【課題】簡易な構成で大面積の積層基板を高速で高精度に検査できる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板Ｋ０上にモリブデン層Ｋ１が形成されると共にモリブデン層Ｋ１上に薄膜Ｋ２，Ｋ３が形成された基板Ｋの、薄膜Ｋ２，Ｋ３側から形成されたパターニングを検査する検査装置１であって、移送中の基板Ｋのガラス基板Ｋ０側に光を照射する下部照明１０と、移送中の基板Ｋの薄膜Ｋ２，Ｋ３側に光を照射する上部照明２０とを設けると共に、基板Ｋを透過する下部照明１０の光軸Ｐ上で且つ基板Ｋで乱反射する上部照明２０の光軸Ｄ上に配置された第１ラインセンサカメラ１１と、基板Ｋで正反射する上部照明２０の光軸Ｓ上に配置された第２ラインセンサカメラ２１とを設け、ラインセンサカメラ１１，２１で検知した光の状態に基づいてパターニングの良否を判断する突き抜け検査用パソコン１２及び擦れ検査用パソコン２２を具備する。 （もっと読む）

【課題】複数の検査対象部位を有する検査対象物の検査を行う場合でも、各検査対象部位に対してそれぞれ適切に照明して、検査精度を良好に維持しつつ検査時間を短縮する。
【解決手段】互いに異なる色の光を出射する複数の光源装置ＬＧ、ＬＢ、ＬＲと、各光源装置からの光を変調する空間光変調素子２５と、空間光変調素子からの光を基板Ｓの被検査面Ｓａに投射する投射光学系２８と、空間光変調素子を所定の映像信号にしたがって制御することにより、投射光学系からの光の投射パターンを形成する画像表示制御部７４とを備え、投影パターンを形成するための映像信号は、被検査面における検査対象部位の位置情報に基づき生成され、これにより、空間光変調素子制御部が、検査対象部位に対応する画像領域を含む投射パターンを形成する構成とする。 （もっと読む）

【課題】受光部のフォーカス調整を容易に行う。
【解決手段】画像取得装置は、ガラス基板９上における線状の撮像領域を撮像する撮像ユニット２と、ガラス基板９を撮像領域と交差する方向に移動する移動機構とを備える。撮像ユニット２は、光照射部２１および受光部２３を有し、光照射部２１により撮像領域に光が照射され、撮像領域からの光が受光部２３のラインセンサへと導かれる。画像取得装置では、受光部回動機構が受光部２３を回転することにより受光部２３の光軸Ｊ２とガラス基板９の法線Ｎとのなす検出角θ２が変更される。撮像ユニット２は、光軸Ｊ２に沿って受光部２３を移動する受光部移動機構をさらに備え、検出角θ２の変位量に基づいて受光部移動機構を制御することにより、光軸Ｊ２上においてラインセンサの受光面と共役な位置Ｐがガラス基板９の表面に配置される。これにより、受光部２３のフォーカス調整が容易に行われる。 （もっと読む）

【課題】石英ガラスなどのガラスに較べて紫外線透過率の低い樹脂シートの表面に形成した透明電極の検査に必要な測定精度を得ることのできる透明電極の観察装置を提供すること。
【解決手段】樹脂シートＦの表面に形成された透明電極Ｐの光透過率が５０％以下となる２００〜３００ｎｍの波長帯域の紫外線光を含む光を照射する光源１と、光源１から照射された紫外線光によって励起され、蛍光発光した樹脂シートＦの光の強度が０．１以上となる４００〜５００ｎｍの波長帯域の光を透過する光学フィルタ２と、光学フィルタ２を透過した可視域の波長に感度を有する画像を撮影するカメラ３とを備えたので、透明電極Ｐが形成された部位は暗くなり、それ以外の部位は明るく撮影される。これにより、可視光では視認が困難な透明電極Ｐの形状を特定でき、透明電極Ｐの検査に必要な測定精度を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】検査装置で欠陥検出の行いやすい画像を得られるように、従来のリング照明に替わって、照明光が方向によらず一定の強さであり、検査する物体に対して均一に照明され、光が効率的に利用できるような照明装置を提供すること。
【解決手段】狭い波長幅の平行光を発する照明光源と、平行光で照明すると円環形状に広がる回折光を発する第１ホログラムと、１点から拡がる光で照明すると特定の範囲に収束する回折光を発する第２ホログラムと、を有する照明装置であって、
照明光源からの平行光が第１ホログラムに入射して回折され、円環形状の回折光として第２ホログラムに入射し、第２ホログラムから発し収束する回折光が対象物を照明するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】解決しようとする課題は、面積が広くなり高密度化された試料の表面形状の測定に際して、高速化及び高精度化である。
【解決手段】表面検査装置は、第１照射部から照射される第１の照射方向からの照射光と、第２照射部から照射される第２の照射方向からの照射光とを照射方向を切り替えて、それぞれの照射部から照射された第１波長の光を試料の一面で反射させて、また、第２波長の光を試料保持部の一面側に取付け固定された光学部材で反射させ、双方から反射された光に基づいて生成された第１輝度データ及び第２輝度データを用いて試料表面の形状を算出するものである。 （もっと読む）

