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Fターム[2G051BB01]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 照明用光学系 (5,008) | 特定の配置、方向 (2,004)

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【課題】ナットの表面で反射した反射光からナット表面の傷の有無を検出する部品傷検出装置の提供。
【解決手段】所定位置に配置された被検査部品に光を照射する投光装置27a,27bを配置するとともに、被検査部品の反射光を受ける位置にCCDカメラ29a,29bを配置し、被検査部品の反射状態を画像情報としてCCDカメラ29a,29bで取り込み、この画像情報から被検査部品表面の傷の有無を判定するように構成した部品傷検査装置1であって、被検査部品を載置して回転させる回転台を設け、回転台24a,24bが回転する間CCDカメラ29a,29bにより所定回転角毎被検査部品の反射状態を取り込むように構成してある。 (もっと読む)


【課題】食品を包装するフィルム状の包装袋の噛み込みやシワに起因するシール不良等を良好に判別できるのは勿論、既存の設備に簡単に後付け適用可能な光学検査装置の提供。
【解決手段】搬送機構に設けられる間隙部においてこの搬送機構により搬送される被検査物1に照明光を照射する照明部2と、前記間隙部において前記被検査物1を撮像する撮像部3と、この撮像部3で撮像した前記被検査物1の撮像データをもとに画像処理を行う画像処理部と、この画像処理の結果をもとに良否判定を行う良否判定部とを備えた光学検査装置であって、前記間隙部を通過する前記被検査物1の通過を検知可能な通過検知部6を、その光軸が前記間隙部を前記搬送機構の幅方向において傾斜状態で通過するように設ける。 (もっと読む)


【課題】容易かつ確実にアンプルの封止部及び溶閉境界部の検出ができる封止部検出装置及び封止部検出システム及び封止部検出方法を提供する。
【解決手段】本発明の溶閉境界部検査システム100は、画像処理装置1を含んで構成され、アンプル2、アンプル配置装置3、アンプル供給装置4、アンプル中心線8B上に配置されるカメラ5、リング状照明6及び撮像処理装置7とから構成される。アンプル配置装置3は、アンプル2の枝先部2Aが、水平面2Bと間隙を置いた水平面5Bを備えるリング状照明5に対して、リング状照明5の中心線に位置するようにアンプル2を配置する。そして、撮像処理装置7によって、封止部2Cに照射された水平照射光9に基く、溶閉境界部2Dによる乱反射光によってアンプル2の封止部2Cを撮像し、画像処理装置1によって、封止部2Cおよび溶閉境界部2Dについての撮像画像20を得る。 (もっと読む)


【課題】
本発明は、本高速でパターンドメディア表面やスタンパのパターン形状の整形不良を検査できるパターン形状検査装置または検査方法並びにパターンドメディアディスク製造ラインを提供することである。
【解決手段】
本発明は、パターンが形成された被検査対象を載置して回転させながら半径方向に移動させ、前記被検査対象に対して遠紫外光を含む広帯域の照明光を斜め方向から照射し、該照射光学系で照射された被検査対象から発生する0次反射光を検出し、前記検出された0次反射光を一定の波長幅を有するチャンネル分光データを得、該チャンネル分光データが設定許容範囲内に存在するか判断し、前記判断結果を基に前記被検査対象に形成されたパターン形状を検査することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】容易かつ確実にアンプルの気泡又はツノの検出ができる気泡又はツノの検出方法及び検出システムを提供する。
【解決手段】気泡又はツノ等の欠陥検出システム100は、画像処理装置1を含んで構成され、アンプル2と、アンプル配置装置3と、アンプル供給装置4と、カメラ5と、リング状照明6及び撮像処理装置7を有する。アンプル配置装置3は、アンプル2の枝先部2Aが、水平面2Bと間隙12を置いた水平面5Bを備えるリング状照明5に対して、リング状照明5の中心線8に位置するようにアンプル2を配置する。撮像処理装置7によって、天面2Cに照射された水平照射光9に基く天面に形成された気泡14又はツノ等の欠陥による乱反射光によってアンプル2の天面2Cを撮像し、画像処理装置1によって天面2Cに形成された欠陥についての撮像画像を形成する。 (もっと読む)


