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Fターム[2G051CA03]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 受光素子 (8,314) | 特定の受光素子 (6,408) | 半導体素子、アレイ (1,620)

Fターム[2G051CA03]に分類される特許

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【課題】ボトル缶のねじ部を正確かつ短時間で検査する。
【解決手段】ライナー付キャップを被嵌するために開口端を外方へ向かってカールさせたカール部1とカール部1の下方でキャップをねじ嵌合するねじ部2とからなる口金部3を有するボトル缶4を缶軸Xまわりに回転させながら、口金部3の一部を含むように設定された撮像エリアを撮像して口金部3におけるねじ部2の形状を検査する装置であって、ボトル缶4を保持して缶軸まわりに回転させる回転手段21と、撮像エリア内のボトル缶4のねじ部2に半径方向外方かつ缶軸方向下方から斜め上向きに照明光Aを照射するねじ部照明手段22と、撮像エリアにおける照明光Aの反射光A´を含む検査画像を連続的に取得する撮像手段24と、反射光A´の撮像結果に基づきねじ部2のねじ始まり部を検出し、ねじ始まり部を含むねじ部2の検査を行うねじ部検査手段25とを備える。 (もっと読む)


【課題】パターン検査装置の製造コストを削減しつつコントラストの高い検査画像を取得する。
【解決手段】パターン検査装置の画像取得部13は、光照射部131、ラインセンサ132、角度変更機構、および、検査対象であるウエブ9を搬送する搬送機構を備える。光照射部131からは、ウエブ9の薄膜パターンに対して透過性を有する波長の光が出射される。光照射部131からの光の照射角θ1およびラインセンサ132により撮像が行われる検出角θ2は、常に同じであり、これらの角度は角度変更機構により変更される。パターン検査装置では、予め検査画像のコントラストが高くなる照射角および検出角の設定角度が求められ、照射角および検出角が設定角度とされる。これにより、単一波長の光源を用いてラインセンサ132によりコントラストの高い検査画像を取得することができ、パターン検査装置の製造コストも削減することができる。 (もっと読む)


【課題】ラップフィルム等の透明あるいは半透明のフィルムをロール状に小巻にしたフィルム・ロールの内部に発生する巻皺を検査する。
【解決手段】搬送コンベアに保持されたラップフィルム等が小巻されたフィルム・ロールを一定速度で搬送する過程で、ラインセンサにより画像を撮像する構成とし、入射した光がフィルム・ロールの内部で発生した巻皺等によって拡散され、正常であれば暗くなっているはずの部分が皺の影響により明るく映っていないか判断する。対象となる検査領域は、入射光がフィルム・ロールの表面で正反射している輝線の部分ではなく、そこから数画素離れた、隣接する暗くなっている領域に設定する。この領域に通常より明るい画素があれば、それは巻皺の存在を示している可能性があるので、予め設定された閾値と比較し、その画素数の総計がある基準を上回ると、巻皺があると判定し、該フィルム・ロールを不良品とする。 (もっと読む)


【課題】液漏れ等を生じるおそれのある傷等の凹凸形状を有するボトル缶のみを確実に検出でき、検査の処理時間を短縮できる生産性に優れたボトル缶の口金部検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】主搬送路101に沿って連続的に順次搬送されるボトル缶30の撮像エリアα内のカール部32に対して白色光Wを照射して撮像を行い、得られた白黒検査画像から低輝度領域の有無を検知して低輝度領域が検知されたボトル缶30bを排除する1次検査工程と、1次検査工程によって排除されたボトル缶30bを主搬送路101から退避した副搬送路102に沿って順次搬送しながら撮像エリアα内のカール部32に対して、口金部31の円筒面略接線方向に沿って2色の照明光をそれぞれ異なる方向から照射して撮像を行い、得られたカラー検査画像の各光色の信号強度からカール部32における凹凸形状の有無を判別し、ボトル缶の良否を判定する2次検査工程とを備える。 (もっと読む)


【課題】異物を伴わない単なるフィルム基材の波打ち現象を欠陥と誤認識することのない反射防止フィルム基材の欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】フィルム基材5に照射された照射光のうち斜め方向に反射する光を受光する第一の反射撮像光学系7,10とフィルム基材5に照射された照射光のうち垂直方向に透過する光を受光する第二の透過撮像光学系6,9とを備え、第一の反射撮像光学系が欠陥を検出した場合、第二の透過撮像光学系もフィルム基材上の同じ位置に欠陥を検出していた場合に限り、当該部位に欠陥があると判定することを特徴とする反射防止フィルム基材5の欠陥検査方法である。 (もっと読む)


【課題】印刷物とセンサヘッドとの微小距離を維持しながら容易かつ正確に印刷物検査を行う。
【解決手段】台盤に載置された印刷物の磁気特性を計測する磁気センサ及び光学特性を計測する光学センサの少なくともいずれか一つのセンサ、及び当該センサが配置された検知面から台盤又は台盤に載置された印刷物までの距離を非接触で計測する距離センサを有するヘッドユニットと、当該ヘッドユニット又は台盤を移動させることによりヘッドユニットと台盤との間の距離を調整する位置調整部と、距離センサによる距離計測結果に基づいてヘッドユニットの検知面から台盤又は台盤に載置された印刷物までの距離を所定距離に保つように位置調整部を制御する制御部とにより印刷物検査装置を構成する。 (もっと読む)


