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Fターム[2G051BC10]の内容

Fターム[2G051BC10]に分類される特許

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【課題】検査用基板を用いることなく照明部の照度の低下による検査の不具合が発生することを防ぐことができる技術を提供すること。
【解決手段】筐体内に設けられた載置台に載置された基板を被写体として撮像して検査を行う検査モードと、照明部の照度を確認するためのメンテナンスモードとの間でモードを選択するためのモード選択部と、前記筐体内に設けられ、前記照明部の光を撮像部の撮像素子に導光するための導光部材と、メンテナンスモード実行時に前記導光部材を介して撮像素子により取得した照明部の光の輝度が、予め設定された許容範囲内であるか否かを判定する判定部と、前記判定部により前記輝度が前記許容範囲から外れていると判定されたときに照明部の交換を要することを報知するための報知部と、を備えるように基板検査装置を構成する。 (もっと読む)


【課題】被検査物の比較的広い面積に光を照射して検査する場合であっても、ピンホールの場所によらず均一な検査感度で精度よくピンホールの有無を検査することができるピンホール検査装置を提供する。
【解決手段】複数の光源それぞれの輝度を互いに独立に複数階調で調整可能な光照射装置40と、光照射装置40の複数の光源によって面状に照射される照射光を検出する光源調整用の光検出装置30と、光源調整用の光検出装置30の検出結果に基づいて、光照射装置40の複数の光源によって面状に照射される照射光の光量が照射面において均一になるように前記複数の光源それぞれの輝度を複数階調で調整する制御部100と、制御手段100によって前記複数の光源の輝度が調整された光照射装置40から面状に照射され被検査物10を透過した漏れ光を検出するピンホール検査用の光検出装置31とを備える。 (もっと読む)


【課題】欠陥検査装置では、微細化につれて致命欠陥の信号強度が減少するので、SN比を確保するには、ウェハの散乱光によるノイズを低減する必要がある。散乱源であるパターンエッジラフネスや表面ラフネスは、ウェハ全体に広がっている。そのため、ノイズを低減するには、照明領域を縮小するのが有効であることを本発明では見出した。すなわち、照明領域をスポット状とし、スポットビームの寸法を縮小するのが有効であることを本発明では見出した。
【解決手段】時間的・空間的に分割した複数のスポットビームを試料に照射する。 (もっと読む)


【課題】多孔板の表面における汚れ、傷、めっき不良、異物の付着等を正確に検出することができる多孔板表面検査方法及び装置を提供すること。
【解決手段】多孔板Wの表面側から反射用の照明光を照射するとともに、多孔板Wの裏面側からバックライト用の照明光を照射して、多孔板Wの表面Waを撮像部4で撮像する。そして、その画像に基づいて多孔板Wの表面Waで反射した反射光12の光量と、多孔板Wの透孔部Wcを透過した透過光11の光量を測定して、これら2つの光量が同一且つ予め設定された範囲の光量となるように、反射用の照明光とバックライト用の照明光の光量を調節する。そして、光量の調節がなされた状態で、多孔板Wの表面Waを撮像して、その撮像した画像に基づいて多孔板Wの表面Waの欠陥を検査する。 (もっと読む)


【課題】従来は、熟練した作業者がスポット光の位置合わせを実施していた。人手での調整は時間がかかるため、調整の自動化が求められていた。自動化のためには装置構成をモデル化し、位置合わせを実施することになる。しかし、実際には、装置毎の機差や外乱によりモデル通りにスポット光は動かない。そのため、モデル単体では調整に時間がかかり、調整時のバラつきが生じる場合もある点については従来技術では配慮がなされていなかった。
【解決手段】第1の重み付けを行って光の傾きを調整し、第2の重み付けを行って光の前記基板上での位置を調整する。さらに、光の傾きのずれを測定し、ずれに応じて粗調整と、微調整とを切り替える。 (もっと読む)


【課題】欠陥の種別によらず、確実に欠陥を検出する欠陥検査装置、欠陥検査方法、及びパターン基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる欠陥検査装置は、同一形状のパターンが繰り返し設けられている試料3を検査する欠陥検査装置であって、試料3からの光を受光する光検出器5と、光検出器5の受光量に応じた受光量データを、上限値と下限値で規定される範囲内に含まれているか否かによって2値化処理を行って、2値化画像を生成する2値化処理部12と、同一形状のパターンでの2値化画像の差分を算出して、差分画像を生成する差分処理部15と、差分画像に基づいて、欠陥についての判定を行う欠陥判定部16と、を備えるものである。 (もっと読む)



