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Fターム[2G051CA01]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 受光素子 (8,314) | 特定の受光素子 (6,408)

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【課題】軌道輪表面の仕上がりの良否を簡易にかつ自動的に判断可能であり、製造コストが安価であると共に検査処理が簡単でありしかも精度の高い検査が可能な転がり軸受の表面検査装置を提供する。
【解決手段】検査表面に対しレーザ光を照射し、表面で反射したレーザ光を受光するレーザ光送受手段と、受光した光強度に対応する電気信号を出力する光電変換手段と、レーザ光照射部を軌道輪の軸と同軸で回転させる周方向走査手段と、レーザ光送受手段を軌道輪の軸に沿って移動する軸方向走査手段と、周方向走査の各位置において、光電変換手段から出力される電気信号出力の、軸方向における最大値を取得する最大値取得手段と、取得した最大値のうち、ハレーション状態に対応する最大値の個数を計数するハレーション個数計数手段と、ハレーション個数計数手段により計数されたハレーション個数に応じ、軌道輪の良否を判断する判断手段とを備える。 (もっと読む)


【課題】ウエーハ等の表面欠陥検査装置において、前方散乱光を高感度で検出し、正反射光をも同時に高感度検出可能とすることで、欠陥捕捉率の高い高効率の欠陥検査を実現。
【解決手段】前方散乱光検出手段20は、ベアウエーハ1の前方散乱光を受光する光学系であり、照明手段10よりベアウエーハ1に照射された検査光3による欠陥2からの散乱光を受光する検出レンズ21と全反射ミラー22とで構成され、その中央部(検査光入射平面と直行した方向)で分割した特徴を持つ。この全反射ミラー22で側方に分離された前方散乱光は光電変換素子23で検出され、中央の分割領域を直通する正反射光7は正反射光検出手段30で検出されるので、前方散乱光と正反射光とで互の影響を抑制しつつ同時に検出することできる。 (もっと読む)


【課題】走査顕微鏡により試料を画像化する方法および装置を提供する。
【解決手段】走査顕微鏡により試料(28)を画像化する方法と装置を開示する。複数の試料点を走査ビーム(14)により連続する走査時間区間で走査し、それぞれに走査された試料点からの発光の強度を、関連する走査時間区間内に繰り返し感知し、それぞれに走査された試料点から感知された強度から強度平均値を平均値画像点信号として求め、平均値画像点信号を合成して平均値ラスタ画像を生成するようになされている。さらに、それに加えて、それぞれに走査された試料点において感知された強度から強度分散値を分散画像点信号として求め、分散画像点信号を合成して分散ラスタ画像信号を生成するようになされている。 (もっと読む)


【課題】
試料上の欠陥からの散乱光強度が、欠陥径に応じて微小になった場合には、センサから出力される検出信号にはセンサ素子自身の暗ノイズの占める割合が大きくなり、微小な欠陥の検出が困難となる。また、レーザ光源はパルス発振しているため、センサから出力される検出信号にはレーザ光源のパルス成分も重畳することになり、高精度に欠陥を検査することが困難となる。
【解決手段】
試料の表面にパルス発振してレーザビームを照射する照射手段と、前記照射手段による照射により該試料の表面より発生した散乱光を検出する検出手段と、前記照射手段により照射された該レーザビームに基づき遅延信号を生成し、該遅延信号を用いて前記検出手段により検出された散乱光を処理する処理部とを備えた欠陥検査装置である。 (もっと読む)


【課題】
試料表面に非接触で超音波励起を行い、超音波を励起した点を光干渉計測する手段を用いた非接触で試料内部の観察を行うことにより、稼動部分が無く、コンパクトな構成で、高感度で非破壊・非接触に内部欠陥を検査する。
【解決手段】
検査対象の試料から離れた場所から超音波を発射してこの超音波を試料に照射し、この試料の表面の超音波が照射された箇所に偏光の状態が制御された偏光光を照射し、この偏光光が照射された試料の表面からの反射・散乱光のうち照射した偏光光と同じ偏光特性を持つ光を光検出器で検出し、この光検出器で検出した信号を処理して試料の内部の欠陥を検出する内部欠陥検査方法及びその装置とした。 (もっと読む)


