【課題】
複数の方向に配置した複数の検出器からの信号を基板の高さ変動の影響を受けることなく処理して基板上のより微細な欠陥を検出することを可能にする。
【解決手段】
第１の集光検出手段と第２の集光検出手段とにそれぞれ複数列の光センサアレイを有する光電変換器を備え、処理手段は第１及び第２の集光検出手段のそれぞれの複数列の光センサアレイからの検出信号を用いて試料の表面に対する第１及び第２の集光検出手段の焦点位置のずれを求め、この求めた第１及び第２の集光検出手段のそれぞれの焦点位置のずれに応じて第１の集光検出手段から出力された検出信号と第２の集光検出手段から出力された検出信号とを補正し、この補正した第１の集光検出手段から出力された検出信号と第２の集光検出手段から出力された検出信号とを統合して試料上の欠陥を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】被検査物を変更する際の洗浄を、従来装置に比べてより簡単に行うことができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物Ｋを一列に整列して供給する整列供給装置と、供給された被検査物Ｋを搬送する搬送装置と、その搬送路上に設定された撮像領域内に達した被検査物Ｋの画像を撮像する撮像装置５０と、被検査物Ｋの画像を解析してその良否を判別する画像処理装置と、判別結果にしたがい、被検査物Ｋを良品と不良品とに選別する選別装置とを備える。整列供給装置、搬送装置及び選別装置は、閉塞空間たる搬送空間内に配設される一方、撮像装置及び画像処理装置は搬送空間の外側に配設される。撮像領域と対峙する仕切板７に、透明な部材から構成される窓部６５を設け、撮像装置５０は窓部６５を通して被検査物Ｋの画像を撮像する。 （もっと読む）

【目的】欠陥の検出および検出される欠陥種別の判定を行うパターン検査装置を提供する。
【構成】光源と、偏光状態の異なる第１の検査光と第２の検査光とを発生する検査光発生部を含み、第１の検査光と第２の検査光とを試料の同一面に照射する反射照明光学系と、試料に照射される第１の検査光と前記第２の検査光とを、それぞれ第１の像と第２の像として結像する結像光学系と、第１の像と第２の像とを拡大する拡大光学系と、拡大光学系で拡大される第１の像と第２の像とを撮像する画像センサと、画像センサで撮像される第１の像の画像である第１の検査画像と、第２の像の画像である第２の検査画像とを記憶する記憶部と、記憶部に記憶される第１の検査画像を第１の基準画像と比較し、第２の検査画像を第２の基準画像と比較して欠陥を検出する検出部と、欠陥の欠陥種別を判定する判定部と、を備えるパターン検査装置。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、基板が薄くなっても、基板自体の有する歪量を矯正し、基板を精度よく検査できる基板欠陥検査システム及び基板欠陥検査方法並びに、基板自体の有する歪量を矯正し、基板を検査可能範囲に維持して搬送できる搬送装置を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、基板を載置し前記基板を検査する検査領域に搬送し、前記検査領域に検査光を照射して前記基板を撮像し前記基板の欠陥を検査する基板欠陥検査システムまたは基板欠陥検査方法において、前記基板を湾曲形状に矯正し、前記湾曲形状に沿って配置され複数の光学検査ユニットで前記検査を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検査対象であるフォトマスクに所定波長の光束を照射し、フォトマスクを経た光束を撮像手段によって撮像して光強度データを求めるフォトマスクの検査方法において、実際の露光を行う露光装置との条件整合を良好に行う。
【解決手段】エッチング加工がなされる被加工層上に形成されたレジスト膜に対してフォトマスクを用いてｇ線、ｈ線及びi線の波長成分を含む露光光の露光を行い、レジスト膜をエッチング加工におけるマスクとなるレジストパターンとなすためのフォトマスクの検査に用いるテストマスクであり、露光光を透過させる透過部、遮光する遮光部、及び、一部を低減させて透過させるグレートーン部とを有するテストパターンを形成したテストマスクにおいて、テストパターンが一定の規則に基づいてパターン形状が逐次変化された複数の単位パターンが配列された部分を含み、パターン形状の逐次変化により、各単位パターンにおけるグレートーン部の幅をそれぞれ異ならせる。 （もっと読む）

【課題】スリット光によって測定対象物に形成される光切断線における干渉縞を低減して良好に表面測定が行われる表面検査装置を構成する。
【解決手段】半導体レーザＬＤからのレーザ光ＬＢから直線状の領域に拡がるスリット光Ｓを作り出してワークに照射し、これを撮影ユニットで撮影した画像データからスリット光Ｓが照射された光切断線を抽出してワークの表面形状データを生成するように表面検査装置を構成する。半導体レーザＬＤが、ＰＮ接合型で接合面の境界部分に沿って直線方向Ｍに形成される発光層１７を有し、この直線方向Ｍが、スリット光Ｓの拡がり方向と直交するように相対的な姿勢を設定した。 （もっと読む）

【課題】錠剤などのワークを搬送しながら効果的に撮影する。
【解決手段】２つのベルト６０，６２を対向させ、その対向側面側に凸条Ｂをそれぞれ形成する。そして、この凸条Ｂ上にワークを支持する。これによって、ワークを撮影しやすい状態で確実に搬送することができる。 （もっと読む）