【課題】半導体ウェーハの表面欠陥を簡便に高い信頼性をもって検査し得る手段を提供すること。
【解決手段】検査対象である半導体ウェーハの表面に向かって光源部から検査光を照射すること、ウェーハ表面の検査光が照射された照射領域からの散乱光を検出すること、ならびに、検出された散乱光に基づきウェーハ表面の欠陥の有無および/またはその程度を評価すること、を含む半導体ウェーハの表面検査方法。前記検査光をウェーハ表面に対して斜め方向からウェーハ半径以上の幅をもって入射させることにより、前記ウェーハ表面に、ウェーハ半径以上の幅を有しウェーハ中心を含む照射領域を形成し、前記ウェーハおよび光源部の少なくとも一方を移動させることにより前記検査光をウェーハ全面に走査させる。 (もっと読む)


【課題】電子部品の稜線部までも明瞭に撮像することできる外観検査装置を得る。
【解決手段】矢印a方向に間欠的に回転駆動される搬送テーブル20に形成された凹部21に直方体形状の電子部品120を1個ずつ収容し、該電子部品120の外観をCCDカメラ70で撮像する外観検査装置。凹部21は搬送テーブル20の上面及び外周面に開口しており、凹部21の側面21aとテーブル20の上面とからなる稜線部には傾斜面21bが形成されている。また、外周ガイド部材30の側面30aとテーブル20の上面とからなる稜線部には傾斜面30bが形成されている。この傾斜面21b,30bによって照明光yが電子部品120の稜線部にまで隈なく届くことになる。 (もっと読む)


【課題】形鋼のウェブ検査面の表面に存在する可能性のある表面欠陥を正確に検出すること。
【解決手段】本発明に係る表面欠陥検査装置は、変調された線状のレーザ光を照射して形鋼によって反射された線状のレーザ光を撮像し、形鋼の光切断像を生成する遅延積分型撮像装置により生成された光切断像から得られる縞画像を利用し、形鋼の表面の凹凸状態を表す形状画像と形鋼の表面での粗度の相違を表す輝度画像とを生成する画像生成部と、輝度画像に基づいて形鋼のフランジ面のエッジ位置を検出するエッジ位置検出部と、検出されたエッジ位置と、形鋼の形状に関する情報と、形鋼撮像装置と形鋼との位置関係に関する情報とを利用し、形状画像のフランジ面に対応する部分を不感帯として算出するエッジ不感帯算出部と、形状画像のうち不感帯をのぞく部分を表面欠陥検出対象部分とし、当該表面欠陥検出対象部分に存在する表面欠陥を検出する欠陥検出処理部と、を有する。 (もっと読む)


【課題】ワークの表面塗膜の下層の影響を受けずに、表面塗膜の検査精度を向上させる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】表面検査装置10は、ワーク30の表面に形成された特定の波長帯域を吸収する上塗りクリア塗膜40に前記特定の波長帯域の光を照射する照射部16と、照射部16によりワーク30に照射された光の反射光を撮像し、且つ、前記特定の波長帯域の光に対して感度を有する撮像部20と、撮像部20が撮像した画像を用いて、上塗りクリア塗膜40の状態を検査する画像処理装置22と、前記ワークの表面を、前記撮像部20に対して相対的に移動可能するアーム26とを備える。 (もっと読む)


【課題】部品実装機において電子部品のピンの先端部のみを鮮明に撮像できる撮像判定方法及び該方法を実現する部品実装機を提供すること。
【解決手段】光照射手段28による水平方向に照射されている光L内で電子部品CのピンPを移動させているので、例えばピンの移動を上下方向とすることにより部品本体B及びピンの外筒部での光の反射を防止でき、ピンの先端部のみを鮮明に撮像できる。さらに、ピンの移動開始から移動終了まで連続してピンを撮像するようにしているので、電子部品のピックアップ部位が異なってピンの先端部の上下方向の位置が異なっていたとしても、また、電子部品の製造ロットや製造メーカによって各ピンの長さにバラツキが生じていたとしても、全てのピンの先端部の累積画像から鮮明な画像を容易に取得できる。よって、ピンの形状や配置の良否、ピンの抜けや曲げや折れの有無等の検査を容易且つ高精度に行うことができる。 (もっと読む)


