【課題】表面に細かな凹凸を有する部材であってもその表面の欠陥を検出できる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】被検査対象Ｓの表面の欠陥を検査する装置であって、被検査対象Ｓに光を照射する投光手段１０と、被検査対象Ｓの表面において反射した光を受光する受光部とを備えた撮影手段２０とからなり、投光手段１０は、一列に並んで配置された複数の発光体１３を有する光源１１と、光源１１と被検査対象Ｓとの間に設けられた、各発光体１３から被検査対象Ｓに照射される光を制限する遮光部材１５を備えており、遮光部材１５は、各発光体１３から放出される光のうち、発光体１３が並んでいる方向において、各発光体１３の光軸から一定の範囲よりも内側の光を遮断し得る複数の遮断部15aを備えている。 （もっと読む）

【課題】
エッチング完了後の溝底ショート欠陥やスクラッチを検出するための高仰角照明による暗視野欠陥検出方法において、レンズ反射光などの迷光が像面に到達することによる検査感度を阻害することを防止する。
【解決手段】
欠陥検査装置を、本来同一の形状となるべきパターンが繰り返して形成された試料上の異なる領域に異なる光学条件で同時に照明光を照射する照射手段と、照明光を照射した領域からの反射光を異なる領域ごとに検出する検出手段と、検出した反射光の検出信号を処理して異なる領域ごとに異なる光学条件の元での欠陥候補を抽出する欠陥候補抽出手段と、異なる光学条件の元で抽出した欠陥候補を統合して欠陥を抽出する欠陥抽出手段と、抽出した欠陥の特徴量を求めて該求めた特徴量に基づいて前記欠陥を分類する欠陥分類手段とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】白色で光を散乱する性質を有する膜の表面に存在する液滴を精度よく検出できる検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】多孔質基材上に形成された多孔質樹脂層の表面に分離機能膜製膜溶液が付与され、その後余剰の分離機能膜製膜溶液が除去されてなる膜の多孔質樹脂層側表面に、光を照射するとともに該光の反射光を受光撮像し、該多孔質樹脂層側表面から突出している分離機能膜製膜溶液の欠点液滴を検出する膜の検査方法であって、撮像視野幅に垂直な方向に関して、複数方向から光を照射してそれぞれの主光線が多孔質樹脂層側表面の異なる位置を照射するようにするとともに、それら複数の主光線の軸が、所定の曲率半径を有する多孔質樹脂層側表面から突出する仮想液滴の表面において、撮像軸とそれぞれ正反射の関係になるように光を照射し、かつ、受光撮像した反射光に基づいて欠点液滴の有無を判断する。 （もっと読む）

【課題】的確に検査対象の表面上の欠陥の有無を判定する欠陥判定技術を提供する。
【解決手段】載置台３の載置面３ｆにワークＷを載置し、ワークＷの被検査面Ｗｆは、照明１により光が照射され、カメラ２により撮影される。カメラ２は、移動機構４により、載置面３ｆに対する照明１の光軸の相対方向と、載置面３ｆに対するカメラ２の光軸の相対方向との少なくとも一方が変更されつつ撮影を行う。カメラ２により撮影された撮影データは画像データ取得部により取得され、特徴量抽出部はその画像データに基づいて被検査面Ｗｆの反射特性を表す特徴量を抽出する。欠陥判定部は、抽出された特徴量に基づいて被検査面Ｗｆの欠陥の種別を判定する。 （もっと読む）