【課題】構造の異なる新たなセンサに変更した場合でも変更前のセンサ用基準データを利用して印刷物を検査する。
【解決手段】ラインセンサによって計測したデータ上に、ポイントセンサによる検査領域の計測を再現する領域を設定し、設定された領域に含まれる画素値を重み係数によって変換して検査データを生成し、当該検査データをポイントセンサ基準データと比較して印刷物検査を行う。検査に利用する重み係数は、基準媒体をラインセンサによって計測したデータとポイントセンサ基準データとが所定の類似性を満たすように、投受光される光や、投受光素子の取り付け状態を考慮して決定される。重み係数の決定と当該重み係数を用いた印刷物評価とを同じ印刷物検査装置によって行う。 (もっと読む)


【課題】高精度なウエハステージの移動制御を行う。
【解決手段】ウエハステージの位置を計測するために用いられるスケール39Y2に対して検出装置PDY1の照射系69Aからの検出ビームを照射し、スケール39Y2を介した検出ビームを受光系69Bで検出することにより、スケールの表面状態(異物の存在状態)を検出する。これにより、スケールに対して非接触で表面状態の検出を行うことができる。さらに、この表面状態を考慮することで、ウエハステージの移動制御を高精度に行うことができる。 (もっと読む)


【課題】 すき入れ及び紙端を鮮明に撮像し、すき入れが施された位置をばらつきが生じることなく高い精度で測定する検査方法を提供する。
【解決手段】
あらかじめ紙端撮像ラインカメラの撮像条件を紙端が鮮明に撮れる撮像条件に設定し、すき入れ撮像ラインカメラの撮像条件をすき入れが鮮明に撮れる撮像条件に設定した後、各ラインカメラにおいて紙端画像とすき入れ画像とをそれぞれ取得し、紙端画像から紙端を示す座標を検出し、すき入れ画像からすき入れを示す座標を検出し、紙端の座標からすき入れの座標までの距離を算出した後、算出した各座標間の距離が許容範囲か否かを判定してすき入れが形成された位置の合否判定を行う。 (もっと読む)


【課題】第1撮像部による撮像画像では印刷物の全領域を認識可能であり、第2撮像部による撮像画像では印刷物に利用される特殊インクの部分のみを認識できる印刷物の印刷状態を検査する。
【解決手段】第1検査光を照射して検査基準マーク及び印刷物を含む第1画像を撮像し、第1検査光と異なる波長の第2検査光を照射して検査基準マーク及び印刷物を含む第2画像を撮像し、第1画像上で所定の印刷内容の位置を特定するとともに該印刷内容の位置に基づいて印刷物の範囲を特定して該範囲に基づいて第1画像に含まれる印刷内容の検査を行うとともに、第1画像で特定された印刷物の範囲と検査基準マークとの相対的な位置関係に基づいて第2画像上で印刷物の範囲を特定して該範囲に基づいて第2画像に含まれる印刷内容の検査を行う。 (もっと読む)


【課題】周期性のあるパターンを持つ被検査体のムラ欠陥を検出する場合に、映り込みの判別を短時間に行うことが出来、さらに大面積の被検査体の検査時間を短縮する検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】基板を載置して搬送する搬送手段と、基板を照明する第一の照明手段と第二の照明手段と、第一の照明手段の照明角度を変化させる第一の照明角度変化手段と、第二の照明手段の照明角度を変化させる第二の照明角度変化手段と、第一の照明手段によって照明された基板を撮像する第一の撮像手段と、第二の照明手段によって照明された基板を撮像する第二の撮像手段と、第一の撮像手段及び第二の撮像手段によって得られた画像を処理する画像処理部と、前記搬送手段と、第一と第二の照明手段と、第一と第二の照明角度変化手段と、第一の撮像手段及び第二の撮像手段と、を制御する制御部と、を備えたことを特徴とする検査装置。 (もっと読む)


【課題】本発明はレールに敷設された石(バラスト)の陥没穴を迅速に検出することで、車両の転覆、脱線等の事故を未然に防止するものである。
【解決手段】本発明のレール敷石陥没検出装置は、上記の目的を達成するために、通常運行時の列車の先頭車両の前方に搭載した近赤外線照明により、レールに敷設された石(バラスト)に近赤外光を照射し、その画像を近赤外光のみを通す光学フィルタを通してラインセンサカメラで撮像し、その映像を走査方向に積算することで、バラストと陥没穴を区別し、陥没穴を自動的に検出する。 (もっと読む)


【課題】配置の制約が少なく、かつ照度不足および照度ムラが生じにくい投影装置を提供する。
【解決手段】撮像部の撮像対象物に対して光を投影する投影装置200であって、放射する光の波長帯が互いに異なる赤色LED240R、緑色LED240Gおよび青色LED240Bと、撮像対象物の特性に基づき、各LEDが放射する光の光量を制御する投影制御部230と、複数のLEDから放射される光を、同一の光軸上に導くことにより、撮像対象物に対して光を投影するリレー部250とを備える。 (もっと読む)


