【課題】複雑形状をした物体の外観検査において、目視では検出困難な形状の不良を定量的に評価し、検出する物体の外観検査方法及びその装置を提供することにある。
【解決手段】
物体の外観を検査する方法を、検査対象物体を載置して少なくとも一方向に連続的に移動させながら検査対象物体を撮像して検査対象物体の表面のテクスチャ情報を含む検査対象物体の画像を取得しながら検査対象物体の表面凹凸情報を取得し、この取得した検査対象物体の表面凹凸情報から検査対象物体の立体形状を復元し、取得した画像と復元した検査対象物体の立体形状とから表面テクスチャを持った物体の外観情報を得、この得られた外観情報から複数の特徴を抽出し、この抽出した複数の特徴のうち少なくとも１つの特徴を予め設定した参照データの前記少なくとも１つの特徴に対応する特徴と比較して検査対象となる物体の外観を評価するようにした。 （もっと読む）

【課題】効率良く検査を行なうことができ、また、精度良く表面欠陥の検出を行なうことができる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】ウエブ状の被検査物の表面欠陥を検出する検査装置であって、走行する被検査物を支持する円柱形状を有する複数の検査ロールと、検査ロール上の被検査物の表面に光を照射する光源と、被検査物の表面から反射した光を検出する検出ユニットと、を備え、複数の検査ロールのそれぞれの周面に、該検査ロールと被検査物との間に入り込んだ空気を逃す凹凸が形成された溝部と凹凸が形成されていない柱面部とが形成され、溝部と柱面部とが各検査ロールの軸方向に並んで形成され、検出ユニットは、被検査物において柱面部上に位置する領域を検出領域とし、柱面部の位置が、複数の検査ロールそれぞれにおいて軸方向に異なる。 （もっと読む）

【課題】光学フィルムの製造時、発生する欠陥を検出し、それにより製品の予想歩留まりを算出するためのフィルムの歩留まり予測システム及び方法を提供する。
【解決手段】歩留まり予測システムは、光学フィルムの製造工程中、特定段階を遂行中の光学フィルム上の欠陥を検出し、検出された欠陥の位置を含む第１の欠陥データを生成する第１の検査部と、前記特定段階と区別される前記製造工程中の他の段階を遂行中の前記光学フィルム上の欠陥を検出し、検出された欠陥の位置を含む第２の欠陥データを生成する第２の検査部と、前記第１の欠陥データ及び前記第２の欠陥データを併合するデータ併合部と、前記データ併合部で併合された欠陥データにより、前記光学フィルムの予想切削の位置及び切削のサイズによる前記光学フィルムの予想歩留まりを算出する歩留まり予測部とを含む。 （もっと読む）

【課題】高速に検査することができる検査装置、及び検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様にかかる検査装置は、照明光が入射する偏光ビームスプリッタ１１と、偏光ビームスプリッタ１１からの照明光を集光して、ＥＵＶマスク４０に照射する対物レンズ１３と、ＥＵＶマスク４０で反射して対物レンズ１３を通過した反射光の一部の光路を変化させて、反射光の光軸と垂直な面における位置に応じて反射光を分割する分割ミラー１５と、一方の光ビームを受光して、対物レンズ１３の視野における第１の領域を撮像する検出器１６と、偏光ビームスプリッタからの光学距離が検出器１７の偏光ビームスプリッタ１１からの光学距離と異なる位置に配置され、他方の光ビームを受光して対物レンズ１３の視野における第２の領域を撮像する検出器１７と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】出力光の吸収による位相不整合を低減して波長変換効率を向上可能なレーザ装置を提供する。
【解決手段】本発明を例示する態様のレーザ装置は、第１のレーザ光Ｌ₁₀を出力する第１レーザ光出力部１０と、第１のレーザ光を波長変換して変換光Ｌ₃₀を出力する波長変換光学素子３０と、第１のレーザ光と異なる波長の第２のレーザ光Ｌ₂₀を出力する第２レーザ光出力部２０と、第２のレーザ光Ｌ₂₀を第１のレーザ光Ｌ₁₀と重ね合わせて波長変換光学素子３０に入射させる合成光学素子３１とを備える。第２のレーザ光Ｌ₂₀は、波長変換光学素子３０における第２のレーザ光Ｌ₂₀の吸収によって発生する熱量が、波長変換光学素子における変換光Ｌ₃₀の吸収によって発生する熱量と略等しくなるように設定される。 （もっと読む）