【課題】照明条件、もしくは検出条件の異なる検査結果を統合することで、ノイズやNuisance欠陥と真の欠陥を高精度に判別することができる欠陥検査装置及びその方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、被検査対象物を所定の光学条件で照射する照明光学系と、被検査対象物からの散乱光を所定の検出条件で検出して画像データを取得する検出光学系とを備えた欠陥検査装置であって、前記検出光学系で取得される光学条件若しくは画像データ取得条件が異なる複数の画像データから欠陥候補を検出する欠陥候補検出部と、該複数の画像データから検出された欠陥候補の情報を統合して、欠陥とノイズを判別する検査後処理部とを有する画像処理部を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
検出画素ずれおよび画素割れによる影響を回避し、概略同一の領域から発生する散乱光同士を加算可能にする欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
被検査対象物の所定の領域に照明光を照射する照明光学系と、前記照明光学系の照明光による該被検査対象物の所定の領域からの散乱光を複数画素で検出可能な検出器を備えた検出光学系と、前記検出光学系の検出器により検出した散乱光に基づく検出信号について、該被検査対象物の表面に対して垂直な方向の変動に起因する画素ずれを補正する補正部と前記補正部により補正された検出信号に基づいて該被検査対象物の表面の欠陥を判定する欠陥判定部とを備えた信号処理部と、を有する欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】基板上に立設されたピン側面における半田はい上がり高さを直接的に計測して、欠陥を精密に検出評価できるＰＧＡ実装基板の半田付け検査装置を提供する。
【解決手段】PGA実装基板に配置されたピンの半田付け画像を撮像して、取得された画像データをもとにピンの接合状態を評価するPGA実装基板の半田付け検査装置であって、PGA実装基板Ｋが載置される基板載置台11と、基板載置台の長手方向Ａに対して斜め方向に延伸して設けられたカメラ移動台12と、カメラ移動台上に設置しPGA実装基板を斜め上方向から撮像するカメラ撮像部13と、カメラ撮像部をカメラ移動台上でその長手方向に移動させるカメラ撮像部移動手段14と、を備え、PGA実装基板のピンの格子状配列に対し、投影線Ｘにおいて交差するようにカメラ撮像部内に設けたリニアイメージセンサ13aのセンサ列を、カメラ撮像部移動手段によって移動させ、PGA実装基板を斜め上方から撮像するようにした。 （もっと読む）

【課題】Ａ面とＢ面とで構成された両面を有する平板ガラスの表面に付着した異物を検出する。
【解決手段】平板ガラス３０のＡ面に向かって、Ａ面の法線ベクトルを基準にして第１の角度で、Ｓ偏光された第１波長のレーザー光を照射するＡ面レーザー光照射装置５１と、平板ガラスのＡ面に照射される箇所を撮影するＡ面撮影装置１１と、Ａ面の法線ベクトルを基準にして、第１の角度よりも小さな第２の角度で前記Ａ面に向かって照射し、照射されたレーザー光の大部分が平板ガラスの厚さ方向に透過する第２波長のレーザー光を照射するＢ面レーザー光照射装置５３と、平板ガラスのＢ面に照射される箇所を撮影するＢ面撮影装置１３と、ならびに、前記Ａ面撮影装置とＢ面撮影装置とから入力された映像イメージを分析して、異物がいずれの撮影装置でより鮮やかに出力されるのかを判別することにより、異物が付着された面を判別する検出信号処理部９０とを含む。 （もっと読む）

【課題】被処理基板に生じた割れを検出する基板割れ検出装置において、かかるコストを低く抑え、容易かつ高精度に基板の割れを検出する。
【解決手段】基板搬送路１５に沿って基板Ｇを平流し搬送する基板搬送手段１６と、前記基板搬送路の一側方に設けられ、前記基板搬送手段により搬送される前記基板の上面に対し斜め上方から所定角度をもってラインレーザ光Ｌを放射し、前記ラインレーザ光を基板幅方向に沿って、少なくとも前記基板の左右端部を含む基板上面に照射するレーザ放射手段２と、前記基板搬送路を挟んで前記レーザ放射手段に対向配置され、前記レーザ放射手段により放射されたラインレーザ光を受光する撮像手段３と、前記撮像手段により撮像された画像と、予め記憶した基準画像とを比較処理し、比較結果に基づき基板割れを判断する制御手段２０とを備える。 （もっと読む）

ホログラフィックマスク検査のための装置、方法およびリソグラフィシステムが開示される。ホログラフィックマスク検査システム（３００、５００、７００）は、照明源（３３０）、空間フィルタ（３５０）およびイメージセンサ（３８０）を含む。照明源は、放射ビーム（３３１）でマスク（３１０）のターゲット部分上を照明するように構成されている。空間フィルタ３５０は、光学システム（３９０、６１０、７１０）のフーリエ変換瞳面に配置されている。空間フィルタは、マスクのターゲット部分から反射放射ビーム（３１１）の少なくとも一部を受ける。光学システムは、反射放射ビーム（３１１）の一部を参照放射ビーム（３６１、３３１）と組み合わせて（３６０、６６０、７４０）組み合わせ放射ビームを生成する。さらに、イメージセンサ（３８０）は、組み合わせ放射ビームのホログラフィックイメージを取り込むように構成されている。イメージは、１つ以上のマスク欠陥を含み得る。 （もっと読む）

