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Fターム[2G051BB17]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 照明用光学系 (5,008) | 光ファイバ(ライトガイド)の使用 (395)

Fターム[2G051BB17]に分類される特許

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【課題】露光時の走査方向の違いによって生じるスキャン精度の差異を求めることが可能
な表面検査装置を提供する。
【解決手段】露光によって作製されたパターンを有するウェハを照明光で照明する照明系
20と、パターンで反射した照明光を検出する受光系30および撮像装置35と、撮像装
置35により撮像されたウェハの回折画像からパターンの線幅を求め、走査方向によるパ
ターンの線幅の差を求める検査部42とを備えている。 (もっと読む)


【課題】より小型または簡単な構成で、より精度よく、半導体ウェハの表面に存在するソーマークの検出又は大きさの測定を行うことが可能な技術を提供する。
【解決手段】半導体ウェハWの表面に対して斜め方向から、入射面において平行光である光を照射し、ラインセンサカメラ3、4で半導体ウェハWの表面におけるライン状の領域3aを撮影する。このことで、半導体ウェハWの表面からの照射光の反射光または散乱光を検出し、この強度に基づいて、半導体ウェハWの表面における線状の凹凸を検出し、またはその大きさを測定する。光源装置1、2によって、ラインセンサカメラ3、4によって撮影されるライン状の領域3aのラインに平行な方向から光を照射し、線状の凹凸の方向がラインの方向に直交するように配置された状態で、半導体ウェハWの線状の凹凸を検出し、またはその大きさを測定する。 (もっと読む)


【課題】無害模様の表面状態が一定しない場合でも、無害模様を誤検出することなく被検査体表面の欠陥を検出すること。
【解決手段】本発明の表面欠陥検出装置1は、被検査体2に照射された照明光の反射光を受光して、被検査体2の表面画像を撮像する撮像部4と、撮像部4の光学条件を規定する偏光子5および検光子6の相対的角度を変更する偏光角調整部12と、撮像部4が撮像した被検査体2の表面画像を評価する画像モニター10と、画像モニター10による評価に従い検光子6の角度を入力する偏光角修正入力部11とを備える。 (もっと読む)


【課題】
表面検査装置では、より粒径の小さいPSLを使用することで、より小さい欠陥を検査することが可能となる。しかし、PSLの粒径は、有限である。このことから、従来の表面検査装置では、近い将来に半導体製造工程の検査で必要となるPSLに設定の無いほど小さい粒径の欠陥をどのように検査するかということに関しては配慮がなされていなかった。
【解決手段】
本発明は、被検査物体で散乱,回折、または反射された光の、波長,光量,光量の時間変化、および偏光の少なくとも1つを模擬した光を発生する光源装置を有し、前記光を表面検査装置の光検出器に入射させるより微小な欠陥を検査することができる。 (もっと読む)


【課題】連続的に走行するシートに発生するキズ欠点を高精度に検査できる検査装置を提供する。
【解決手段】ライン状光線を照射する光照射手段と、前記ライン状光線の一部を受光する受光手段と、前記受光手段で受光した信号に応じてキズ欠点を検出する画像処理手段とを備え、かつ、前記光照射手段と前記受光手段とを同時に、シートと平行を維持した状態で回転させる回転手段を設けることを特徴とするシートにおけるキズ欠点検査装置、とすることにより、連続的に走行するシートに発生する欠点を高精度に検出することができる。 (もっと読む)


【課題】 半導体ウェーハ等の板状部材の外周エッジ部を適切に検査することを可能とした表面検査装置を提供する。
【解決手段】 半導体ウェーハ検査装置10は、半導体ウェーハ100の外周エッジ部分101に対向して配置される撮像レンズ22と、撮像レンズ22を介して半導体ウェーハ100の外周端面に対向して配置される撮像面24と、半導体ウェーハ100の第1外周ベベル面101bの像を撮像レンズ22を介して撮像面24に結像させるミラー12と、半導体ウェーハ100の第2外周ベベル面101cの像を撮像レンズ22を介して撮像面24に結像させるミラー14と、半導体ウェーハ100の外周端面101aの像を撮像レンズ22の中央部を介して撮像面24に結像させる補正レンズ26と、外周端面101aより第1外周ベベル面101b及び第2外周ベベル面101cの方が明るくなるように、これらを照明する照明ライトガイド灯光部18とを有する。 (もっと読む)


