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Fターム[2G051CA03]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 受光素子 (8,314) | 特定の受光素子 (6,408) | 半導体素子、アレイ (1,620)

Fターム[2G051CA03]に分類される特許

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【課題】基板上に成膜された透明膜の外縁を明確に特定することで、精度の高い成膜パターンの検査を行うことができる。
【解決手段】透明膜検査装置1は、透明膜Mの外縁Meを含む被検査範囲の観察像を形成する観察光学系10と、被検査範囲を含む基板S上に照明光を照射する照明光源20と、観察光学系10の光路内に配置されて当該光路の一部を遮光する遮光部材30とを備える。遮光部材30は、観察像内に全遮光部分から徐々に明度が高くなる半遮光部分を含む遮光部分を形成し、この遮光部分が透明膜Mの外縁Meの像に被さるように配置される。観察光学系10は、透明膜Mの外縁Meの側面で反射した光を観察像内に結像させることで、遮光部分にコントラストの高い透明膜Mの外縁Meの線像を形成する。 (もっと読む)


【課題】光特性ムラを短時間で高精度に測定することができる光特性ムラ測定装置を提供する。
【解決手段】撮像部110は、LED実装基板200−1に配列されたLED光源211を同時に撮像すると共に、各測定点Pから入射された光の特性値として、XYZ表色系のx値及びy値をそれぞれ検出する。パーソナルコンピュータは、光放射角に応じて定められた角度補正マトリクスを用いて、それぞれのLED光源211に対応する光特性値を、基準となる放射角に対応する値に補正する。LED光源211の特性値を放射角に応じて補正するため、複数のLED光源211を同時に撮像するにも拘わらず、正確な光特性値を得ることができる。 (もっと読む)


【課題】製箔ローラ表面の凹凸を簡易に、かつ高い精度で検出し補修する製箔ローラ検査装置を提供する。
【解決手段】製箔ローラ検査装置は製箔ローラの表面に接触し研磨剤で研磨する研磨ローラと、研磨ローラに研磨材を供給する研磨材供給手段からなる研磨手段と、製箔ローラの表面を洗浄する洗浄手段と、製箔ローラの表面の凹凸を検査する検査手段と、検査結果に従い製箔ローラの表面研磨の要否を判断する制御手段と、研磨手段、洗浄手段、および検査手段を一体化した検査研磨機構を製箔ローラに対して接離方向に移動可能に支持し、製箔ローラに接近し表面の凹凸検査および表面の研磨を行う検査補修位置と、製箔ローラから離れて製箔工程への干渉を避ける退避位置との間を移動させる移動手段と、を有する。 (もっと読む)


【課題】簡易な構成で大面積の積層基板を高速で高精度に検査できる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板K0上にモリブデン層K1が形成されると共にモリブデン層K1上に薄膜K2,K3が形成された基板Kの、薄膜K2,K3側から形成されたパターニングを検査する検査装置1であって、移送中の基板Kのガラス基板K0側に光を照射する下部照明10と、移送中の基板Kの薄膜K2,K3側に光を照射する上部照明20とを設けると共に、基板Kを透過する下部照明10の光軸P上で且つ基板Kで乱反射する上部照明20の光軸D上に配置された第1ラインセンサカメラ11と、基板Kで正反射する上部照明20の光軸S上に配置された第2ラインセンサカメラ21とを設け、ラインセンサカメラ11,21で検知した光の状態に基づいてパターニングの良否を判断する突き抜け検査用パソコン12及び擦れ検査用パソコン22を具備する。 (もっと読む)


【課題】印刷物の欠陥検査において、印刷物欠陥検査装置より欠陥の特徴分類に応じて出力された欠陥検出信号に対するマーキング信号の出力制御を行い、欠陥検出信号に対し、マーキング位置を変化させることにより区別できるようにした、マーキング信号制御方法を提供する。
【解決手段】印刷物欠陥検査装置より欠陥の特徴に応じて出力された欠陥検出信号に応じて印刷物にマーキングを行う場合のマーキング信号制御方法であって、各々の欠陥検出信号から、マーキング出力信号およびマーキング識別信号を生成し、前記2種の信号に応じて、幅方向マーキング位置を変更することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、表面欠陥を検出する技術に関し、主として塗装表面のブツ欠陥やキズ欠陥の検出を確実に検出する表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法に関するものである。
【解決手段】 発明の表面欠陥検査装置は、色相が平面において少なくとも2方向に周期的に変化した照明パターンを、基準面と検査面とに照射する照明部と、前記照明パターンが照射された前記基準面と前記検査面とを撮像する撮像部と、前記撮像部で撮像された両画像の色相の差に基づいて、前記検査面の欠陥の有無を検出する欠陥検出部と、を有するよう構成する。 (もっと読む)


【課題】検査対象物の種類に応じてプログラムを切り換えるのみで、フォーカス調整を容易に行うことができる画像処理装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る画像処理装置は、検査対象物を含む撮像領域を撮像する撮像部と、検査対象物に対する前記撮像部のフォーカス位置を調整するフォーカス調整機構と、該フォーカス調整機構の動作を制御する制御部とを備える。フォーカスが合う位置を示すフォーカス位置データを含む複数の設定項目から構成され、検査対象物を検査する条件に関する検査条件データを、複数設定する。一の検査条件データから他の検査条件データへの切換指示を受け付けた場合、切換後の他の検査条件データに含まれるフォーカス位置データに基づいて、フォーカス調整機構の動作を制御する。 (もっと読む)