【課題】照明光を短波長化しなくても、確実に繰り返しピッチの微細化に対応できる表面検査装置および表面検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の表面検査装置は、被検査基板を照明するための直線偏光の発散光束を射出する光源手段と、前記直線偏光の発散光束を該光束の主光線が所定の入射角を有するように入射して前記被検査基板に導く光学部材と、前記検査基板からの光束のうち前記直線偏光とは偏光方向が直交する直線偏光を受光する受光手段と、前記光源手段と前記受光手段との間の光路中に配置され、前記光学部材に起因して発生する偏光面の乱れを解消する少なくとも１つの偏光補正部材と、を有し、前記受光手段で受光した光に基づいて前記被検査基板の表面の検査を行う。 （もっと読む）

原石の画像を取得し、前記画像の定量的な解析を行い、原石の特性の尺度を得るシステムである。当該システムは、原石を観測位置に支持するサポート構造を有する。照射構造は、原石を照射するように配置される。照射構造は、観測位置に向かうように配向された、複数の指向性光源を有し、サポート構造および照射システムは、回転軸の周りを、相互に対して回転可能であり、原石は、複数の回転位置の各々において、1または2以上の指向性光源によって照射され、回転軸は、原石の選定されたファセットに対して垂直である。回転位置の各々での原石の画像を取得するため、原石に向かって画像化装置が配向され、この画像化装置は、回転軸に平行なまたは前記回転軸に一致する画像化軸を有する。個々の光源からの個々のファセットによる反射に対応する画像において、スパークル領域を同定し、該スパークル領域の特性に基づいて、原石の定量的尺度を提供する画像プロセッサが提供される。

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【課題】透明体シート状物表面に発生した曲率変化の小さな凹凸状欠陥でも漏れなく検出し、低コスト、かつ、省スペースで構成できる信頼性の高い欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】走行する透明体のシート状物の幅方向から平行光を斜めに透過させて広範囲を照射する照明手段と、透過した光を光学的に圧縮させる配置で結像させるスクリーンと、該スクリーンに結像した画像を明暗信号として検出する撮像手段と、明暗信号のレベルをしきい値によって凹凸状欠陥として検知し、凹凸状欠陥の寸法及び形状を判定する信号処理手段とを具備することを特徴とするシート状物の表面欠陥検査装置により、上記課題を解決しえる。 （もっと読む）

【課題】 マルチフォーカス検査装置及びマルチフォーカス検査方法に関し、１回のスキャンで高速且つ高精度の全面外観検査を可能にする。
【解決手段】 測定対象物を撮像する測定ヘッドと、前記測定対象物と前記測定ヘッドを平面内において互いに相対的に移動させる移動機構と、前記測定対象物に光を照射する光源とを備え、前記測定ヘッドは、前記測定対象物に対向して配置された撮像レンズと、前記撮像レンズの合焦面が、前記測定対象物の移動方向に対して直交する平面内或いは前記直交する平面から±４５°の範囲内で前記測定対象物の移動方向に傾斜させた平面内に存在するように調整する光学部材と、前記光学部材からの光の結像位置に焦点面が位置するよう配置したイメージセンサとを少なくとも有する。 （もっと読む）

