説明

Fターム[2G051BA20]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 光源 (5,299) | その他 (387)

Fターム[2G051BA20]に分類される特許

1 - 20 / 387



【課題】 表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査装置に関し、欠陥検査の検知精度の向上を図るために位相シフトを用いつつ検査時間を低減する。
【解決手段】 互いに異なった複数の波長をそれぞれ独立に変調した明暗パターンをパターン平面上で互いに変調させて合成照明パターンを合成し、前記合成した合成照明パターンを検査対象物に照射し、前記検査対象物からの前記合成照明パターンの反射パターンを撮像して波長毎の画像を一括して取得し、前記撮像した画像を波長毎に分解して前記検査対象物の表面の凹凸欠陥を判別する。 (もっと読む)


【課題】高アスペクトの深溝パターンに存在する欠陥を高い精度で検出できる欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】実施形態の欠陥検査装置は、照射手段と、加震手段と、検出手段と、判定手段とを持つ。前記照射手段は、複数のパターンが形成された基体に光を照射する。前記加振手段は、欠陥が存在しない場合の前記パターンの固有振動数で前記基体を振動させる。前記検出手段は、振動させられている前記基体から発生する光を検出する。前記判定手段は、前記検出手段からの信号を処理して前記散乱光による前記基体の画像を生成し、前記複数のパターンのそれぞれの間で揺れ方の相違があるかどうかを検査し、検査結果から欠陥の有無を判定する。 (もっと読む)


【課題】より明瞭に撮像できる視覚装置を提供する。
【解決手段】被撮像物1を撮像する撮像手段11と、照明光を発生する照明光発生手段12と、照明光を拡散させる照明光拡散手段13とを備え、照明光拡散手段13は、撮像手段11の光軸の延長上に配置された筒状の部材であり、照明光発生手段12は、照明光拡散手段13の筒壁の外面に照明光を照射できる位置に配置され、照明光拡散手段13の筒壁は、照明光発生手段12から照射された照明光を照明光拡散手段13の内部に透過させ、照明光拡散手段13の内部に透過した照明光を反射・拡散させることができるように形成されており、照明光拡散手段13の内部で反射・拡散された照明光が被撮像物1に当たり、被撮像物1に反射した照明光が照明光拡散手段13の内部を通じて撮像手段11に送られる。 (もっと読む)


【課題】 作業者が疲労し難く、作業効率を維持でき、視力を損なう虞がなく、健康上も問題なく、目視による検査が効率的にできる光透過性物品検査装置を提供する。
【解決手段】 半透明の搬送ベルト16上に物品を載置させて移動させる搬送装置2と、搬送装置2を支持する支持架台3と、搬送ベルト16の下方に、半導体発光素子59,63,64,65をプリント基板57,61上に載置、固定したLED装着体53,54を配設し、搬送ベルト16を下方から照射する照射装置4と、搬送ベルト16を作動、制御すると共に、半導体発光素子59,63,64,65の発光を制御する制御装置5とから物品検査装置1を構成する。 (もっと読む)


【課題】微細化あるいはハイアスペクト化された凹部を有する構造体に対するパターン検査の精度を向上させることができるパターン検査方法およびパターン検査装置を提供することである。
【解決手段】本発明の実施態様によれば、構造体が有する凹部にX線または真空紫外線を集光させ、前記集光させた前記X線または前記真空紫外線を前記凹部の内部において伝播させて前記凹部の底面に到達させ、前記底面で反射または前記底面を透過した前記X線または前記真空紫外線の強度を検出することにより前記凹部の欠陥の有無を検査することを特徴とするパターン検査方法が提供される。 (もっと読む)


【課題】構造の異なる新たなセンサに変更した場合でも変更前のセンサ用基準データを利用して印刷物を検査する。
【解決手段】ラインセンサによって計測したデータ上に、ポイントセンサによる検査領域の計測を再現する領域を設定し、設定された領域に含まれる画素値を重み係数によって変換して検査データを生成し、当該検査データをポイントセンサ基準データと比較して印刷物検査を行う。検査に利用する重み係数は、基準媒体をラインセンサによって計測したデータとポイントセンサ基準データとが所定の類似性を満たすように、投受光される光や、投受光素子の取り付け状態を考慮して決定される。重み係数の決定と当該重み係数を用いた印刷物評価とを同じ印刷物検査装置によって行う。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成にて巻締め検査を精度よく行える金属缶端部の巻締検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】カメラ32からの取得画像から極座標展開画像112を形成し(S4)、巻締め部3内側側面61の内側フランジエッジ122と(S5)、外側側面62の外側フランジエッジ124を認識して(S6)、内側フランジエッジ122から外側フランジエッジ124までの幅寸法131が閾値内にあるか否かを判断する(S8)。閾値内の場合、内側側面61の内帯幅161の長さ方向での変化量、及び外側側面62の外帯幅162の長さ方向での変化量を検査し(S9)、これらの変化が大きい場合、巻締不良フラグをセットして(S10)終了する一方、変化が小さい場合には、巻締不良フラグをリセットして(S11)終了する。 (もっと読む)


