【課題】検査時間を短縮した表面検査装置を提供する。
【解決手段】ウェハ１０の端部近傍の状態を検出するエッジ検出器３０〜５０と、エッジ検出器３０〜５０からの出力に基づいてウェハ１０の端部近傍の検査を行う演算処理部７０と、エッジ検査器３０〜５０に対してウェハ１０を相対回転させるウェハ保持部２０とを備え、ウェハ保持部２０による相対回転を行いながらエッジ検出器３０〜５０がウェハ１０の端部近傍の状態を検出し、エッジ検出器３０〜５０からの出力に基づいて演算処理部７０がウェハ１０の端部近傍の検査を行う表面検査装置１において、ウェハ１０の端部を検出するプリアライメントセンサ６１〜６３が設けられ、演算処理部７０は、プリアライメントセンサ６１〜６３からの出力に基づいて、第１および第２エッジ検出器３０，４０の作動状態および、第３エッジ検出器５０から演算処理部７０への出力を補正するようになっている。 （もっと読む）

【課題】スラブに発生したブローホールや割れ等の表面欠陥を精度よく検出することのできるスラブ表面欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】スラブ６の幅方向に配列された複数のレーザ投光器７ａ，７ｂからスラブ６の表面にレーザ光８を照射して計測したスラブ表面の凹凸状態のデータからスラブ６に発生した表面欠陥を検出するスラブ表面欠陥検出方法であって、凹凸状態のデータが欠値となるスラブ表面のレーザ光非反射位置をレーザ光非反射位置抽出回路１１により抽出し、レーザ光非反射位置抽出回路１１により抽出されたレーザ光非反射位置がスラブ６の幅方向または長手方向に複数連続して存在するときに判定装置１２によりレーザ光非反射位置を表面欠陥の発生位置と判定する。 （もっと読む）

【課題】スラブに発生したブローホールや割れ等の表面欠陥を精度よく検出することのできるスラブ表面欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】スラブ６の表面にレーザ光８を照射して計測したスラブ表面の凹凸状態のデータとスラブ６の表面輝度分布とからスラブ６に発生した表面欠陥を検出するスラブ表面欠陥検出方法であって、凹凸状態のデータが欠値となるスラブ表面のレーザ光非反射位置を抽出すると共に、表面輝度分布の中で欠陥と判断されるスラブの低輝度表面部の位置と大きさを算出し、レーザ光非反射位置のうちスラブ６の幅方向または長手方向に複数連続して存在するレーザ光非反射位置とスラブ６の低輝度表面部の位置とが一致したときに当該位置を欠陥位置と判定すると共に、スラブ６の低輝度表面部の大きさを欠陥位置に発生した表面欠陥の大きさと判定する。 （もっと読む）

【課題】スラブに発生したノロ噛み等の表面欠陥を精度よく検出することのできるスラブの表面欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】スラブ６の表面にレーザ光８を照射してスラブ表面の凹凸状態を計測することでスラブ表面に発生した表面欠陥を検出する方法において、スラブ６の表面で反射したレーザ光をレーザ受光器９で受光し、レーザ受光器９から出力された信号を表面凹凸状態計測回路１０に供給する。表面凹凸状態計測回路１０から出力された信号を凹凸変化率算出回路１１に供給してスラブの長手方向における凹凸変化率を算出し、凹凸変化率算出回路１１で算出された凹凸変化率と予め定めた閾値とを判定装置１２で比較し、凹凸変化率の絶対値が閾値以上となった部位を表面欠陥と判定する。 （もっと読む）

