【課題】検査ヘッドの部品の交換作業を迅速に実施でき、かつ検査ヘッドを組み立てる際の芯出し作業の負担を軽減し、又は解消することが可能な表面検査装置用検査ヘッドを提供する。
【解決手段】軸線ＡＸ回りに回転可能に支持されるヘッド本体１６Ａと、ヘッド本体１６Ａの先端に着脱可能に設けられ、かつヘッド本体１６Ａに同軸になるように装着される走査部１６Ｂとを備えた検査ヘッド１６において、ヘッド本体１６Ａの先端には、走査部１６Ｂが挿入される挿入孔８１ｂが中心に形成され、挿入された検査部１６Ｂを把持する縮小状態と検査部１６Ｂを解放する拡大状態との間で半径方向に拡縮可能であり、かつ挿入孔８１ｂがヘッド本体１６Ａと同軸になるように配置される第２拘束部材８１と、第２拘束部材８１をヘッド本体１６Ａの先端側に付勢して縮小状態に変形させる第１拘束部材８０及びスプリング８２とが設けられる。 （もっと読む）

【課題】従来よりもユーザに掛かる負担を軽減し、表面検査装置による検査作業の自動化及び省力化を促進させることが可能な表面検査装置の検査システムを提供する。
【解決手段】ヘッド本体１６Ａの先端に着脱可能に設けられ、かつミラー１８が組み込まれる軸状の走査部１６Ｂとを備えた検査ヘッド１６を軸線ＡＸの回りに回転させつつ軸線ＡＸに沿って移動させ、検査ヘッド１６内に軸線ＡＸに沿って入射した検査光の光路をミラー１８により変更してワークＷに照射し、ワークＷから検査ヘッド１６に返される反射光の光量に基づいてワークＷの表面を検査する表面検査装置１に適用され、検査ヘッド１６の異常の有無を診断する検査システム１００において、検査ヘッド１６の異常の有無を診断する診断装置２００と、診断装置２００が検査ヘッド１６に異常があると判断した場合に検査ヘッド１６の走査部１６Ｂを交換する交換装置３００とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査ヘッドの芯出し調整に要する負担を軽減することが可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】検査ヘッド１６をワーク１００に対して軸線方向とそれぞれ直交するＸ軸方向及びＹ軸方向に相対的に移動させるヘッド位置調整機構と、Ｘ、Ｙ軸方向のそれぞれに関して、検査ヘッド１６の先端から軸線方向に射出される検査光Ｂ１によりワーク１００が内周面１００ａの輪郭上の二点を含む範囲にて走査されるようにヘッド位置調整機構の動作を制御し、Ｘ、Ｙ軸方向の走査時に検出ユニットからそれぞれ出力される反射光の光量に対応した信号に基づいて、ワーク１００の内周面１００ａの半径方向に関する中心位置を演算し、演算された中心位置に検査ヘッド１６の軸線が一致するようにヘッド位置調整機構の動作を制御する演算処理部とを表面検査装置に設ける。 （もっと読む）

【課題】基板表面付近の大気が不安定な雰囲気である場合であっても、精度よく異物の検出を行うことができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を保持するステージと、ステージに載置されたに塗布液を塗布する塗布ユニットと、発光部と受光部とを有し受光部における受光変化量から異物を検出する異物検出手段と、この異物検出手段とは別に、発光部と受光部とを有し受光部における受光変化量から前記異物検出手段の受光変化量の基準となる基準変化量を計測する基準変化量計測手段とが備えられており、前記異物検出手段の受光変化量と前記基準変化量計測手段の基準変化量との差分から異物の有無を判断するように構成する。 （もっと読む）

【課題】検査精度を悪化させることなく、作業効率を飛躍的に向上させることができる検査装置を提供する。
【解決手段】ＬＤバーを分離して構成された複数のＬＤチップ１について、その劈開端面の良否を順次検査する検査装置である。複数のＬＤチップを保持する粘着シート３と、粘着シート３と共に移動する載置台２と、ＬＤチップ１を撮影する捕捉カメラ４と、ＬＤチップ１の劈開端面からの反射光を受ける検査カメラ５と、装置各部の動作を制御する制御部とを有する。捕捉カメラ４からの画像に基づいて、載置台２を移動させてＬＤチップ１を最適位置に位置決めし、最適位置のＬＤチップについて、粘着シート３を通過して劈開端面で反射される反射光に基づいて、劈開端面の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】パターンのムラと、欠陥等の検査を１台の検査装置により実現すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる検査装置１０は、試料３０上に形成されたパターンを検査する検査装置であって、試料３０に照明光を照射する光源１１と、試料３０のパターンに対する光学的なフーリエ変換面に配置され、試料３０からの回折光又は散乱光を反射するデジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）１３と、ＤＭＤ１３と共役な位置に配置され、ＤＭＤ１３で反射された光を受光する光検出器１７とを備える。 （もっと読む）