【課題】棒鋼等の長手方向に連続的に存在する表面欠陥を精度よく検出する。
【解決手段】本発明の表面検査装置１５は、長尺の被検査材２の表面を照明する照明手段１６と、被検査材２の表面を撮像する撮像手段１７と、撮像手段１７により撮像された画像を処理して欠陥を検出する画像処理手段１８とを備えた表面検査装置１５において、被検査材２の周囲に撮像手段１７との挟み角が異なる２台の照明手段１６を配置している。照明手段１６を交互に点灯させて欠陥を検出すると、欠陥の位置によりいずれかの照明手段１６を点灯させて欠陥を追随して検出する。 （もっと読む）

【課題】画像検査の検査精度を向上する。
【解決手段】画像検査装置では、撮像部により画像が撮像されて検査画像が取得されるとともに、元画像データに基づいて基準画像が生成される。第１積算部では、基準画像中の画像記録方向に並ぶ画素の値が積算されて基準積算値分布が取得される。第２積算部では、検査画像中の画像記録方向に並ぶ画素の値が積算されて検査積算値分布が取得される。感度補正部では、検査積算値分布の局所ピークを除去した後の検査積算値分布と基準積算値分布との比に基づいて、検査積算値分布６０の局所ピーク以外の複数の積算値を、基準積算値分布の対応する複数の積算値に相対的に近づける感度補正が行われる。比較部では、感度補正後の検査積算値分布６２から基準積算値分布が減算され、欠陥の検出が行われる。このように、画像検査部では、検査積算値分布６０に対して感度補正を行うことにより、検査精度が向上される。 （もっと読む）

【課題】
本発明をウエハ、ディスプレイパネル、磁気ディスクなど試料上に発生した欠陥の部位に対して、走査電子顕微鏡で画像を撮像しようと試みたとき、画像に欠陥が写っていないといった失敗が生じる割合を低減する。
【解決手段】
本発明は、欠陥の座標と特徴量を有する欠陥検査データを入力し（２４１）、欠陥毎に走査電子顕微鏡での検出可否を予測し（２４２）、予測結果に基づいて走査電子顕微鏡で撮像する座標をサンプリングし（２４３）、予測結果に基づいて加速電圧を設定した電子光学系、ないしは光学系で欠陥部位の画像を撮像する（２４４）。 （もっと読む）

【課題】開口部が周期的に形成されている半導体ウェハを検査することができる検査装置、検査方法、及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様にかかる検査装置は、一方の面に開口部１４が周期的に形成された半導体ウェハ１０の検査装置であって、半導体ウェハ１０の一方の面と反対側の他方の面の法線から傾斜した入射方向３１に向けて光を出射し、他方の面を照明可能な照明装置２２と、照明装置２２から入射方向に出射された光の正反射方向の近傍位置に配置され、照明領域の長手方向に沿って配列された受光画素で半導体ウェハ１０からの光を受光する検出器２３と、半導体ウェハ１０と照明領域の位置を相対移動して走査を行うステージ２１と、を備えた検ものである。 （もっと読む）