【課題】被測定物の状態によらず、高い検出感度を得るための調整が容易であり、検出感度の劣化要因となる照明光の発生を防ぐことが可能な照明装置、および光学装置を提供すること。
【解決手段】一定の領域1を照明するように構成され、光源として複数のLEDを有し、その複数のLEDと一定の領域1との間に、互いに異なる偏光方向15、25、35をそれぞれ有する複数の偏光子12、22、32を有し、複数のLEDは、それぞれ数個〜十数個のLEDからなる複数のLED群10、20、30に分割して駆動することができるように構成され、各LED群の出射光はそれぞれ1つの偏光子のみを通過するように構成されている。 (もっと読む)


【課題】高温の被計測体に発生する酸化スケール等の表面異常を精度良く識別することができる被計測体の表面異常識別装置を提供する。
【解決手段】高温の被計測体5から得られる輻射光を輻射光撮像部18により、被計測体5が一定角度回転される毎に撮像して得た複数の輻射光画像を合成して、合成輻射光画像を作成する画像合成部10と、前記合成輻射光画像から所定領域を抽出して、撮像中の被計測体5の温度低下に基づく前記所定領域の画像の輝度変化を補正する第1輝度補正部12と、前記補正した所定領域の画像から所定暗部を検出し、該所定領域の画像の暗部を前記被計測体の表面異常と判定する異常判定部14と、を備える被計測体の表面異常識別装置1を用いる。 (もっと読む)


【課題】 光源が点灯した後の一定時間において照度が安定しないという課題を解決し、従来にはなかったデジタル顕微鏡を提供する。
【解決手段】
デジタル顕微鏡1は、発光ダイオード34と、発光ダイオード34から出射された光を試料に照射するための光学系と、試料にて反射または散乱した光を光電変換して試料を撮像する撮像素子と、試料を複数回撮像するように撮像素子を制御する制御部35と、撮像素子にて撮像された画像を表示する表示部31とを備える。 (もっと読む)


【課題】LED配線基板の幅をコンパクト化可能にするとともに、組み立て部品の削減及び組み立て工数を削減する。
【解決手段】各LED配線基板3が、長手方向に沿って列状に設けられた複数のLED31と、当該複数のLED31に平行に設けられた給電ライン部材32a、32bとを備え、給電ライン部材32a、32bが、LED配線基板3のLED搭載面3bから上部に設けられており、隣接するLED配線基板3において、一方のLED配線基板3に設けられた給電ライン部材32a、32bが、長手方向外側に延出して設けられて他方のLED配線基板3の給電ライン部材32a、32bに接触する接触端子32a、32bを有する。 (もっと読む)


【課題】簡便かつ安価な装置構成で、搬送方向に直交する幅方向の全幅に亘って均一な検査を行うことができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】長手方向に搬送される長尺状の酸洗鋼板1の表面に対して、照射光が搬送方向と直交する幅方向に平行なライン状であって、かつ、該酸洗鋼板1表面上で全幅に亘って搬送方向に互いにラップするように照射する2台のライン状拡散照明2,3と、酸洗鋼板1表面上で照射光がラップする領域Eを撮像する1台以上のエリアセンサカメラ4と、エリアセンサカメラ4を酸洗鋼板1の全幅をカバーするように幅方向に往復移動させるカメラ移動手段5とを備える。 (もっと読む)


【課題】従来よりもガラス基板の欠陥の検査感度を向上可能であり、かつ、欠陥を検査する時間を短縮できるガラス基板の欠陥検査方法及び欠陥検査装置、並びに、前記欠陥検査方法又は前記欠陥検査装置を用いたガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本ガラス基板の欠陥検査方法の一形態は、第1主平面及びその対向面である第2主平面を有するガラス基板に、複数方向から光を順次照射し、前記ガラス基板の画像を順次撮像する順次撮像工程と、前記順次撮像工程で順次撮像した各ガラス基板の画像に基づいて、前記ガラス基板の前記第1主平面及び前記第2主平面の欠陥の有無を検査する欠陥検査工程と、を有する。 (もっと読む)


