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Fターム[2G051CA03]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 受光素子 (8,314) | 特定の受光素子 (6,408) | 半導体素子、アレイ (1,620)

Fターム[2G051CA03]に分類される特許

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【課題】検出系からの検出画像信号を補正することにより、複数の検査装置(機体)間での検査感度の機体差を低減することにある。
【解決手段】被検査対象001に光束を照射する光源と、被検査対象から反射する反射散乱光を導く光学系100と、導かれた反射散乱光を電気の検出信号に換える複数の光電セルが配列されている光電イメージセンサ400と、前記光電イメージセンサを分割した複数の領域ごとに、それぞれに対応する信号補正部、A/D変換器および画像生成部から構成される検出信号伝送部と、前記検出信号伝送部が出力する部分的な画像を合成する画像を作成する画像合成部と、合成された画像を処理することで被検査対象表面の欠陥あるいは異物の検査を行なう検査装置において、検出信号伝送部は、光電セルからの検出信号を各チャンネル毎に定めた基準検出信号強度の基準目標値に近づけるように補正できる検出信号補正機能を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】低コストでノズル穴に生じる不良箇所を精度よく特定可能なノズル外観検査装置、およびノズル外観検査方法を提供すること。
【解決手段】ノズル外観検査装置100は、暗視野光学系ユニット5と、ノズル穴の撮像画像を取得する画像入力手段(撮像手段)70と、ノズル穴の中心を推定する中心推定手段71と、エッジ検出により輪郭を検出する輪郭検出手段72と、輪郭から仮の近似円の中心を求める仮近似円算出手段73と、仮の近似円の中心と輪郭上の各点との距離の平均値を求める仮距離平均算出手段74と、平均値と各距離との差が規定値未満となる輪郭上の点を抽出する近似円候補抽出手段75と、抽出された点によって形成される輪郭から近似円を特定する近似円特定手段76と、近似円の中心から抽出された輪郭までの距離が規定値以上となる箇所を不良箇所と特定する不良箇所特定手段77と、を備える。 (もっと読む)


【課題】高温の被計測体に発生する酸化スケール等の表面異常を精度良く識別することができる被計測体の表面異常識別装置を提供する。
【解決手段】高温の被計測体5から得られる輻射光を輻射光撮像部18により、被計測体5が一定角度回転される毎に撮像して得た複数の輻射光画像を合成して、合成輻射光画像を作成する画像合成部10と、前記合成輻射光画像から所定領域を抽出して、撮像中の被計測体5の温度低下に基づく前記所定領域の画像の輝度変化を補正する第1輝度補正部12と、前記補正した所定領域の画像から所定暗部を検出し、該所定領域の画像の暗部を前記被計測体の表面異常と判定する異常判定部14と、を備える被計測体の表面異常識別装置1を用いる。 (もっと読む)


【課題】誤って検出される擬似欠陥の数を低減できるとともに、欠陥の検出感度を落とすことなく、本来検出されるべき真の欠陥を検出できる基板検査方法及びその基板検査用のフィルタ画像の画像作成方法を提供する。
【解決手段】
基板の欠陥の有無を検査するために擬似欠陥を除去するためのフィルタ画像を作成する画像作成方法において、登録された画像の中心位置を中心とする円の円周上に位置するいずれかの画素の画素値を、円周上に位置する画素から選択した複数の画素の画素値のうちの最大値に置換することによって、フィルタ画像を作成するフィルタ画像作成工程S14とを有する。 (もっと読む)


【課題】簡易な構成でガラス基板の表面の画像を高精度かつ迅速に取得する。
【解決手段】表面検査装置10は、被検査対象物(ガラス基板14)の移動方向に沿う複数の異なる位置にそれぞれ照明光を照射可能な複数の光源(3つの線光源11,12,13)を有する照明手段と、被検査対象物(14)を照明手段に対して相対移動させる駆動手段(駆動ローラ4)と、複数の光源(11,12,13)によってそれぞれ照明された被検査対象物(14)を所定のタイミングで撮像し、複数の異なる画像を取得する撮像手段(ラインセンサカメラ15)と、照明手段と駆動手段(4)とを制御し、被検査対象物(14)を相対移動させた状態で被検査対象物(14)の異なる位置に照明光を所定のタイミングで照射するとともに所定のタイミングで複数の異なる画像を取得するよう撮像手段(15)を制御する制御手段5と、を備える。 (もっと読む)