【課題】水に濡れた被検査体に含まれる異物を判別する精度を向上させること。
【解決手段】特定の単一波長且つ直線偏光のレーザー光を被検査体（Ｓ）に照射する照射光源系（７）と、前記被検査体（Ｓ）自身による前記レーザー光の偏光方向とは異なる方向成分を含む反射・散乱光と、前記被検査体（Ｓ）表面の水による前記レーザー光と同じ偏光方向の反射光と、を含む反射・散乱光の中で、少なくとも前記レーザー光の偏光方向とは異なる方向の偏光成分を含む反射・散乱光を受光する受光素子（ＰＤ１〜ＰＤｎ）を有する受光光学系（８）と、受光した反射・散乱光の前記レーザー光の偏光方向とは異なる方向の偏光成分に基づいて、前記被検査体（Ｓ）が異物であるか否かを判別する異物混入判別手段（１１Ａ）と、を備えた異物混入判別装置（６）。 （もっと読む）

【課題】タイヤ用プライ等の連続シートの幅方向においてジョイントの連続的な検査が可能であり、信頼性が高い検査を行うことができ、さらに大きなスペースを必要としないジョイント検査装置を提供する。
【解決手段】トップ反材料の端部同士が重ね合わされて接続されることによりジョイントが形成された前記トップ反材料の連続シートの搬送途中において前記ジョイントを検査するジョイント検査装置であって、前記連続シートを停止させた状態で、前記ジョイントに沿って前記連続シートの幅方向に移動させて前記ジョイントにおける連続シートの厚み方向の変位を測定する２次元形状計測センサが設けられており、前記の測定結果に基づいて前記ジョイントの検査を行うジョイント検査装置。 （もっと読む）

【課題】暗視野検査装置の測定結果を微小領域まで保証できる技術を提供する。
【解決手段】表面に不規則な凹凸パターンのマイクロラフネスが精度よく形成され、その表面のマイクロラフネスの粗さが保証されたバルクウエハを基準ウエハとして暗視野検査装置の校正を行う。マイクロラフネスは、薬液による化学処理により精度よく形成することができる。このようなマイクロラフネスをＡＦＭを用いて測定し、測定値を基にヘイズ期待値を求める。その後、校正する暗視野検査装置で基準ウエハの表面のヘイズを測定してヘイズ実測値を求め、ヘイズ期待値とヘイズ実測値との差を求める。この差を基にヘイズ実測値がヘイズ期待値と合致するように暗視野検査装置のヘイズ測定パラメータを調整する。 （もっと読む）

【課題】パターン検査において、簡素な方法により適切なパラメータを決定する装置、コンピュータプログラム、及び方法を提供する。
【解決手段】被検査体に関する情報であってパターン及び欠陥の形状、製造上の下地膜厚ばらつき、及び各膜の光学定数の情報並びにパターン検査装置に関する情報であって光学条件の情報を入力する入力手段と、前記入力手段に入力された情報を用いて前記被検査体の光学像を取得する光学像取得手段と、前記光学像を用いて前記被検査体の欠陥及び背景の信号強度を取得する手段と、前記欠陥の信号強度と前記背景の信号強度との差分を前記下地膜厚ばらつきごとに取得する手段と、前記下地膜厚ばらつきに対する前記差分を光学条件ごとに比較する手段と、を備えたことを特徴とするパラメータ決定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】ハードディスク用のパターンドメディアの検査において、パターン形状及びサーボパターンの位置ずれの欠陥を高速に検査する方式を提供する。
【解決手段】設計情報１を用いて検査領域２を指定し、スキャットロメトリー法によって測定するための領域分割３を行い、得られた検出データをパターン分類４し、周期領域５と非周期領域６に分類する。光センサによって分光特性を検出７し、特徴量を抽出８する。抽出された特徴量８と、特徴量マップデータベース１１に蓄えられた特徴量を領域毎に比較することによってパターンドメディアの状態を評価する。 （もっと読む）

