【課題】要求される処理機能に応じた画像処理プロラムの実装を効率的に行うことが可能な画像処理装置のシステム構築装置を提供することを目的とする。
【解決手段】システム構築装置２０は、画像データに対して複数の画像処理工程を指定された順序で実行する画像処理プログラムを実装可能な画像処理装置を対象としてシステム構築を行う。システム構築装置２０は、複数種類の画像処理プログラムおよび複数の画像処理工程を選択可能に表示する表示部２３と、所定の画像処理プログラムが選択された場合に、当該画像処理プログラムが実行する複数の画像処理工程および実行順を例示して、表示部２３に表示された画像処理工程の選択案内を行う選択案内部２４とを備える。 （もっと読む）

【課題】暗視野方式の検査装置などにおいて、信号を実測しながら検査条件を決める方法では時間がかかることと、設定した感度条件が適切か否かの判断が作業者の裁量に左右されることが課題である。
【解決手段】検査装置において、試料を保持するステージと、前記ステージ上に保持された試料の表面に照明光を照射する照明光学系と、前記試料に照射された照射光によって発生した散乱光を検出する暗視野光学系と、前記暗視野光学系にて検出された散乱光を電気信号に変換する光電変換部と、前記光電変換部によって変換された電気信号をデジタル信号に変化するＡＤ変換部と、前記試料表面上の異物からの散乱光の大きさから異物の大きさを判定する判定部と、前記試料面からの散乱光情報を用いて、検査条件を決定する信号処理部とを有する。 （もっと読む）

【課題】従来の標高計算は局所領域のミスマッチングによる誤差が生じ、精度の高い標高情報が得られず、多大な処理時間がかかるという問題点がある。
【解決手段】カラーフィルタ基板上の局所領域の標高をステレオ方式で算出し欠陥判定をする欠陥検査方法において、ステレオ画像の一方の撮像画像である基本画像から局所領域を検出する工程、ステレオ画像の他方の撮像画像であって局所領域を含む参照画像を取得する工程、局所領域を含むマッチング領域をステレオ画像から選定する工程、マッチング領域から基準マークとなる部位を選定する工程、局所領域を鮮明化する工程、鮮明化された局所領域の中心座標を求め、基準マークからの距離を算出する工程、基本画像と参照画像における局所領域間の視差を求める工程、局所領域の標高を算出する工程、とを含むことを特徴とするカラーフィルタ基板の欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】反射防止フィルム製造工程の各層を形成する工程で、前工程の欠陥情報を利用して最新工程により検出した欠陥を選別し、最新工程における発生欠陥の監視精度の向上を行い、品質異常の検知速度を向上させ、早期に不良の発生を知ることが可能な品質監視システムを提供する。
【解決手段】製造工程内の各工程に備えられた検査機と、検査機から得られた検査情報を格納し管理する検査情報管理データベースと、製品ロールの各工程における品質情報や実績情報を管理する生産情報管理データベースと、検査情報管理データベースと生産情報管理データベースに基づいて、最新工程と前工程での欠陥検出位置の座標を補正することによって最新工程で発生した欠陥を選別する欠陥選別手段と、欠陥選別手段によって選別された欠陥を異常判定条件に基づいて異常と判断し、異常を通知する欠陥監視手段と、を備えたことを特徴とする品質監視システム。 （もっと読む）

【課題】画面の異物付着及び画素欠陥を識別できる画質検査装置を提供する。
【解決手段】画質検査装置２は、ＬＣＤ３１に白色パターンを指示し、撮像画面の白色パターンから候補エリアを抽出する候補エリア抽出部２１を有する。画質検査装置は、ＬＣＤに黒色パターンを指示し、撮像画面の黒色パターンから輝点異常の画素を含む候補エリアがある場合に、候補エリア周囲の輝点異常検出時のＲＧＢ値差を取得する輝点異常検出部２２を有する。画質検査装置は、黒色パターンを表示させたまま、候補エリア内の画素の白表示を指示し、撮像画面から候補エリア周囲の今回のＲＧＢ値差を取得する暗点異常検出部２３を有する。画質検査装置は、今回のＲＧＢ値差が輝点異常検出時のＲＧＢ値差を超えた場合、異物付着による異常と識別し、今回のＲＧＢ値差が輝点異常検出時のＲＧＢ値差を超えなかった場合、暗点の画素欠陥による異常と識別する異常識別部２４を有する。 （もっと読む）

