【課題】基板の欠陥部の候補を適切に絞り込むことができ、さらに検査時間の短縮でき、且つ検査回数を低減できる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置１００は、基板７上の複数の配線６と電気的に接触する複数のプローブ５と、正極及び負極を有し配線６間の電気特性値を測定する電気特性測定器１と、温度または赤外線により基板７の欠陥部を検出する赤外線カメラ８と、電気特性測定結果に基づき配線６間に係る電気特性の良否を判別して欠陥部の候補を絞り込み、絞り込んだ欠陥部の候補を含むプローブ群に関する赤外線カメラ８の検出結果に基づき欠陥部を特定する制御部３とを備えた。制御部３は、複数のプローブ５を２つのプローブ群に分割し、分割後のプローブ群間における電気特性測定を行い、分割されたプローブ群間に欠陥があると判定された場合には、分割されたプローブ群間については接続及び電気特性測定を行わない。 （もっと読む）

【課題】車両用部品の表面検査において、検査時間の短縮と検査精度の向上を図る。
【解決手段】車両用部品２０の表面に設定される第１領域を１つの画素で検出する第１画像取得手段によって取得する第１画像取得工程と、取得した第１画像の第１領域の欠陥強度が所定の閾値以上の場合に第１領域を各欠陥検出領域３５１と設定する欠陥領域設定工程と、第２領域４１−４９を１の画素で検出する第２画像検出手段によって欠陥検出領域３５１と欠陥検出領域３５１の周辺を含む欠陥判定領域４０の複数の第２領域４１−４９の画像を取得する第２画像取得工程と、各第２領域の欠陥強度が所定の閾値以上と判定された各第２領域４１−４９の欠陥強度の平均値を計算し、平均値が欠陥強度の所定の閾値以上である場合、その車両用部品は欠陥品であると判断する欠陥品判断工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】露光装置より照射されたフォトマスクに垂直な平行光を被照射体に傾斜させて出射する構造を有し、一度の露光で複数の角度の斜め露光を行うことのできるフォトマスク、の欠陥やパターン形状を評価するための検査方法および検査装置を提供すること。
【解決手段】フォトマスク表面の特定の位置をその位置のフォトマスク部位に対応する斜め角度の平行光で照明することにより、フォトマスク表面に垂直な出射光を得られるか否かの検査を、照明するフォトマスク表面の位置を変えつつ順次繰り返し、フォトマスクの有効面内からの撮像された画像情報を累積して評価することにより検査結果を判定する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の部分によって色調又は光沢が異なる場合でも検査対象物全体の露光調節を行うことができるとともに、検査対象物の形状が製造時の公差によって異なる場合であっても欠陥の有無を正確に判定することが可能となる、外観検査装置及び外観検査方法を提供する。
【解決手段】撮像手段３３は、検査対象物Ｗにおける撮像エリアの輪郭が撮像可能な第一露光条件と、撮像エリアにおける欠陥Ｂが撮像可能な、第一露光条件と異なる第二露光条件と、のそれぞれで検査対象物Ｗを撮像し、画像処理手段１１が備える判定手段１４は、第一露光条件で撮像した検査対象物における撮像エリアの輪郭の画像である撮像エリア画像ＳＰ１と、第二露光条件で撮像した撮像エリアの画像である第二画像Ｐ２と、を組み合わせて組み合わせ画像Ｐ３を作成することにより、検査対象物Ｗにおける撮像エリアの輪郭内における欠陥Ｂの有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】十分な検査速度を確保しつつ、卵の全周面の透過光画像を確実に撮影して卵の品質を検査することができる卵検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象の卵４を搬送方向に沿って列状に搬送する搬送装置１と、搬送装置上の撮影領域内に設定した複数の撮影位置で卵４の検査画像を撮影する撮像装置３を備え、搬送装置１は、卵４が鋭端部と鈍端部との間の卵軸廻りに回転しながら各撮影位置の間を転動する搬送軌道５と、搬送軌道上の卵４を搬送方向後方から押す支持部材７と、支持部材を搬送方向に沿って移動させる支持部材駆動部を有し、搬送軌道５は、検査画像を撮影する撮影位置の相互間の区間軌道長が、支持部材間に相当する卵の搬送ピッチよりも長く、かつ卵の卵軸廻りの全周角を前記撮影位置の数で除した区分角度の整数倍の回転角度に卵を回転させるのに必要な長さを有する。 （もっと読む）