【課題】被検査面の微小な表面欠陥を地合ノイズの影響を受けずに安定して検査することのできる表面検査装置を提供する。
【解決手段】光源2から鋼板1の表面に照射された照明光の反射光を受光して鋼板表面の画像信号を得る撮像装置3の空間分解能を0.2mm以下にするとともに、照射位置での鋼板1の法線方向1aを基準として撮像装置3を光源2と同じ側に配置し、かつ光源2から鋼板表面への照明光の入射角度αを60°〜80°の間の角度に設定するとともに、撮像装置3の受光角度β1を20°〜αの間の角度に設定した。 (もっと読む)


【課題】樹脂製キャップを検査する場合、カメラで撮影された画像を2値化する際に、キャップの周辺部分に対応した画素群とキャップの中央部分に対応した画素群とを共通なしきい値を用いて2値化することができる照明撮像系を備えた樹脂製キャップの検査装置を提供する。
【解決手段】樹脂製キャップ1の天面1a側に配置され、樹脂製キャップ1の天面1aに投光する天面側照明20と、樹脂製キャップ1の天面1aの裏面側に配置され、樹脂製キャップ1の天面1aの裏面に投光する裏面側照明22と、樹脂製キャップ1の天面1a側に設置され、天面1aからの光を撮影するカメラ21とを備え、カメラ21に、天面側照明20から樹脂製キャップ1の天面1aに投光され天面1aで反射した反射光を入射し、かつ裏面側照明22から樹脂製キャップ1の天面1aの裏面に投光され天面1aを透過した透過光を入射させる。 (もっと読む)


【課題】検査装置においては検査速度を向上させるためにウェハ表面に細長い光を照明し、照明領域の像を光検出器で結像して、検査を行う方式も考えられる。しかし、光検出器に照明領域の像を正しく結像させるのは容易ではない。従来技術ではこの点に配慮なされていなかった。
【解決手段】本発明は、光ファイバの束を有する結像光学系を有し、さらに前記光ファイバの束の集光側を回転させる機構を有することを特徴とする。本発明によれば、照明領域からの散乱光を正しく光検出器に結像させることができる。 (もっと読む)


【課題】被検査面における欠陥の位置に依存せずに欠陥の有無を判断できる検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】本明細書に開示する欠陥の検査方法は、明部11b及び暗部11cを有する照明パターンを、被検査面21に照射し、被検査面21の同じ領域が、明部11bで照らされる第1画像30a及び暗部11cで照らされる第2画像30bを取得し、被検査面21の所定領域に対応する第1画像30a内の領域の輝度と、基準被検査面が明部11bで照らされて取得された第1基準画像内の被検査面の上記所定領域に対応する領域の輝度と、被検査面21の被検査面21の所定領域に対応する前記第2画像30b内の領域の輝度と、基準被検査面が暗部11cで照らされて取得された第2基準画像内の被検査面の上記所定領域に対応する領域の輝度とに基づいて、被検査面21の所定領域の欠陥の有無を判断する。 (もっと読む)


【課題】タイヤの内周面に生じた線状の凹凸を容易に検出することができる照明装置及びタイヤの検査装置を提供する。
【解決手段】光源ユニット36から照射された光によってタイヤTの内周面8を照明する照明装置16と、タイヤTの内周面8を撮影する撮影部18,19と、タイヤTと照明装置16及び撮影部18,19とをタイヤTの回転軸L2の回りに相対的に回転させるテーブル駆動部14とを備え、タイヤTの内周面8に沿わせて配置した光源ユニット36からタイヤTの周方向Cに向けて光を照射した状態で、テーブル駆動部14がタイヤTと照明装置16及び撮影部18,19とをタイヤTの回転軸L2の回りに相対的に回転させながら、撮影部18,19がタイヤTの内周面8を撮影する。 (もっと読む)


【課題】検査対象のレンズ越し照明システムを提供しつつ、水銀ランプのような大型の光源をより安全な小型の光源に置き換える。
【解決手段】照明システム38は、光学検査システムの対物系の一部を共有している。検査対象14を照明するため、複数のビーム形成光学系46が複数の有効光源44からの光を集め、対物系を通過させる。対物系は、上記検査対象から散乱した光を集めこの集められた光で対象の像を形成するために、前側リレーレンズ24と、後側リレーレンズと、前側リレーレンズと後側リレーレンズとの間に配置された対物系絞り26とを有している。上記対物系絞りを囲む上記ビーム形成光学系は、上記検査対象を照明するために求められる角度範囲内で不均一な光を配給するために、関連する有効光源とともに配置されている。 (もっと読む)


1 - 20 / 387