【課題】樹脂成分に依存して入射角度などを変更する必要がなく、鋼板地肌を精度良く検査すること。
【解決手段】樹脂被膜付き鋼板の表面検査方法は、所定の偏光角度で直線偏光されたシート状の光を被膜のブリュースター角度と所定の角度以上異なる入射角度で鋼板に照射する工程と、偏光角度0度の直線偏光を、入射光の正反射角度に対して所定の角度ずらした受光角度で撮像する工程とを含む。これにより、被膜からの反射が抑制され、被膜自体の異常を観察せず、鋼板の地肌を観察することができ、高精度な検査が可能になる。また、樹脂成分に依存して入射角度および受光角度を変更する必要がなく、鋼板地肌を精度良く検査することができる。 (もっと読む)


【課題】板厚の大きい透明な基板の欠陥の検査において、基板の周辺環境から検出光学系に入り込む外乱光ノイズの影響を無くし、欠陥の検出精度を向上させる。
【解決手段】 基板の表面へ照射する光線として第1の偏光成分を多く含むものを用い、それぞれの受光手段の前に第1の偏光成分のみを通過させる偏光手段及びこの光線の周波数成分付近の光のみを通過させるバンドパスフィルタ手段を設ける。照射光線が第1の偏光成分を多く含むものなので、基板の表面、内部又は裏面で散乱する各散乱光も第1の偏光成分を多く含むものとなる。そして、第1の偏光成分を多く含む散乱光のみが偏光手段及びバンドパスフィルタ手段を通過して受光手段に取り込まれるようになる。これにより、基板の周辺環境から検出光学系に入り込もうとする外乱光ノイズの影響は極力低減され、欠陥の検出精度を向上させることができるようになる。 (もっと読む)


【課題】検査装置の診断及び測定変数設定方法を提供する。
【解決手段】検査装置内に検査基板を装着する段階と、前記検査装置のカメラを介して取得された撮影イメージの明るさと画素数とを軸としたヒストグラムの幅がダーク領域及びブライト領域を避けるように調整する段階と、前記ヒストグラムが明るさ軸の方向においてグラフの中央に近いように調整する過程を通じて前記検査装置の照明強度を調整する段階と、を含むことを特徴とする検査装置の照明強度の設定方法。 (もっと読む)


【課題】鉛蓄電池用格子体に存在する形状変化を、バラツキなく高精度で検出できるばかりではなく、検出した鉛蓄電池用格子体の形状変化から、鉛蓄電池用格子体鋳造装置の異常、例えば、鋳造鋳型に塗布されている離型剤の寿命及び鋳造装置の不具合を迅速かつ適確に判定可能な、鉛蓄電池用格子体鋳造装置の異常判定方法を提供するものである。
【解決手段】鋳造された鉛蓄電池用格子体の形状変化を検出して、鉛蓄電池用格子体鋳造装置の異常を判定する方法であって、(a)鉛蓄電池用格子体の形状変化検出領域を照明する工程、(b)照明された形状変化検出領域を撮像する工程、(c)撮像された画像に2値化処理及び任意的に収縮処理を施す工程、(d)上記処理後の画像から鉛蓄電池用格子体の形状変化を検出する工程、並びに(e)検出した形状変化から、鉛蓄電池用格子体鋳造装置の異常を判定する工程を含む、鉛蓄電池用格子体鋳造装置の異常判定方法。 (もっと読む)