【課題】 コーティングを光学表面に施す前に、該光学表面の洗浄度を測定する方法を提供する。
【解決手段】 (a)予め洗浄された光学系10を提供する。選択されたコーティングで被覆すべき、光学系10の表面を洗浄する。(b)UVO洗浄された光学系12を提供するために、洗浄が1〜3分間の範囲の時間に亘りUVO洗浄を使用して行われる。(c)蛍光分光計を使用して、光学系12の蛍光スペクトルを測定し、測定された蛍光スペクトルを、許容される蛍光スペクトルを有する標準光学系16のスペクトルと比較する。(d)光学系12の測定されたスペクトルが許容される場合、洗浄された表面を選択されたコーティングで被覆すべき洗浄された光学系12を送る。または、光学系12の測定されたスペクトルが許容されない場合、測定されたスペクトルが、光学系12の表面にコーティングを施すのに許容されるまで、工程(b)および(c)を繰り返す。 (もっと読む)


【課題】容器に光を照射して、容器壁部の漏光を光センサにより検出して、容器に生じた小孔等の欠陥を検査する場合に、容器に生じた大きな小孔から小さな小孔までを、効率的かつ確実に検出可能な容器検査方法及び容器検出装置を提供すること。
【解決手段】容器Wに光を照射し、前記容器Wの壁部の漏光に基づいて、前記容器Wの小孔を検出する容器検査装置100であって、容器Wを支持して回転させる小孔検出回転体2、3を有する回転搬送機構1と、前記回転搬送機構1に支持される容器Wに光を照射する光源50と、前記容器Wの検査経路Mに配置された複数の光検出部51とを備え、前記光検出部51は、それぞれ検出感度の異なる光センサが設置されて、前記光検出部51毎に段階的に異なる大きさの小孔を検出するように構成されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】検出対象とする欠陥の検出精度を向上させ、当該欠陥に関する散乱光信号の取得量をより適正化することができる欠陥検査装置、欠陥情報取得装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】移動する試料台11上のウエハ100に検査光21を斜方照射する検査光照射装置20と、ウエハ100からの散乱光1a−1cを検出する散乱光検出器30a−30bと、ウエハ100上の同一座標から同時に発生した散乱光1a−1cについての散乱光検出器30a−30bによる散乱光信号2a−2bを論理演算して当該散乱光信号が欠陥で散乱した欠陥信号か否かを判定し、欠陥信号と判定された散乱光信号のみを出力する欠陥判定部45と、欠陥判定部45から出力された散乱光信号を記憶する記憶部56と、複数の論理演算から選択した一又は複数を組み合わせて欠陥判定部45で欠陥の判定条件として用いる論理演算式を設定する操作部52とを備えたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】小サイズの円筒体でもチャック用挿入支持部を不具合なく挿入できる円筒体の検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の検査装置は、メインローラ20およびサブローラ30を有する一対の挿入支持部12を備え、ローラ20,30を近接させた挿入支持部縮径状態で、円筒体Wの両端部内側に挿入し、その後、ローラ20,30を離間させて円筒体内周面に接触させて、各ローラにより円筒体Wを回転自在に支持する。そして本装置は、挿入支持部縮径状態で、メインローラ20の後方に配置されたサブローラ30,30の全域が、メインローラ20に対し軸心方向に重なって配置されるようにしている。 (もっと読む)


