【課題】金属製部品及びプラスチック製部品の表面及び内部に存在する微細なキズ、バリを、画像処理技術を用いて検知する検出装置において、目視検査を超える検出精度、検出速度を有し、かつ従来の画像処理技術を使用する自動検出装置を超える検出精度を有する検出装置、及び検出方法を提供する。
【解決手段】検査部品と全く同じ形状の無欠陥標準部品とを、全く同じように回転、傾動、停止させる機構を有し、停止させるごとに両部品の画像を撮影するカメラを有し、撮影を効果的に行うための照明を有し、撮影した両部品の画像をコンピューター上で重ね合わせて比較する処理を行う画像処理コンピューターを有し、両部品の画像の不一致をキズ、バリとして表示するモニターを有する検出装置により、金属製部品及びプラスチック製部品の表面及び内部に存在する微細なキズ、バリを検出する。 （もっと読む）

【課題】 微小細粒（タガント）を付与した物品の真贋判定を行う際に、撮影画像に含まれるタガントがコピーや印刷等によって付与されたものでないことを明確に区別して、真贋判定を効率よく行うことが可能な真贋判定装置等を提供する。
【解決手段】 個々の物品１の基材１１上に、基材とは異なる光学反射特性を有するタガント１２をランダムに配置しておく。物品１に対して異なる方向から光を照射し、複数枚の画像を撮影する。撮影された複数枚の画像の差分を抽出することによりタガント１２に影９が生じているか否かを判断する。影９が生じている場合は、真の物品であると判断する。これによりカラーコピーされたタガントでないことを効率よく判断できる。 （もっと読む）

【課題】照明光学系を用いた検査で表面の透明薄膜状異物を容易に検査することができる表面異物検査方法を提供する。
【解決手段】白色光光源３からウエーハ１０の上面に白色光を照射し、前記ウエーハ１０の前記上面のうち前記白色光が照射される領域内に透明異物１２ａが存在する場合に、透明異物１２において光干渉による暗部を生じさせる入射角θで単色光を単色光光源４から前記ウエーハ１０に照射し、前記ウエーハ１０の前記上面のうち前記単色光の前記暗部において反射する白色光と、前記上面において反射する前記単色光を共通の受光素子５で受光することを特徴とする表面異物検査方法。 （もっと読む）

【課題】連続的に走行するシートに発生するキズ欠点を高精度に検査できる検査装置を提供する。
【解決手段】ライン状光線を照射する光照射手段と、前記ライン状光線の一部を受光する受光手段と、前記受光手段で受光した信号に応じてキズ欠点を検出する画像処理手段とを備え、かつ、前記光照射手段と前記受光手段とを同時に、シートと平行を維持した状態で回転させる回転手段を設けることを特徴とするシートにおけるキズ欠点検査装置、とすることにより、連続的に走行するシートに発生する欠点を高精度に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】散乱光の空間分布がマイクロラフネスの差異に応じて、前方／後方／側方と色々な方向に変化することについて配慮し、特にエピタキシャル成長ウェハに出現するステップ・テラス構造は散乱光分布に異方性が生じることに配慮した表面形状計測装置を提供する。
【解決手段】試料１表面に光を照明し、光軸の方向が互いに異なる複数の検出光学系５１，５２により散乱光の空間分布を検出し、試料１表面の空間周波数スペクトルを算出する。 （もっと読む）

【課題】ステージ上で大きく撓むようなマスク基板の欠陥を高精度に検出できるようにする。
【解決手段】マスク基板の対向する二辺を検査テーブル手段の基板支持部となる傾斜面に載置すると共にマスク基板の下面にエア浮上ステージ手段からエア噴流を吹き付けることによってマスク基板が撓まないようにする。さらに、マスク基板の対向する二辺の上面側からエア噴流を吹き付けてマスク基板の下側辺を傾斜面に押し付け、マスク基板の二辺を検査テーブル手段に固定的にエア挟持させる。マスク基板の下面にエア噴流を吹き付けることでマスク基板の撓みを矯正することができ、基板検査装置は撓みの矯正されたほぼ平面状のマスク基板の欠陥を高精度に検出することができる。 （もっと読む）