【課題】被検査対象物であるワークに対して加工したり、他の部位を装着したりすることなく、ワーク全周の疵を安定して検出することが可能な検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】ワークＷの円筒面を検査部４にて検査するための検査装置および検査方法である。回転軸心Ｌ１，Ｌ２が相互に平行に配設されている一対の回転軸１１，１２にてワークを支持させた状態で、回転体１１，１２をワークに接触させる。一対の回転軸１１，１２を回転駆動させることにより、回転体３１をワークとともに回転させる。回転軸１１，１２とワークＷとの間に滑りが生じることなくワークＷがその軸心廻りに１回転する基準時間での回転体３１の回転状態を検出する。回転状態に基づいてワークＷと回転軸１１，１２との間に滑りがあるか否かを判断しつつ、ワークＷの画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】試料に実在する欠陥に起因する輝度変化を、各種ノイズから分離して検出できる検査装置を実現する。
【解決手段】本発明では、試料表面上に主走査方向に整列した複数個の走査スポットを形成し、試料表面の同一の部位を、主走査方向に整列したｎ個の走査スポットにより所定の時間間隔で順次走査する。ｎ個の走査スポットからの反射ビームをそれぞれ光検出素子により受光する。信号処理装置は、ｎ個の光検出素子から出力される輝度信号中に、所定の閾値を超えると共に互いに時間的又は位置的に対応する輝度変化が存在する場合、試料上に欠陥が存在するものと判定する。本発明によれば、試料表面上に形成された欠陥に起因する輝度変化は、光源ノイズや光検出器の熱雑音から分離して検出されるので、疑似欠陥が増大することなく、欠陥の検出感度を高く設定することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】欠陥座標に含まれている誤差を低減可能な光学式検査装置を提供する。
【解決手段】チャンネルが配列されたラインセンサと、ウエハをステージに載せてラインセンサに対して移動させる移動手段と、行列の行毎に１つ且つ列毎に１つ擬似欠陥ダイが形成され擬似欠陥ダイには複数の擬似欠陥が列方向に一列に形成されている座標管理用ウエハを検査したのを受けてチャンネル上に結像した擬似欠陥のステージ上の位置を擬似欠陥ステージ座標Ｘｓ０として検出するステージ位置検出手段と、擬似欠陥ステージ座標Ｘｓ０を擬似欠陥ダイ座標に変換する座標変換手段と、設計座標に対する擬似欠陥ダイ座標の差分ΔＸを算出する差分算出手段と、擬似欠陥ステージ座標Ｘｓ０に対して差分ΔＸが一定の振幅Ａ１で振動し直線Ｌ１に沿って増加又は減少する座標誤差特性パターンＣＰ１を取得する特性パターン取得手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】積層フィルムの擬似欠陥の有無の判定を簡単に行う。
【解決手段】偏光板１３とセパレータ１５を有する積層フィルム９上に、偏光フィルタ１９を配置する。偏光フィルタ１９の偏光軸を、偏光板１３の偏光軸と略直交させる。積層フィルム９の直下にライン光源１７を配置し、偏光フィルタ１９の直上にラインセンサカメラ２０を配置する。ライン光源１７から積層フィルム９に向けて検査光２４を照射する。積層フィルム９及び偏光フィルタ１９を透過した検査光２４をラインセンサカメラ２０で撮像する。撮像により得られた画像データ４１から、輝度が高くなる高輝度領域４０を欠陥画像データとして抽出する。欠陥画像データが２つの高輝度領域４０が並ぶ特定欠陥画像データである場合に、この欠陥画像データに対応するフィルム欠陥部分を、擬似欠陥であると判定する。 （もっと読む）

【課題】検査表面を多方向から撮影して欠陥を判定する装置および方法において、ワークの姿勢と撮影手段の受光部の向きを変化させると、機構が複雑となる問題が考えられる。
【解決手段】ワークＷの表面の検査区域Ｔから異なる方向から、検査区域Ｔに向かって照射可能な発光手段（Ｏ_１・・・Ｏ_８）と、発光手段（Ｏ_１・・・Ｏ_８）が発した光を絞って検査区域Ｔに照射するためのレンズ手段（Ｌ_１・・・Ｌ_８）と、受光部が検査区域Ｔに正対するように検査区域Ｔの表面に対して鉛直方向に固定して配置され、発光手段（Ｏ_１・・・Ｏ_８）が発した光の検査区域Ｔにおける反射光を受光可能な撮影手段Ｃと、撮影手段Ｃが発光手段（Ｏ_１・・・Ｏ_８）の点灯方向に対応して受光部により反射光を受光して、異なる方向からの照光に対応した検査区域Ｔの表面の画像を撮影するように撮影手段Ｃを制御する制御部とを備えることを特徴とする欠陥検出装置により解決する。 （もっと読む）

【課題】 食品などの内容物が透光性の包装シートで包まれた包装体の画像を取得し、シール部に異物が噛み込まれているか否かを判別できる包装体の検査装置を提供する。
【解決手段】 包装体３０の通過領域を挟んで一方に照明部が他方にカメラが配置され、照明光が包装体３０を透過した像がカメラに取得される。包装体３０の像と背景の像を二値化し、横シール部３８，３９の長さＳだけ縦方向（Ｌ方向）へ短縮させ、さらに背景を「１」とし短縮した包装体を「０」に反転させたマスク画像を生成する。このマスク画像と、包装体の全体画像（ＩＩＩ）の論理積をとることで、横シール部３８，３９の画像を分離できる。分離された横シール部３８，３９の部分画像を二値化処理することで、横シール部３８，３９に異物３１ａが噛み込まれているか否かが判別される。 （もっと読む）