【課題】高温状態にある鋳造品の検査を行うことができる鋳造品の検査方法を提供する。
【解決手段】鋳造品の検査方法であって、鋳造品表面において熱放射赤外線比率が基準値よりも高い高放射領域(擬似黒体部)の赤外線強度を検出するとともに、鋳造品表面において検査対象として定められた検査領域の赤外線強度を検出するステップ(S2、S4)と、検査領域の赤外線強度と高放射領域の赤外線強度との比率(熱放射赤外線比率)を算出するステップ(S6)を有している。 (もっと読む)


【課題】検査ヘッドや焦点距離が変更された場合でも、その変更に対応して自己の動作状態を診断できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置1は、検査ヘッド10から照射された検査光を反射面81によって検査ヘッド10に向けて反射できる反射鏡80と、検査ヘッド10の移動経路上に配置され、検査ヘッド10が通過可能な貫通孔61が形成されたカバー部材60と、貫通孔60を開閉できるシャッター部材71と、を備え、反射鏡80がシャッター部材71に設けられており、シャッター駆動機構72によって反射鏡80の反射面81から軸線Axまでの距離を調整する。 (もっと読む)


【課題】パターンマッチングし難い条件にあるアライメントマークを持つ半導体ウエハについて、高精度な試料の位置合わせ、高感度な検査を実現する。
【解決手段】アライメントマークの画像データのパターン幅計測、輝度分布取得が可能な解析手段と、積算処理、減算処理、2値化処理、膨張処理、収縮処理が可能な画像処理手段を備え、画像データに処理を加えて、アライメントマークを明瞭にした後にパターンマッチングを行うようにする。 (もっと読む)


【課題】被検査物表面の微細な欠陥を検出可能な表面検査装置の検査ヘッドを提供する。
【解決手段】レーザーダイオード14から射出された検査光を導いて被検査物100の表面に投光し、その反射光を受光して反射光の強度を検出するフォトディテクタ15に反射光を導く投受光ファイバ11を有し、フォトディテクタ15の検出結果に基づいて被検査物100の表面を検査する表面検査装置の検査ヘッド1であって、投受光ファイバ11が、2本の光ファイバ11a、11bの一部を熔融延伸接合した熔融延伸部11cを有する光ファイバカプラであり、熔融延伸部11cから分岐した一方の光ファイバ11aはレーザーダイオード14からの検査光を導き、他方の光ファイバ11bはフォトディテクタ15に反射光を導き、熔融延伸部11cの端面11fから検査光が被検査物100の表面に投光され、その反射光を端面11fが受光する。 (もっと読む)


【課題】立体角をわずかに変えて観察した際に表面塗装に生じる変化も表面特性検査の際に分解できるようにすることである。
【解決手段】本発明は、表面の光学的特性を検査するための装置に関するものであり、所与の一つ目の立体角で検査表面に光を照射する、少なくとも一つの主照射装置を備え、表面に照射され、そこから反射して戻ってきた光を補足するための少なくとも一つの主検出装置を備え、このとき主検出装置は位置分解して光を検出することができ、所与の二つ目の立体角で表面に対して配置されており、少なくとも一つの副照射装置または副検出装置を備え、これは所与の三つ目の立体角で光を検査表面に照射するか、または表面に照射されてここから反射して戻ってきた光を検出する。 (もっと読む)


【課題】
本発明は、オートフォーカス動作を行わなくとも、多分割セル方式によるS/N向上を可能とし、高感度の検査を実現できる光学式表面欠陥検査装置または光学式表面欠陥検査方法を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、被検査体に検査光を照射し、該被検査体の表面からの散乱光を受光器に結像し、該受光器からの出力に基づいて前記被検査体の表面の欠陥を検査する光学式表面欠陥検査装置または光学式表面欠陥検査方法において、前記受光器は一端が前記散乱光を受光する円形上の受光面を形成し、他端が複数の受光素子に接続された光ファイバーバンドルを有し、該光ファイバーバンドルは前記受光面において扇形状を有する複数のセルに分割され、該セル単位で該受光素子に接続されており、複数の前記セルの出力に基づいて前記検査を行うことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】エッジ(段差)近傍の表面プロファイルの測定結果を正確に取得することができる、物体の表面プロファイルを測定する方法を提供する。
【解決手段】物体の表面プロファイルを測定する方法であって、物体の表面の段差が走査方向に対して延在する第1の方向の情報を取得するステップと、前記情報に応じて、照射ビームに与える位相分布を設定するステップと、前記照射ビームで前記物体を前記走査方向に走査するステップと、を有する。 (もっと読む)