【課題】受光部による被検査物の穴欠陥の過剰検出を確実に防止して、穴欠陥の有無、及び穴欠陥があった場合のその位置の検出を精度良く行うことができる穴欠陥検出装置及び穴欠陥検出方法を得る。
【解決手段】投光部２と受光部３との間に被検査物を該受光部３の配列方向と直行する方向に進入させて、投光部２から照射されて該被検査物の穴欠陥１ａを透過した光を上記受光部２によって順次検出する構成の穴欠陥検出装置において、投光部２と被検査物との間の空間及び受光部３と被検査物との間の空間４のうち少なくともいずれか一方の空間に、投光部２及び／又は受光部３から被検査物の方向に立ちあがって該空間を縦に仕切る複数の遮光板５を並設する。 （もっと読む）

【課題】シリコンウェーハの表面、またはＳＯＩウェーハの表面に存在する欠陥や異物等に起因する微細な凹凸を高精度に検出することが可能な表面検査方法を提供する。
【解決手段】内部にシリコン酸化膜を形成しないシリコンウェーハの場合、シリコンウェーハの表面に入射させるレーザ光および光検出器に入射させる散乱光を共にＰ偏光とするＰＰモードか、または、シリコンウェーハの表面に入射させるレーザ光をＣ偏光、光検出器に入射させる散乱光を偏光させないＣＵモードとすることによって、表面検査時のバックグラウンドノイズを大幅に低減することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】高速，かつ高精度に試料上の微小突起物の高さ検査を行えるようにする。
【解決手段】光源201からの光は第１のハーフミラー221、偏光器202、結像レンズ203,204、折り返しミラー205、対物レンズ206を介して試料2001に入射する。試料2001からの反射光は同一の経路を逆に通り、第１のハーフミラー221で反射し、第２のハーフミラー222で2本の検出ビームに分割される。2本の検出ビームは各々第１の検出側結像レンズ2081における第１のナイフエッジ2071と第２の検出側結像レンズ2082における第２のナイフエッジ2072によって半円状の光ビームに整形され、各々第１の光センサ2101と第２の光センサ2102によって検出される。第１のナイフエッジ2071と第２のナイフエッジ2072は直角方向となっているので、試料2001への入射ビームの偏向方向によらず均一な感度で，試料上の微小突起物の検査を高速で行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を孔内部表面に照射すると同時にその反射光を判定処理装置に戻すようにした表面検査装置において使用される回転筒体を小径化すると共に高速回転に耐えられるものにして小孔の内部表面を高速検査できるようにする。
【解決手段】レーザ光発振器１１を備える本体部７に回転筒体１０を回転自由に連結してその中空のレーザ誘導空間１７を通して前記レーザ光発振器１１からのレーザ光を小孔内部表面に送る一方、この内部表面からの反射光を前記回転筒体１０の内周面に環状に且つ長さ方向に沿って配設する光ファイバー１５に通して回収し、単一の前記回転筒体１０の内部表面に照射光と反射光の光路を形成する。 （もっと読む）

【課題】異物を感度よく検出することができる光学式の異物検出装置およびこれを搭載した処理液塗布装置を提供すること。
【解決手段】ステージ２上に水平状態に載置された被処理基板１と、前記基板１の幅方向に延びるスリット状吐出開口１１ｂを有する処理液供給ノズル１１とを相対的に移動させて処理液供給ノズル１１から帯状に吐出される処理液を、基板１の表面に塗布するように構成される。前記処理液供給ノズル１１の相対移動方向の前方に投光部５と受光部６からなる光透過形センサユニットが搭載されている。前記センサユニットの相対移動方向に沿って複数の検査エリアが設定され、異物の移動方向の履歴を追ってセンサユニットによる受光データを集計することで、異物に対する反応感度を向上させた光学式の異物検出装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】簡単、かつ安価な構成で迅速に表面検査を行えるようにする。
【解決手段】感光ドラム１の表面に微小なグレージング角θでレーザ光Ｌｂを照射し、その散乱光成分Ｌｂ２を、傷による散乱光領域Ｓ３に配備された受光部材ＳＡ，ＳＢ，ＳＣと、汚れ（表面粗さ）による散乱光領域Ｓ２に配備された受光部材ＳＡＵとで受光する。正反射光領域Ｓ１には、受光部材を配備しない。そして、受光部材で受光された散乱光成分の光強度に基づいて、感光ドラム１の傷、汚れの度合いを判定し、その判定結果に基づいて感光ドラム１を交換すべきか否かを判断して、その判断結果を表示する。 （もっと読む）

