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Fターム[2G051BA08]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 光源 (5,299) | 複数の波長 (622)

Fターム[2G051BA08]に分類される特許

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【課題】複数の検査対象部位を有する検査対象物の検査を行う場合でも、各検査対象部位に対してそれぞれ適切に照明して、検査精度を良好に維持しつつ検査時間を短縮する。
【解決手段】互いに異なる色の光を出射する複数の光源装置LG、LB、LRと、各光源装置からの光を変調する空間光変調素子25と、空間光変調素子からの光を基板Sの被検査面Saに投射する投射光学系28と、空間光変調素子を所定の映像信号にしたがって制御することにより、投射光学系からの光の投射パターンを形成する画像表示制御部74とを備え、投影パターンを形成するための映像信号は、被検査面における検査対象部位の位置情報に基づき生成され、これにより、空間光変調素子制御部が、検査対象部位に対応する画像領域を含む投射パターンを形成する構成とする。 (もっと読む)


【課題】外光の影響を抑えて、雨滴検出の精度を向上させた画像処理システム及びそれを備えた車両を提供する。
【解決手段】フロントガラス105の内壁面105a側からフロントガラス105に向けて光を照射する光源202と、フロントガラス105の外壁面105bに付着した雨滴203などの異物によって反射された光源202からの光、及び、外壁面105b側からフロントガラス105を透過した光を撮像する撮像装置201と、撮像装置201で撮像された撮像画像データを解析する画像解析ユニット102と、を備え、撮像装置201は、有効撮像領域の所定領域に入射した光の分光情報を取得するためのカラーセンサを有し、画像解析ユニット102は、前記分光情報に光源202からの光の波長情報が含まれているか否かを判定することにより、撮像画像データからフロントガラス105に付着した雨滴203などの異物を検出する。 (もっと読む)


【課題】簡易な構成で大面積の積層基板を高速で高精度に検査できる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板K0上にモリブデン層K1が形成されると共にモリブデン層K1上に薄膜K2,K3が形成された基板Kの、薄膜K2,K3側から形成されたパターニングを検査する検査装置1であって、移送中の基板Kのガラス基板K0側に光を照射する下部照明10と、移送中の基板Kの薄膜K2,K3側に光を照射する上部照明20とを設けると共に、基板Kを透過する下部照明10の光軸P上で且つ基板Kで乱反射する上部照明20の光軸D上に配置された第1ラインセンサカメラ11と、基板Kで正反射する上部照明20の光軸S上に配置された第2ラインセンサカメラ21とを設け、ラインセンサカメラ11,21で検知した光の状態に基づいてパターニングの良否を判断する突き抜け検査用パソコン12及び擦れ検査用パソコン22を具備する。 (もっと読む)


【課題】 表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査装置に関し、欠陥検査の検知精度の向上を図るために位相シフトを用いつつ検査時間を低減する。
【解決手段】 互いに異なった複数の波長をそれぞれ独立に変調した明暗パターンをパターン平面上で互いに変調させて合成照明パターンを合成し、前記合成した合成照明パターンを検査対象物に照射し、前記検査対象物からの前記合成照明パターンの反射パターンを撮像して波長毎の画像を一括して取得し、前記撮像した画像を波長毎に分解して前記検査対象物の表面の凹凸欠陥を判別する。 (もっと読む)


【課題】検査時間の短縮や検査精度の向上を図ることができるプリプレグの欠陥の検査手法、プリプレグの欠陥の位置情報を後工程である検反工程に伝達する手法を取り入れた、離型紙を用いたホットメルト法によるプリプレグの製造方法の提供。
【解決手段】離型紙5A、5Bと離型紙に炭素繊維束1に含浸される樹脂が塗布されて形成された樹脂フィルム6Aからなる樹脂シート3A、3B、3a、3bにおける樹脂フィルムの表面を光学装置により検査し、表面の欠陥を検出し、検出された欠陥の種類を判定する樹脂シート検査工程S6A、あるいは、炭素繊維束に樹脂フィルムを形成している樹脂が含浸されて形成されたプリプレグシート9、9aの離型紙を剥離した後のプリプレグの表面を光学装置により検査することにより、プリプレグの表面の欠陥を検出し、検出された欠陥の種類を判定するプリプレグシート検査工程S9を有することを特徴とするプリプレグの製造方法。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、表面欠陥を検出する技術に関し、主として塗装表面のブツ欠陥やキズ欠陥の検出を確実に検出する表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法に関するものである。
【解決手段】 発明の表面欠陥検査装置は、色相が平面において少なくとも2方向に周期的に変化した照明パターンを、基準面と検査面とに照射する照明部と、前記照明パターンが照射された前記基準面と前記検査面とを撮像する撮像部と、前記撮像部で撮像された両画像の色相の差に基づいて、前記検査面の欠陥の有無を検出する欠陥検出部と、を有するよう構成する。 (もっと読む)