【課題】 食品を包装するフィルム状の包装袋を有する被検査物の噛み込みやシワに起因するシール不良等をシール部の折れ曲がりの影響を受けることなく、極めて良好に検査できる実用性に秀れた光学検査装置を提供する。
【解決手段】 搬送機構に設けられる間隙部10においてこの搬送機構により搬送される被検査物7に照明光を照射する照明部3と、前記間隙部10の下方から前記被検査物7を撮像する撮像部2と、該撮像部2で撮像した前記被検査物7の撮像データをもとに画像処理を行う画像処理部と、該画像処理部で行った画像処理の結果を表示する表示器8とを備えた光学検査装置1であって、前記照明部は搬送機構の上方に設けるとともに、前記照明部3の発光面9が間隙部10の間隙距離よりも搬送流れ方向に広く設ける。 (もっと読む)


【課題】 基板の保持部が撮像部の撮像領域に写り込まず、基板にキズや汚れを生じさせず、基板の位置ずれを起こすことなく、基板の検査を行うことができる装置及び方法を提供する。
【解決手段】 検査対象となる基板を保持して、一方向に移動させながら検査を行う基板検査装置及び方法であって、
基板移動部は、基板が光源と撮像部の撮像領域を通過するように、基板を保持して移動させる第1の基板移動部と、基板の光源と撮像部との間を通過した部分を保持して移動させる第2の基板移動部とを含んで構成され、
基板又は基板移動部の移動中の位置を検出する基板位置検出部を備え、
検出位置情報に基づいて、基板を第1の基板移動部と第2の基板移動部とで共に保持して移動させながら検査を行うこと特徴とする基板検査装置及び方法 (もっと読む)


【課題】枚葉シートに切り取られたフィルムをシワの無い一様な被検査面に形成して外観検査を容易にし、検査精度を向上することが可能で、しかも設備費用が抑制された自動検査装置を提供する。
【解決手段】被検査対象の枚葉フィルムが巻き取られた段取り用ローラーと、枚葉フィルムの巻き出し方向に対向する2辺をそれぞれ挟み、枚葉フィルムを引っ張りながら巻き出し巻取りを行って搬送する2本のフィルム挟み込みローラーと、前記2本のフィルム挟み込みローラーを駆動する手段と、2本のフィルムサポートローラーと、枚葉フィルムの検査面を照明する手段と、照明された枚葉フィルムを撮像する手段と、照明する手段を移動する手段と、撮像する手段を移動する手段と、撮像された画像を処理し不良欠陥を検出する画像処理手段と、前記2本のフィルム挟み込みローラーと2本のフィルムサポートローラーを移動する手段と、を有する枚葉フィルム検査装置。 (もっと読む)


【課題】多層構造の検査対象物の内部の層の画像を良好な画質で取得し、その結果、内部の層の検査精度を向上させる。
【解決手段】波長選択フィルタ113は、検査対象物に照射する照明光の波長を変更する。照明波長設定部173は、検査対象物の第1の層を通して第2の層の検査を行う場合に、第1の層の透光特性に基づいて、波長選択フィルタ113を用いて照明光の波長を設定する。撮影制御部175は、検査用撮像素子120を制御して、照明光が照射された検査対象物を撮影させる。検査部172は、撮影の結果得られた検査画像に基づいて、第2の層の検査を行う。本発明は、例えば、TFTアレイ基板の検査装置に適用できる。 (もっと読む)


【課題】離型紙を用いてプリプレグを製造するに際し、プリプレグの離型紙が付着している側の欠点の位置や種類を特定し、検査時間の短縮や検査精度の向上を図ることができるプリプレグ欠点検査方法を提供すること。
【解決手段】離型紙に樹脂をコーティングした樹脂フィルムを、シート状に配列された炭素繊維束、または布状の炭素繊維の少なくとも片面に配置した後、該炭素繊維束中に樹脂を含浸させ、その後連続的に巻き上げてプリプレグを製造する工程に用いられる、プリプレグの離型紙側の欠点を検査する方法において、該少なくとも片面に配置される樹脂フィルムの繰出し部から樹脂含浸までの間に、該樹脂フィルム面に照射手段によって光を照射し、該樹脂フィルムからの反射光を受光手段により検出し、該受光手段により検出された反射光の信号と予め設定した閾値との比較によって樹脂フィルム面の欠点を検出、判定し、欠点をスジ欠点、異物欠点ならびに樹脂欠陥欠点に分類することを特徴とする、プリプレグ欠点検査方法。 (もっと読む)


