。 (もっと読む)


【課題】検査対象物が大きくなっても、同じ撮像条件で得られた画像情報に基づいて膜厚むらの検査ができ、微妙な膜厚むらに対しても精度の高い検査ができる装置を提供する。
【解決手段】表面に皮膜が形成された検査対象物10の、皮膜形成面の少なくとも一部を撮像し、得られた画像情報に基づいて検査対象物上の皮膜の膜厚むらを検査する膜厚むら検査装置であって、検査対象物又は撮像部4の少なくとも一方を移動させる移動部2と、移動中に撮像部で撮像された所定範囲の画像を移動位置毎に移動位置情報を付加して登録する画像登録部と、移動位置情報が付加された所定範囲の画像を移動位置の順に並べ全体画像として合成する画像合成部と、合成された全体画像の画像情報に基づいて検査対象物の色むらを検出する色むら検出部とを具備し、撮像部で撮像された画像の所定範囲は、撮像部に対して同じ角度で観察された範囲であることを特徴とする膜厚むら検査装置。 (もっと読む)


【課題】塗布シートをシワやタルミなく略平面状に保持することにより、塗布面の表面観察を容易にする。
【解決手段】固定台20は、基面21から突出し、第1方向に沿って延びる、平滑な上面31を有する凸条30と、凸条に対して第1方向と直交する第2方向の両側に形成された第1吸引孔とを備える。塗布面を基面とは反対側に向けて、凸条及び第1吸引孔を覆うように塗布シートを基面上に載置し、塗布シートを第1吸引孔に吸引して塗布シートを凸条の上面に密着させる。 (もっと読む)


【課題】従来の製造方法では、軸受装置用の部品に防汚ポリマーがコーティングされているか否かは人間の目視に頼るため検査漏れを生じる可能性が高く、作業効率も低い課題があった。
【解決手段】シャフト4と、シャフト4を環囲するスリーブ6と、を備えるべき軸受装置用の部品の製造方法において、シャフト4と、スリーブ6のうちの少なくとも一つをワーク100と呼ぶとき、本製造方法は、ワーク100に防汚ポリマー12をコーティングする工程と、防汚ポリマー12がコーティングされた範囲と重複する範囲にフォトルミネセンス材料を塗布する工程と、ワーク100にフォトルミネセンス材料を励起する励起光24を照射して、フォトルミネセンス材料の発する固有のスペクトルの光を光センサ22で検出すると共に、光センサ22の出力信号30に応じてフォトルミネセンス材料が塗布されているか否かを表示する信号検出工程200と、を含んでいる。 (もっと読む)


【課題】光学部品に対する接合用材料の塗布量の適否を検査する。
【解決手段】光源150を制御して光学部品に光を入射させる入射光制御部131と、センサー151を制御して光学部品における接合用材料が塗布された面からの出射光の光学特性を検出する光学特性検出部132と、検出された光学特性と適正範囲記憶部152に予め記憶している適正範囲とを比較することにより、接合用材料の塗布量の適否を判定する適否判定部133とを備える。 (もっと読む)


【課題】粉体の塗布が異常となった不良箇所を容易に特定することが可能な電線の製造方法を提供する。
【解決手段】適量の粉体離型材9が塗布された状態の絶縁コア1の画像におけるコア絶縁層5の色相の画素数を適正画素数範囲として設定しておく適正画素数範囲設定処理と、粉体離型材9を塗布した絶縁コア1の粉体塗布後画像Gbを撮影する塗布後撮影処理と、粉体塗布後画像Gbにおける絶縁コア1の色相の画素数を計数する計数処理と、を行い、粉体塗布後画像Gbの絶縁コア1の色相の画素数の変化から粉体離型材9の塗布量をモニタしながら電線を製造する。粉体塗布後画像Gbにおけるコア絶縁層5の色相の画素数が適正画素数範囲内に入っているか否かを判定する判定処理と、粉体塗布後画像Gbにおけるコア絶縁層5の色相の画素数が適正画素数範囲から外れた絶縁コア1の区間を記憶する異常区間記憶処理とを行う。 (もっと読む)


