【課題】成形機で製造されたガラス製品を、徐冷炉に入る前のホットエンドで傷、泡、異物などの欠陥を精度良く検査できるようにする。
【解決手段】成形機で成形され、搬送されているガラス製品を徐冷炉の手前で撮像する赤外線カメラと、その撮像した画像を処理する処理手段を有し、処理手段が、前記画像の輪郭の内側に検査領域を設定し、該検査領域内において所定の明るさ閾値から外れる画素数を求め、その画素数が所定の画素数閾値を超えた場合に不良品であると判定するようにすることで、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】被検査物に存在する緩やかな凹凸の傾斜の測定が可能な凹凸検査方法を提供する。
【解決手段】走査初期において、凸欠陥２０１の左斜面からの反射光を反射光強度測定器１０８に入射する方向に反射させることにより、この部分で凸欠陥２０１が明るく見える。さらに走査して、反射強度測定器１０８が凸欠陥２０１の右斜面を通過すると、右斜面からの反射光は、２０７に示すように反射光強度測定器１０８からより遠ざかる方向に反射するので、この部分では凸欠陥が暗く見える。この一連の走査を組み合わせることにより、反射光強度測定器１０８において、凸欠陥２０１は中心より上部分の反射光強度が大きく、中心より下部分の反射光強度が小さくなって検出される。 （もっと読む）

【課題】トランジットタイム原理に基づいた光学センサに関し、仕切りスクリーンの検査を可能にする光センサの提供。
【解決手段】光学センサは、発光パルスを観察領域に放射するための光源と、前記発光パルスのビーム方向を、回転させるための回転装置と、前記観察領域における対象物により反射された光パルスを検知するための検知器と、前記センサの内部を周囲環境から離隔しておくための、透明な仕切りスクリーンを含むハウジングと、前記仕切りスクリーンの透光性をテストするためのテスト装置と、前記光源を制御し、前記検知器により検知された前記光パルスを評価し、且つ、対象物からの距離を、前記光パルスの測定されたトランジットタイムに基づいて決定するための、前記テスト装置と協働する制御及び評価ユニットとを含む。 （もっと読む）

【課題】膜種、膜厚、表面粗さ、結晶方位などの異なる多種多様なウェーハに対応できる欠陥検出精度が向上可能な欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】ウェーハ１００からの反射光が光検出器２０７により検出され、Ａ／Ｄ変換１１２を介してローパスフィルタ１１４、減算器１１５に供給され、低周波数成分が減算された信号が非線形フィルタ処理部１１８に供給される。処理部１１８にて信号時間幅を用いたノイズ除去が行われ、異物・欠陥判定部１０８で、予め定められた検出しきい値と比較され、散乱光強度値がしきい値以上であれば、異物・欠陥判定部１０８は異物・欠陥判定情報を発生する。処理部１１８にて、信号幅を用いたノイズ除去を行っているので、小さな異物を検出可能なしきい値に基づいて、異物・欠陥を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】試料へのダメージを抑えつつ、偏光検出を利用した欠陥検出感度向上とHaze計測を両立させる欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】試料に対し、エネルギの吸収が小さい波長帯域を有するレーザビームを発振する光源と、前記光源から発振されたレーザビーム照射により、欠陥から発生する欠陥散乱光を検出する欠陥検出光学系と、ウエハ表面荒れから発生するラフネス散乱光を検出するHaze検出光学系の二つを独立に備え、前記二つの検出光学系で検出した散乱光に対し独立に偏光検出を行い、前記二つの異なる検出信号に基づき欠陥判定および、Haze計測を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】応力発光体の発光現象に基づいて、当該応力発光のひずみパターンを精度よく推定することができる応力発光解析装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る応力発光解析装置１００は、応力発光体の発光パターンを特定するパラメータ、および、応力発光体を賦活状態に遷移させる賦活光の照射パターンを特定するパラメータおよび賦活光の照射終了時刻から応力発光の検知時刻までの経過時間を入力情報とし、応力発光体のひずみパターンを出力情報する、学習により予め最適化されたニューラルネットワークを用いた算出部１４０を備えている。 （もっと読む）