【課題】検査費用のコストダウンを可能とする自走コンベア搬送方式の搬送装置を用いた自動欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】カラーフィルタ基板やタッチパネル基板の欠陥を検査する自動欠陥検査装置であって、基板を搬送する自走コンベアと、搬送された基板表面を照明する照明手段と、照明された基板表面を撮像する撮像手段と、基板上に設けられた特徴点を撮像する特徴点撮像手段と、基板上に設けられた特徴点の設計上の座標値と、特徴点撮像手段によって撮像された特徴点の座標値を比較して、特徴点撮像手段によって得られた座標値を補正する座標補正手段と、撮像手段によって撮像された検査画像を座標補正手段によって得られた座標補正に基づいて画像処理して検査する画像処理手段と、を備えたことを特徴とする自動欠陥検査装置。 (もっと読む)


【課題】検査時間および労力を低減できるマスク検査方法およびその装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、マスク検査方法は、半導体露光用マスクに任意波長の光を入射させ撮像部にて像を取得する光学系を用いて、前記マスクの欠陥の有無を検査する方法であって、予め前記光学系による点像を、前記撮像部の読み出し方向に伸長される制御条件を取得する第1ステップ(S203)と、前記制御条件により、マスクの所望の領域の像を取得する第2ステップ(S205)と、取得した前記所望の領域の像において、信号強度が予め定めておいた第1閾値以上であり、前記信号強度の前記読み出し方向における差分が予め定めておいた第2閾値以下であるピーク信号が存在する場合、前記ピーク信号の座標を欠陥として判定する第3ステップ(S206)とを具備する。 (もっと読む)


【課題】
高速で走行しているガラス繊維物品において、被覆層の付着不良欠陥を検出する。
【解決手段】
連続的に走行しながら同時に表面処理される複数本のガラス繊維物品の表面欠陥を、ガラス繊維物品に照射した光の反射光の輝度情報からラインセンサーを用いて判定する欠陥検出方法において、ガラス繊維物品の走行方向に対し直交方向にラインセンサーを配置し、それぞれのガラス繊維物品に対してラインセンサーの検知子に連続的に入力される輝度情報の内、連続した3個以上の輝度異常情報か又は連続的に検知子に入力された5個以上の輝度情報中、輝度異常情報である割合が、予め定められた値以上である場合に第1ステップでの輝度異常情報として処理することを特徴とするガラス繊維物品の表面欠陥検出方法。 (もっと読む)


【課題】不良品を的確に排出可能な極めて実用性に秀れた光学検査装置の提供。
【解決手段】搬送機構により搬送される被検査物を照明する照明部と、被検査物を撮像する撮像部と、被検査物の撮像データをもとに画像処理を行う画像処理部と、画像処理の結果をもとに良否判定を行う良否判定部と、被検査物の通過を検知可能な通過検知部と、良否判定部により不良と判定された被検査物を排出する不良品排出部とを備え、不良品排出部は照明部及び撮像部の搬送下流側で所定時間の間作動させることで不良と判定された被検査物を排出するように構成した光学検査装置であって、被検査物の搬送方向長さを検出する長さ検出部を設けると共に、この長さ検出部により検出される被検査物の搬送方向長さが所定長さより長い場合に不良品排出部の作動時間を長くする排出制御部を設ける。 (もっと読む)


【課題】部材表面に形成された皮膜の膜厚むらを、光の位相特性を認識することができない場合においても適切に検査することが可能な膜厚むらの検査装置を提供する。
【解決手段】表面に皮膜が形成された部材を所定の移動方向に移動させる移動手段と、部材を移動させながら皮膜の外観画像を繰り返し撮像する撮像手段と、外観画像中の一の画素を特定する画素番号と、前記一の画素にて撮像された皮膜部分の皮膜上における位置を特定する位置座標と、上記一の画素における外観画像部分の輝度とからなる多次元データを格納するデータ格納手段と、外観画像が移動方向に分割されてなる一の分割画像領域内の画素に対応する画素番号を有する多次元データを抽出して一の部分集合を形成する部分集合形成手段と、該部分集合に含まれる多次元データの輝度の分布に基づいて皮膜の膜厚むらの有無を検知する膜厚むら検知手段を備えたことを特徴とする膜厚むらの検査装置。 (もっと読む)