【課題】基板に反りや歪み等の変形が生じている場合であっても印刷検査作業の目的を十分な精度で達成することができるようにした部品実装システム及び部品実装方法を提供することを目的とする。
【解決手段】印刷機１１は、ランド撮像カメラ２５により、基板２上に設けられた基板マーク２ｍ及び各ランド３を撮像し、基板マーク２ｍの位置を基準とした各ランド３の実測位置データを作成して、そのデータを下流工程側の印刷検査機１２に送信する。印刷機１１は基板マーク２ｍ及び各ランド３を撮像した後、基板２上の各ランド３にペーストＰｔの印刷を施し、部品装着機１３はそのランド３に部品４を装着する。印刷検査機１２は、印刷機１１がペーストＰｔの印刷を施した基板２に対し、印刷機１１が作成した各ランド３の実測位置データから求められる基板２上の各ランド３の位置に対してペーストＰｔがどれだけずれて印刷されているかの検査を行う。 （もっと読む）

【課題】微細な傷等を見逃すことなく被検査体の正確な外観検査を行うことができる外観検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明では、被検査体(2,2')に透過光又は反射光を照射して被検査体(2,2')の表面の検査を行う外観検査装置(1,1')において、被検査体(2,2')に照射する透過光又は反射光の一部を遮蔽して被検査体(2,2')の表面に明部と暗部の境界領域を形成することにした。また、前記透過光又は反射光を被検査体(2,2')に対して相対的に移動させることにした。さらに、前記透過光又は反射光を被検査体(2,2')に対して相対的に移動させながら被検査体(2,2')の表面の画像(A₁〜A_n)を複数枚撮影し、複数枚の画像(A₁〜A_n)から前記境界領域の近傍の画像(抽出画像B₁〜B_n)を合成して１枚の検査画像(C)とすることにした。 （もっと読む）

【課題】微小な電子部品であっても、その外形を示すエッジを正確に検出することができる基板の外観検査装置および外観検査方法を提供する。
【解決手段】照明パターン選択手段（照明パターン選択部４７）は、複数の方向からの照明光を同時に照射する照明パターン１と、照明パターン１よりも高い輝度で複数の方向からの照明光を別々に照射する照明パターン２と、から照明光照射手段（照明２０）による照明光の照射パターンを選択し、画像取得手段（カメラ１０）は、照明パターン２が選択された場合には、別々に照射された複数の方向別の照明光毎に画像を取得する。このようにして取得した画像には、電子部品の実装面に略平行な面（上面）および実装面に略垂直な面（側面）により形成されるエッジが、電子部品の側面からの拡散光によって電子部品の外形として表され、エッジ検出手段（エッジ検出部４８）はこれらの画像から電子部品の外形を示すエッジを検出する。 （もっと読む）

【課題】複雑な画像処理を行うことなく、虚報を減らすことで、安定的に欠陥を検出し、かつ生産性が向上する外観検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象物を撮像して欠陥を検出する外観検査装置であって、照明・撮像系と、画像処理装置と、欠陥判定統合パーソナルコンピューター（ＰＣ）と、検査対象物を移動（搬送）する搬送部とを備え、前記照明・撮像系において、画像撮像用受光部（カメラ）、レンズ、照明を１系統とし、それらが、同一軸上に２系統以上配置され、移動（搬送）される検査対象物の同一フレームを同一条件で２回以上撮像し、その後、前記検査対象物の撮像画像の処理を画像処理装置で行い、それぞれの系統毎で前記検査対象物の欠陥検出候補を抽出し、その結果を、欠陥判定統合ＰＣに出力し、前記の結果の組み合わせにより、検査対象物の欠陥の有無を判定する、外観検査装置。 （もっと読む）