【課題】高精度に半田付け部の良否を判断すること。
【解決手段】第1部材から相互に隣接して延びる複数のリード12が第2部材に夫々半田付けされた、半田付け部12aを検査する半田検査方法は、各リード12を交互に異なる色で着色するステップと、各リード12に対して、着色された色と関連する各色の光で夫々照射するステップと、各光が照射された各リード12の半田付け部12aを夫々撮影するステップと、撮影された各リード12の半田付け部12aの撮影画像に基づいて、半田付け部12aの良否判断を行うステップと、を含んでいる。 (もっと読む)


【課題】 ウェハを検査する際の下地の影響を低減させた検査装置を提供する。
【解決手段】 検査装置1は、複数種の波長を有する照明光でウェハを照明する照明部30と、照明光により照明されたウェハを撮影する撮影部40と、複数種の波長毎に所定の重み付けを行って撮影部40により撮影されたウェハの検査用撮影像を生成するとともに、生成した検査用撮影像に基づいてウェハにおける欠陥の有無を判定する画像処理部27とを備えて構成される。 (もっと読む)


【課題】受光部のフォーカス調整を容易に行う。
【解決手段】画像取得装置は、ガラス基板9上における線状の撮像領域を撮像する撮像ユニット2と、ガラス基板9を撮像領域と交差する方向に移動する移動機構とを備える。撮像ユニット2は、光照射部21および受光部23を有し、光照射部21により撮像領域に光が照射され、撮像領域からの光が受光部23のラインセンサへと導かれる。画像取得装置では、受光部回動機構が受光部23を回転することにより受光部23の光軸J2とガラス基板9の法線Nとのなす検出角θ2が変更される。撮像ユニット2は、光軸J2に沿って受光部23を移動する受光部移動機構をさらに備え、検出角θ2の変位量に基づいて受光部移動機構を制御することにより、光軸J2上においてラインセンサの受光面と共役な位置Pがガラス基板9の表面に配置される。これにより、受光部23のフォーカス調整が容易に行われる。 (もっと読む)


【課題】製造ラインを連続して搬送される開口を塞ぐシール部を有する被検査物に対して、特殊領域特定のために準備工程を必要とせず、検査時間の大幅な短縮が可能な、効率の良い検査性能に優れた検査装置を提供する。
【解決手段】容器を搬送する手段と、第一の光学手段と、第一の光学手段の容器搬送方向の下流に設けられた第二光学手段と、第一の特殊領域特定手段と、第一の特殊領域に基づいてシール部の液漏れ欠陥を検出する第一の検査手段と、前記エッジ座標と、第一の撮像手段と第二の撮像手段の取り付け角度の角度差と、第一の撮像手段と第二の撮像手段から得られた撮像画像における検査領域の中心座標から、第二の撮像手段によって得られた画像の第二の特殊領域を特定する第二の特殊領域特定手段と、第二の撮像手段によって撮像した画像の第二の特殊領域に基づいて容器の異物欠陥を検出する第二の検査手段と、を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 (もっと読む)


【課題】石英ガラスなどのガラスに較べて紫外線透過率の低い樹脂シートの表面に形成した透明電極の検査に必要な測定精度を得ることのできる透明電極の観察装置を提供すること。
【解決手段】樹脂シートFの表面に形成された透明電極Pの光透過率が50%以下となる200〜300nmの波長帯域の紫外線光を含む光を照射する光源1と、光源1から照射された紫外線光によって励起され、蛍光発光した樹脂シートFの光の強度が0.1以上となる400〜500nmの波長帯域の光を透過する光学フィルタ2と、光学フィルタ2を透過した可視域の波長に感度を有する画像を撮影するカメラ3とを備えたので、透明電極Pが形成された部位は暗くなり、それ以外の部位は明るく撮影される。これにより、可視光では視認が困難な透明電極Pの形状を特定でき、透明電極Pの検査に必要な測定精度を得ることができる。 (もっと読む)


