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Fターム[2G051BB15]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 照明用光学系 (5,008) | 特定の分光技術の使用 (86)

Fターム[2G051BB15]に分類される特許

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【課題】パターン化位相差フィルムの欠陥を精度よく検出する。
【解決手段】投光機11と撮影装置12との間に、第1及び第2偏光板13,15を配置する。第1及び第2偏光板13,15の間に、検査対象のパターン化位相差フィルム20を配置する。撮影装置12側でフィルム20と第2偏光板15との間にλ/4波長板14を配置する。第2偏光板15を回転させて、第1偏光板13の透過軸をフィルム20の光学軸に対し45°傾けた状態で、第2偏光板15の透過軸を前記λ/4波長板14の光学軸に対して+45度にした第1状態で撮影装置12により第1画像を撮影する。第2偏光板15の透過軸をλ/4波長板14の光学軸に対して−45度にした第2状態で撮影装置12により第2画像を撮影する。第1画像と第2画像とを第1及び第2位相差領域が一致する位置で重ね合わせて合成する。得られた合成画像に基づき欠陥を検出する。 (もっと読む)


【課題】出来るだけ簡易な処理を用いて、表面粗さに差異を生じる表面欠陥を高速かつ効率的に検出する欠陥検出装置を提供すること。
【解決手段】被検査体Tに照射光を照射するアレイ状の光源3と、照射光が被検査体Tの表面で反射した反射光を検出する撮像手段2と、を備え、被検査体Tの表面に存在し正常面と粗度が異なる表面欠陥Dを検出する欠陥検出装置1において、アレイ状の光源3は、異なる特性を有する少なくとも3種類の照射光を照射するものであり、撮像手段2は、表面欠陥Dが鏡面状である場合、表面欠陥Dで反射した少なくとも3種類の照射光のうち特定の1種類又は2種類の照射光の受光量が残りの照射光の受光量よりも大きくなるように配置されている。 (もっと読む)


【課題】管内面の状態や寸法によらずに管内面を検査することができる管内面検査装置およびその検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の実施形態は、管2内面の検査箇所にパターンを有するパターン光P1を管2内面の周方向にわたって投影する投影手段11と、検査箇所に投影され反射されたパターン光を反射パターン光P2として投影する表示手段12と、反射パターン光P2の形状を観測する観測手段13とを備える。 (もっと読む)


【課題】テラヘルツ波の反射波を利用して金属の腐食を防ぐための塗膜や半導体ウェーハのエピ層等の積層物中の欠陥(気泡)検査を行う際に測定対象物の位置合わせを容易に行えるテラヘルツ波を用いた検査装置及び検査方法。
【解決手段】第1レーザ光の照射によりテラヘルツ波を発振するテラヘルツ波発振アンテナ5、第2レーザ光に時間遅延を与える時間遅延機構7と、第2レーザ光に基づいた検出タイミングでテラヘルツ波を検出し、検出したテラヘルツ波の強度に応じた検出信号を生成するテラヘルツ波受信アンテナ8、測定対象物100の位置と傾きとが所定の状態にあるか否かを検出する状態検出部、測定対象物の位置と傾きとが所定の状態にあり、時間遅延機構7で与えられる時間遅延を変化させた場合のテラヘルツ波受信アンテナで生成された検出信号に基づく時系列信号強度データのピーク値に基づいて測定対象物の欠陥の有無を検査する検査部部54を備える。 (もっと読む)


【課題】光沢面の角度の情報を光学的に明度と色に変換し、変換後の画像から得られる明度と色から光沢面の角度を抽出することにより、光沢面の外観の検査を容易にする。
【解決手段】光源1は、第1の偏光要素4を通して光沢を有する検査対象7に円偏光を照射する。撮像装置2は、楕円偏光を直線偏光にする第2の偏光要素5を通して検査対象を撮像する。処理装置3は、撮像装置2から撮像した画像から抽出される画素ごとの明度と色との情報を用いて検査対象7の表面の角度に換算する換算部33と、画素ごとの角度をグループ化することにより同じ角度を有した平面を抽出する面抽出部34とを備える。 (もっと読む)


