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Fターム[2G051BB01]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 照明用光学系 (5,008) | 特定の配置、方向 (2,004)

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【課題】光ファイバの端面を容易に、かつ確実に観察し検査する。
【解決手段】光ファイバ10の端面10aを観察するための拡大レンズを備える本体部と、本体部に着脱可能であるとともに光ファイバ10を把持し、光ファイバ10の端面10aを観察するための鏡24が設けられた光ファイバ把持具2と、を備える。鏡24は、その鏡面24aが上側(拡大レンズが配される方向)から見て、光ファイバ10の延在方向に直交する面A(方向)に対して所定角度(θ2)傾斜している。 (もっと読む)


【課題】検査装置における照明装置の煩雑・且つ経験や勘に頼る非効率、不確実な調整作業を軽減し、論理的に最適化し、検査における生産性を向上させ、結果として不良率を下げ、稼働率を上げる。
【解決手段】センシングの為のカメラやセンサ200,201を備えた、検査装置に於いて、単色〜主に多色、異波長の光源を備えた照明100と100を複数軸方向に可動する機能102、103、104、場合により専用受光センサ107を備えた照明部分とそのコントローラ101とPC用ソフトウエア105を考案し、照明100の発光色、発光波長、発光光量、照射距離/範囲、照射角度、などを能動的に変化させ、記憶し、呼び出し、比較し、判断する機能を有する。 (もっと読む)


【課題】半導体ウェハ等の被検査体の端部の欠陥の種類を効率的に自動判別することが可能な検査装置を提供する。
【解決手段】 被検査体の端部を第1の偏光状態の光で照明する照明部と、前記端部で拡散反射される反射光の第2の偏光状態の成分を透過する透過部と、前記透過部を透過した成分により前記端部の第1の像を形成する第1の像形成部と、を有することを特徴とする端部検査装置である。 (もっと読む)


【課題】LEDからなる照明手段を用いて塗装面の焼き付きを防ぐとともに、車輌の塗装面の色の違いによる検査ムラをなくして検査率を向上させ、しかも、検査装置の光源の放熱性能を向上させて熱暴走などに起因する故障や低寿命化を防止した被塗物の塗装面検査装置及びその装置を用いた被塗物の塗装面検査方法を提供する。
【解決手段】被塗物の塗装面に、該塗装面の色彩に応じた発光色を照射可能な光源としてのLEDを有するLED保持装置を備え、前記LEDにより照射した光の前記塗装面からの反射光に基づいて被塗物の塗装面を検査可能とした被塗物の塗装面の検査装置であって、前記LED保持装置は、発色の異なる複数種のLEDを複数個ずつ環状に配置するための保持基盤と、この保持基盤の背後に所定間隔をあけて配設した複数の放熱板と、前記保持基盤及び前記放熱板を挿貫して連結固定するための縦杆と、を具備することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】基板表面の離散的であって線状に分布する欠陥(線状スクラッチ欠陥)を他のランダムに分布する微小な欠陥と区別して分類することを可能にする。
【解決手段】基板表面欠陥検査装置1000は、基板1を載置して回転可能なステージ手段190と、基板1に光を照射する照明光源110と、基板1からの反射・散乱光を検出する検出手段120,130,140と、検出される信号を増幅してA/D変換するA/D変換手段151,152,153と、このA/D変換手段で変換された検出器から出力される信号を処理して基板上の欠陥を検出して検出した欠陥を分類する欠陥検出手段160とを備えて構成し、欠陥検出手段160は、検出器から出力される信号を処理して基板の表面の微小な欠陥を抽出し、この抽出した微小な欠陥の中から線状の領域に離散的に存在する線状欠陥を検出するようにした。 (もっと読む)


【課題】透明体シート状物表面に発生した曲率変化の小さな凹凸状欠陥を、最も鮮明な明暗像になる状態で結像させることにより、欠陥を漏れなく検出し、信頼性の高い欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】走行する透明体のシート状物表面に発生した凹凸状欠陥の検査において、走行する透明体のシート状物表面に発生した凹凸状欠陥の検査において、光源から発した平行光の照射方向に配置したミラーによって反射させる機構を有した照明手段と、この平行光をシート状物の走行方向に対して斜めに透過させ、透過した光を結像させるための曲面状のスクリーンと、スクリーンの曲面に結像した光を、合焦するように、スクリーンの曲面の曲率半径上に合焦点を起点として角度調節できる機構を有する撮像手段と、撮像手段によってスクリーンに結像した光を明暗信号として検出する信号処理手段とを具備することを特徴とするシート状物の表面欠陥検査装置。 (もっと読む)


【課題】数秒/枚程度で生産されるパターンドメディアを全面を全数に亘って検査することを可能にするパターンドメディアの形状欠陥検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】基板に形成された寸法が100nm以下の繰り返しパターンを検査する方法において、基板に複数の波長成分を含む光を照射し、この光を照射した基板からの反射光を分光して検出し、この分光して検出して得た信号を処理して分光反射率を求め、この求めた分光反射率から評価値を算出し、予め求めておいた評価値とパターン断面形状との関係に基づいて分光反射率から算出した評価値からパターンの形状欠陥を判定するようにした。 (もっと読む)