【課題】十分に配管内壁を覆い、信頼性の高い保護が可能な配管クリーニング方法及び配管検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の一観点に係る配管のクリーニング方法は、配管内壁に付着した堆積物を除去する工程、配管内壁に第一の樹脂層を形成する工程、第一の樹脂層上に、第一の樹脂とは色の異なる第二の樹脂層を形成する工程、を有する。
また本発明の他の一観点に係る配管検査方法は、配管内壁に付着した堆積物を除去する工程、配管内壁に第一の樹脂層を形成する工程、第一の樹脂層上に、第一の樹脂層とは色の異なる第二の樹脂層を形成する工程、第二の樹脂層表面の色を測定する工程、を有する。 (もっと読む)


【課題】塗布均一性の評価方法を提供すること。
【解決手段】
本発明は、エマルションが固体表面に均一に塗布されていることを評価する塗布均一性の評価方法であって、前記エマルションの前記固体表面上における接触線を検出する工程と、前記接触線が間欠的に移動しているか否かを判断する工程と、前記接触線が間欠的に移動していないと判断する場合に、前記エマルションが前記固体表面に均一に塗布されていると判断する工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】塗布全体にわたって異常を検出でき、シール剤に発生した切れ目に限らず、終端部における糸引き等、他の要因による塗布の異常を検出することができ、また、基準ワークを撮影するだけで、自動的に分岐点と端点とをカウントすることができ、容易に部品形状の変更に対応することができる塗布状態検査装置を提供する。
【解決手段】シール剤Sが塗布されたワークWを撮像する撮像装置2と、撮像装置2によって撮像された撮影画像から、シール剤Sの塗布軌跡を抽出する軌跡抽出部4−1と、正常品の分岐点の個数と端点の個数とを記憶する記憶部5と、塗布軌跡の分岐点の個数と端点の個数とをカウントし、記憶部5に記憶されている正常品の分岐点の個数と端点の個数と比較し、双方が一致する場合に塗布軌跡が正常であると判定し、双方が一致しない場合に塗布軌跡が異常であると判定する画像判定部4−2とを備える。 (もっと読む)


【課題】黒系のメタリック色について、白とびの新たな評価手法を提供する。
【解決手段】メタリックブラック色の白とび評価方法は、まず、メタリック材の量と、明度、彩度および色相とを変化させた複数のカラーパッチを用意する。次に、カラーパッチの各々について、正反射方向と非正反射方向とで測色して、非正反射方向の明度と、正反射方向と非正反射方向との間での色差とを取得し、その関係をプロットする。次に、カラーパッチの各々について、白とびの発生の有無を評価する。次に、プロットの結果を、評価の結果に基づいて、白とびありの集合と、白とびなしの集合とに分類し、白とびの判定基準を、非正反射方向の明度と、色差との関係によって設定する。次に、評価対象の色について測色し、非正反射方向の明度と、色差とを取得して、取得した明度および色差の値と、設定した判定基準との関係から、白とびを評価する。 (もっと読む)


【課題】自動的に基準軌跡の抽出と許容領域の生成とを実行することができ、容易に部品形状の変更に対応することができる塗布位置検査装置を提供する。
【解決手段】シール剤Sが塗布されたワークWを撮像する撮像装置2と、撮像装置2によって撮像された撮影画像から、シール剤Sの塗布軌跡を抽出する軌跡抽出部4−1と、所定の基準軌跡を記憶する記憶部5と、軌跡抽出部4−1により抽出されたシール剤Sの塗布軌跡が、記憶装置5に記憶されている所定の基準軌跡を中心とする許容領域内に収まっているか否かを判定する形状判定部4−2とを備える。 (もっと読む)