【課題】照明光学系を用いた検査で表面の透明薄膜状異物を容易に検査することができる表面異物検査方法を提供する。
【解決手段】白色光光源３からウエーハ１０の上面に白色光を照射し、前記ウエーハ１０の前記上面のうち前記白色光が照射される領域内に透明異物１２ａが存在する場合に、透明異物１２において光干渉による暗部を生じさせる入射角θで単色光を単色光光源４から前記ウエーハ１０に照射し、前記ウエーハ１０の前記上面のうち前記単色光の前記暗部において反射する白色光と、前記上面において反射する前記単色光を共通の受光素子５で受光することを特徴とする表面異物検査方法。 （もっと読む）

【課題】検査感度を向上させることができるパターン検査装置、パターン検査方法、およびパターンを有する構造体を提供する。
【解決手段】本実施形態によれば、被検査体に形成されたパターンの光学画像に基づいて第１の検出データを作成する第１の検出データ作成部と、前記パターンに関する第１の参照データを作成する第１の参照データ作成部と、前記第１の参照データの出力レベルが前記第１の検出データの出力レベルに対応したものとなるように出力レベルの変換を行う第１の階調変換部と、前記第１の検出データと、前記出力レベルの変換が行われた前記第１の参照データと、の差を演算する第３のレベル差演算部と、前記第３のレベル差演算部による演算結果に基づいて、欠陥の有無を判定する第５の判定部と、を備えたことを特徴とするパターン検査装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】プレスキャン機能を実施することによって、表面欠陥が存在するときの光ディスク再生デバイスの読み出し性能を向上させる。
【解決手段】光ディスク再生デバイスは、第１および第２のレーザと、光学アセンブリと、第１および第２の光学検波器と、光学検波器に結合されたコントローラ回路とを備える。光学アセンブリは、第１および第２のレーザからの入射光を光ディスクの表面上にそれぞれ前走査スポットおよび後走査スポットを形成するように導くように構成され、さらに、光ディスクの表面上の前走査スポットおよび後走査スポットからの対応する反射光をそれぞれの光学検波器に導くように構成される。コントローラ回路は、後走査スポットが光ディスクの表面欠陥に到達する前に前走査スポットに関連する反射光を処理することによって光ディスクの表面欠陥を識別するように構成される。 （もっと読む）

【課題】 作業者が疲労し難く、作業効率を維持でき、視力を損なう虞がなく、健康上も問題なく、目視による検査が効率的にできる光透過性物品検査装置を提供する。
【解決手段】 半透明の搬送ベルト１６上に物品を載置させて移動させる搬送装置２と、搬送装置２を支持する支持架台３と、搬送ベルト１６の下方に、半導体発光素子５９，６３，６４，６５をプリント基板５７，６１上に載置、固定したＬＥＤ装着体５３，５４を配設し、搬送ベルト１６を下方から照射する照射装置４と、搬送ベルト１６を作動、制御すると共に、半導体発光素子５９，６３，６４，６５の発光を制御する制御装置５とから物品検査装置１を構成する。 （もっと読む）

【課題】撮像対象物のサイズに影響されることなく、高分解能で撮像対象物を撮像する。
【解決手段】複数のラインカメラモジュール１１０を備え、複数のラインカメラモジュール１１０の各々は、ラインセンサ１２１を含むラインカメラ１２０と、ラインセンサ１２１の長手方向に対して交差する方向であって、かつラインカメラ１２０の側方に配置され、ラインカメラ１２０の撮像領域に光を投影する照明装置１３０とを有し、隣接するラインカメラモジュール１１０との間でラインセンサ１２１の撮像領域が長手方向に連続するよう、ラインセンサ１２１の長手方向に対して交差する方向において、隣接するラインカメラモジュール１１０と重なり合いを有するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】半導体基板表面の清浄度を正確に確認することのできる半導体基板洗浄装置および洗浄方法を提供する。
【解決手段】半導体基板洗浄装置１００は、半導体基板１０を洗浄する洗浄部１と、洗浄部１で洗浄された半導体基板１０の表面の反射強度を測定する反射式センサ２と、反射式センサ２による反射強度の測定結果に基づき、半導体基板１０の洗浄の適否を判定する判定部３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】パターン検査装置の製造コストを削減しつつコントラストの高い検査画像を取得する。
【解決手段】パターン検査装置の画像取得部１３は、光照射部１３１、ラインセンサ１３２、角度変更機構、および、検査対象であるウエブ９を搬送する搬送機構を備える。光照射部１３１からは、ウエブ９の薄膜パターンに対して透過性を有する波長の光が出射される。光照射部１３１からの光の照射角θ１およびラインセンサ１３２により撮像が行われる検出角θ２は、常に同じであり、これらの角度は角度変更機構により変更される。パターン検査装置では、予め検査画像のコントラストが高くなる照射角および検出角の設定角度が求められ、照射角および検出角が設定角度とされる。これにより、単一波長の光源を用いてラインセンサ１３２によりコントラストの高い検査画像を取得することができ、パターン検査装置の製造コストも削減することができる。 （もっと読む）