【課題】ウェーハ上の欠陥分布を検査する表面検査装置において、欠陥検査と同時進行でウェーハの厚さとフラットネスを測定できるようにする。
【解決手段】本発明は、ウェーハを固定し、回転及び直線移動を行う搬送系と、前記直線移動の経路上に配置されたウェーハ上の欠陥の位置とサイズを特定する散乱光学系と、前記直線移動の経路であって、前記散乱光学系よりも前に配置されたフラットネス測定系と、を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】立体角をわずかに変えて観察した際に表面塗装に生じる変化も表面特性検査の際に分解できるようにすることである。
【解決手段】本発明は、表面の光学的特性を検査するための装置に関するものであり、所与の一つ目の立体角で検査表面に光を照射する、少なくとも一つの主照射装置を備え、表面に照射され、そこから反射して戻ってきた光を補足するための少なくとも一つの主検出装置を備え、このとき主検出装置は位置分解して光を検出することができ、所与の二つ目の立体角で表面に対して配置されており、少なくとも一つの副照射装置または副検出装置を備え、これは所与の三つ目の立体角で光を検査表面に照射するか、または表面に照射されてここから反射して戻ってきた光を検出する。 (もっと読む)


【課題】
検査対象基板において不規則な回路パターン部分では、パターンからの散乱光によって欠陥信号が見落とされ、感度が低下する課題があった。
【解決手段】
光源から出射した光を検査対象基板上の所定の領域に所定の複数の光学条件をもって導く照明工程と、前記所定領域において、前記複数の光学条件に対応して生じる複数の散乱光分布の各々につき、所定の方位角範囲および所定の仰角範囲に伝播する散乱光成分を受光器に導き電気信号を得る検出工程と、該検出工程において得られる複数の電気信号に基づいて欠陥を判定する欠陥判定工程とを有することを特徴とする欠陥検査方法を提案する。 (もっと読む)


【課題】ウェーハ上のLPDを検出して結晶欠陥と付着異物とに分類する精度を向上させる方途を提供する。
【解決手段】ウェーハの表面に対して垂直の方向に照射させる垂直照射光の該照射表面からの散乱光のうち、高角度範囲に散乱する散乱光の検出強度から照射表面における輝点欠陥の第1のサイズを求め、照射表面に対して斜めの方向に入射させる斜め照射光の該照射表面からの散乱光のうち、低角度範囲に散乱する散乱光の検出強度から輝点欠陥の第2のサイズを求め、輝点欠陥を、第2のサイズに対する第1のサイズの比および予め求めた閾値に基づいて結晶欠陥と付着異物とに分類するに際し、垂直入射光の波長と斜め入射光の波長とを異ならせるようにする。 (もっと読む)


【目的】マスク面上のパターン領域と非パターン領域の間に段差があるマスクであっても、効率的に検査可能なマスク欠陥検査装置およびこれを用いたマスク欠陥検査方法を提供する。
【構成】マスク面に対するフォーカス合わせを行うフォーカス合わせ機構と、パターン画像の取り込み時の検査視野走査方向上の検査視野を挟む第1箇所と第2箇所のマスク面におけるフォーカスを、それぞれ検出する第1のフォーカス検出部および第2のフォーカス検出部と、第1および第2の箇所が、パターン領域と非パターン領域とのいずれに位置するかを判定する判定部と、判定部の判定結果に基づき、フォーカス合わせ機構に対しフォーカス合わせ方法を指示するフォーカス合わせ方法指示部と、を有することを特徴とするマスク欠陥検査装置およびこれを用いたマスク欠陥検査方法。 (もっと読む)


【課題】シート部材の性状に左右されることなく、シート部材の表面における微少な歪みを検出することが可能なシート部材の歪み検査装置及び歪み検査方法を提供する。
【解決手段】シート部材2の一面2aに対向して配置され、一面2a上に、複数の点状またはスポット状の光被照射領域をマトリックス状に照射可能な光源3と、シート部材2の一面2aに対向して配置され、一面2aに照射された複数の前記光被照射領域の相互の間隔及び/または前記光被照射領域の照射範囲の形状を検出可能な検出装置4と、検出装置4によって検出された光被照射領域の相互の間隔及び/または光被照射領域の照射範囲の形状に基づいて、シート部材2の一面2aにおける歪みの有無を判定する判定手段と、を具備してなるシート部材の歪み検査装置1を採用する。 (もっと読む)


【課題】半導体ウェハ上に形成されたチップ内の直接周辺回路部の近辺に存在する致命欠陥を高感度に検出することができる欠陥検査装置及びその方法を提供する。
【解決手段】被検査対象物を所定の光学条件で照射する照明光学系と、被検査対象物からの散乱光を所定の検出条件で検出して画像データを取得する検出光学系とを備えた欠陥検査装置において、前記検出光学系で取得される光学条件若しくは画像データ取得条件が異なる複数の画像データから領域毎に複数の異なる欠陥判定を行い,結果を統合して欠陥候補を検出するようにした。 (もっと読む)