【課題】色むらの評価の工数を削減し、また均一な評価をできる光学シートの製造方法を提供する。
【解決手段】表面16aに凸形状の単位プリズム16dが複数配列されたプリズムシート16の製造方法であって、第1判定工程及び第2判定を備え、第1判定工程では、面内位相差の平均値(nm)/(面内位相差バラツキ(nm)×シート厚さの平均値(mm))≧10(nm/mm)である場合に合格とし、面内位相差の平均値(nm)/(面内位相差バラツキ(nm)×シート厚さの平均値(mm))<10(nm/mm)である場合に不合格として、プリズムシート16の色むらを評価し、第2判定では、第1判定工程で評価した光学シートを、面内位相差のバラツキ率(nm/nm)のシート厚さのバラツキ率(μm/μm)に対する大きさが、目視評価に対応付けて設定した一定値未満である光学シートを、良品として評価する。 (もっと読む)


【課題】検査対象のビンの中に、正常品のビン(充填時に設定した形状のビン)とは異なるビン(異種ビン:設定外の形状のビン)が含まれているときに、異種ビンが存在することを簡単に検知することに適したビン検査装置を提供する。
【解決手段】立設されているビンに対して上側から装着される検査ヘッドと、予め定められている鉛直方向の異なる位置に設置されていて、前記ビンに対して上側から装着されている状態の前記検査ヘッドの方向に向けて、それぞれ水平方向に検査光を発射する複数個の光電センサとを備えており、前記複数個の光電センサから鉛直方向の異なる位置で、水平方向に発射される複数本の検査光が前記検査ヘッドの上端側で遮光されるか否かを利用して、前記検査ヘッドが装着されたビンが正常品のビンであるか否かを把握するビン検査装置。 (もっと読む)


【課題】 対向する長円開口間の流路孔を効率よく検査することができる流路孔検査方法及びその装置を目的とするものである。
【解決手段】 長円開口Cの短径より大きく長径より小さい長手幅で、奥行きが長円開口Cの短径より小さい投光部3aと受光部4aとを、各長円開口Cの長軸方向にその長手方向を合わせて流路孔V内に挿入した投光部3aと受光部4aとを断面横長の流路孔内において、所定角度回動させて投光部3aと受光部4aとを流路孔内において投・受光に最適な向い合せ角度とする方法及び、大口径投光器3と大口径受光器4は長円開口の短径より大きく長径より小さい長手幅を有し、奥行きを長円開口の短径より小さくした投光部3aと受光部4aを備え、該投光部3aと受光部4aの長円開口への重ね合わせ移動と、投光部3aと受光部4aの流路孔V内への挿入とを行なう可動機構60と流路孔V内の投光部と受光部を投・受光に最適な向い合せ角度にする回動機構13,14,30を設けた装置である。 (もっと読む)


【課題】非常に高さが低く長径の大きい表面欠点をも低減できるフィルムの製造方法の提供。
【解決手段】溶融状態の熱可塑性樹脂をシート状に押し出す工程と、それを巻き取る工程および巻き取られたフィルムを良品と不良品とに選別して良品を製品とする工程とからなるフィルムの製造方法であって、少なくとも巻き取られたフィルムの一方の表面に存在する波長100〜400nmの光の干渉によって検知され、且つその長径が基準値以上の表面欠点数を数え、その表面欠点数が基準値以下のフィルムを良品とするフィルムの製造方法。 (もっと読む)


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