【課題】欠陥の種類、材料、形状によらずコントラストを高くする。
【解決手段】実施の形態のパターン検査装置は、光源と、光透過率を変更可能な透過率制御素子と、ビームスプリッタと、偏光制御部と、位相制御部と、波面分布制御部と、検出部とを含む。前記ビームスプリッタは、前記光源から出射された光を分割し、検査対象のパターンが形成された基体と前記透過率制御素子とに照射し、前記基体からの反射光である信号光と、前記透過率制御素子からの反射光である参照光と、を重ね合わせて干渉光を生成する。前記偏光制御部は、前記参照光の偏光角および偏光位相を制御する。前記位相制御部は、前記参照光の位相を制御する。前記波面分布制御部は、前記透過率制御素子における前記参照光の波面分布を制御する。さらに、前記検出部は、前記干渉光を検出する。 (もっと読む)


【課題】繰り返しパターンの線幅の測定精度を向上させた表面検査方法を提供する。
【解決手段】所定の繰り返しパターンを有するウェハの表面に直線偏光を照射する照射ステップ(S102)と、直線偏光が照射されたウェハの表面からの反射光を受光する受光ステップ(S103)と、対物レンズの瞳面と共役な面において、反射光のうち直線偏光の偏光方向と垂直な偏光成分を検出する検出ステップ(S104)と、検出した偏光成分の階調値から繰り返しパターンの線幅を求める演算ステップ(S105)とを有し、演算ステップでは、瞳面における対角線上の瞳内位置および対角線外の瞳内位置での階調値から、繰り返しパターンの線幅を求める。 (もっと読む)


【課題】被検査物を治具などで掴んだり吸着することなく、円筒状の被検査物を、決まったセンサ位置にて、中心軸の周りで回転させ、全周面にわたって、また必要に応じて端部も同時に、欠陥検査が行えるようにする。
【解決手段】磁性材料からなる被検査物に磁界を印加し、その表面の欠陥部に生じた漏洩磁界の乱れを磁気センサを用いて検出する磁気探傷方法である。被検査物10は円筒状であって、その外周面が回転用ベルト12に接触しており、回転用ベルトを介して被検査物に対向している永久磁石14によって被検査物に磁界が印加されると共にその磁力により被検査物が回転用ベルトに引き付けられ、磁石をセンサ位置に停滞させた状態で回転用ベルトを動かすことにより、被検査物がセンサ位置に止まったままで回転用ベルトとの摩擦力で中心軸の周りに回転し、磁気16センサによって被検査物の周面を検査する。 (もっと読む)


【課題】
微小な欠陥を検出すること、検出した欠陥の寸法を高精度に計測することなどが求められる。
【解決手段】
光源から出射した光を、調整する照明光調整工程と、前記照明光調整工程により得られる光束を所望の照明強度分布に形成する照明強度分布制御工程と、前記照明強度分布の長手方向に対して実質的に垂直な方向に試料を変位させる試料走査工程と、照明光が照射される領域内の複数の小領域各々から出射される散乱光の光子数を計数して対応する複数の散乱光検出信号を出力する散乱光検出工程と、複数の散乱光検出信号を処理して欠陥の存在を判定する欠陥判定工程と、欠陥と判定される箇所各々について欠陥の寸法を判定する欠陥寸法判定工程と、前記欠陥と判定される箇所各々について、前記試料表面上における位置および前記欠陥の寸法を表示する表示工程と、を有することを特徴とする欠陥検査方法。 (もっと読む)