【課題】被検査物を治具などで掴んだり吸着することなく、円筒状の被検査物を、決まったセンサ位置にて、中心軸の周りで回転させ、全周面にわたって、また必要に応じて端部も同時に、欠陥検査が行えるようにする。
【解決手段】磁性材料からなる被検査物に磁界を印加し、その表面の欠陥部に生じた漏洩磁界の乱れを磁気センサを用いて検出する磁気探傷方法である。被検査物１０は円筒状であって、その外周面が回転用ベルト１２に接触しており、回転用ベルトを介して被検査物に対向している永久磁石１４によって被検査物に磁界が印加されると共にその磁力により被検査物が回転用ベルトに引き付けられ、磁石をセンサ位置に停滞させた状態で回転用ベルトを動かすことにより、被検査物がセンサ位置に止まったままで回転用ベルトとの摩擦力で中心軸の周りに回転し、磁気１６センサによって被検査物の周面を検査する。 （もっと読む）

【課題】合焦精度を向上させる。
【解決手段】高感度のラインセンサ１６Ｂは、レーザ照明部１１により照明された対象物２の光点像の光量から得られる高輝度の受光データを取得し、低感度のラインセンサ１６Ａは、対象物２の光点像の光量から得られる低輝度の受光データを取得し、データ処理部１７は、正常時は、高感度のラインセンサ１６Ｂからの高輝度の受光データを選択し、高輝度の受光データを得るときのレーザ光が飽和した場合、低輝度の受光データを選択する。そして、検出部１８は、データ処理部１７により選択された受光データに基づいて、対象物２の像の合焦状態を検出することで、対象物２の像の合焦状態が確実に検出されるので、合焦精度を向上させることができる。本発明は、例えば、対象物の断面形状を測定する測定装置に用いられる位置検出装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】位相シフト法を用いて３次元計測結果の表示が可能で、また２次元計測が可能な外観検査装置及び印刷半田検査装置を提供することにある。
【解決手段】印刷半田検査装置１は、検査対象物１００に対し斜め上方であって対向する２方向から位相変化光を照射可能な一対の第１照明装置２と、前記検査対象物に対し上方からＲＧＢ光を照射可能な第２照明装置３と、前記検査対象物を白黒画像で撮像可能な撮像装置４と、を備えている。そして、前記検査対象物の同一撮像面に対し前記２方向の位相変化光を照射して撮像し、該撮像の前又は後にて前記検査対象物の同一撮像面に対し前記ＲＧＢ光を順次照射して撮像し、各画像を合算した画像により前記検査対象物の外観を検査する。 （もっと読む）

【課題】ＭＴ法を利用して検査品の良否判定を行う技術において、良否判定をするための処理時間を短縮し、なおかつ検査品に偏りがある場合であっても、良否判定を精度良く行うこと。
【解決手段】マハラノビス距離を算出するためのマハラノビス基準空間の生成にあたり、先ず、良品サンプルの良品画像を取得する（Ｓ１）。次いで、その良品画像に対して、２値化処理→平滑処理→差分処理の画像処理を施して、良品画像に含まれる、他の領域に比べて良品の程度が劣る良品グレー領域を検出する（Ｓ２）。次いで、検出した良品グレー領域の輝度分布データを算出する（Ｓ３）。次いで、その輝度分布データに基づいて、マハラノビス基準空間を生成する（Ｓ４）。 （もっと読む）

【課題】
欠陥信号を低下させて欠陥を見逃してしまうことのない欠陥検査装置および欠陥検査方法と提供する。
【解決手段】
表面にパターンが形成された検査対象物に光を照射し、この光が照射された検査対象物から発生する反射、回折、散乱光を集光して第１の遮光パターンを備えた第１の空間フィルタを透過した光による第１の光学像を第１の検出器で受光して第１の画像を取得し、光が照射された検査対象物から発生する反射、回折、散乱光を集光して第２の遮光パターンを備えた第２の空間フィルタを透過した光による第２の光学像を第２の検出器で受光して第２の画像を取得し、取得した第１の画像と第２の画像を統合的に処理して欠陥候補を判定する欠陥検査方法及びその装置とした。 （もっと読む）

【課題】 高価な位置検出器を取り付けることなく、シート材端部の観察画像が常に最適状態にある観察装置及び方法、並びに、観察画像を用いた評価結果にばらつきが生じることを防ぐことができる観察評価装置及び方法を提供する。
【解決手段】 連続搬送されるシート材端部を第１及び第２の観察手段を用いて観察評価する装置及び方法において、
第１の観察手段は、シート材の幅方向端部を視野に含み、厚み方向にシート材端部との距離が変更可能な第１の観察手段位置変更機構に取り付けられ、
第２の観察手段は、シート材の厚み方向端部を視野に含み、幅方向にシート材端部との距離が変更可能な第２の観察手段位置変更機構に取り付けられており、
第１及び第２の観察手段での観察情報に基づき、シート材の幅及び厚み方向端部の位置を検出し、第１及び第２の観察手段位置変更機構を制御することを特徴とするシート材端部の観察評価装置及び方法である。 （もっと読む）