【課題】外観検査の欠陥分類において、重要欠陥のピュリティまたはアキュラシーまたはその両方が目標値以上になるように調整するなどのニーズがあるが、教示型の欠陥分類は平均的に分類正解率が高くなるよう条件設定されるため、そのようなニーズに応えられないという問題があった。
【解決手段】特徴量抽出部、欠陥分類部、分類条件設定部を含み、分類条件設定部は、欠陥の特徴量と正解のクラスを対応づけて教示する機能と分類の優先順位を指定する機能を有し、優先順位の高い分類の正解率が高くなるよう条件設定を行う。 (もっと読む)


【目的】より高精度に光軸調整がなされたレーザ光で検査可能なパターン検査装置を提供する。
【構成】パターン検査装置100は第1から第4象限の面で独立に受光するフォトダイオードアレイ212が受光したレーザ光の光量を用いて、レーザ光と供に発生するノイズ成分光の発生方向を特定するノイズ方向特定回路128と、レーザ光の光量を用いて、ノイズ成分光の光量を演算するノイズ光量演算回路130と、ノイズ成分光の発生方向の重心値の絶対値がノイズ成分光の光量をレーザ光の総光量で除した値になり、ノイズ成分光の発生方向と直交する方向の重心値が0になるように、ミラー202,204の反射面の位置を制御するミラー制御部121,122と、光軸が調整されたレーザ光を用いて、被検査試料のパターンの光学画像を取得する光学画像取得部150と、参照画像を入力し、光学画像と参照画像とを比較する比較回路108と、を備えたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】枚葉シートに切り取られたフィルムの外観検査を容易にし、検査精度を向上することが可能となる検査装置を提供する。
【解決手段】被検査対象の枚葉フィルムが巻き取られた段取り用ローラーと、段取り用ローラーに巻かれた枚葉フィルムの巻き出し方向に対向する2辺をそれぞれ挟み搬送する2本のフィルム挟み込みローラーと、フィルムの搬送をサポートする2本のフィルムサポートローラーと、枚葉フィルムの検査面を照明する手段と、照明された枚葉フィルムを撮像する手段と、撮像された画像を処理し不良欠陥を検出する画像処理手段と、枚葉フィルムの搬送中の蛇行を検知する手段と、枚葉フィルムを洗浄する手段と、検出した欠陥を再度確認するため画像取得手段と、欠陥部分にマーキングする手段と、を備えた検査部と、前記2本のフィルム挟み込みローラーと2本のフィルムサポートローラーとを移動する手段と、を有する枚葉フィルム検査装置。 (もっと読む)


【課題】炭化珪素基板又は炭化珪素基板に形成されたエピタキシャル層に存在する欠陥を検出し、検出された欠陥を分類する検査装置を実現する。
【解決手段】本発明では、微分干渉光学系を含む走査装置を用いて、炭化珪素基板の表面又はエピタキシャル層の表面を走査する。炭化珪素基板からの反射光はリニアイメージセンサ(23)により受光され、その出力信号は信号処理装置(11)に供給する。信号処理装置は、炭化珪素基板表面の微分干渉画像を形成する2次元画像生成手段(32)を有する。基板表面の微分干渉画像は欠陥検出手段(34)に供給されて欠陥が検出される。検出された欠陥の画像は、欠陥分類手段(36)に供給され、欠陥画像の形状及び輝度分布に基づいて欠陥が分類される。欠陥分類手段は、特有の形状を有する欠陥像を識別する第1の分類手段(50)と、点状の低輝度欠陥像や明暗輝度の欠陥像を識別する第2の分類手段(51)とを有する。 (もっと読む)


【課題】過度の欠陥検出を抑制することにより、不必要な欠陥修正を低減することのできる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】センサ106からマスク101の光学画像を取得するし、光学画像におけるパターンの寸法と、判定の基準となる基準画像におけるパターンの寸法とを測定し、これらから第1の誤差を求める。マスク101上の光学画像と基準画像について各転写像を推定し、これらの転写像におけるパターンの寸法を測定して第2の誤差を求める。各転写像を比較し、差異が閾値を超えた場合に欠陥と判定する。欠陥と判定された箇所における第2の誤差を第1の誤差で補正する。 (もっと読む)


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