【課題】 鏡面の曲面を有する対象物に対する、欠陥検出の支障となる照明の映り込みを抑制し、確実な欠陥検出を可能とする画像検査装置を提供する。
【解決手段】 エリアカメラ本体1を覆うように面状照明装置3a、3bを配置し、面状照明装置3a、3bの前面に拡散板4を設け、検査対象物に照明を映り込ませ、欠陥を浮き出させることを特徴とするカメラユニットを、垂直多関節ロボットの先端に取り付け、検査対象物とカメラユニットの位置関係を、常に一定に保持することで、鏡面の曲面を有する検査対象物の表面に存在する欠陥を検出する。 (もっと読む)


【課題】
検査対象の偏光特性を有効に利用し、より高い検査感度を得るには、照明の偏光を同じ方向と仰角、波長において、偏光のみが異なる光を照射し、偏光による検査対象からの反射、回折、散乱光の違いを見なければいけない。これを従来技術にて行うと、偏光を切り替えた複数回の測定が必要となり、検査装置の重要なスペックである検査時間の低下を招く。
【解決手段】
照明ビーム断面の微小面積内に複数の偏光状態を変調し、各微小面積からの散乱光をセンサの各画素に、個別かつ同時に結像させて複数偏光照明条件の画像を一括で取得することで、スループットを低下させること無く検査感度向上、分類・サイジング精度を向上させた。 (もっと読む)


【課題】
従来技術によれば、試料に熱ダメージを与えることなく、短時間で高精度に欠陥検出・寸法算出することが困難であった。
【解決手段】
試料の表面におけるある一方向について照明強度分布が実質的に均一な照明光を、前記試料の表面に照射し、前記試料の表面からの散乱光のうち互いに異なる複数の方向に出射する複数の散乱光成分を検出して対応する複数の散乱光検出信号を得、前記複数の散乱光検出信号のうち少なくとも一つを処理して欠陥の存在を判定し、前記処理により欠陥と判定された箇所各々について対応する複数の散乱光検出信号のうち少なくとも一つを処理して欠陥の寸法を判定し、前記欠陥と判定された箇所各々について前記試料表面上における位置及び欠陥寸法を表示する欠陥検査方法を提案する。 (もっと読む)


【課題】自動外観検査において被検物に接触することなく適切な光学条件を容易に特定する。
【解決手段】光学条件を変更しながら、露光部分と未露光部分とを含む検査対象に照明光を照射して検査対象の画像を前記光学条件毎に取得し、取得された画像内の輝度差を算出し、露光の有無に起因する程度の輝度差が算出された場合に、そのときの光学条件を検査用光学条件として特定する。 (もっと読む)


【課題】基板表面のパターンの情報が事前に得られなくても、基板に適した検査条件を選択することができる基板検査装置および検査条件設定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板1上のパターンの検査可能な全てのピッチについて回折光を撮影可能とする、照明部2または撮像部6の光軸と基板1の法線とのなす1以上の仰角を算出する仰角算出部304と、仰角算出部304により算出された全ての仰角に照明部2および撮像部6を固定した状態で回転ステージ100を回転させて、撮像部6により取得された基板1の画像に基づいて、該画像の輝度が所定の条件を満たす基板1の基準位置からの回転角度を探索し、その中から検査用の方位角を選択して設定する方位角設定部301とを有する基板検査装置50を採用する。 (もっと読む)


【課題】
【解決手段】ウエハの層の検査用検査システムの偏光設定を選択するためにコンピュータを利用した方法、キャリアメディアおよびシステムを提供する。1つの方法は、ウエハから散乱される光の照明と集光の検査システムの偏光設定の異なる組合せを使って行われるウエハの走査の各々の結果を使ってウエハの層上の欠陥の母集団を検出するステップを含む。本方法はまた、各々が異なる組合せのうちの少なくとも2つに共通する欠陥を含む、異なる組合せの各々の欠陥の亜母集団を識別するステップと、当該亜母集団の各々の信号対雑音比の測定の特性を決定するステップも含む。本方法は、特性の最善値を持つ亜母集団に対応する検査に使用される照明と集光の偏光設定を選択するステップをさらに含む。 (もっと読む)


【課題】基板の欠陥検査を短時間で適切に行う。
【解決手段】ウェハを移動させながら、ウェハの各測定領域に対して異なる照度の照明を照らし(ステップS1)、各測定領域を撮像する(ステップS2)。撮像された各測定領域の画像に色むらが検出されない場合には、次のステップS3に進む。一方、色むらが検出される場合には、ウェハを回転させて色むらのない画像を取得する(ステップS2−1)。色むらのない各測定領域の画像からRGB表色系の基準輝度を求め(ステップS3)、各基準輝度と照度との関係をグラフ化する(ステップS4)。RGB表色系のいずれかの基準輝度が予め定められた所定の輝度に達する照度を、最適照度と設定する(ステップS5)。最適照度の照明が照らされたウェハを撮像し、ウェハの欠陥を検査する(ステップS6)。 (もっと読む)