【課題】撮像対象物のサイズに影響されることなく、高分解能で撮像対象物を撮像する。
【解決手段】複数のラインカメラモジュール１１０を備え、複数のラインカメラモジュール１１０の各々は、ラインセンサ１２１を含むラインカメラ１２０と、ラインセンサ１２１の長手方向に対して交差する方向であって、かつラインカメラ１２０の側方に配置され、ラインカメラ１２０の撮像領域に光を投影する照明装置１３０とを有し、隣接するラインカメラモジュール１１０との間でラインセンサ１２１の撮像領域が長手方向に連続するよう、ラインセンサ１２１の長手方向に対して交差する方向において、隣接するラインカメラモジュール１１０と重なり合いを有するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】砥粒の状態を新たな解析パラメータを用いてより詳しく解析し、これにより砥面の状態をさらに正確に検査できるようにする。
【解決手段】カメラ６により砥石３の砥面を撮像してそのライン画像データを取り込み、各ライン画像データに対し砥粒抽出処理部１２３により複数種のフィルタリング処理を行うことで上記ライン画像データから砥粒切れ刃候補の画像を抽出する。そして、砥粒解析処理部１２４の制御の下で、上記抽出された各砥粒切れ刃候補の画像から、砥面全域における各砥粒切れ刃候補の重心の座標と、凸多角形近似データ及び円形度と、内部欠損及び外部欠損と、面積及び欠損度と、すくい角側の稜線形状をそれぞれ算出または検出する。そして、この得られた解析パラメータをもとに、砥石３の幅方向における砥粒分布ヒストグラムと、砥石３の砥面全域における砥粒の分布状態を表す三次元マップを生成する。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面の凹凸パターンのサイズ変動を検査するマクロ検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物２の表面の凹凸パターンのサイズ変動を検査するマクロ検査装置１００である。マクロ検査装置１００は、被検査物２を乗せるためのステージ１と、被検査物２の表面に対して所定の角度方向から被検査物２側に光を照射する拡散光源５と、被検査物２の表面からの反射光を受光可能なラインセンサ９と、被検査物２とラインセンサ９との間に設けられ、反射光のうち拡散光源５のエッジ部からの光束に起因する反射光束が、ラインセンサ９の両端の少なくとも一方に設けられた所定領域でのみ受光されるように、反射光をラインセンサ９に導くための光学系と、を備える。 （もっと読む）

【課題】パターン検査装置の製造コストを削減しつつコントラストの高い検査画像を取得する。
【解決手段】パターン検査装置の画像取得部１３は、光照射部１３１、ラインセンサ１３２、角度変更機構、および、検査対象であるウエブ９を搬送する搬送機構を備える。光照射部１３１からは、ウエブ９の薄膜パターンに対して透過性を有する波長の光が出射される。光照射部１３１からの光の照射角θ１およびラインセンサ１３２により撮像が行われる検出角θ２は、常に同じであり、これらの角度は角度変更機構により変更される。パターン検査装置では、予め検査画像のコントラストが高くなる照射角および検出角の設定角度が求められ、照射角および検出角が設定角度とされる。これにより、単一波長の光源を用いてラインセンサ１３２によりコントラストの高い検査画像を取得することができ、パターン検査装置の製造コストも削減することができる。 （もっと読む）

【課題】ラップフィルム等の透明あるいは半透明のフィルムをロール状に小巻にしたフィルム・ロールの内部に発生する巻皺を検査する。
【解決手段】搬送コンベアに保持されたラップフィルム等が小巻されたフィルム・ロールを一定速度で搬送する過程で、ラインセンサにより画像を撮像する構成とし、入射した光がフィルム・ロールの内部で発生した巻皺等によって拡散され、正常であれば暗くなっているはずの部分が皺の影響により明るく映っていないか判断する。対象となる検査領域は、入射光がフィルム・ロールの表面で正反射している輝線の部分ではなく、そこから数画素離れた、隣接する暗くなっている領域に設定する。この領域に通常より明るい画素があれば、それは巻皺の存在を示している可能性があるので、予め設定された閾値と比較し、その画素数の総計がある基準を上回ると、巻皺があると判定し、該フィルム・ロールを不良品とする。 （もっと読む）