【課題】周期的に繰り替えられて形成された部分を有するワークの撮像及び検査に要する時間を短縮しつつ、欠陥の見逃しを低減できるワーク検査装置及びワーク検査方法を提供する。
【解決手段】ワークWを一定の回転速度で回転させつつ、一定の間隔で出力される基準パルスに基づいた一定の周期毎に、ワークWの歯部W1を少なくとも2カ所以上含むように撮像し、撮像したk(kは整数)番目の画像と(k+1)番目の画像との差分データに基づいて欠陥を検出する構成で、撮像エリアAR1内の基準の歯部W1A〜W1Dに対して斜めに光を照射する照明装置100を備えるようにした。 (もっと読む)


【課題】人の目に近い、生体鉱物の品質管理や評価、農産物の栽培・品質管理や評価を課題とし、色彩画像撮像・解析システムを提供する。詳細には、対象物の表面反射を除去又は軽減する色彩画像撮像システムを提供する。又、Color HistogramとCDEに基づく色彩画像解析システムを提供する。
【解決手段】(A)色彩画像撮像システム及び/又は(B)色彩画像解析システムからなる色彩画像撮像・解析システムであって、(A)色彩画像撮像システムは、立体拡散光源を有し、該光源内に対象物を設置すること、(B)色彩画像解析システムは、CDEに基づく画像解析工程と、Color Histogramに基づく色彩解析工程とからなることを特徴とするシステムにより上記課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】周期性のあるパターンをもつ被検査体のムラ欠陥を検出するためのムラ検査方法の、映り込みの発生を抑制して、有効な検査範囲の拡大、良好な欠陥の検出が可能な照明角度を選択できるようにすること、また照明角度の制限を減らすことによって、ムラ欠陥と正常部との画像コントラストの向上、結果的にムラ検出能力の向上に寄与すること。
【解決手段】周期性パターンが形成された基板に、照明光を複数の角度で斜めに照射し、前記周期性パターンにより生じる回折光を用いて検査するムラ検査方法であって、被検査体である周期性パターンとそれ以外の周辺パターンとの位置関係と、照明投光角度から、映り込みの生じる位置を予測し、映り込みが無い位置でムラ検査を実施することができる検査装置。 (もっと読む)


【課題】 本発明はポリゴンミラーを回転させるスキャナモータの回転数を問題が生じない回転数に設定しても、その3倍以上の回転数に設定したのと同等な高速スキャンが可能で、微細な欠陥を検出することができる欠陥検査方法および欠陥検査装置を得るにある。
【解決手段】 搬送装置で搬送される検査物を、ポリゴンミラーを搭載したスキャナモータを使用した縦長のビームスポットを走査して行なう第1のスキャン工程と、この第1のスキャン工程の縦長のビームスポットの走査方向とは90度異なる方向で、前記検査物をポリゴンミラーを搭載したスキャナモータを使用した縦長のビームスポットを走査して行なう第2のスキャン工程と、この第2のスキャン工程のデータと前記第1のスキャン工程のデータとを座標毎に二乗平均でデータを合成するデータ合成工程とで欠陥検査方法を構成している。 (もっと読む)


【課題】被検査物の表面の曲率に応じた検査ヘッドの動作が可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】円筒形状で、その内周面又は外周面の少なくともいずれか一方に軸線方向に沿って形成された軌道面100aを有する被検査物100をその中心軸線の周りに回転自在に支持する支持ユニット6と、外周に設けられた開口部11aから検査光を射出する検査ヘッド4と、を有し、検査ヘッド4が被検査物100の内周面又は外周面の軌道面100aに向けて検査光を照射し、その反射光の光量に基づいて被検査物100の表面を検査する表面検査装置1であって、被検査物100の表面に対し、軌道面100aの曲率中心Oを中心として検査ヘッド4を回転駆動させる駆動ユニット5を備えた。 (もっと読む)


【課題】検査対象のビンの中に、正常品のビン(充填時に設定した形状のビン)とは異なるビン(異種ビン:設定外の形状のビン)が含まれているときに、異種ビンが存在することを簡単に検知することに適したビン検査装置を提供する。
【解決手段】立設されているビンに対して上側から装着される検査ヘッドと、予め定められている鉛直方向の異なる位置に設置されていて、前記ビンに対して上側から装着されている状態の前記検査ヘッドの方向に向けて、それぞれ水平方向に検査光を発射する複数個の光電センサとを備えており、前記複数個の光電センサから鉛直方向の異なる位置で、水平方向に発射される複数本の検査光が前記検査ヘッドの上端側で遮光されるか否かを利用して、前記検査ヘッドが装着されたビンが正常品のビンであるか否かを把握するビン検査装置。 (もっと読む)


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