【課題】被検レンズが曲率半径の小さい形状であっても、1回の撮像によって被検レンズの全体について異物の検出を可能とする手段を提供する。
【解決手段】本発明に係るレンズ異物検出装置10は、被検レンズLを挟んで光軸方向一方側に配置され、平行でコヒーレントなレーザ光束を被検レンズLに照射するレーザ照射機構12と、被検レンズLを挟んで光軸方向他方側に配置され、被検レンズLを透過したレーザ光束を受光して被検レンズLの画像15を取得する撮像機構13と、被検レンズLの画像中における干渉縞17の存否に基づいて、被検レンズLにおける異物16の付着の有無を判定する制御部141と、を備えるものである。 (もっと読む)


【課題】貼り合せ板状体の周辺部に不透光領域があっても、接着剤内の気泡や異物とともにその周辺部における接着剤の状態が現れ得る検査画像を得ることのできる貼り合せ板状体検査装置を提供することである。
【解決手段】ラインセンサカメラ50と、貼り合せ板状体10の第1板状体11側から当該貼り合せ板状体の表面を照明する第1照明手段51と、貼り合せ板状体10の第2板状体12側からラインセンサカメラ50に向けて照明する第2照明手段52とを有し、第1照明手段51は、貼り合せ板状体10の上方から、貼り合せ板状体10の表面における撮影ラインLCから所定距離だけ離れて当該撮影ラインLCに沿った方向に延びる所定領域ELを斜めに照明し、第1照明手段及51及び第2照明手段52による照明がなされている状態で、ラインセンサカメラ50が貼り合せ板状体10を走査することにより検査画像を生成する構成となる。 (もっと読む)


【課題】パターン形成や色の変化を設けない無地の有効面全面に亘って均質な表面を有するように形成された基板において、局部的に発生する光学的に不均質な欠陥を検出して分類する一般的で容易に実現できる欠陥検査方法を提供すること。
【解決手段】カメラ画像情報の2値化処理により検出した1次欠陥画素情報にその周囲の画素の輝度情報を加えた欠陥像の2次判定を行うことにより、分類することを特徴とする欠陥検査方法であって、前記1次欠陥画素情報の周囲の画素の輝度情報が、1次欠陥画素の輪郭に沿って正の整数n個分拡張した数のカメラ画素で囲った領域における輝度情報であり、前記欠陥像の2次判定のための条件としてnを設定できる。 (もっと読む)


【課題】マスクの歪の影響によらずパターンの良否を正確に判定することのできる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】マスク上の任意の少なくとも4点の座標を測定する(S101)。次いで、これらの少なくとも4点について、それぞれ対応する設計データの各座標との差を求め、最も差の大きい1点を選択する(S102)。次に、選択した1点と設計データの座標との差が予め設定した閾値を超えるか否かを判定する(S103)。閾値以下であれば、少なくとも4点全てを用いて、光学画像と参照画像との位置合わせを行う(S104)。一方、閾値を超える場合には、この点を除外し、残りの少なくとも3点を用いて位置合わせを行う(S105)。 (もっと読む)


【課題】貼り合わせた2つの基板層のいずれかに検査光の透過しない部分があっても、貼り合わせ界面に発生し得る微小空洞を検査することのできる基板検査装置を提供することである。
【解決手段】基板100の表面に対して斜めに入射するように検査光を帯状に照射する光源ユニット30と、前記検査光により前記基板の表面に形成される帯状照明領域を挟んで光源ユニット30と逆側の所定位置に配置されるラインセンサカメラ20とを有し、照明ユニット30及びラインセンサカメラ20と基板100とが相対移動している際にラインセンサカメラ20から出力される映像信号に基づいて基板画像情報を生成し、基板画像情報に基づいて基板100の第1基板層101と第2基板層102との界面に生じ得る微小空洞についての検査結果情報を生成する構成となる。 (もっと読む)


【課題】被検物を高温に加熱することなく、被検物の放射率を測定する放射率測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】第1放射エネルギの赤外光を被検物に照射する赤外光照射工程と、前記赤外光を照射された前記被検物からの反射赤外光から第2放射エネルギを測定する測定工程と、前記第2放射エネルギと前記第2放射エネルギとに基づいて前記被検物の放射率を算出する算出工程と、を含む放射率測定方法である。 (もっと読む)


【課題】本発明は、金属帯上の有害疵と、過検出とを弁別して検出することができる表面欠陥検出方法、および、該方法に使用される表面欠陥検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】走行する金属帯の表面欠陥を検出する表面欠陥検出方法において、疵候補領域の検出積算値、検出長さ、および検出幅を算出し、検出幅と検出積算値を検出長さで除して得られる密度幅(検出積算値/検出長さ)との比(検出幅/密度幅)を比較することにより、過検出と欠陥とを判定する。 (もっと読む)


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