【課題】 印刷不良であるか否かをシートごとに判定して、シートごとの判定結果に基づいて印刷装置を制御する場合、印刷不良の種類によっては、適切な制御が行えないことがある。
【解決手段】 本発明は、印刷不良の発生箇所の特徴に基づいて印刷不良の種類を判定し、判定された印刷不良の種類に応じた印刷装置の制御を行うことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】フィルムの蛇行とカールとを監視し、未塗工不良や塗工不良の発生や、塗工のエッジ部分に発生する塗工抜け不良を検出することを可能とし、更にシワの発生を検出可能としたフィルム検査装置を提供する。
【解決手段】長尺のフィルムに塗液を塗工する工程でフィルムを検査する装置であって、塗工部の直後に設けられ、第一の端辺と第一の塗工エッジを検出するための第一の検出部と、第二の端辺と第二の塗工エッジを検出するための第二の検出部と、第一の端辺と第一の塗工エッジの位置算出部と、第二の端辺と第二の塗工エッジの位置算出部と、フィルムの蛇行またはカールの発生を判別する蛇行・カール判別部と、塗工エッジに発生した塗工抜け不良を判別する塗工抜け不良判別部と、硬化処理される硬化処理部の直後に設けられた第三の検出部と第四の検出部と、第三の端辺位置算出部と第四の端辺位置算出部と、を備えたことを特徴とするフィルム検査装置。 (もっと読む)


【課題】検査時間の短縮や検査精度の向上を図ることができるプリプレグの欠陥の検査手法、プリプレグの欠陥の位置情報を後工程である検反工程に伝達する手法を取り入れた、離型紙を用いたホットメルト法によるプリプレグの製造方法の提供。
【解決手段】離型紙5A、5Bと離型紙に炭素繊維束1に含浸される樹脂が塗布されて形成された樹脂フィルム6Aからなる樹脂シート3A、3B、3a、3bにおける樹脂フィルムの表面を光学装置により検査し、表面の欠陥を検出し、検出された欠陥の種類を判定する樹脂シート検査工程S6A、あるいは、炭素繊維束に樹脂フィルムを形成している樹脂が含浸されて形成されたプリプレグシート9、9aの離型紙を剥離した後のプリプレグの表面を光学装置により検査することにより、プリプレグの表面の欠陥を検出し、検出された欠陥の種類を判定するプリプレグシート検査工程S9を有することを特徴とするプリプレグの製造方法。 (もっと読む)


【課題】枚葉フィルムの外観全面検査をフィルムにシワやたるみが発生せず、低コストで検査を可能とするフィルム搬送装置を提供する。
【解決手段】フィルムを検査する検査装置に用いられるフィルム搬送装置であって、フィルムの対向する2辺を固定してフィルムを巻き出し、巻き取る第一のローラと第二のローラーと、前記2本のローラーの幅方向の両端に設けられ、前記2本のローラーの間隔を変更する第一のローラー間隔変更手段と第二のローラー間隔変更手段と、前記2本のローラーの幅方向の両端に設けられ、前記2本のローラー間で巻き出し、巻き取られるフィルムの幅方向の張力を均一にする第一の張力均一手段と第二の張力均一手段と、を備えたことを特徴とするフィルム搬送装置。 (もっと読む)


【課題】 リファレンス画像に基づき印刷した印刷物を検査する際に、印刷物を読み取った印刷画像とリファレンス画像との位置合わせを行うと、リファレンス画像によっては位置合わせの精度が低い場合があり、検査精度が低下する。
【解決手段】 リファレンス画像と印刷画像との位置合わせを行って印刷物の検査を行う処理、または、位置合わせを行わずに印刷物の検査を行う処理を、リファレンス画像の特性に基づいて選択する。 (もっと読む)


【課題】透明な粒状体群を検出対象物とするような場合であっても、正常物であるか異常物であるかの判別を良好に行うことが可能な粒状体検査装置を提供する。
【解決手段】粒状体群を検出箇所を通過させるように移送する移送手段Sと、検出箇所からの光を受光する受光手段10と、受光手段10の受光量が正常物に対応する適正光量範囲を外れているか否かにより正常物であるか異常物であるかを判別する判別手段とが備えられ、検出箇所Jを照明する照明手段9が、照明用光源20,24から検出箇所Jに向けて出射された光を拡散光として透過させる拡散透過部材21,25を検出箇所から離れる外方側に向けて凸状に湾曲する凸状曲面Qに形成する状態で備えるとともに、照明用光源20,24を拡散透過部材21,25よりも外方側の箇所に凸状曲面Qに沿って位置する状態で備えて構成される。 (もっと読む)


【課題】先行して打設したコンクリートの表面に新たなコンクリートを打設する打継面の評価を、客観的に行う装置と方法を提供する。
【解決手段】
ラインレーザー1とデジタルカメラ2と解析用パソコン3によって構成する。ライン状のレーザー光線をコンクリート打継面4に照射する。その照射線41をデジタルカメラ2で撮影する。撮影した照射線41を画像解析することで座標データとして抽出してコンクリート表面の評価を行う。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、加工物(8)内の中空空間(6)の内面(4)を撮影する装置(2)に関する。
【解決手段】 本装置(2)は、画像撮影機(12)及びその後に配置された評価機器(14)と画像を伝送できるように接続された全視界方式の光学系(10)を備えている。更に、本装置(2)は、光学系(10)によって検出される内面(4)の撮影範囲を照明する光源(18)を備えた照明機器(16)を有する。本発明では、照明機器(16)の発光部材と偏光部材の一方又は両方(20,20’)が少なくとも一つ光学系(10)のレンズ(22)、特に、視野レンズ(22)に配置されている。 (もっと読む)


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