【課題】試料位置と合焦位置との間の差分を求める方法を提供する。
【解決手段】試料を示す画像データを獲得するステップと、獲得データから特徴セットを抽出するステップと、画像データ特徴を位置差分値に関連付けるように教え込まれた機械学習アルゴリズムを用いることにより、特徴セットを位置差分値に分類するステップとを含み、位置差分値が差分に対応する。任意に、特徴セットは対比特徴のサブセットを含みうる。任意に、対比特徴のサブセットは、画像データに基づく二乗勾配関数、画像データに基づくウェーブレット関数及び画像データに基づく自己相関関数、例えば、ＶｏｌｌａｔｈのＦ４関数若しくはＶｏｌｌａｔｈのＦ４関数とＶｏｌｌａｔｈのＦ５関数との組合せ、全画像データの分散及び並びにＬａｐｌａｃｅベースの焦点測定からなる群より選択されうる。 （もっと読む）

【課題】異なる反射率を示すものが被検査物に含まれる場合でも、検査を実施することのできる検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、感度補正係数を前記被検査物の反射率毎に複数種類予め記憶する感度補正係数記憶工程と、被検査物の反射率の情報を取得する情報取得工程と、前記情報取得工程で取得した前記反射率の情報に対応する感度補正係数を、複数種類予め記憶した前記感度補正係数の中から対応感度補正係数として選択する感度補正係数選択工程と、前記被検査物で反射した反射光を受光して、該反射光の受光量に基づく出力信号を取得する信号取得工程と、前記信号取得工程で取得した前記出力信号を、前記対応感度補正係数を用いて補正する補正工程と、前記補正工程で補正した前記出力信号に基づいて前記被検査物の良否を判定する判定工程と、を含む検査方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】溶接部の溶け分かれの有無を適切に検査可能な溶接部検査装置を提供する。
【解決手段】バスバー２１と端子２２とを溶接にて接合した検査対象物２における溶接部２３に対して、バー照明３２によってバスバー２１側から光を照射した状態、カラーカメラ４により溶接部２３を撮像する。そして、画像処理装置５にて、撮像画像（カラー画像）に対して溶接部（２３）に対応する検査領域を指定すると共に、指定した検査領域から周囲よりも高輝度となる高輝度領域を抽出し、さらに、抽出した高輝度領域に基づいて溶接部２３に溶け分かれが生じているか否かを判定する。この際、高輝度領域が検査領域におけるバスバー２１に対応する領域よりも端子２２に対応する領域側に存在する場合に、溶接部２３に溶け分かれが生じていると判定する。 （もっと読む）

【課題】印刷検査によって取得される印刷状態計測情報に基づいて印刷不良の原因解析を合理的且つ容易に行うことができる印刷状態不良原因の解析装置および解析方法を提供することを目的とする。
【解決手段】印刷検査装置Ｍ２による印刷検査において基板３のランドに印刷されたペーストの平面形状における面積値の正規の印刷面積に対する比率を示す面積率を複数のランドのそれぞれについて求めた面積率計測データ２３ａを、解析用データ作成プログラム２３ｂに規定された所定の処理アルゴリズムにしたがってデータ処理して、基板に印刷されたペーストの印刷状態の不良原因を解析するための解析用データを作成し、作成された解析用データを予め設定された不良原因特定用のデータテーブル２３ｅと対比して印刷状態の不良原因を特定する。 （もっと読む）