【課題】マルチスポットウエハ検査用照射サブシステムを提供する。
【解決手段】照射光ビーム34を複数の光ビームに分離する回折光学素子32と、前記複数の光ビームの光路に配置された補償回折光学素子40であって、前記補償回折光学素子は、前記回折光学素子と同じ回折角度で符号が反転した回折次数を有する、補償回折光学素子と、前記補償回折光学素子から出る前記複数の光ビーム36の光路に配置され、前記複数の光ビームのそれぞれの焦点を検査用ウエハ46に個別におよび同時に合わせる、1つまたは複数の屈折光学素子44と、を含む照射サブシステム。 (もっと読む)


【課題】
パルスレーザ光源から発射されるパルスレーザのパルス発振周波数よりも高いサンプリングレートで試料にダメージを与えることなく検査することを可能にする。
【解決手段】
パルス光源から発射されたパルス光の1パルス分の光を複数のパルスに分割し、この分割されたパルス光を試料に照射し、照射により試料から発生した散乱光を集光して検出し、試料からの散乱光を集光して検出して得た情報を用いて試料上の欠陥を検出する欠陥検出方法において、1パルス分の光を複数のパルス光に分割することを、分割した各パルス光のピーク値がほぼ一定になるように制御して分割するようにした。 (もっと読む)


【課題】異なるパラメータを使用して試験片の検査を行う方法とシステムを提供する。
【解決手段】コンピュータによって実施される方法は、選択された欠陥に基づいて検査のための最適パラメータを決定することを含む。また該方法は、検査に先行して、検査システムのパラメータを最適パラメータに設定する。別の該方法は、約350nmより下の波長を有する光と、約350nmより上の波長を有する光を用いて試験片を照明する。また該方法は、試験片から収集された光を表す信号を処理し、試験片上の欠陥または工程の変動を検出する。試験片を検査する1つのシステムは、広帯域光源504に結合された第1の光学サブシステムと、レーザ503に結合された第2の光学サブシステムを含む。またこのシステムは第1と第2の光学サブシステムから、光を試験片上に集束させる対物鏡507に光を結合するように構成された第3の光学サブシステムも含む。 (もっと読む)


【課題】格子欠陥等のステップバンチング以外の欠陥とステップバンチングとを個別に検出できる検査装置を実現する。
【解決手段】ステップバンチング以外の欠陥を検出する第1検査モードとステップバンチングを検出する第2の検査モードを有する。第1の検査モードでは、微分干渉光学系のシャーリング方向を調整し又は基板を支持するステージの回転角度を調整することにより、微分干渉光学系のシャーリング方向をステップバンチングの延在方向と平行に設定する。これにより、ステップバンチング以外の欠陥が検出される。また、第2の検査モードでは、微分干渉光学系のシャーリング方向をステップバンチングの延在方向と平行から外れた状態に設定する。この状態において走査を行い、微分干渉画像を撮像する。そして、画像処理工程において、ステップバンチングの延在方向と直交する方向の輝度変化を強調する画像処理を実行し、ステップバンチングを検出する。 (もっと読む)


【課題】 被検対象の物体にはない特定成分を確実に選択できるようにして異物を確実に特定できるようにし、物体中に異物が混入しているか否かを確実に判別できるようにして判別精度の向上を図る。
【解決手段】 被検対象の物体に、物体を構成する成分以外の特定成分を含む異物が混入しているか否かの判別を行なうものであって、予め、異物有りのサンプル物体と異物無しのサンプル物体とに近赤外線を照射し、サンプル物体からの反射光あるいは透過光を受光し、受光した光の吸光度における二次微分スペクトルの統計学的解析により特定成分に起因する帰属波長に係る判別式を算出しておき、被検対象の物体に近赤外線を照射し、被検対象の物体からの反射光あるいは透過光を受光し、受光した光の吸光度を測定し、これらの吸光度と判別式とから算出された算出結果から物体中の異物の有無を判別する。 (もっと読む)