【課題】テールシール不良シートロールを容易に検出しさらに搬送経路外へと排出する。
【解決手段】
一定方向に移動して載置されたシートロール１を移動させる搬送平面１０と、この搬送平面１０の上に所定の隙間を有して立設された一対のガイド板２０，２０とで構成された搬送路２と、この搬送路２の途中に形成された、搬送平面１０の移動方向に対して一対のガイド板２０，２０の延在方向が所定角をなしてる転回部２Ｒと、前記転回部２Ｒ又はその直後の搬送路２を構成する一対のガイド板２０の外側近傍を上流から下流に向かって移動する異物を検知する第１の検知手段６０と、前記第１の検知手段６０の検知位置と搬送方向同位のガイド板間又はその下流の所定位置を通過するシートロール１の有無を検知する第２の検知手段７０とを備える不良シートロールの検出装置により解決される。 （もっと読む）

【課題】面内位相差をＲｅ、厚さ方向の位相差をＲｔｈとしたとき、Ｒｅ≦２０ｎｍかつ｜Ｒｔｈ｜≧２０ｎｍを満たす液晶フィルムを含む光学フィルムの欠陥の検査を的確に行うことができる光学フィルムの検査方法を提供する。
【解決手段】下記式を満たす第１液晶フィルムを含む光学フィルムの検査方法であって、前記光学フィルムに対し、光源から第１偏光板を通して光を照射し、前記光学フィルムに対して、前記光源と反対側に１軸延伸フィルムからなる第１位相差フィルムと第２偏光板とを積層した欠陥検査用素子を、前記第１位相差フィルムを前記光学フィルム側に隣接するように配置し、前記光学フィルムを検査することを特徴とする光学フィルムの検査方法。
Ｒｅ≦２０［ｎｍ］
｜Ｒｔｈ｜≧２０［ｎｍ］
（ここで、Ｒｅは前記第１液晶フィルムの面内の位相差値、Ｒｔｈは前記第１液晶フィルムの厚さ方向の位相差を意味する。） （もっと読む）

【課題】軸受性能の安定維持に不可欠な循環路の形状を容易にかつ正確に検査可能とする。
【解決手段】ハウジング７の内周面７ａと軸受スリーブ８の外周面８ｄとの間には循環路１２が形成される。循環路１２の一端側に配した光線照射装置１９から光線２０を照射し、循環路１２を通過させた通過光２１の形状に基づいて循環路１２の形状を評価する。 （もっと読む）

【課題】ウエーハのスクラッチ検出装置及びスクラッチ検出装置を備えた研削装置を提供する。
【解決手段】ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削ホイールを有する研削手段とを備えた研削装置であって、ウエーハの研削面に生じるスクラッチを検出するスクラッチ検出手段を更に具備し、スクラッチ検出手段は、ウエーハ１１に対して光ビームを照射する光ビーム照射手段と、光ビームが照射される領域の上部に配設されたフォトディテクタ１０８と、光ビームが照射される領域からの反射光を集光して該フォトディテクタに導く集光手段と、フォトディテクタで検出される光量が所定の閾値を超えた際スクラッチ有りと判定するスクラッチ判定手段１１０とから構成される。 （もっと読む）

【目的】 適正な精度で試料検査を行う装置、方法およびプログラムを提供することを目的とする。
【構成】 パターン形成された同一被検査試料の、複数の部分光学画像データ同士を比較する試料検査装置において、前記被検査試料の、光学画像データを取得する光学画像データ取得部１５０と、前記複数の部分光学画像データ同士の比較を行なう比較回路１０８とを備え、比較回路１０８において、所定の領域を示す領域パターンの情報に基づいて生成される領域画像データを入力し、前記複数の部分光学画像データ同士の比較を行なう場合に、前記領域画像データを参照して判定条件を変更し、試料上の欠陥の有無を判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】バックグランドからの反射光の影響を受けず、被検査物が非透明体であってもその表面の微小な異物の検査が可能な異物検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】被検査物１の表面に線状光２を照射する線状光照射手段１３と、遮光板５ａ及びこれに受光面５ｂを並置させた光電変換素子５ｃからなる受影器５と、光電変換素子５ｃの出力信号に基づいて異物６の有無を検出する異物検出手段４４とを設ける。異物６がない場合の反射光像は遮光板５ａ上に投影され、異物６がある場合の反射光像は光電変換素子受光面５ｂ上に及んで投影されるように、上記受影器５を配置することで、バックグランドからの反射光の影響を受けず、したがって被検査物が非透明体であっても、また微小な異物であっても、その検査を可能とした。 （もっと読む）

【課題】 例えば、頻繁なオフライン較正を必要としない、および／またはより高速のサーボ応答を実現することができる光焦点または位置センサを提供することである。
【解決手段】 スキャトロメータは、測定されるターゲットが正しい焦点面にあるかどうかを検出するように構成された焦点センサを備える。焦点センサで測定されるようなデフォーカスがある特定の関数に従って変化するように焦点センサまたはスキャトロメータの部品に変調が加えられる。変調についての情報から、センサの利得を計算することができる。 （もっと読む）