【課題】短い検査時間で検査対象の欠陥を検出することを課題とする。
【解決手段】ウエハ表面の一部に、検査対象とする欠陥の座標を含む検査領域を設定する設定部３２と、前記ウエハ表面の前記検査領域内の欠陥を検出する検査部３４と、前記検出した欠陥の座標と、前記検査対象とする欠陥の座標と、を比較することにより、前記検出部３４が検出した欠陥が検査対象とする欠陥か否かを判定する判定部３６と、を具備する欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】マスクデータに対して精度良く容易にマスク検査を行うことができるマスク検査方法を提供すること。
【解決手段】実施形態のマスク検査方法では、基板上に形成する半導体集積回路パターンに対応する原版データを作成する。その後、原版製造プロセスを模擬した原版製造シミュレーションを実施して、前記原版データに対応する原版パターンを原版上に形成した場合の原版パターン形状に関する原版製造パターン情報を導出し、前記原版製造パターン情報が、前記原版製造プロセスに基づいて決められた所定値を満足するか否かを判定する。その後、前記原版の検査に用いる原版検査装置の光学系を模擬した原版検査シミュレーションを実施して、前記原版検査装置が前記原版を検査する際に検出する原版パターン形状に関する原版測定パターン情報を導出し、原版の検査結果が、許容範囲内であるか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】鋼材を加熱する際に生じる温度ムラの影響を受けずに鋼材表面の欠陥、例えば、溶融亜鉛メッキを施す際に生じるいわゆるドロス疵を正しく認識する鋼材の欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】予め、無欠陥部を加熱した上で赤外線サーモグラフィカメラを用いて材料の表面温度を熱画像データとして取得し、表面温度のラプラシアン標準偏差を鋼材表面温度の関数として定めておく。被検査鋼材を加熱した上で赤外線サーモグラフィカメラを用いて材料の表面温度を熱画像データとして取得し、表面温度のラプラシアンを算出し、そのラプラシアンを、表面温度に対応するラプラシアンの標準偏差で補正し、補正したラプラシアンに基づいて被検査材表面付近の欠陥の有無を評価する。 （もっと読む）

【課題】自動欠陥分類機能では、装置毎に適切な処理パラメータが異なるが同一の工程において複数の装置が運用される場合でも、それぞれの分類レシピにおける分類クラスに差が発生しないようにする。
【解決手段】同一の工程で異なる画像撮像装置から得られた画像から同種の欠陥画像を特定する対応欠陥特定部２０９、同一の工程で異なる画像撮像装置から得られた画像を変換し、比較可能な類似した画像に変換する画像変換部２１２、同一の工程の分類レシピについて、同一の分類クラスを定義し、特定された同種の欠陥画像をそれぞれの対応する分類レシピ内の分類クラスに登録するレシピ更新部２１１を備えた。 （もっと読む）

【課題】製品の欠損等がある部分を検出する。
【解決手段】画像データ取得部は画像データ２００を取得する。総和データ生成部は画像データ２００を複数のブロック３１０に分割し、各ブロック３１０内の画素に対応付けられる画素値を合計した総和データを生成する。差分データ生成部は位置が縦方向に隣り合う２つのブロックの総和データの差分を表す第１種の差分データと、位置が横方向に隣り合う２つのブロックの総和データの差分を表す第２種の差分データを生成する。判定データ生成部は第１種の差分データと第２種の差分データのうちの一方を選択し、選択した差分データと、選択した差分データに対応するブロックの画像データ２００内の位置とを対応付けた判定データを生成する。結果データ生成部は選択された差分データが表す差分が許容条件を満たすか否かを判別した結果データを生成する。出力部は結果データの画像データ２００内の位置を出力する。 （もっと読む）

【課題】検査員の主観に依らずして客観的な基準により鏡面球体のショット玉を検出し、安定した検査精度を実現でき、検査の自動化によりインラインで全数検査を実施できる鋳物穴加工品の鏡面球体残留検査装置および方法を提供する。
【解決手段】鋳物穴加工品１１の加工穴１２の内部を照らす照明部と、加工穴内を撮像可能なＣＣＤカメラ２１と、ボアスコープ２２を撮像対象加工穴１２に挿入するＸＹステージ３０と、ＣＣＤカメラ２１で撮像した画像を画像処理する画像処理装置５２を備え、画像処理装置５２は、撮像した取得画像において、ハイライト領域を有し、かつハイライト領域を囲む周辺部位にハイライト領域よりも輝度値の低い環状の暗領域を有する画像領域を、鏡面球体像の候補領域として選択し、候補領域におけるハイライト領域の輝度値が上位閾値より高く、かつ暗領域の輝度値が下位閾値より低い場合に候補領域が真の鏡面球体像であると判断する。 （もっと読む）