【課題】ホットメルト接着剤の塗布量の良否を正確に検査することができる接着剤検査装置を提供する。
【解決手段】ホットメルトガン２０によってカートン２１の外フラップ２３にホットメルト接着剤が塗布され、その塗布量を検査する。ホットメルト接着剤には、紫外線を受けて発光する蛍光物質が添加される。紫外線投光器２によって外フラップ２３上のホットメルト接着剤に対し紫外線を投光し、ホットメルト接着剤中の蛍光物質が紫外線により発光して放射された可視光を受光器３が受光する。受光器３から出力される受光信号に基づき、良否判定回路９がホットメルト接着剤の塗布量の良否を判定し、接着剤塗布量不足の場合には異常信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】照明系や受光系を構成する光学素子（凹面鏡）の検査精度を向上させる表面検査装置を提供する。
【解決手段】ウェハＷを支持するステージ１０と、ウェハＷを検査する光を射出する光源２２と、ウェハＷの表面を光源２２からの光で照明する照明系２０と、照明されたウェハＷの表面からの光を所定の撮像面上に結像させる受光系３０と、前記撮像面上に結像した像を撮像する撮像部３２と、撮像部３２で撮像された像に基づいてウェハＷ表面の検査を行う検査部（画像処理部５０、中央制御部６０及び表示部７０）と、照明側凹面鏡２６及び受光側凹面鏡３１の少なくとも一方を照明するためのレーザー光源と、レーザー光源により照明された診断対象である前記凹面鏡において該照明を受けた部位で発生した散乱光を検出するフォトダイオードと、フォトダイオードにより検出された散乱光に基づいて前記凹面鏡の検査を行う診断部４０とを有する。 （もっと読む）

試料（３１０）の欠陥を検出する検出システムは、照射アセンブリ（３２０，３２２）と検出アセンブリ（３５０，３５４）を備える。照射アセンブリは、赤外線光源（３２０）と、光源からの光線を試料の上または内部のスポット（３４６）に向ける照射光学系（３２２）と、を有する。検出アセンブリは、試料の上または内部の被照射スポットからの光を検出する検出器（３５４）と、試料の上または内部の被照射スポットからの光を検出器（３５４）に向ける検出光学系（３５０）と、を有する。このようなシステムは、タービンブレードの遮熱コーティングまたは歯科用もしくはその他の医療用部品等の試料の欠陥を検出するために使用してもよい。特に、このシステムは、セラミック試料の欠陥を判定するために使用してもよい。試料中の欠陥を検出する方法も開示されている。
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【課題】表面を照明するための装置、ならびに物体の視覚的特性を特定するための装置および方法を提供する。
【解決手段】一つの保持装置に設けられている少なくとも二つの放射光源を有する少なくとも一つの放射光装置と、少なくとも一つの絞り装置と、光路において前記絞り装置の手前に設けられており、前記絞り装置を通って進んでゆく放射光を均一にするために用いられている少なくとも一つの散乱装置とを備え、少なくとも一つの放射光源と前記絞り装置との間の光路中に、放射された光を前記絞り装置の単独のスリットに偏向する少なくとも一つの光偏向装置が設けられ、それによって前記放射光源から放射可能とされた放射光が前記絞り装置内の単独のスリットに向けられるように構成されている、測定面を照明するための照明装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】高いスループット及び高感度を維持しながら、複数の照明条件により検査対象物の検査を行なうことが可能な欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】照明光学系から領域１０ａと１０ｂとで互いに異なる照明条件の光が照射される。センサ７０とセンサ８０とは、照明条件が互いに異なる領域１０ａ、１０ｂからの反射光について同時に検査を実行する。試料１０の領域１０ａで散乱された光は、検出レンズ４０の対物レンズ４０ａと空間フィルタ１５０と結像レンズ４０ｂとを経て、ビームスプリッタ５０によって反射され、センサ８０にて光電変換される。試料１０の領域１０ｂで散乱された光は、検出レンズ４０の対物レンズ４０ａと空間フィルタ１００と結像レンズ４０ｂとを経て、ビームスプリッタ５０を透過し、収差補正素子６０を経てセンサ７０にて光電変換される。 （もっと読む）