【課題】ウエハの構造や欠陥がばらついて適切な波長が変化しても欠陥を精度よく検出でき、かつ、スループットが速いパターン検査装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、パターン検出装置は、光を発生する光源と、前記光をラインビームに整形してウエハ上に照射する集光器とを備える。さらに、前記装置は、前記ウエハで反射した前記ラインビームを分光する分光器を備える。さらに、前記装置は、前記分光器により分光された前記ラインビームを検出し、前記ラインビームのスペクトル情報を保持する信号を出力する二次元検出器を備える。さらに、前記装置は、前記ウエハ上の繰り返しパターンの対応箇所から得られた前記スペクトル情報を比較する比較部と、前記スペクトル情報の比較結果に基づいて、前記ウエハの欠陥の有無を判定する判定部とを備える。 (もっと読む)


【課題】解決しようとする課題は、面積が広くなり高密度化された試料の表面形状の測定に際して、高速化及び高精度化である。
【解決手段】表面検査装置は、第1照射部から照射される第1の照射方向からの照射光と、第2照射部から照射される第2の照射方向からの照射光とを照射方向を切り替えて、それぞれの照射部から照射された第1波長の光を試料の一面で反射させて、また、第2波長の光を試料保持部の一面側に取付け固定された光学部材で反射させ、双方から反射された光に基づいて生成された第1輝度データ及び第2輝度データを用いて試料表面の形状を算出するものである。 (もっと読む)


【課題】 反射画像と透過画像とを同時に同じ位置で撮影することができる太陽電池セル検査装置を提供する。
【解決手段】 半導体ウエハ2の第一面に向かって可視光を照射する第一照射部4と、半導体ウエハ2で反射した可視光を受光することにより、半導体ウエハ2の反射画像を取得する第一撮像部5と、半導体ウエハ2の第一面に対向する第二面に向かって赤外光を照射する第二照射部6と、半導体ウエハ2を透過した赤外光を受光することにより、半導体ウエハ2の透過画像を取得する第二撮像部7と、反射画像及び透過画像に基づいて、半導体ウエハ2に欠陥があるか否かを判定する判定部21dとを備える太陽電池セル検査装置1であって、第一撮像部5及び第二撮像部7との間に配置されるビームスプリッタ11を備え、ビームスプリッタ11は、設定波長未満の光を第一撮像部5に導くとともに、設定波長以上の光を第二撮像部7に導くことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】出来るだけ簡易な処理を用いて、表面粗さに差異を生じる表面欠陥を高速かつ効率的に検出する欠陥検出装置を提供すること。
【解決手段】被検査体Tに照射光を照射するアレイ状の光源3と、照射光が被検査体Tの表面で反射した反射光を検出する撮像手段2と、を備え、被検査体Tの表面に存在し正常面と粗度が異なる表面欠陥Dを検出する欠陥検出装置1において、アレイ状の光源3は、異なる特性を有する少なくとも3種類の照射光を照射するものであり、撮像手段2は、表面欠陥Dが鏡面状である場合、表面欠陥Dで反射した少なくとも3種類の照射光のうち特定の1種類又は2種類の照射光の受光量が残りの照射光の受光量よりも大きくなるように配置されている。 (もっと読む)


【課題】プレスキャン機能を実施することによって、表面欠陥が存在するときの光ディスク再生デバイスの読み出し性能を向上させる。
【解決手段】光ディスク再生デバイスは、第1および第2のレーザと、光学アセンブリと、第1および第2の光学検波器と、光学検波器に結合されたコントローラ回路とを備える。光学アセンブリは、第1および第2のレーザからの入射光を光ディスクの表面上にそれぞれ前走査スポットおよび後走査スポットを形成するように導くように構成され、さらに、光ディスクの表面上の前走査スポットおよび後走査スポットからの対応する反射光をそれぞれの光学検波器に導くように構成される。コントローラ回路は、後走査スポットが光ディスクの表面欠陥に到達する前に前走査スポットに関連する反射光を処理することによって光ディスクの表面欠陥を識別するように構成される。 (もっと読む)


【課題】分析精度に優れ、かつ、簡便に透明板状部材の表面に付着した汚染物を分析できる装置を提供する。
【解決手段】本発明の表面汚染分析装置100は、透明板状部材の表面に付着した汚染物を分析する装置である。この表面汚染分析装置100は、外部からの光を遮断する遮光容器110と、遮光容器110の中に配置され、透明板状部材を保持する保持部120と、透明板状部材の一方の端面に光を照射して、透明板状部材の内部に光を透過させる照明部130と、透明板状部材の表面に付着した汚染物を分析する表面分析手段140と、を備えている。 (もっと読む)


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