【課題】金属試料の検査面をエッチング処理して欠陥を現出させ、撮像装置によって検査面を撮像することにより欠陥を検出するに際し、検査面撮像画像における非欠陥部の明度を均一かつ明るくすることにより、欠陥部を明瞭に検出することのできる金属の欠陥検出方法及び欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】検査面2に対面するように反射板3を配置し、反射板3の検査面2に面する側(反射面4)については拡散反射率kが70%以上であり、検査面2を撮像する撮像装置6を配置し、照明用の光源5を配置して光源5から反射面4に光を照射しつつ、撮像装置6によって検査面2を撮像する。反射面4の大きさを十分な大きさとすることにより、検査面に幅広い方向から光が均等に入射するので、検査面2の非欠陥部9のいずれの部位についても十分な明度が確保される。そのため、欠陥部8を十分なコントラストで撮像することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】表面検査ツールおよび方法を提供する。
【解決手段】検査ツールの実施形態は、光ビームをワークピース上に導くことによって、前記ワークピースの欠陥から散乱された光、および前記ワークピースの通常の散乱パターンにしたがって散乱された光を含む、散乱された光を発生する照射源を含む。この実施形態は、前記ワークピースから散乱された光を受け取り、前記ワークピースの欠陥から散乱された前記光を、この光を電気信号に変換する前記フォトセンサに選択的に導くプログラム可能な光選択アレイを含む。処理回路は、前記光検出要素からの電気信号を受け取り、ワークピースの欠陥の特徴付けを含みえる前記ワークピースの表面分析を行う。プログラム可能な光選択アレイは、以下に限定されないが、反射器アレイおよびフィルタアレイを含みえる。本発明はまた関連付けられた表面検査方法も含む。 (もっと読む)


【課題】長尺物品の外観検査及び修復作業を短時間で効率よく行うことができる長尺物品の製造方法、及び、当該製造方法に好適な外観検査装置を提供する。
【解決手段】連続して延長する長尺物品の製造方法であって、長尺物品の延長方向に搬送される長尺物品の表面を光切断法により撮像して撮像画像を取得する撮像ステップと、撮像画像を延長方向に所定の長さの検査画像に分割する分割ステップとを含み、検査画像は隣接する検査画像と重複する重複部を有し、かつ、当該重複部が予め規定された長尺物品の延長方向のキズ検知基準長さの半分よりも長くなるように分割するようにした。 (もっと読む)


【目的】 透光性物品における光学的な不均一性の有無を正確に検査できる透光性物品の
検査方法を提供する。
【構成】 透光性物品に200nm以下の波長を有する検査光を導入した場合に、該透光
性物品内部で前記検査光が伝播する光路に前記局所又は局部的に光学特性が変化する部位
がある場合にこの部位から発せられる光であって前記検査光の波長よりも長い光を感知す
ることにより、前記透光性物品における光学的な不均一性の有無を検査する。 (もっと読む)


【課題】 外観が類似しているブツと塗装後の塵埃とを区別して検査できる欠陥検査技術を提供する。
【解決手段】
入射光の角度を変化させて対象物の一定の領域を照射する照射手段と、入射光が対象物に照射されたときの画像を撮像素子で取得する撮像手段と、撮像手段によって取得した画像から欠陥候補を抽出し、該欠陥候補の特性に基づいてブツと塗装後の塵埃とを区別する欠陥種別を判定する欠陥判定手段を有することを特徴とする欠陥検査装置に関する。 (もっと読む)


【課題】この発明は、長尺状の被検査部の外面全周に異常が有るか否かを正確且つ確実に判定することができ、検査精度の向上を図ることができる被検査物の外観検査方法及びその外観検査装置の提供を目的とする。
【解決手段】搬送路2上の検査区間Cに搬送されるエナメル線Aの外面全周を、拡散反射板3が拡散及び反射する光源4からの光で均一に照光する。エナメル線Aの上側周面Aaと、反射部6に映り込ませた左右周面Ab,Acとを撮像カメラ5で撮像する際、光透過部7により反射部6が反射する左右周面Ab,Acの光路長L2を、上側周面Aaの光路長L1と同一又は近似する長さに調整する。これにより、エナメル線Aの上側周面Aa及び左右周面Ab,Acの画像を撮像カメラ5により鮮明に撮像することができ、その画像情報に基づいて、エナメル線Aの外面全周に異常が有るか否かを外観判定装置9で確実且つ正確に判定することができる。 (もっと読む)


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