【課題】 タイヤ表面の薄広凸欠陥を高精度に検出することができるタイヤの欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】 ステップＳ１を開始するまでに、予め連続的にスリット光像を含む２次元画像を取得しておく。ステップＳ１では、撮像された複数の２次元画像データから、スリット光像を抽出する。ステップＳ２では、抽出されたスリット光像から偏心によるぶれである偏心成分を除去する。ステップＳ３では、偏心成分を除去した光像に基づいて特徴量を算出し、ステップＳ４で、算出された特徴量に基づいて薄広凸欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】従来の欠陥検出技術では電縫溶接部の欠陥を十分に検出できるまでには至っておらず、機械的特性の劣化した局部を含む電縫鋼管が製品に混入する場合があるという事態を防ぎ難い。
【解決手段】溶接施工時の溶接部を対象とし、該対象の発光状態をスパークセンサ１２で撮像し、該撮像した画像からスパークを判定し、次いで前記対象の輝度をＤＳセンサ１０で画像信号として捉えて監視するとともに、前記監視後の溶接部をアレイ探触子を用いた超音波探傷装置（アレイＵＴ）１１で検査する溶接欠陥検出システムである。 （もっと読む）

【課題】 ペットボトルの開口部の欠陥の有無を高精度に判定することができる検査装置の外観検査装置を提供する。
【解決手段】 透明体ボトルの外観検査装置１は、開口部１０１を有する透明体ボトル１００に対し、前記開口部１０１に交差する第１光路から第１の周波数の光を照射可能な第１光源部３と、前記第１光路とは反対方向かつ前記開口部に交差する第２光路から第２の周波数の光を照射可能な第２光源部４と、撮影光軸が前記開口部に直交するように配置され、前記第１光源部及び第２光源部から照射された光を判別してそれぞれ撮像可能なエリアカメラ２と、前記エリアカメラ２により撮像された前記第１光源部３からの光による第１画像及び第２光源部４からの光による第２画像に基づいて、前記開口部の欠陥の有無を判定する欠陥判定部６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における錠剤の外観検査に際し、検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置２１は、照明装置２２、カメラ２３及び画像処理装置２４等を備え、まず照明装置２２から錠剤に対し照射される光の光量を段階的に変更し、当該錠剤を透過する透過光をカメラ２３により撮像することにより、複数通りの輝度画像データを取得する。そして、当該複数通りの輝度画像データにおける各座標毎の輝度値をそれぞれ合算して、錠剤の表面に係る三次元データを作成する。これに基づき、錠剤の外観形状が検査される。 （もっと読む）

【課題】発光素子検査装置およびその検査方法が開示される。
【解決手段】本発明の実施形態に係る発光素子検査装置は光放出面上に蛍光体物質を含む少なくとも１つ以上の発光素子と、可視光線を発光素子に照射する第１照明ユニットと、紫外線を発光素子に照射する第２照明ユニットと、発光素子から反射された可視光線を撮像して少なくとも１つ以上の第１映像データを生成し、発光素子から反射された紫外線を撮像して少なくとも１つ以上の第２映像データを生成する映像撮像ユニットと、第１映像データおよび第２映像データを用いて発光素子の外観および発光特性に対する不良の有無を判断する判断ユニットとを備える。 （もっと読む）

【課題】周期性のあるパターン、特に、ＬＣＤ製造用フォトマスクのような基板において、回折光量差によるコントラストからパターン変動発生箇所を精度良く識別し、かつ、その変動発生周期を簡便に導出することによって、むら検査を実施することができるむら検査装置、むら検査方法およびむら判定方法を提供することを課題とする。
【解決手段】回折光量差によるコントラストからパターン変動発生箇所を精度良く識別し、かつ、その変動発生周期を簡便に導出することによってむら検査を実施することができる検査装置およびむら検査方法。 （もっと読む）