【課題】装置を複雑化することなく、高速に処理することができ、かつ、外乱光による誤認識の発生を防止することができる塗布状態検査装置を提供する。
【解決手段】塗布状態検査装置1は、シール剤Sが塗布されたワークWの上方に、撮像装置3に近接して設置された照明装置2と、該照明装置2の照明状態・消灯状態の各々でシール剤S及びワークWを撮像する撮像装置3と、シール剤Sが正常に塗布されているか画像検査を行う処理装置4とを備える。画像生成部5−1は、照明装置2の点灯状態・消灯状態で撮像装置3により撮像された各画像の輝度値を減算することにより、外乱光の影響を除去した検査画像を生成する。画像判定部5−2は、検査画像からシール剤Sの塗布状態が正常であるか否かを判定する。 (もっと読む)


【課題】部品形状に変更があった場合や、シール剤の軌跡が曲がったり、歪んだりしている場合であっても、軌跡全体にわたって漏れなく太さが適正であるか否かを判定することができる塗布状態検査装置を提供する。
【解決手段】シール剤Sが塗布されたワークWを撮像する撮像装置2と、撮像装置2によって撮像された撮影画像から、シール剤Sの塗布領域と塗布軌跡とを抽出する軌跡抽出部3−1と、抽出されたシール剤Sの塗布軌跡から、最小・最大太さ領域を生成する領域生成部3−2と、シール剤Sの塗布領域と最小・最大太さ領域とを比較してシール剤Sの太さが正常であるか否かを判定する画像判定部3−3とを備える。 (もっと読む)


【課題】塗膜の将来の劣化状態を予測できる塗膜劣化予測方法、塗膜劣化予測装置及びコンピュータプログラムを提供すること。
【解決手段】塗膜劣化予測装置1の仮想劣化画像作成手段11は、所定のパラメータ及び時間変数に対応する複数の仮想劣化画像を作成する。対象画像作成手段12は、塗装面の撮影画像から対象画像を作成する。仮想プロファイル作成手段13は、仮想劣化画像の統計量として劣化部の個数f、面積率a、標準偏差sを算出し、f−a−s空間座標上に仮想プロファイルを示す。統計量算出手段14は、対象画像から統計量を算出し、対象値特定手段15は、対象画像に近い仮想プロファイルの統計量を特定し、特定した特定量に対応するパラメータ及び時間変数を特定する。劣化予測画像作成手段16は、特定されたパラメータを劣化進行モデルに入力し、時間変数に特定された値よりも大きい値を入力して、劣化予測画像を作成する。 (もっと読む)


【課題】基板縁部の状態を簡単に早く検出することが出来る基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置100は、表面に膜を塗布した基板Wを保持し回転する回転テーブル5と、基板Wに光を照射する光照射手段2と、光照射手段2による基板W表面からの正反射光を受光し、撮像画像の信号出力する光電変換手段4と、を備える。そして、基板Wの回転中心を含んで回転中心から半径方向の一走査分の電気信号の回転手段一周分の検出値を加算して二次元画像を生成し、二次元画像の一方向に沿って設定された判定バンドから変化点を判断する。したがって、基板W上においてEBR線の良否を簡単に判断することができ、処理効率の良い検査が可能になる効果を奏する。 (もっと読む)


【課題】化粧材1の色判別を簡単に精度よく行うことのできる塗装色検出方法を提供する。
【解決手段】縦横に延伸する目地2によって凸部3が基材表面に形成され、凸部3が塗装された化粧材1の塗装色を搬送しながら検出する。化粧材1の所定範囲をカメラ4で撮影するとともに目地2を含む削除領域を検出して設定する。撮影データから削除領域を除外して加工撮影データを作成し、この加工撮影データに基づいて色判別処理を行う。好ましい形態では、化粧材1を3次元計測し、表面高さが閾値以下の領域を低位領域20として検出して削除領域に設定する。別の好ましい形態では、撮影データ5において幅方向に所定長さ以上で略同色が続く色領域を幅方向の目地色領域21として検出して削除領域に設定する。 (もっと読む)


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