【課題】物体における円周面の歪検出を短時間に且つ高い精度で行い得る方法及び装置を提供する。
【解決手段】物体における円周面の歪検出装置であって、前記物体を前記円周面における中心軸線を中心にして回転させる駆動装置１と、円周面を光照射する照射装置２と、該円周面からの反射光強度を測定する測定装置３と、該測定装置によって得られる反射光強度を前記物体の回転位置と関連づけて判別するための制御装置４とを備えた歪検出装置及び該検出装置を用いた検出方法。 （もっと読む）

【解決手段】検査処理能力を増加させるために、赤外線カメラの視野を試料上で一定速度で移動させることができる。この移動全体を通して、変調を試料に加えることができ、赤外線カメラを用いて赤外線画像を捕捉することができる。視野を移動させること、変調を加えること、及び赤外線画像を捕捉することは、同期させることができる。赤外線画像をフィルタ処理して時間遅延ロックイン・サーモグラフィを生成し、これにより欠陥識別を行うことができる。このフィルタ処理は、赤外線カメラの走査方向の画素数を与えることができる。光変調の場合は、移動全体を通して、暗視野領域を視野用に提供することができ、これにより、フィルタ処理中の信号対雑音比を向上させる。局在する欠陥は、検出システム内に統合されたレーザーによって修復するか、生産ラインにおける後の修復用にインクで印を付けることができる。 （もっと読む）

【課題】データ処理システムのヒート・シンク中の目詰まりを識別する方法、データ処理システムおよびコンピュータ・プログラム製品を提供する。
【解決手段】電磁エミッタと電磁ディテクタとがヒート・シンクの両反対側に配置される。該電磁エミッタから向けられた電磁放射のストリームの強度が該電磁ディテクタによって測定される。電磁ディテクタが測定した電磁放射のストリームの測定強度に基づいて、ヒート・シンクの目詰まりレベルが算定される。ヒート・シンクの目詰まりレベルが目詰まり閾値を超える場合には警報が発生される。 （もっと読む）

【課題】 任意のパターンを有するレチクル上のパーティクル及び異常の検出を可能にすること。
【解決手段】 レチクル検査のための方法及びシステムを開示する。この方法は、検査レチクル及び基準レチクルの表面をコヒーレントに照明すること、照明された表面からの散乱光にフーリエ変換を適用すること、基準レチクルからの変換された光の位相を、検査レチクルからの変換された光と基準レチクルからの変換された光との間の位相差が１８０度であるようにシフトすること、変換された光を像減算として合成すること、合成された光に逆フーリエ変換を適用すること、及び、ディテクタにおいて合成された光を検出することを含む。照明源からディテクタへの２つの光路間の光路長差は、照明源のコヒーレント長未満である。ディテクタにより検出される像は、レチクルの振幅及び位相分布における差を表し、これにより、外部パーティクル、異常などを容易に識別することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】被検査物の内周面の表面状態を検査可能であるとともに、その外周面の表面状態も検査可能である表面検査装置を提供する。
【解決手段】同軸に配置された被検査物１００の内部に対して出没可能に設けられ、外周に設けられた透光窓１６ａから検査光が射出される検査ヘッド１６を有し、検査ヘッド１６がその軸線ＡＸの方向に移動して被検査物１００の内周面１００ａに向けて検査光を照射し、その反射光の光量に基づいて被検査物１００の表面を検査する表面検査装置１であって、被検査物１００から透光窓１６ａが突出する位置にて検査ヘッド１６から射出される検査光の光路を被検査物１００の外周面１００ｂよりも外側で検査ヘッド１６の軸線方向へと変更する第１外周面ミラー８と、第１外周面ミラー８にて変更された光路を被検査物１００の外周面１００ｂに向けて変更する第２外周面ミラー９と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】基板表面に付着した異物の検出精度を向上する。
【解決手段】レチクルＲの被検査面（ガラス面ＲＧ）に波長の異なる複数のプローブ光を照射し、ガラス面ＲＧからの散乱光を複数の受光角で受光し、受光した散乱光Ｌ_１，Ｌ_２のそれぞれの強度を計測する。ガラス面ＲＧでのプローブ光の照射位置と照射位置に対応する散乱光Ｌ_１，Ｌ_２の強度の計測結果とから、複数のプローブ光の波長と複数の散乱光の受光角毎に、ガラス面ＲＧについての散乱光の強度分布を求める。求められた複数の強度分布を相互に比較して解析することにより、レチクルパターンによる回折光からガラス面ＲＧ上に付着した異物ＡＰによる散乱光を分離して検出することができるので、精度良く異物ＡＰを検出することが可能となる。 （もっと読む）