【課題】帯状体の表面に発生しうる周期欠陥の検出精度の向上を図ることが可能な周期欠陥検出装置、周期欠陥検出方法、およびプログラムを提供する。
【解決手段】決定された初期設定位置ごとに複数の追跡点を設定する追跡点設定部と、設定された追跡点をそれぞれ移動させる追跡点移動部と、移動前の追跡点を含む予め規定された大きさの第１領域の画像と、移動後の追跡点を含む第２領域の画像とに基づく類似度を評価値として追跡点ごとに算出する追跡点評価部と、評価値に基づいて周期欠陥が含まれる第２領域を検出する欠陥検出部とを備え、追跡点設定部は、追跡点評価部が追跡点ごとの評価値を算出すると評価値に対応する移動後の追跡点を複数複製して追跡点を再設定し、欠陥検出部は、追跡点設定部、追跡点移動部、および追跡点評価部にける一連の処理が予め規定された回数繰り返された場合に評価値に基づく検出を行う周期欠陥検出装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】複数のライン光を照射する低コストで小型なライン照明装置を提供することにある。
【解決手段】本発明のライン照明装置９Ａは、同一基板９４上に色別にそれぞれ複数個一列に配置された光源９１，９２と、複数個の前記光源から照射される色別の光をそれぞれライン状に結像する単一の集光光学系９３もしくは光軸方向に配列された複合の集光光学系と、を備えている。これにより、多種類の光源の光を、１つの集光光学系のみにより集光することができるので、多種類の集光光学系を設計・製作する必要がなく部品点数を減少させて低コスト化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】メタリック塗膜の色ムラを目視評価と相関の高い定量値として得ることができるメタリック塗膜の色ムラ評価装置を提供する。
【解決手段】メタリック塗膜１０の色ムラ評価装置１００は、メタリック塗膜１０の色ムラを評価する装置であって、載置部１０１と、測定部１１０とを備える。載置部１０１は、メタリック塗膜１０を載置するための載置面１０２を有する。測定部１１０は、メタリック塗膜１０上の測定点に光を入射し、測定点から反射する光を測定する。測定部１１０では、複数の測定点に対して、入射光軸と受光光軸とを含む測定面が２以上存在するように、２以上の光軸の光を異なったタイミングで入射する。載置部１０２は、測定部１１０に対して相対的に移動可能である。 （もっと読む）

【課題】 ウエハ表面の傷、膜残滓物等の存在を光学的に且つ的確に検出する。
【解決手段】 ウエハ１０を保持するウエハ保持部２０と、直線偏光の検査光を生成照射する検査光源３１，３２と、検査光源からの検査光をウエハ１０の表面の検査部分に照射したときの検査部分からの反射光を検出する受光部３３，３４とを備えて表面検査装置が構成される。そして、検査光源からの検査光が検査部分の表面に対してブリュースター角で入射するように検査光源を配置し、且つ、検査光が検査部分の表面から正反射した光を避けて検査部分からの反射散乱光を受光する位置に受光部３３，３４を配置し、この受光部により受光した反射散乱光に基づいて検査部分の欠陥検査を行う。 （もっと読む）

【課題】不感領域の影響を小さくして検査精度を向上させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、ステージ１０と、照明系２０と、受光系３０と、複数の受光部および受光部の周囲に設けられて受光しない不感部を有した撮像素子５０と、撮像素子５０を相対移動させる画素補完駆動部３５と、撮像素子５０が複数の受光部同士の間隔よりも小さい相対移動量で相対移動しながら複数の像を撮像するように画素補完駆動部３５および撮像素子５０の作動を制御する制御部４０と、撮像素子５０により撮像された複数の画像における各画素を画素補完駆動部３５による相対移動に応じた順に並べて合成した合成画像を生成する画像処理部４５とを備え、撮像素子５０の撮像面５０ａ上に、受光部の一部を遮蔽する遮蔽部材が設けられている。 （もっと読む）

検査精密度を向上させることのできる基板検査装置を提供する。基板検査装置は少なくとも一つの照明モジュール、結像レンズ、第１ビームスプリッタ、第１カメラ及び第２カメラを含む。照明モジュールは検査基板に光を提供し、結像レンズは検査基板から反射された光を透過させる。第１ビームスプリッタは結像レンズを透過した光のうち一部を透過させ残りを反射させる。第１カメラは第１ビームスプリッタを透過した光の印加を受けて撮像し、第２カメラは第１ビームスプリッタから反射された光の印加を受けて撮像する。このように、一つの結像レンズを用いて検査基板を検査することによって、従来の結像レンズ間の光軸または倍率偏差に起因した検査精密度の低下を防止することができる。
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