【課題】シート状の被検査物について、幅寸法が大きかったり、材質が非透光性であっても、表面の微小異物の検出が可能で、また被検査物幅方向における検出感度や検出最小サイズがばらつかない異物検査方法、装置を提供する。
【解決手段】シート状の被検査物１を搬送路途中で受けローラ２に巻き掛けて搬送させ、その巻掛け搬送部分１ａの幅方向に交差する方向から、その巻掛け搬送部分１ａの搬送方向所望位置の幅方向両端を結ぶ線上の被検査部の表面１ｂに沿って、正面視が線状のレーザ光３を照射する。そしてこの線状レーザ光３を、被検査部表面１ｂ及びその直上部分を挟んだ対向位置で受光してその光量を測定し、この測定結果に基づいて被検査物１の表面に異物４があるか否かを判定する。レーザ光のビームウェストの影響を受けずに、また非透光性の被検査物についてもその表面の異物の検出を可能とした。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、汎用性のない特殊な装置を用いることなくメタリック塗膜の色ムラを目視評価と極めて相関の高い定量値として得ることができるメタリック塗膜の色ムラ評価方法を提供することにある。
【解決手段】本発明のメタリック塗膜の色ムラ評価方法は、メタリック塗膜上において、複数の測定点を選択する第１ステップと、その測定点の各々において、光を入射しその受光を測定することにより測色または反射強度測定を実施する第２ステップと、該第２ステップで得られた測色または反射強度測定のデータを処理する第３ステップとを含み、該第２ステップは、各測定点に対して入射光軸と受光光軸とを含む測定面が２以上存在するように、２以上の光軸の光を異なったタイミングで入射することを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】面倒な作業無しに紙種を正確に判別できる紙種判別方法を提供する。
【解決手段】記録領域（記録媒体１０が通過する領域）を挟んだキャリッジ７のホームポジションとは反対側の位置には検査チャート１１が配置されている。検査チャート１１は、低い円柱状のものであり、その外周面には複数の記録媒体片２７ａ，２７ｂ，…２７ｇ，……が等間隔で取り付けられている。複数の記録媒体片２７ａ，２７ｂ，…それぞれは異なる紙種であり、各記録媒体片２７ａ，２７ｂ，…は、検査チャート１１の外周面に着脱自在に固定されている。検査チャート１１は、後述するように回転し、この回転によって頂部（頂上）に位置した記録媒体片（図１では２７ｇ）は、キャリッジ７に搭載された検知センサ１２と主走査方向において同一直線上になる。 （もっと読む）

本発明は、広帯域光源と選別デバイスとを備えるシステムに関し、より詳細にはレーザ式選別デバイスに関する。本発明の目的は、選別プロセスに対して全ての波長を提供する光源を有する選別デバイスを備えるシステムを提供することにある。このことは、全ファイバ・スーパコンティニューム光源を使用することにより解決される。
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【課題】透光性及び非透光性、いずれの検査対象物についてもその表面の異物をＳ／Ｎの低下なく、しかも高速に検出できる異物検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】長さ方向に搬送中の検査対象物１２の表面幅方向にレーザ光を繰り返し照射しつつ検査対象物表面からの散乱光を検出し、その検査対象物表面における異物４３の有無を検査する異物検査方法、装置において、光源５１から出射された横断面点状のレーザ光Ｌ３を光学レンズ１４により線状レーザ光Ｌ４とする。この線状レーザ光Ｌ４を、検査対象物１２の搬送方向アに沿う方向に向く線状レーザ光Ｌ５とし、この線状レーザ光Ｌ５を、搬送方向アに直交する方向に検査対象物全幅に亘って繰り返し走査（帯状に照射）させて検査対象面全域を光照射させるポリゴンミラー５２を設ける。レーザ光密度を低下させずに検査対象面全域の光照射を高速に行わせる。 （もっと読む）

【解決手段】実際の欠陥が潜在的にシステム的な欠陥であるか、または潜在的にランダムな欠陥であるかを判断する、様々なコンピューターに実装された方法が提供される。実際の欠陥が潜在的にシステム的な欠陥であるか、または潜在的にランダムな欠陥であるかを判断するための、コンピューターに実装された一方法は、グループ内の実際の欠陥の数をグループ内のランダムに発生した欠陥の数と比較するステップを含む。実際の欠陥は、ウエハー上で検出される。グループ内の実際の各欠陥と、グループ内のランダムに発生した各欠陥との、位置近傍のウエハー上の設計の部分は実質的に同じである。方法はさらに、比較するステップの結果に基づいて、グループ内の実際の欠陥は潜在的にシステム的な欠陥であるか、または潜在的にランダムな欠陥であるかを判断するステップも含む。 （もっと読む）

【課題】設置環境の温度変化による架台内部の温度影響を可及的に小さくすることである。
【解決手段】基板を測定するための測定機器を収容する測定機器用架台であって、前記測定機器が内部に配置される枠体３と、前記枠体３に設けられ、前記測定機器の少なくとも側方を囲む内面板６１及びその内面板６１との間に気体層を形成する外面板６２からなる二重壁構造４と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）