【課題】容器詰め液製品の検査において、未検査品の再検査や被検体の複数回検査を、人手を介することなくスムーズに行えるようにする。
【解決手段】被検体画像検査装置２０は、検査ロータ１０の外周部近傍に設けられ、検査ロータ１０の保持部に保持されて移動する被検体の外観画像を取得して、その外観画像に基づきその被検体における不良の有無を検査する。検査制御装置３０は、被検体画像検査装置２０の検査結果の基づき、その被検体が良品、不良品および未検査品のいずれであるかを判定し、未検査品と判定した被検体については、被検体分別用スターホイル６０を制御して、その被検体を被検体回帰用スターホイル７０へ受け渡させ、その被検体が検査ロータ１０に戻るように制御する。また、そのときには、検査制御装置３０は、投入被検体搬送装置４０に設けられた搬送抑制ゲート制御して、被検体の被検体供給用スターホイル５０への搬送を停止させる。 （もっと読む）

【課題】複数の装置から得たデータの管理を効率的に行うことができる検査システムを提供することである。
【解決手段】検査システム１０は、工場で生産される製品を検査する検査装置１１ａ，１１ｂ，１１ｃと、検査装置１１ａ，１１ｂ，１１ｃに通信回線を介して接続される管理サーバ３０とを備える。検査装置１１ａは、装置側検査結果ＤＢ（Ｄａｔａｂａｓｅ：データベース）１４ａを備える。装置側検査結果ＤＢ１４ａは、検査装置１１ａが基板を検査した結果を示すデータである検査結果データを格納する。装置側検査結果ＤＢ１４ａは、キー（Ｋｅｙ）とバリュー（Ｖａｌｕｅ）とによって構成されるキーバリュー（Ｋｅｙ−Ｖａｌｕｅ）型のデータベースである。 （もっと読む）

【課題】
被検査面が円筒側面形で鏡面反射性を有し、円筒中心軸に対して回転する前記被検査面に対応する曲率および前記被検査面の位置の少なくとも一方が経時的に変化する被検査体表面に発生する微小な凹凸欠点を精度よく検出できないという問題点を解決する。
【解決手段】
被検査体に明暗パターンの光を照射する光照射手段と、前記被検査体から反射した前記明暗パターンを撮像する撮像手段と、前記撮像手段で撮像した前記明暗パターンを含む撮像画像に基づいて前記被検査体の表面を検査するデータ処理手段とを備える表面検査装置であって、データ処理手段が、撮像手段により連続で撮像された２枚の画像から、各画像内の明暗パターン領域を比較することにより、微小な凹凸欠点を高精度に検出できる。 （もっと読む）

【課題】ユーザの所望する出力モードに応じて出力物が適切に変更されているか否か検査する。
【解決手段】印刷媒体に出力された出力画像データと、印刷媒体に出力する前の、原稿から読み取られた原稿画像データとを比較して画像の出力状態を検査する画像検査装置であって、ユーザから指定された出力モードを取得する出力モード取得部と、出力モード取得部により取得された出力モードに応じて画像の出力状態が変化する項目を検査項目として設定する検査項目設定部と、検索項目設定部により設定された検査項目ごとに画像の出力状態を検査する検査部とを有することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】仮に試験サンプルが良品側へ混入することがあっても、人への健康被害を起こす可能性が極めて小さい光学式粒状物選別機における試験サンプル及びその製造方法を提供する。
【解決手段】小石粒を不良品試験サンプルとなし、予め整粒された米粒を良品試験サンプルとなして、これら不良品試験サンプルと良品試験サンプルとを所定割合で混合して調製した。小石粒を原料とし、該小石粒を篩機に通して粒径選別するとともに、該粒径選別された小石粒を光学式粒状物選別機に通して光学的に複数群に選別し、さらに、該複数群に選別された小石粒を粒状物品位検査装置に供給して小石粒の特徴づけを行う一方、該特徴づけられた小石粒を拾い集めて不良品試験サンプルを作製し、該不良品試験サンプルを、予め整粒された米粒からなる良品試験サンプルと所定割合で混合し調製した。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ上の欠陥の誤検出を抑制する欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】ウェーハの表面全体に照射光を走査し、該照射光の散乱強度にて前記ウェーハの表面上の欠陥をＬＰＤとして検出するに当たり、散乱強度に関して初期値を設定し、該初期値の下でＬＰＤの数を検出し、該検出数が基準値以下であれば初期値を閾値とする一方、検出数が基準値を超える場合は、初期値を増加させてＬＰＤの検出を繰り返し、ＬＰＤの数が基準値以下となった際の当該初期値を閾値とし、次いで、該閾値の下でＬＰＤの数の検出を繰り返し行い、ウェーハ表面への照射光の散乱強度が閾値以上であり、かつウェーハの同一位置にて２回以上検出された、ＬＰＤの数および位置を以て、ウェーハにおける欠陥の数および位置を判定する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、半導体欠陥信号の検出における、統計システム及びその方法に関するものである。
【解決手段】この統計システムは、オンラインモニター、欠陥信号分析、欠陥情報データベース及び欠陥情報統計処理を含み、上記欠陥信号分析には、欠陥信号解析ユニット、欠陥信号検出ユニット及び欠陥情報行列を含む。また欠陥信号検出ユニットには、順序検出サブユニット、繰り返し検出サブユニット、グルーピング検出サブユニット、オーバーラップ検出サブユニット及び未定義信号検出サブユニットが含まれる。本発明の提供する方法においては、検査工程では検出されていない半導体ウエハが、再び欠陥信号検出ユニットの各サブユニットでの検出を経るので、半導体ウエハ欠陥モードのマッチング確率を向上させ、誤報告及び報告漏れを減少させる。さらに欠陥信号検出の検出確度を向上させることにより本発明での半導体欠陥信号の検出及び統計方法が、従来技術における人為的検出方法に取って代わることができ、半導体製造コストを低下させる可能性を持つ。 （もっと読む）