【課題】液相中の固形物検出用の装置および方法を提供する。
【解決手段】固形物および液相は、少なくとも部分的に透明な容器に混合物として封入され、装置は、プロセッサユニットおよびデジタル化された画像を、画素値を伴う画素の配列の形で作るためのカメラを備える。装置は、容器を保持し、容器に運動を与えて、それによって運動エネルギーが混合物に伝送されるためのアジテータ装置をさらに備える。カメラは、運動中の混合物の画像を撮影するために容器の透明部分に向けられる。記録段階の間にカメラによって撮影された運動中の混合物のデジタル化された画像は、プロセッサユニットへ伝送される。 （もっと読む）

【課題】小サイズの円筒体でもチャック用挿入支持部を不具合なく挿入できる円筒体の検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の検査装置は、メインローラ２０およびサブローラ３０を有する一対の挿入支持部１２を備え、ローラ２０，３０を近接させた挿入支持部縮径状態で、円筒体Ｗの両端部内側に挿入し、その後、ローラ２０，３０を離間させて円筒体内周面に接触させて、各ローラにより円筒体Ｗを回転自在に支持する。そして本装置は、挿入支持部縮径状態で、メインローラ２０の後方に配置されたサブローラ３０，３０の全域が、メインローラ２０に対し軸心方向に重なって配置されるようにしている。 （もっと読む）

【課題】
複数条件の画像を同時に検出して統合する構成を用いた場合、高レートのデータ転送手段と大容量のメモリや記憶媒体が必要となる。
【解決手段】
複数の撮像条件にて試料の画像データを取得する工程と、前記複数の撮像条件にて取得した複数の画像データを画像記憶部へ格納する工程と、前記複数の画像データのそれぞれより欠陥候補を取得する工程と、前記画像記憶部に格納された、少なくとも２つの撮像条件の前記画像データから、前記複数の画像データのいずれかで検出した前記欠陥候補位置とその周辺を含む部分画像を切り出す工程と、前記欠陥候補に対応する少なくとも２つの撮像条件で取得した前記部分画像を統合処理することで、欠陥候補を分類する工程と、を有することを特徴とする欠陥検査方法である。 （もっと読む）

【課題】撮像手段の移動及び停止の際の位置決め精度に優れた基板検査装置を提供すること。
【解決手段】検査対象の基板Ｂgにライン照明光を照射するライン照明４と、ライン照明光の基板からの反射光を撮像するラインセンサカメラ８とを備え、反射光を撮像した画像をもとに基板表面の状態を検査する基板検査装置１は、互いに異なる位置に配置され、基板で互いに異なる方向へ反射した複数の反射光をラインセンサカメラへそれぞれ反射する複数の反射鏡５，６と、基板から複数の反射鏡を経由してラインセンサカメラに至るまでの光路長を等しく保持しながら、ラインセンサカメラを移動させる移動機構７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】２軸の角度調整の操作性と小型化とをバランス良く達成することができる。
【解決手段】基準プレート１１と、ＣＣＤ素子面において走査方向に直交する方向の中心を通る走査方向の第１軸線Ｏ１を中心にして回転するあおり調整用プレート２０と、あおり調整用プレート２０上に搭載され、このあおり調整用プレート２０を回転させるためのあおり調整機構２１と、ＣＣＤ素子面に対する法線方向に平行な第２軸線Ｏ２を中心にして回転する回転調整用プレート３０と、回転調整用プレート３０上に搭載されるとともに、この回転調整用プレート３０を回転させるための回転調整機構３１とを備え、あおり調整用プレート２０がカメラ本体５に固定され、回転調整用プレート３０に対して回転可能に支持され、回転調整用プレート３０が基準プレート１１に固定され、各プレート１１、２０、３０がその順で重なって配置された角度調整装置１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】パターン形状の測定精度を向上させた検査装置を提供する。
【解決手段】下地層の上に所定のパターンを有するウェハ５のパターンを検査する検査装置であって、対物レンズ７の瞳面もしくは該瞳面と共役な面における領域毎の光の強度情報を検出する撮像素子１８と、パターンの形状変化に対しては強度情報の変化が異なり、下地層の変化に対しては強度情報の変化が同程度である、瞳面もしくは該瞳面と共役な面内の第１領域と第２領域の位置情報をそれぞれ記憶する記憶部と、撮像素子１８で検出される、第１領域の強度情報と、第２領域の強度情報との差異に基づいてパターンの形状を求める演算処理部２０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ハニカム構造体のセル内の隔壁の欠陥を検出することが可能なハニカム構造体の検査方法を提供する。
【解決手段】一方の端面から他方の端面まで貫通する複数のセルを区画形成する多孔質の隔壁を有するハニカム構造体１００を検査対象とし、ハニカム構造体１００の一方の端面１１を、一方の端面１１との角度θが０°より大きく９０°より小さくなる方向から、撮像装置２１で撮像して、ハニカム構造体１００のセル内の隔壁の欠陥を検査するハニカム構造体の検査方法。 （もっと読む）