【課題】蛍光印刷と通常印刷を同時に検知することにより蛍光印刷の位置ずれを検知することのできる印刷品質検査装置。
【解決手段】紫外線ランプ11は、読取面24に紫外線を照射し、蛍光印刷されている紙葉類Pの蛍光剤Paを励起発光させる。可視光ランプ10は、読取面24に可視光を照射する。この結果、読取面24には、紫外線ランプ11から照射された紫外線及び可視光線が照射される。蛍光検知部20は、励起発行された蛍光をラインセンサ23aで検知する。同様に可視光ランプ10は、検知面に可視光を照射し、この可視光により反射された紙葉類Pからの反射光のみを検知する。このようにして検知された蛍光画像データ及び可視光画像データから蛍光印刷の印刷位置ずれを検知する。 (もっと読む)


【課題】
検査対象基板において不規則な回路パターン部分では、パターンからの散乱光によって欠陥信号が見落とされ、感度が低下する課題があった。
【解決手段】
光源から出射した光を検査対象基板上の所定の領域に所定の複数の光学条件をもって導く照明工程と、前記所定領域において、前記複数の光学条件に対応して生じる複数の散乱光分布の各々につき、所定の方位角範囲および所定の仰角範囲に伝播する散乱光成分を受光器に導き電気信号を得る検出工程と、該検出工程において得られる複数の電気信号に基づいて欠陥を判定する欠陥判定工程とを有することを特徴とする欠陥検査方法を提案する。 (もっと読む)


【課題】微細な特徴を有する対象物を検査するための照明装置と照明方法を提供する。
【解決手段】照明装置は、照明角度を定める角度により特定される照明の立体角を与える照明部を備え、この照明角度は使用者により実行可能な連続する範囲から選択される。この照明装置は更に照明部により照明が行われる対象物を検査する対象物検査部を備える。この照明部は照明光源と、光収束部と、照明角度選択部とを備えてもよく、これらは照明光源と対象物検査部の間の光路に沿って配置される。照明角度選択部には第1と第2の位置があってよく、第1の位置では直接反射光は対物面に向かって伝播し、第2の位置では照明角度選択部により選択された光も対物面から直接反射する光も集光レンズに入射しない。むしろ、第2の位置では、対物面から散乱する光だけが集光レンズに入射する。 (もっと読む)


【課題】本発明では、目視検査によって、シート状物全面にわたって素早く、異なる種類の欠陥を一台の装置で検出することができる照明装置を提供することを目的とする。
【解決手段】照明装置10を、フィルムやシートなどの検査対象物を照明するための3台のライトガイド1と、これらライトガイド1の上方に配置され、検査対象物を載せるとともに、ライトガイド1から出射された光を拡散する機能を備えた検査板2と、3台のライトガイド1を固定したステージ3とによって構成し、このステージ3を昇降機構5によって上下方向に進退可動に昇降させる。
(もっと読む)


【課題】フィルムの走行方向に発生している筋状のしわを検出し易くするために、ライン光源を用いて、筋状のしわの横側から光を照射することができるしわ検査装置を提供する。
【解決手段】しわ検査装置は、フィルム上に発生しているしわの画像を撮像するCCDカメラと、少なくとも、前記カメラの撮像領域に光を照射するライン光源1と、CCDカメラが撮像した画像を解析してしわを検出するしわ検査装置を備えている。ライン光源1は、フィルムまたはシートの走行方向に直交する方向に配設され、筋状のしわの横側から光を照射するために、光の射出角度を制御する照射角制御手段としてルーバー10を備える。 (もっと読む)


【課題】光学異方性を有する光学フィルムの光学ムラの評価を容易にかつ客観的に精度良く行うことができるフィルム品質評価方法、評価装置及びプログラムを提供する。
【解決手段】フィルムF上の複数の所定領域にそれぞれ光を照射して所定領域に対するレターデーションReと遅相軸角度Axを測定し、測定した各所定領域に対するレターデーションReの平均値AveReと遅相軸角度Axの平均値AveAxとを求め、測定された各所定領域に対するレターデーションReと遅相軸角度Ax、及び各平均値AveRe、AveAxから、各平均値AveRe、AveAxを理想値として望小SN比SN(Re)、SN(Ax)を算出し、レターデーションReと遅相軸角度Axに対する各望小SN比SN(Re)、SN(Ax)の線形和Mを算出し、これを定量評価値とする。 (もっと読む)


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