【課題】設置スペースを抑制した検査ステージを備えたマクロ検査装置を提供する。
【解決手段】基板を目視によって検査する場合に用いられるマクロ検査装置であって、基板を搬送する搬送ラインの横に配置し、少なくとも、基板の１つの基板端を吸着及び吸着解除する基板端吸着及び吸着解除手段と、前記基板端吸着及び吸着解除手段をスライドする手段と、前記基板端が吸着された基板をスライドする際には浮上させ、スライドした後には浮上を解除し吸着する浮上吸着手段と、を有する検査ステージを備えたことを特徴とする基板マクロ検査装置。 （もっと読む）

【課題】
検査対象基板において不規則な回路パターン部分では、パターンからの散乱光によって欠陥信号が見落とされ、感度が低下する課題があった。
【解決手段】
光源から出射した光を検査対象基板上の所定の領域に所定の複数の光学条件をもって導く照明工程と、前記所定領域において、前記複数の光学条件に対応して生じる複数の散乱光分布の各々につき、所定の方位角範囲および所定の仰角範囲に伝播する散乱光成分を受光器に導き電気信号を得る検出工程と、該検出工程において得られる複数の電気信号に基づいて欠陥を判定する欠陥判定工程とを有することを特徴とする欠陥検査方法を提案する。 （もっと読む）

【課題】熱硬化型接着剤が硬化した樹脂部を検査対象とする場合において、樹脂部の分布状態の良否を適正に判定することができる樹脂部の分布状態の良否を適正に判定することができる電子部品の実装状態検査方法を提供する。
【解決手段】基板３の電極３ａ上に端子４ａを有するチップ型電子部品４を半田粒子入りの熱硬化型接着剤を介して搭載した後、この基板３を加熱することにより半田粒子を溶融させて端子４ａと電極３ａとを接合する半田部１５ａを形成するとともに、熱硬化型接着剤を硬化させて樹脂部１５ｂを形成した状態の実装済基板において、基板３に実装されたチップ型電子部品４を撮像して画像データを取得し、この画像データに基づき基板３上におけるチップ型電子部品４の装着状態を検査するとともに樹脂部１５ｂのチップ型電子部品４の周囲における分布状態を検査する。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における錠剤の外観異常を検査するに際し、装置の大型化や検査効率の低下を抑制しつつ、検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置は、均一光Ｔ１を照射する第１照射装置２２ａと、スリット光Ｔ２を照射する第２照明装置２２ｂと、カメラと、画像処理装置とを備えている。カメラの撮像素子２３ｂは、均一光Ｔ１の照射領域を撮像する二次元撮像用撮像領域Ｋ１と、スリット光Ｔ２の照射領域を撮像する三次元計測用撮像領域Ｋ２とを有している。画像処理装置は、二次元撮像用撮像領域Ｋ１より得たデータを基に錠剤５の輝度画像を生成し、三次元計測用撮像領域Ｋ２より得たデータを基に錠剤５の形状画像を生成する。そして、輝度画像及び形状画像を基に、錠剤５の外観異常が検査される。 （もっと読む）