【課題】 外観が類似しているブツと塗装後の塵埃とを区別して検査できる欠陥検査技術を提供する。
【解決手段】
入射光の角度を変化させて対象物の一定の領域を照射する照射手段と、入射光が対象物に照射されたときの画像を撮像素子で取得する撮像手段と、撮像手段によって取得した画像から欠陥候補を抽出し、該欠陥候補の特性に基づいてブツと塗装後の塵埃とを区別する欠陥種別を判定する欠陥判定手段を有することを特徴とする欠陥検査装置に関する。 (もっと読む)


【課題】積層材料の剥離進行情報を取得する。
【解決手段】積層材料Aの層a〜c間に複数の光ファイバセンサ2aを一次元状あるいは二次元状に配置し、各光ファイバセンサ2aの検出状態に基づいて剥離の進行状態を示す情報を取得する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、分光反射強度に含まれる迷光成分を低減し、パターンドディスク表面のパターン形状を精度よくまたはパターン欠陥を確実に検出できるハードディスクメディアの検査装置または検査方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、パターンが形成されたハードディスクメディアの表面に複数の波長を含む光を照射し、波長毎に検出される反射光の強度を前記ハードディスクメディアからの反射光を検出する検出器に発生する迷光成分の強度で補正し、前記補正された反射光の強度から分光反射率を算出することを第1の特徴とする。前記補正は、前記ハードディスクメディアからの反射光の強度を前記反射光の短波長領域をカットした状態とカットしない状態で波長毎に検出し、両者の前記反射光の強度との差に基づいて行なうことを第2の特徴とする (もっと読む)


【課題】試料表面の色むらと凹凸とを容易に検査を行うことのできる表面欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】各々の領域ごとに複数の色相の光を照射することが可能な照明部と、前記照明部より検査対象に照射された反射光を検出するための撮像部と、を有し、前記各々の領域には、各々異なる波長を発光することが可能な複数の発光素子を有しており、前記照明部は、前記各々の領域において白色光を発光させるため前記複数の発光素子を発光させることができ、また、前記各々の領域において隣接する領域が異なる色相となる光を発光させるため前記各々の領域において前記複数の発光素子の一部を発光させることができるものであって、前記検査対象の表面における欠陥の検査を行うものであることを特徴とする表面欠陥検査装置により上記課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】フォーカス異常とドーズ量異常を区別して検出することが可能な表面検査方法を提供する。
【解決手段】所定の繰り返しパターンを有するウェハの表面に直線偏光を照射する照射ステップ(S104)と、直線偏光が照射されたウェハの表面からの反射光を受光する受光ステップ(S105)と、対物レンズの瞳面と共役な面において、反射光のうち直線偏光の偏光方向と垂直な偏光成分を検出する検出ステップ(S106)と、検出した偏光成分の階調値から繰り返しパターンの線幅および露光時のフォーカス状態を求める演算ステップ(S107)とを有し、演算ステップでは、瞳面において線幅との相関が高い瞳内位置での階調値から線幅を求めるとともに、フォーカス状態との相関が高い瞳内位置での階調値からフォーカス状態を求める。 (もっと読む)


【課題】欠陥検査の目的や欠陥の特性等に応じて、最適なカラー表示を行うことができる欠陥検査装置及び画像表示方法を提供する。
【解決手段】フォトマスクの画像を種々の照明条件のもとで撮像し、A/D変換器からの出力信号を用いてフォトマスクの欠陥を検出し、検出された欠陥を含むフォトマスクのカラー画像を出力する信号処理装置とを具える。信号処理装置は、輝度/カラーに関する変換テーブル作成手段23と、フォトマスクの輝度/カラー変換手段24とを有する。変換テーブル作成手段23は、2種類のマスクパターンにそれぞれ割り当てた第1及び第2の2つの階調値、及び、前記第1の階調値と第2の階調値との間の輝度階調中に割り当てられるRGBのカラー数又は階調スパンを含むパラメータに基づいて変換テーブルを作成する。 (もっと読む)


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