【解決課題】検査物品の内容液中の気泡と、これ以外の異物等と、を判別して検査し、歩留りや生産性の低下を防止することのできる気泡判別検査装置および気泡判別検査方法を提供する。
【解決手段】気泡判別検査装置は、気泡判別検査機構１００を備える。気泡判別検査機構１００は、異物６５を浮遊させる浮遊手段１０と、検査物品６０を連続的に撮像する撮像部２１と、画像検査部２３と、を備える。画像検査部２３は、検査画像形成手段２５と、検査画像において特定される検査領域が中抜け形状であるか否かに基づき、検査領域を気泡６４に対応する気泡領域と異物等候補領域とに判別する第１の判別手段２６１と、検査領域の傾き度、扁平度、不透明度に基づき、異物等候補領域を異物等６７に対応する異物等領域と気泡６４に対応する気泡領域とに判別する第２の判別手段２６２と、判断手段２８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】容器の外側表面に付着した異物と、容器に封入された固形物の商品に混入した異物と、を好適に識別できる異物検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】容器２を載置するとともに水平面内で回転自在に設けられる台座３ａと、台座３ａに載置された容器２を外側から周囲に沿って一周に亘って撮像した画像データを取得する撮像装置５２と、台座３ａに載置されて台座３ａとともに回転する容器２の外側表面をクリーニングする回転ブラシ５４と、画像データに基づいて作成する検査画像データから輝度が周囲と異なる特異部を抽出する制御装置５３と、を備える異物検査装置とする。そして、制御装置５３は、台座３ａを２回転以上させて回転回数と等しい数の１回転ごとの検査画像データを作成し、少なくとも２つの検査画像データで位置が同じ特異部を抽出したときに、容器２に異物が混入したと判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の表面不良の判定時間を減らし、ＮＧの可能性の高い表面不良のみを検査員に提供して検査の集中度を極大化させる。
【解決手段】表面不良検査装置は、ガラス基板１の上方にそれぞれ配置され、ガラス基板表面不良に対する第１イメージおよび第２イメージをそれぞれ撮影する撮像装置１０および２０と、ガラス基板１の下方に配置され、撮像装置１０、２０側にガラス基板１を透過する暗視野照明装置３０と、第１イメージ上の不良の位置座標と、第２イメージ上の不良の位置座標とを演算する検出信号処理部４０とを備えている。ガラス基板上面に対する撮像装置１０、２０の撮影領域Ｐ１は互いに重ね合わされ、ガラス基板下面に対する撮像装置１０、２０の撮影領域Ｐ２、Ｐ３は、互いに異なるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】検査精度の向上を図ることのできる基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置は、実装エリア内のクリームハンダ４及びレジスト膜５の表面の三次元計測を行うと共に、各クリームハンダ４の最高点の位置情報を基に算出した所定の平面を第１仮想基準面Ｋ１として設定し、さらに当該第１仮想基準面Ｋ１をベース基板２の表面２ａに直交する方向に沿って所定位置まで降下させ、第２仮想基準面Ｋ２として設定する。そして、当該第２仮想基準面Ｋ２からの各クリームハンダ４の突出量を算出し、これを基に当該クリームハンダ４の印刷状態の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】結晶粒界や光学系のムラによる画像の濃淡差が発生しても内部クラックを検出することの出来るシリコンウエハ検査方法および装置を提供する。
【解決手段】赤外照明光を円偏光フィルタを用いて円偏光し、シリコンウエハに対して照射する。シリコンウエハ表面，および裏面での反射光は偏光方向が反転するため，円偏光フィルタを透過することは出来ない。
一方，内部にクラックなどの欠陥があれば照明光は乱反射するため無偏光となり，円偏光フィルタを透過することが出来るため，カメラにて撮像が可能である。このため，クラック等の欠陥で乱反射した照明光のみを撮像し画像処理装置で検出することで，クラック等の欠陥の有無を検出することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】表面に細かな凹凸を有する部材であってもその表面の欠陥を検出できる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】被検査対象Ｓの表面の欠陥を検査する装置であって、被検査対象Ｓに向けて光を放出する投光手段１０と、被検査対象Ｓの表面において反射した光を受光する受光素子21sを備えた撮影手段２０と、を備えており、投光手段１０は、光源１１と、光源１１と被検査対象Ｓとの間に設けられた、光源１１から被検査対象Ｓに照射される光を制限する遮光部材１５と、を備えており、遮光部材１５は、光源１１から放出される光を通過させるスリット15hを備えており、スリット15hは、被検査対象Ｓの表面が平坦面である場合において、該スリットを通過して前記被検査対象の表面で反射する光の光軸方向と前記撮影手段の受光部の光軸方向とが同軸となるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】１台のカメラで検査対象物の複数箇所の画像を取得しながらも、検査時間の短縮が可能な画像処理装置を提供する。
【解決手段】制御部１５は、エリア画像内において互いに離間した複数の領域を抽出領域とするように設定データを決定し、設定記憶部１３に書き込む。画像取込部１１１は、これら複数の抽出領域の全てについてカメラ２から部分画像を取り込み、抽出領域ごとに部分画像を記憶部１１２に記憶する。これにより、記憶部１１２には、各抽出領域について、時間経過に伴って取り込まれた複数の部分画像が記憶されることになる。画像生成部１１４は、抽出領域ごとに複数の部分画像を時系列に沿って並べて二次元画像を生成し、画像記憶部１１５に二次元画像を抽出領域ごとに記憶する。 （もっと読む）