【課題】安価な構成により、外観検査の検査精度を向上する。
【解決手段】ウェーハ外観検査装置１は、同一の基板に複数の半導体装置が形成されているウェーハを搬送し、半導体装置を検査位置に移動させるプローバ装置１０と、検査位置の半導体装置に照明光を照射する光源部（マルチアングル照明５０）と、照明光を照射された半導体装置の画像を撮像するカメラ４０と、カメラ４０によって撮像された画像データに基づいて、半導体装置を検査する画像判定部（外観コントローラ２０）と、半導体装置のサイズに応じて半導体装置を複数の領域に分割し、分割した複数の領域に対応してカメラ４０に撮像させる検査位置に、ウェーハを順次移動させる制御部（ＰＣ３０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】複雑な形状の検査対象物を精度よく外観検査可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１００は、検査対象物１０に対し傾斜配置され所定回転角度毎に検査対象物１０を撮像する撮像部４０と、撮像部４０の画像信号を処理し輝度画像データＧ１〜Ｇ２４を生成する輝度画像生成部Ｓ１２と、輝度画像データＧ１〜Ｇ２４において同位置の画素を輝度値の大きさ順に並び変え輝度画像データＧ１〜Ｇ２４を変換画像データｇ１〜ｇ２４に変換する画像変換部Ｓ１４と、変換画像データｇ１又は変換画像データｇ２４の各画素の輝度値から、変換画像データｇ２〜ｇ２３のうちの一つの変換画像データの各画素の輝度値を差し引くことで、判定用画像データｇ’を生成する判定用画像生成部Ｓ１５と、判定用画像データｇ’の各画素の輝度値に基づいて、検査対象物１０の外観異常を判定する異常判定部Ｓ１６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光学ガラスを透過した光の反射光等の影響を排除できる光学ガラス検査装置および検査方法を実現する。
【解決手段】ガラス３５を保持した治具３０を搭載する搭載部２１、搭載部２１を変位させてガラス３５を検査領域に位置づける駆動装置２２、搭載部２１の一方側に配設された光源１５および光学系１０、及び搭載部２１の他方側に配設され反射面が光学系の光軸に対し傾斜した反射部４０を有し、治具３０として、表・裏面を連通する治具開口３１ｃ、および治具開口３１ｃの隣接領域にガラス３５を保持するためのガラス保持手段３２を有するものを使用することで、光源１５から検査領域に照射された光がガラス３５、治具開口３１ｃおよび搭載部開口２１ｃを通過して更に反射部４０に入射して反射する反射光の光路が、検査領域と交叉しない構成とした。 （もっと読む）

【課題】
従来、プリント基板の外観検査装置等で試みられている、位置ずれした被検査基板のずれ補正の前処理を施し、被検査基板画像と基準画像との差分をとって、基板の欠陥検査が行われていた。しかし、その位置ずれ補正の前処理にかなりの時間を要し、検査のタクトタイムを短縮することが困難であった。そのために、位置ずれ補正と画像の差分が迅速に精度よく行われる技術と装置の開発が求められてきた。
【解決手段】
本発明は、画像欠陥の検査のために、基準画像と被検査画像の両者をフーリエ変換して、両者のフーリエ変換強度画像の回転角変化を補正して差分した画像と、前記何れかの画像のフーリエ変換位相画像とで逆フーリエ変換画像を求めて、２画像間の差異を求める方法と装置を提供した。２画像間に位置ずれ、回転ずれがあっても、2画像間の差異が明確に求まり、画像欠陥等の検査を簡単に迅速に行うことができた。 （もっと読む）

【課題】一様に連続している背景模様が存在する場合であっても、ゴミ、傷、汚れ等の欠陥を正しく検出することができる欠陥検出装置、欠陥検出方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】検出対象の欠陥のサイズを設定して記憶し、背景模様が一様に連続している第一の方向の指定を受け付けて記憶する。記憶された欠陥のサイズに応じた画像縮小率で、記憶された第一の方向へ縮小した縮小画像を生成する。縮小画像に対して縮小画像における欠陥を除去するためのフィルタ処理を第一の方向に実行し、フィルタ処理が実行された縮小画像を、画像縮小率の逆数に相当する画像拡大率で第一の方向へ拡大した第一の拡大画像を生成する。多値画像と第一の拡大画像との差分演算を実行した差分画像を生成する。 （もっと読む）