【課題】反射型フォトマスクのパターン検査の精度が向上するとともに、検査に要する時間を短縮することのできる反射型フォトマスクブランク、反射型フォトマスク、その検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】基板と、基板上に形成された第一の反射膜と、第一の反射膜上に形成された電圧を印加することにより発光する発光層と、発光層上に形成された吸収体と、吸収体上に形成された遮光膜と、遮光膜上に形成された第二の反射膜と、を備えることを特徴とする反射型フォトマスクブランク。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置及び基板検査方法において、省スペース且つ短時間で、基板搬送方向を横断する基板幅方向へライン状に被検査基板を検査する。
【解決手段】被検査基板（２）を搬送しながらライン状に検査する基板検査装置１において、被検査基板（２）の基板搬送方向（矢印Ｄ１）に延びるライン状に被検査基板（２）に照明光Ｌ１を照射するライン状照明部４ａ、及び、このライン状照明部４ａにより被検査基板（２）に照射された照明光Ｌ２を検出する検出部４ｂ、を有する第１の検査部４と、被検査基板（２）に追従して、基板搬送方向（矢印Ｄ１）で且つこの基板搬送方向を横断する基板幅方向（矢印Ｄ２）に第１の検査部４を移動させる駆動手段（８）と、を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】
ラフネスで発生する散乱光の強度分布は一般的に偏りを持ち、このため多方向で検出した各信号に含まれるショットノイズは一様ではなくなり、多方向で検出した信号を加算平均してもノイズ低減の効果が低下する。
【解決手段】
Siや金属膜表面のラフネスで発生する散乱光は後方側に強い分布を持つ。このため、多方向で検出した散乱光検出信号のうち、前方散乱光のみの検出信号を用いることにより微小欠陥の検出が可能となり、後方散乱光のみの検出信号を用いることによりラフネスの高精度検出が可能となる。 （もっと読む）

【課題】対象上の色層にむらがないことについての客観的な情報を提示する方法及び装置を提供する。
【解決手段】本発明は、表面特性測定方法に関し、当該方法では、被検査表面（５）の第１の領域に放射線を放射し、次に、第１の領域へ放射が行われ第１の領域により反射された少なくともいくらかの放射線を検出し、この反射した放射線に固有の測定値が出力される。さらに別の方法ステップでは、表面（５）の第２の領域に放射線を放射し、再度、第２の領域へ放射が行われ第２の領域により反射された放射線の少なくともいくらかの放射線を検出し、この放射線に固有の第２の測定値が出力される。最後に、第１の測定値と第２の測定値との間の関係に固有の結果値が、出力される。 （もっと読む）

【課題】被検査物品に対し複数方向側から光を当てて検査されることによって、高い精度で被検査物品の状態の検査を行うことができる装置を提供する。
【解決手段】互いに平行に配された一対のベルトコンベア９、９で構成され、走行部としての無端ベルト１１、１３が異なる速度で同じ方向に駆動される搬送手段と、搬送されてくる被検査物品Ｗに光を当て、この当てた光から被検査物品Ｗの状態を検知する検知装置Ａ、Ｂとを備え、検知装置Ａ、Ｂは無端ベルト１１、１３に沿って異なる位置に設けられている。一対のベルトコンベア９、９の無端ベルト１１、１３は逆ハの字状に配置されており、被検査物品Ｗは姿勢を変更しながら搬送される。従って、検知装置Ａと検知装置Ｂ内では光が当たる被検査物品Ｗ、例えば玉ねぎの姿勢が異なっているので、光が当たる側面が異なる。 （もっと読む）