【課題】効率良く検査を行なうことができ、また、精度良く表面欠陥の検出を行なうことができる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】ウエブ状の被検査物の表面欠陥を検出する検査装置であって、走行する被検査物を支持する円柱形状を有する複数の検査ロールと、検査ロール上の被検査物の表面に光を照射する光源と、被検査物の表面から反射した光を検出する検出ユニットと、を備え、複数の検査ロールのそれぞれの周面に、該検査ロールと被検査物との間に入り込んだ空気を逃す凹凸が形成された溝部と凹凸が形成されていない柱面部とが形成され、溝部と柱面部とが各検査ロールの軸方向に並んで形成され、検出ユニットは、被検査物において柱面部上に位置する領域を検出領域とし、柱面部の位置が、複数の検査ロールそれぞれにおいて軸方向に異なる。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬパネルの欠陥検査を行うに際して、有機層の成膜直後に成膜の不具合を検知することを可能にする。
【解決手段】有機層１２に検査光２Ａを照射する光源２を基板１０に対して斜めに向けて配置し、検査光２Ａが入射しない位置に有機層１２を撮像する撮像手段３を配置し、検査光２Ａの照射によって有機層１２から発せられる光を撮像手段３にて検出し、撮像手段３によって得られる有機層１２の撮像信号に基づいて欠陥を検査する。 （もっと読む）

【課題】画像検査の検査精度を向上する。
【解決手段】画像検査装置では、撮像部により画像が撮像されて検査画像が取得されるとともに、元画像データに基づいて基準画像が生成される。第１積算部では、基準画像中の画像記録方向に並ぶ画素の値が積算されて基準積算値分布が取得される。第２積算部では、検査画像中の画像記録方向に並ぶ画素の値が積算されて検査積算値分布が取得される。感度補正部では、検査積算値分布の局所ピークを除去した後の検査積算値分布と基準積算値分布との比に基づいて、検査積算値分布６０の局所ピーク以外の複数の積算値を、基準積算値分布の対応する複数の積算値に相対的に近づける感度補正が行われる。比較部では、感度補正後の検査積算値分布６２から基準積算値分布が減算され、欠陥の検出が行われる。このように、画像検査部では、検査積算値分布６０に対して感度補正を行うことにより、検査精度が向上される。 （もっと読む）

【課題】テープに貼り付けられた検査対象物を透過照明で照明しつつ観察光学系により正確な情報を得ることのできる検査装置を提供する。
【解決手段】観察面Ｆｐが設定される観察光学系（１１）と、観察光学系側から観察面Ｆｐを照明する反射照明機構１２と、観察光学系とは反対側から観察面Ｆｐを照明する透過照明機構１４と、観察面Ｆｐに沿う平坦面（３５ａ）を形成する保持機構１３と、を備える検査装置１０である。保持機構１３は、透過照明機構１４からの照明光の透過を許しかつ平坦面の少なくとも一部を形成する透過部材（３５）と、透過部材を取り囲んで保持する保持部材（３４）と、を有し、保持部材は、観察光学系側へと突出しつつ平坦面を取り囲む環状突部３４ｈと、それと平坦面とにより規定される内方凹所３４ｌを外部に連通させる吸引孔３８と、を有し、吸引孔３８には、内方凹所３４ｌの空気を吸引する吸引装置３６が接続されている。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の表面に沿って欠陥検知手段を走査することで表面上の欠陥を検出する場合において、設備投資を抑えつつも欠陥の検出精度を高めること、並びにガラス基板の波打ち等に起因した種々の問題発生を可及的に回避することを可能とする。
【解決手段】ガラス基板１０と、このガラス基板１０の表面１０ａに対向配置した欠陥検知手段５とを相対移動させ、ガラス基板１０の表面１０ａに沿って欠陥検知手段５を走査させることにより、ガラス基板１０が欠陥を有するか否かを検査するに際し、ガラス基板１０を、上記相対移動方向と直交する断面において、その表面１０ａ側が凹状となる湾曲形態で保持する。ガラス基板１０は、例えば縦姿勢とされ、その上辺１１と下辺１２とを一対の端部保持手段３，４でそれぞれ保持することにより上記の湾曲形態で保持される。 （もっと読む）

【課題】多段積みされた裁断対象を精度良く検査できる裁断対象検査装置等を提供する。
【解決手段】多段積みされた裁断対象Ｂｋを検査する裁断対象検査装置において、所定形状のレーザ光Ｌ１、Ｌ２が投影された裁断対象の画像データを取得し（Ｓ７）、画像データからレーザ光が投影された部分の画像を抽出し、抽出されたレーザ光の画像からレーザ光の投影形状の情報を算出し（Ｓ８）、所定形状の情報と投影形状の情報とに基づき、多段積みされた裁断対象の良否を判定する（Ｓ１１）。 （もっと読む）

【課題】溶接部の溶け分かれの有無を適切に検査可能な溶接部検査装置を提供する。
【解決手段】バスバー２１と端子２２とを溶接にて接合した検査対象物２における溶接部２３に対して、バー照明３２によってバスバー２１側から光を照射した状態、カラーカメラ４により溶接部２３を撮像する。そして、画像処理装置５にて、撮像画像（カラー画像）に対して溶接部（２３）に対応する検査領域を指定すると共に、指定した検査領域から周囲よりも高輝度となる高輝度領域を抽出し、さらに、抽出した高輝度領域に基づいて溶接部２３に溶け分かれが生じているか否かを判定する。この際、高輝度領域が検査領域におけるバスバー２１に対応する領域よりも端子２２に対応する領域側に存在する場合に、溶接部２３に溶け分かれが生じていると判定する。 （もっと読む）