ヤーンクリヤラ測定ヘッド（１）用ハウジング（２）は、欠陥個所を除去すべき糸（９）を受入れるため長手方向（ｘ）を規定する測定スリット（３）を持っている。ハウジング（２）が仮想包絡直方体（４）により完全に包囲可能である。包絡直方体の長さ（Ｘ）が長手方向（ｘ）におけるハウジング（２）の寸法として定義されている。包絡直方体の高さ（Ｙ）及び幅（Ｚ）が、長手方向（ｘ）に対して直角な面（ｙｚ）にある包絡直方体の長方形の辺長として定義され、この長方形がこの面（ｙｚ）へのハウジング（２）の投影を完全に包囲し、この長方形の周囲及び／又は面積が最小である。包絡直方体（４）の長さ（Ｘ）が４１ｍｍと４７ｍｍとの間にあり、かつ／又は包絡直方体の高さ（Ｙ）が６１ｍｍと７０ｍｍとの間にあり、かつ／又は包絡直方体（４）の幅（Ｚ）が９６ｍｍと１０６ｍｍとの間にある。ハウジング（２）は、その中に収容される構成要素に対してできるだけ多くの空間を提供し、できるだけ多くの機械に組込むことができる。
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【課題】多結晶シリコンウェハであっても欠陥を適切かつ明確に検出することができるシリコンウェハ欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】被検体７に赤外レーザー光線を照射する赤外レーザー光源１と、被検体７を透過した赤外レーザー光線を受光する開口部４を有し、その内部で赤外レーザー光を拡散させる中空の受光ユニット２と、受光ユニット２の空間部２ｂに検出部を露出し、被検体７を透過した赤外レーザー光の光量を検出する赤外光検出センサー３とを備え、赤外光検出センサー３は、被検体７を透過し、開口部４を通じて受光ユニット２内に入射され、受光ユニット２の内部で拡散された赤外レーザー光の光量を検出することで、検出結果を画像に変換した際に、多結晶シリコンウェハの結晶の粒界７ａの明暗模様が著しく軽減され、欠陥を明確に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】急峻な部位を有するはんだフィレットの形状を検査し、正確な検査を実行することが可能な外観検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】基板３と、基板３上に表面実装される表面実装部品４とを接合するはんだフィレット２の外観形状を検査する外観検査装置１であって、はんだフィレット２に対してレーザ光線を投光するレーザ投光部１０と、はんだフィレット２からの反射光を受光する第一受光ユニット２１と、はんだフィレット２にて反射し、さらに基板３上で反射したレーザ光線を受光する第二受光ユニット２２と、基板３又は表面実装部品４上で反射したレーザ光線を受光する第三受光ユニット２３とを具備する。 （もっと読む）