【課題】異なる反射率を示すものが被検査物に含まれる場合でも、検査を実施することのできる検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、感度補正係数を前記被検査物の反射率毎に複数種類予め記憶する感度補正係数記憶工程と、被検査物の反射率の情報を取得する情報取得工程と、前記情報取得工程で取得した前記反射率の情報に対応する感度補正係数を、複数種類予め記憶した前記感度補正係数の中から対応感度補正係数として選択する感度補正係数選択工程と、前記被検査物で反射した反射光を受光して、該反射光の受光量に基づく出力信号を取得する信号取得工程と、前記信号取得工程で取得した前記出力信号を、前記対応感度補正係数を用いて補正する補正工程と、前記補正工程で補正した前記出力信号に基づいて前記被検査物の良否を判定する判定工程と、を含む検査方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】管内面の状態や寸法によらずに管内面を検査することができる管内面検査装置およびその検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の実施形態は、管2内面の検査箇所にパターンを有するパターン光P1を管2内面の周方向にわたって投影する投影手段11と、検査箇所に投影され反射されたパターン光を反射パターン光P2として投影する表示手段12と、反射パターン光P2の形状を観測する観測手段13とを備える。 (もっと読む)


【課題】内部空間形成体内側の観察対象部にレーザ光を結像させつつ、レーザ光の結像サイズを調節可能であるとともに、レーザ投光装置を狭隘な点検穴から内部空間形成体内へ挿入できるようにする。
【解決手段】内部空間形成体3内へレーザ光を投光するレーザ投光装置20は、バリフォーカル光学系7を有する。バリフォーカル光学系7は、複数のレンズ体11a,11b,11cを有する。各レンズ体は、レンズ12と、該レンズを保持するとともに光軸方向に移動可能な保持移動片13a,13b,13cと、を有する。アクチュエータ19a,19b,19cが、ぞれぞれ、光軸方向に保持移動片を駆動することにより、内部空間形成体3内側でのレーザ光の結像位置と結像サイズを調節する。各保持移動片において対応するアクチュエータから駆動力を受ける駆動力伝達部分13a1,13b1,13c1は、周方向において互いにずれており、各アクチュエータは、光軸方向から見て、対応する駆動力伝達部分に重なる。 (もっと読む)


【課題】 孔内に挿入される導光棒に照明と受光とを行なわせて光学系を一つとし、構造を簡素化して部品数を低減するとともに、部品精度の要求を抑えて組立を簡単にして製造コストを低減した安価な孔内周面撮影装置を目的とするものである。
【解決手段】 光源光を拡散光として導光棒5の基端面に入射させる反射鏡7bを導光棒5の基方部周縁に設け、また、導光棒5が先端を受光と照明とを行なう円錐状面6とし、基端面を受光像投影面と光源入射面とされ、該導光棒5の基端面に入射された拡散光を全反射させて先端の円錐状面6に伝達して孔内周面を拡散光により照明するとともに、拡散光により照明された孔内周面からの反射像を前記円錐状面6により受光したうえ、導光棒5の基端面に全反射投影された受光像を撮影する撮影装置4が導光棒5の基端に設けられるものである。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成でありながら、ワーク表面の明るさのムラを効果的に抑制し、無影照明等をより好適に行うことができる光照射装置を提供する。
【解決手段】光の照射対象である製品等のワークと外部観察点との間であって、かつ、それらを結ぶ観察軸線上に設けられた観察孔と、前記観察孔の周囲に設けられ前記ワークに光を照射する第1光源部と、前記外部観察点側であって前記観察孔に臨む位置に、前記観察軸線に対して斜めに設けられたハーフミラーと、射出された光が前記ハーフミラーで反射し、前記観察孔を通って前記ワークに照射される位置に設けられた第2光源部と、前記観察孔内に嵌入された透明部材と、を備えているようにした。 (もっと読む)


【課題】光学的手法を用いて被処理基板の構造をより高精度に評価することができるプロセスモニター装置を提供する。
【解決手段】プロセスモニター装置11は、光を出射する光源部と、光の強度を検知可能な光検知部と、光源部から出射された光をウェハWまで導き、ウェハWから反射した反射波を光検知部まで導く第一光経路21と、第一光経路21と同等の光伝搬特性を有するように構成され、光源部から出射された光を、ウェハWを経由することなく光検知部まで導く第二光経路と、第二光経路を通して光検知部により検知された光の強度情報に基づいて、第一光経路21を通して光検知部により検知された光の強度情報を補正し、ウェハWの構造を解析するコントローラ17とを備える。 (もっと読む)


【課題】基板縁部の状態を簡単に早く検出することが出来る基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置100は、表面に膜を塗布した基板Wを保持し回転する回転テーブル5と、基板Wに光を照射する光照射手段2と、光照射手段2による基板W表面からの正反射光を受光し、撮像画像の信号出力する光電変換手段4と、を備える。そして、基板Wの回転中心を含んで回転中心から半径方向の一走査分の電気信号の回転手段一周分の検出値を加算して二次元画像を生成し、二次元画像の一方向に沿って設定された判定バンドから変化点を判断する。したがって、基板W上においてEBR線の良否を簡単に判断することができ、処理効率の良い検査が可能になる効果を奏する。 (もっと読む)


【課題】検査員の主観に依らずして客観的な基準により鏡面球体のショット玉を検出し、安定した検査精度を実現でき、検査の自動化によりインラインで全数検査を実施できる鋳物穴加工品の鏡面球体残留検査装置および方法を提供する。
【解決手段】鋳物穴加工品11の加工穴12の内部を照らす照明部と、加工穴内を撮像可能なCCDカメラ21と、ボアスコープ22を撮像対象加工穴12に挿入するXYステージ30と、CCDカメラ21で撮像した画像を画像処理する画像処理装置52を備え、画像処理装置52は、撮像した取得画像において、ハイライト領域を有し、かつハイライト領域を囲む周辺部位にハイライト領域よりも輝度値の低い環状の暗領域を有する画像領域を、鏡面球体像の候補領域として選択し、候補領域におけるハイライト領域の輝度値が上位閾値より高く、かつ暗領域の輝度値が下位閾値より低い場合に候補領域が真の鏡面球体像であると判断する。 (もっと読む)


【課題】光弾性を有する板状体の欠陥を良好に検出可能な欠陥検出装置を提供することができる。
【解決手段】欠陥検出装置は、光弾性を有する板状体Pに光を透過させることにより、該板状体Pの欠陥を検出する。欠陥検出装置は、板状体Pより前に光が透過する直線偏光子2と、板状体Pより後に光が透過する1/4波長板3aと、1/4波長板3aより後に光が入射し、透過軸が1/4波長板3aの遅相軸に対して45度傾いている直線偏光子3bと、を有する。 (もっと読む)


【課題】検査対象物中に混在する毛髪の検出精度が高められた毛髪検出装置を提供する。
【解決手段】検査対象物に対して1940nm〜2400nmの波長範囲から選ばれる複数波長の光を照射することで得られる反射スペクトルを用いて毛髪を検出する。毛髪の反射スペクトルは、波長2000nm、2120nm、2240nmにおいて反射強度が大きくなり、波長2060nm、2180nmにおいて低くなるため、反射スペクトルが上記のような特徴を有しているか否かを判定することによって毛髪を検出する方法が、毛髪の検出感度の向上に効果的である。 (もっと読む)


【課題】品質に問題とならないケーキ表面のケーキ崩れ、ケーキ片、表面凹凸により生じた影及び容器側面に付着したケーキ粉等と、品質に問題となる異物とを正確に識別して検出する。
【解決手段】ケーキ表面に対して一対のカメラ10,11を対角上に配置し、照明6はケーキ表面が均一に照射されるように拡散して片方のカメラ側に配置し、照明と反対側のカメラではケーキ崩れ、ケーキ片、表面凹凸部分に照明側のカメラに比べて影が出やすくする。異物は、ケーキ表面が照射されているため各々のカメラから明暗差を落とさず見ることができる。この特徴を利用して、双方のカメラで明暗差が発生している部分を異物として抽出し、片方のカメラのみで明暗差が発生している部分は、ケーキ崩れ、ケーキ片、表面凹凸による影と判定し、良品扱いとする。 (もっと読む)


【課題】 光源が点灯した後の一定時間において照度が安定しないという課題を解決し、従来にはなかったデジタル顕微鏡を提供する。
【解決手段】
デジタル顕微鏡1は、発光ダイオード34と、発光ダイオード34から出射された光を試料に照射するための光学系と、試料にて反射または散乱した光を光電変換して試料を撮像する撮像素子と、試料を複数回撮像するように撮像素子を制御する制御部35と、撮像素子にて撮像された画像を表示する表示部31とを備える。 (もっと読む)


【課題】被検査体の検査効率を低下させることなく異なる角度の走査画像を取得し、欠陥判定の精度を高める表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置は、被検査体の軸に沿って導かれたレーザ光を反射するミラー手段と、ミラー手段によって反射され、被検査体の内側表面に印加されて反射されたレーザ光を受光する受光手段と、ミラー手段を被検査体の軸と同軸で回転させて周方向走査を行う周方向走査手段と、ミラー手段を被検査体の軸に沿って移動して軸方向走査を行う軸方向走査手段と、ミラー手段の被検査体の軸に対する反射角度を変更する反射角度変更手段とを備えている。 (もっと読む)


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